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波前像差測(cè)定裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5938193

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本發(fā)明涉及一種波前像差測(cè)定裝置,用于測(cè)定作為檢查對(duì)象的透鏡的波前像差。背景技術(shù)作為波前像差的測(cè)定方法,夏克一哈特曼型傳感器為世人所知。例如,在鶴田匡夫著的「第4光0鉛筆」(新技術(shù)- ^工二夕一 3 > <、1997年、212頁)中,有作為波前測(cè)定傳感器的代表例的解說。測(cè)定由被測(cè)透鏡產(chǎn)生的波前像差的波前像差測(cè)定裝置的光學(xué)系統(tǒng),一般使用照明光學(xué)系統(tǒng),使光波入射到被測(cè)透鏡;測(cè)量光學(xué)系統(tǒng),測(cè)定來自被測(cè)透鏡的光束的波前像 差。在測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中,當(dāng)解析通過...
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