專利名稱：一種光柵尺輥壓印生產(chǎn)線的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于輥壓印微納復(fù)制技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種制造機(jī)床用長(zhǎng)光柵尺的輥壓印成型生產(chǎn)線。該上產(chǎn)線可以連續(xù)、高效、批量制造光柵尺。
背景技術(shù)：
精密光柵作為高檔數(shù)控機(jī)床的位置檢測(cè)元件對(duì)數(shù)控機(jī)床的精度有著至關(guān)重要的影響。是精密、超精密高檔數(shù)控機(jī)床的關(guān)鍵基礎(chǔ)性功能部件。光柵的制造方法主要有刻劃?rùn)C(jī)刻劃方法、光刻機(jī)光刻方法等。刻劃?rùn)C(jī)刻劃方法制 造光柵效率較低，并且對(duì)環(huán)境要求高，成本高，不能連續(xù)生產(chǎn)，且分辨率有限。光刻機(jī)光刻方法的分辨率比刻劃?rùn)C(jī)刻劃方法高，同樣存在上述缺點(diǎn)。具體來(lái)講，目前，國(guó)際上多采用照相接觸復(fù)制方法制作長(zhǎng)光柵尺。即將表面涂有光刻膠的工件放在光柵尺曝光機(jī)上，再將光柵母版放在工件上進(jìn)行接觸式曝光，然后通過(guò)顯影、定影、染色、烘干、鍍膜和去膠等工序最后復(fù)制出長(zhǎng)光柵尺。這種制造方法對(duì)于環(huán)境要求極其苛刻，導(dǎo)致制造成本較高且制造速度較低。作為一種新型的集成電路制造技術(shù)，壓印光刻技術(shù)將傳統(tǒng)的模具復(fù)型原理應(yīng)用到微觀制造領(lǐng)域，自1995年Stephen Y Chou提出以來(lái)，便以其高分辨率、高效率、低成本、環(huán)保性好、工藝過(guò)程簡(jiǎn)單和非常大的上升空間引起了各國(guó)研究人員和許多公司的廣泛關(guān)注。壓印光刻技術(shù)作為典型的微壓印復(fù)型技術(shù)在近些年以來(lái)得到了迅猛的發(fā)展，并于2005年年底被國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖機(jī)構(gòu)規(guī)劃為下一代16nm節(jié)點(diǎn)光刻技術(shù)的代表之一。微壓印復(fù)型技術(shù)是一種低溫、常氣壓、適合于大面積基材上生成微納米級(jí)尺度特征結(jié)構(gòu)的壓印方法，是制造大面積微納米結(jié)構(gòu)的并行制造技術(shù)。特別是輥壓印技術(shù)是能將輥壓模具表面的功能性微結(jié)構(gòu)連續(xù)地、精確地復(fù)型在基底上，可滿足連續(xù)大幅面、高產(chǎn)能、低成本的要求。目前輥壓印技術(shù)在以大面積為特征的宏電子系統(tǒng)領(lǐng)域已開(kāi)始展現(xiàn)了嶄新的應(yīng)用潛力，并為機(jī)床測(cè)量用光柵微結(jié)構(gòu)的制造提供了一種新的思路。輥壓印技術(shù)可通過(guò)對(duì)輥壓母光柵模具高精度連續(xù)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的精確控制，實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)、高精度、高線數(shù)光柵功能性微結(jié)構(gòu)的制造。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且采用多個(gè)工位并列設(shè)置，能夠有效提高生產(chǎn)效率。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)解決的這種光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，包括清洗機(jī)、蒸鍍機(jī)、分條機(jī)構(gòu)、壓印室、輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)和送出機(jī)構(gòu),所述清洗機(jī)的出口連接蒸鍍機(jī)的進(jìn)口，所述蒸鍍機(jī)的出口連接分條機(jī)構(gòu)的進(jìn)口，所述分條機(jī)構(gòu)連接壓印室，所述壓印室的內(nèi)設(shè)置有多個(gè)輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)，所述輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)的出料口連接送出機(jī)構(gòu)。[0011]上述分條機(jī)構(gòu)為半扇形，所述壓印室為安裝在分條機(jī)構(gòu)的半扇形外緣的環(huán)形結(jié)構(gòu)，在壓印室內(nèi)均勻分布有多個(gè)輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)，各輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)的進(jìn)口連接至半扇形分條機(jī)構(gòu)的外周緣上。上述清洗機(jī)由清洗機(jī)清洗機(jī)構(gòu)、清洗機(jī)干燥機(jī)構(gòu)和清洗機(jī)次真空室裝配組成。本實(shí)用新型的光柵尺輥壓印生產(chǎn)線并且采用清洗機(jī)、蒸鍍機(jī)、分條機(jī)構(gòu)、壓印室、輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)和送出機(jī)構(gòu)一體式安裝設(shè)置，并且輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)采用多工位并聯(lián)設(shè)置在壓印室內(nèi)，能夠提高生產(chǎn)效率。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型拆除壓印室04后的結(jié)構(gòu)示意圖。其中0 :光柵尺基底；01 :清洗機(jī)；01_1 :清洗機(jī)清洗機(jī)構(gòu)；01_2 :清洗機(jī)干燥機(jī)構(gòu)；01-3 :清洗機(jī)次真空室；02 :蒸鍍機(jī)；03 :分條機(jī)構(gòu)；04 :壓印室；05 :輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)；06 :送出機(jī)構(gòu)；07 :成品光柵尺。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)描述參見(jiàn)圖I和圖2，本實(shí)用新型的光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，包括清洗機(jī)01、蒸鍍機(jī)02、分條機(jī)構(gòu)03、壓印室04、輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)05和送出機(jī)構(gòu)06。所述清洗機(jī)01的出口連接蒸鍍機(jī)02的進(jìn)口，蒸鍍機(jī)02的出口連接分條機(jī)構(gòu)03的進(jìn)口，分條機(jī)構(gòu)03連接壓印室04，壓印室04的內(nèi)設(shè)置有多個(gè)輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)05，輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)05的出料口連接送出機(jī)構(gòu)06。在本實(shí)用新型的最佳實(shí)施例中,所述分條機(jī)構(gòu)03為半扇形,壓印室04為安裝在分條機(jī)構(gòu)03的半扇形外緣的環(huán)形結(jié)構(gòu),在壓印室04內(nèi)均勻分布有多個(gè)棍壓印壓紋機(jī)構(gòu)05,各輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)05的進(jìn)口連接至半扇形分條機(jī)構(gòu)03的外周緣上。本實(shí)用新型在工作時(shí)，光柵尺基底O由送入機(jī)構(gòu)01-04清洗機(jī)清洗機(jī)構(gòu)01-1，清洗機(jī)01主要負(fù)責(zé)傳送和清洗光柵尺基底并為后續(xù)工序提供前期處理。清洗機(jī)清洗機(jī)構(gòu)01-1采用對(duì)應(yīng)的清洗液負(fù)責(zé)清洗用特定材料制作的光柵尺基底，清洗液可以循環(huán)使用，并采用相關(guān)環(huán)保措施保證排放符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。清洗機(jī)干燥機(jī)構(gòu)01-2主要是用來(lái)對(duì)剛清洗過(guò)的光柵尺基底進(jìn)行干燥并保證光柵尺基底具有一定的溫度。清洗機(jī)次真空室01-3負(fù)責(zé)提供特定的次真空環(huán)境，為蒸鍍做前期準(zhǔn)備。蒸鍍機(jī)02主要用來(lái)將特定材料，如銅或鋁等在真空環(huán)境中加熱并鍍到光柵尺基底上，即使光柵尺基底上表面形成特定材料薄膜。完成蒸鍍后將鍍有薄膜的光柵尺基底傳送到分條機(jī)構(gòu)。分條機(jī)構(gòu)03主要用來(lái)將批量蒸鍍后的光柵尺基底分開(kāi)，各自傳送到相應(yīng)的壓紋機(jī)構(gòu)處。壓印室04用來(lái)提供壓印時(shí)所必須的溫度、適度、氣壓等條件。輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)05用來(lái)復(fù)刻輥?zhàn)有湍＞呱系膱D形到蒸鍍后的光柵尺基底上。送出機(jī)構(gòu)06用來(lái)將成品光柵尺07傳送到相應(yīng)工位。
權(quán)利要求1.一種光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，包括清洗機(jī)(01)、蒸鍍機(jī)(02)、分條機(jī)構(gòu)(03)、壓印室(04)、輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)(05)和送出機(jī)構(gòu)(06)，其特征在于，所述清洗機(jī)(01)的出口連接蒸鍍機(jī)(02)的進(jìn)ロ，所述蒸鍍機(jī)(02)的出口連接分條機(jī)構(gòu)(03)的進(jìn)ロ，所述分條機(jī)構(gòu)(03)連接壓印室(04)，所述壓印室(04)的內(nèi)設(shè)置有多個(gè)輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)(05)，所述輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)(05)的出料ロ連接送出機(jī)構(gòu)(06)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，其特征在于，所述分條機(jī)構(gòu)(03)為半扇形，所述壓印室(04)為安裝在分條機(jī)構(gòu)(03)的半扇形外緣的環(huán)形結(jié)構(gòu),在壓印室(04)內(nèi)均勻分布有多個(gè)輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)(05)，各輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)(05)的進(jìn)ロ連接至半扇形分條機(jī)構(gòu)(03)的外周緣上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，其特征在于，所述清洗機(jī)(01)由清洗機(jī)清洗機(jī)構(gòu)(01-1)、清洗機(jī)干燥機(jī)構(gòu)(01-2)和清洗機(jī)次真空室(01-3)裝配組成。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種光柵尺輥壓印生產(chǎn)線，包括清洗機(jī)、蒸鍍機(jī)、分條機(jī)構(gòu)、壓印室、輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)和送出機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)的出口連接蒸鍍機(jī)的進(jìn)口，所述蒸鍍機(jī)的出口連接分條機(jī)構(gòu)的進(jìn)口，所述分條機(jī)構(gòu)連接壓印室，所述壓印室的內(nèi)設(shè)置有多個(gè)輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)，所述輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)的出料口連接送出機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型的光柵尺輥壓印生產(chǎn)線并且采用清洗機(jī)、蒸鍍機(jī)、分條機(jī)構(gòu)、壓印室、輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)和送出機(jī)構(gòu)一體式安裝設(shè)置，并且輥壓印壓紋機(jī)構(gòu)采用多工位并聯(lián)設(shè)置在壓印室內(nèi)，能夠提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01B11/02GK202421718SQ20112056008
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者丁玉成, 于皓瑜, 劉紅忠, 盧秉恒, 史永勝, 尹磊, 蔣維濤 申請(qǐng)人:西安交通大學(xué)