專利名稱：一種應用于tft測試的探針裝配器及測試裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及薄膜晶體管(Thin Film Transistor, TFT)液晶顯示器(LiquidCrystal Display, IXD)液晶面板的測試技術,尤其涉及一種應用于TFT測試的探針裝配器及測試裝置。
背景技術：
作為TFT-IXD產品的一項重要的電學測試，現有的TFT特性測試都是采用單探針測量的方法，即為將柵極、源極驅動后使用一個測試探針在像素區(qū)域進行電信號的探測，進而根據探測得到的數據對TFT特性進行分析。使用這種方法采用的測試裝置如圖I所示，包括置于測試像素區(qū)域12的測試探針11，置于測試像素區(qū)域12對應的源極信號輸入處 的源極驅動探針15，置于測試像素區(qū)域12對應的柵極信號輸入處的柵極驅動探針16，測試基臺及電子處理設備17。測試過程中，首先，將測試像素區(qū)域對應的源極和柵極信號輸入處用源極驅動探針15和柵極驅動探針16施加驅動電壓，然后，在測試像素區(qū)域使用測試探針11探測加壓后相應的電流情況。每次都需要將各個驅動探針全部設置好后，才可以完成測試像素區(qū)域一個像素點，在各種條件，如有無光源、有無高溫下的TFT特性曲線。綜上所述，采用現有的單測試探針及測試裝置，每次只能測試樣品一個像素點位置的TFT特性曲線，而對于一個樣品只有進行多組多點的全面測試后，才能得到較為可信且有統(tǒng)計意義的測試數據。由于每個待測試的像素點對應的源極或柵極線不同，若要實現對一個樣品的全面測試，則采用現有測試裝置，每次都可能需要將兩個驅動探針重新設置好后才能完成對一個像素點的測試，而且，由于采用單測試探針，還需要將測試像素區(qū)域上的該測試探針進行無數次的抬起落下這樣的扎針動作，以便對測試像素區(qū)域的多個像素點逐一測試，因此，采用現有的單測試探針及測試裝置，會導致整個測試過程的復雜度高、可操作性差，測試效率低下的缺陷，使得完成一個樣品的全面測試需要花費大量的時間。

實用新型內容有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種應用于TFT測試的探針裝配器及測試裝置，能降低測試復雜度，便于操作，提高測試效率。為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的一種應用于TFT測試的探針裝配器，所述探針裝配器安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針；所述探針裝配器包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的一組探針插槽；所述測試探針安裝于所述探針插槽中。所述探針插槽及測試探針的數量根據需要自由增減，至少為兩個。所述旋轉軸設置為360度旋轉。所述滑動導軌設置為使置于滑動導軌上的所述探針插槽線性移動。[0012]所述測試探針與所述探針插槽間的連接方式為插拔式。一種應用于TFT測試的測試裝置，包括柵極驅動探針、源極驅動探針、測試基臺及電子處理設備，所述裝置還包括探針裝配器、一組測試探針；其中，所述探針裝配器安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針；所述探針裝配器包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的一組探針插槽；所述測試探針安裝于所述探針插槽中。所述測試基臺及電子處理設備內安裝有測試信號交換單元；所述柵極驅動探針、所述源極驅動探針分別對應各自的測試信號交換單元；所述柵極驅動探針、所述源極驅動探針分別通過信號線與各自的測試信號交換單·元的輸入端口連接；所述測試信號交換單元內部，每一個輸入端口對應多個輸出端口，并設置為每次·測試時使所述輸入端口連接到多個輸出端口中的任意一個且與其他端口全部斷開連接。所述測試基臺及電子處理設備上，測試像素區(qū)域對應的所有源極信號輸入區(qū)域涂覆有銀膠，各個源極信號輸入區(qū)域以導線或銀膠相連接；所述測試基臺及電子處理設備上，測試像素區(qū)域對應的所有柵極信號輸入區(qū)域涂覆有銀膠，各個柵極信號輸入區(qū)域以導線或銀膠相連接。所述旋轉軸設置為360度旋轉。所述滑動導軌設置為使置于滑動導軌上的所述探針插槽線性移動。所述探針插槽及測試探針的數量根據需要自由增減，至少為兩個。本實用新型的探針裝配器，安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針；探針裝配器包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的一組探針插槽；所述測試探針安裝于所述探針插槽中。由于本實用新型采用探針裝配器及相應的測試裝置，是將樣品一次全面測試所需要的一組測試探針裝配到一個探針裝配器上而進行的測試，區(qū)別于現有技術的單測試探針，避免了對不同像素點測試時需要多次調節(jié)單測試探針位置導致的復雜度高、可操作性差和效率低下的缺陷。

圖I為現有應用于TFT測試的測試裝置的組成結構示意圖；圖2為本實用新型應用于TFT測試的探針裝配器的組成結構示意圖；圖3為本實用新型應用于TFT測試的測試裝置的組成結構示意圖；圖4為本實用新型測試裝置一實施例的組成結構示意圖；圖5為本實用新型測試裝置的測試信號交換單元一實施例的組成結構示意圖；圖6為本實用新型測試裝置的源極和柵極輸入區(qū)域銀膠涂覆的示意圖。圖中標號說明11、測試探針；12、測試像素區(qū)域；15、源極驅動探針；16、柵極驅動探針；17、測試基臺及電子處理設備；2、探針裝配器；21、探針插槽；22、滑動導軌；23、探針裝配器基板；24、旋轉軸；3、測試基臺及電子處理設備；31、測試基臺及交換機；32、半導體測試設備；33、電子分析儀器；41、隔離箱；42、立體電子箱；[0037]Al、輸入端口；BI B5、輸出端口。
具體實施方式
本實用新型的基本思想是針對采用現有單測試探針測試所導致的TFT特性曲線測試復雜度高、可操作性差、測試效率低下的缺陷，本實用新型，是將測試像素區(qū)域上的一組測試探針安裝在一個探針裝配器上而進行的測試，且該探針裝配器通過自身的滑動導軌和旋轉軸使其上面的測試探針能夠自由移動，從根本上克服了測試復雜度高、可操作性差、測試效率低下的缺陷。
以下結合附圖對技術方案的實施作進一步的詳細描述。一種應用于TFT測試的探針裝配器，如圖2所示，探針裝配器2安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針11 ;探針裝配器2包括旋轉軸24、與旋轉軸連接的探 針裝配器基板23、探針裝配器基板23上的滑動導軌22、滑動導軌22上的一組探針插槽21。測試探針安裝于探針插槽中。這里需要指出的是探針裝配器上的探針插槽及測試探針的數量可以根據需要自由增減，至少為兩個。進一步的，旋轉軸24設置為可以在360度范圍內旋轉。通過這種360度自由旋轉，從而可以改變整組測試探針在測試像素區(qū)域上的整體測試位置。進一步的，滑動導軌22設置為使置于滑動導軌22上的探針插槽線性移動。通過探針插槽的自由線性移動，從而使安裝于探針插槽中的測試探針的線性位置能自由變化，以改變測試探針所對應的待測像素點位置。進一步的，測試探針與探針插槽間的連接方式為可插拔式連接的固定。連接方式為插拔式，便于拆卸，可以在需要換不同規(guī)格測試探針時，或者更換不同待測像素點的測試探針以便進行對比測試時，實現測試探針隨時的方便置換，提高了測試的效率和靈活度。一種應用于TFT測試的測試裝置，如圖3所示，包括柵極驅動探針16、源極驅動探針15、測試基臺及電子處理設備3、安裝有一組測試探針的探針裝配器2。其中，探針裝配器2包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的一組探針插槽；測試探針安裝于探針插槽中。進一步的，旋轉軸設置為360度旋轉。通過這種360度自由旋轉，從而可以改變整組測試探針在測試像素區(qū)域上的整體測試位置。進一步的，滑動導軌設置為使置于滑動導軌上的探針插槽線性移動。通過探針插槽的自由線性移動，從而使安裝于探針插槽中的測試探針的線性位置能自由變化，以改變測試探針所對應的待測像素點位置。進一步的，測試探針與探針插槽間的連接方式為插拔式。連接方式為插拔式,便于拆卸，可以在需要換不同規(guī)格測試探針時，或者更換不同待測像素點的測試探針以便進行對比測試時，實現測試探針隨時的方便置換。進一步的，測試基臺及電子處理設備3內安裝有測試信號交換單元。柵極驅動探針、源極驅動探針分別對應各自的測試信號交換單元。柵極驅動探針、源極驅動探針分別通過信號線與各自的測試信號交換單元的輸入端口連接。在測試信號交換單元內部，每一個輸入端口對應多個輸出端口，并設置為每次測試時使該輸入端口連接到多個輸出端口中的任意一個且與其他端口全部斷開連接。這樣做的目的是通過測試信號交換單元的控制，實現在測試過程中的每次測試時柵極驅動探針、源極驅動探針的任意定義，從而可以在不需要重新設置柵極驅動探針、源極驅動探針位置的情況下，使得針對柵極驅動探針、源極驅動探針的測試項目和測試信號進行互相交換。而無需像現有技術一樣，每次測試時都需要手動重新設置柵極驅動探針和源極驅動探針的位置，再來施加驅動電壓。可見采用測試信號交換單元的控制，全自動化，無需手動操作，可操作性強，能提高測試效率。如圖4所示為本實用新型測試設備的一個實施例，包括隔離箱41、立體電子箱42、測試基臺及交換機31、半導體 測試設備32、電子分析儀器33、探針裝配器2、柵極驅動探針16、源極驅動探針15。其中，測試基臺及交換機31、半導體測試設備32、電子分析儀器33構成圖3中測試基臺及電子處理設備3的具體實現。如圖5所示為測試信號交換單元的一個實施例，包括一個輸入端口 Al和多個輸出端口，多個輸出端口分別以BI B5表示。柵極驅動探針或源極驅動探針通過信號線接入立體電子箱內測試信號交換單元的輸入端口，如A組端口，以某一連接到輸入端口 Al的柵極驅動探針為例，輸入端口 Al在交換機內部有物理開關和所有的B組輸出端口相連，通過設置可以使輸入端口 Al連接到輸出端口 BI到B5中任意一個端口，同時和其他端口全部斷開。舉例來說，假設將Al和BI通路上的兩個開關閉合，其他開關全部保持打開，則此時Al和BI連通。同理可以實現Al與BI B5中任何一個開關的通路連通。每一個柵極驅動探針或源極驅動探針都有這樣的測試信號交換單元進行對應，從而實現所有柵極驅動探針或源極驅動探針在測試過程中的任意定義，從而可以在每次測試時不需要改變柵極驅動探針或源極驅動探針的位置，而使任意兩個柵極驅動探針或源極驅動探針的測試項目、信號的互換，提高測試的效率和靈活度。進一步的，測試基臺及電子處理設備上，測試像素區(qū)域對應的所有源極信號輸入區(qū)域涂覆有銀膠，各個源極信號輸入區(qū)域以導線或銀膠相連接；測試基臺及電子處理設備上，測試像素區(qū)域對應的所有柵極信號輸入區(qū)域涂覆有銀膠，各個柵極信號輸入區(qū)域以導線或銀膠相連接。銀膠涂覆的示意圖如圖6所示。由于，將所有的柵極或源極信號輸入區(qū)域涂覆銀膠，并把它們通過導線或銀膠連接在一起，配合柵極驅動探針或源極驅動探針在測試信號交換單元下的自由定義，這樣柵極驅動探針在整個測試中不需要再進行移動，同樣的，源極驅動探針也不需要再進行移動，從而能降低測試復雜度、可操作性強，測試的效率和靈活度也能提高。采用本實用新型的測試裝置，測試的過程為一、將所有的柵極信號輸入區(qū)域涂覆銀膠，并把它們通過導線或銀膠連接在一起，同樣的，將所有源極信號輸入區(qū)域也都涂覆銀膠并連接在一起，隨后將柵極驅動探針和源極驅動探針固定在相應的信號輸入區(qū)域處，完成驅動過程，后續(xù)也不需要再移動柵極驅動探針和源極驅動探針；二、將探針裝配器整體就位，放置在將要測量的像素區(qū)域，由于探針裝配器的基板較長，因此能覆蓋像素區(qū)域中多個測試像素點的位置，根據待測像素點的位置，調整探針插槽在滑動導軌上的位置，當所有待測像素點的位置找好后，一起將測試探針放置到待測試的每個像素區(qū)域，此時，柵極驅動探針、源極驅動探針和像素區(qū)域的測試探針均已就位，可以進入測量模式，進行測試；三、測試完畢，將測試結果一起輸出到半導體測試設備及電子分析儀器，對數據進行處理，同時得到多組TFT特性曲線，這樣，不僅能夠分析得到每個測試位置的TFT特性而且還可以對這些點進行橫向對比；四、在第三步的基礎上進行進一步的測量，更換探針插槽上的測試探針、移動探針插槽上測試探針的位置、對探針裝配器進行旋轉、或對柵極驅動探針和源極驅動探針重定義后進行新的測試，得到多組TFT特性曲線，根據需要進行數據對比。以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限 定本實用新型的保護范圍。
權利要求1.ー種應用于TFT測試的探針裝配器，其特征在于，所述探針裝配器安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的ー組測試探針； 所述探針裝配器包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的ー組探針插槽； 所述測試探針安裝于所述探針插槽中。
2.根據權利要求I所述的探針裝配器，其特征在于，所述探針插槽及測試探針的數量根據需要自由增減，至少為兩個。
3.根據權利要求I所述的探針裝配器，其特征在于，所述旋轉軸設置為360度旋轉。
4.根據權利要求I所述的探針裝配器，其特征在于，所述滑動導軌設置為使置于滑動導軌上的所述探針插槽線性移動。
5.根據權利要求I至4任一項所述的探針裝配器，其特征在于，所述測試探針與所述探針插槽間的連接方式為插拔式。
6.ー種應用于TFT測試的測試裝置，包括柵極驅動探針、源極驅動探針、測試基臺及電子處理設備，其特征在于，所述裝置還包括探針裝配器、ー組測試探針；其中， 所述探針裝配器安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針；所述探針裝配器包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的ー組探針插槽；所述測試探針安裝于所述探針插槽中。
7.根據權利要求6所述的測試裝置，其特征在于，所述測試基臺及電子處理設備內安裝有測試信號交換單元； 所述柵極驅動探針、所述源極驅動探針分別對應各自的測試信號交換單元； 所述柵極驅動探針、所述源極驅動探針分別通過信號線與各自的測試信號交換單元的輸入端ロ連接； 所述測試信號交換單元內部，每ー個輸入端ロ對應多個輸出端ロ，并設置為每次測試時使所述輸入端ロ連接到多個輸出端ロ中的任意一個且與其他端ロ全部斷開連接。
8.根據權利要求6或7所述的測試裝置，其特征在于，所述測試基臺及電子處理設備上，測試像素區(qū)域對應的所有源極信號輸入區(qū)域涂覆有銀膠，各個源極信號輸入區(qū)域以導線或銀膠相連接； 所述測試基臺及電子處理設備上，測試像素區(qū)域對應的所有柵極信號輸入區(qū)域涂覆有銀膠，各個柵極信號輸入區(qū)域以導線或銀膠相連接。
9.根據權利要求6或7所述的測試裝置，其特征在于，所述旋轉軸設置為360度旋轉。
10.根據權利要求6或7所述的測試裝置，其特征在于，所述滑動導軌設置為使置于滑動導軌上的所述探針插槽線性移動。
11.根據權利要求6或7所述的測試裝置，其特征在于，所述探針插槽及測試探針的數量根據需要自由增減，至少為兩個。
專利摘要本實用新型公開了一種應用于TFT測試的探針裝配器，該探針裝配器安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針；探針裝配器包括旋轉軸、與旋轉軸連接的探針裝配器基板、探針裝配器基板上的滑動導軌、滑動導軌上的一組探針插槽；測試探針安裝于探針插槽中。本實用新型還公開了一種應用于TFT測試的測試裝置，包括柵極驅動探針、源極驅動探針、測試基臺及電子處理設備、探針裝配器、一組測試探針，該探針裝配器安裝有測試像素區(qū)域待測像素點對應的一組測試探針。采用本實用新型，能降低測試復雜度，便于操作，提高測試效率。
文檔編號G01R1/067GK202421235SQ20112053770
公開日2012年9月5日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權日2011年12月20日
發(fā)明者吳昊 申請人:北京京東方光電科技有限公司