專利名稱：一種復(fù)合磁傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及磁傳感領(lǐng)域，尤其是涉及到一種利用磁性材料和壓阻材料的復(fù)合磁傳感器。
背景技術(shù)：
利用材料的物理性質(zhì)在磁場(chǎng)的作用下發(fā)生變化的現(xiàn)象制備了磁敏傳感器。磁敏傳感器在一些電、磁學(xué)量和力學(xué)量的測(cè)量中有著廣泛的應(yīng)用。磁敏傳感器包擴(kuò)霍爾效應(yīng)傳感器、各向異性磁電阻傳感器、磁敏三極管、巨磁電阻磁傳感器、隧穿磁電阻磁傳感器。這些磁傳感的特點(diǎn)是，當(dāng)磁場(chǎng)變化時(shí)，材料本身的電阻發(fā)生變化，通過(guò)探測(cè)材料電阻的變化即可感知磁場(chǎng)的變化。隨著科技的發(fā)展，復(fù)合材料越來(lái)越引起人們的關(guān)注。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種復(fù)合磁傳感器，包括固定端、柔性支撐層、壓阻材料層、上永磁體、下永磁體，其中，柔性支撐層的一段固定于固定端，壓阻材料位于柔性支撐層上面，上永磁體、下永磁體對(duì)稱的放于柔性支撐層的上下端。壓阻材料可以為金屬、半導(dǎo)體，上永磁體、下永磁體采用磁性強(qiáng)的永磁材料，包括釹鐵硼、Co基永磁材料。本實(shí)用新型提供的一種復(fù)合磁傳感器，當(dāng)外界有磁場(chǎng)時(shí)，磁場(chǎng)與永磁材料相互作用，引起柔性支撐層的彎曲，柔性支撐層彎曲的應(yīng)力傳遞給壓阻材料層，引起電阻的變化，進(jìn)而探知磁場(chǎng)的大小。本實(shí)用新型材料永磁材料、柔性支撐層、壓阻材料進(jìn)行復(fù)合，通過(guò)優(yōu)化各材料、結(jié)構(gòu)可以達(dá)到很高的檢測(cè)靈敏度。

圖為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、固定端，2、壓阻材料，3、柔性支撐層，4、上永磁體；5、下永磁體
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，固定端1，壓阻材料2，、柔性支撐層3，上永磁體4 ;下永磁體5。其中，柔性支撐層3的一段固定于固定端1，壓阻材料2位于柔性支撐層3上面，上永磁體4、下永磁體5對(duì)稱的放于柔性支撐層3的上下端。壓阻材料2可以為金屬、半導(dǎo)體，上永磁體4、下永磁體5米用磁性強(qiáng)的永磁材料,包括釹鐵硼、Co基永磁材料。當(dāng)外界有磁場(chǎng)時(shí)，磁場(chǎng)與永磁材料相互作用，引起柔性支撐層3的彎曲，柔性支撐層3彎曲的應(yīng)力傳遞給壓阻材料層2，引起電阻的變化，進(jìn)而探知磁場(chǎng)的大小。本實(shí)用新型材料永磁材料5、柔性支撐層3、壓阻材料2進(jìn)行復(fù)合，通過(guò)優(yōu)化各材料、結(jié)構(gòu)可以達(dá)到很高的檢測(cè)靈敏度。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化 和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種復(fù)合磁傳感器，包括固定端、柔性支撐層、壓阻材料層、上永磁體、下永磁體，其特征在于所述的柔性支撐層的一段固定于固定端，壓阻材料位于柔性支撐層上面，上永磁體、下永磁體對(duì)稱的放于柔性支撐層的上下端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種復(fù)合磁傳感器，其特征在于所述的壓阻材料為金屬、半導(dǎo)體。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種復(fù)合磁傳感器，其特征在于所述的上永磁體、下永磁體采用永磁材料，包括釹鐵硼、Co基永磁材料。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種復(fù)合磁傳感器，包括固定端、柔性支撐層、壓阻材料層、上永磁體、下永磁體，其中，柔性支撐層的一段固定于固定端，壓阻材料位于柔性支撐層上面，上永磁體、下永磁體對(duì)稱的放于柔性支撐層的上下端。當(dāng)外界有磁場(chǎng)時(shí)，磁場(chǎng)與永磁材料相互作用，引起柔性支撐層的彎曲，柔性支撐層彎曲的應(yīng)力傳遞給壓阻材料層，引起電阻的變化，進(jìn)而探知磁場(chǎng)的大小。本實(shí)用新型材料永磁材料、柔性支撐層、壓阻材料進(jìn)行復(fù)合，通過(guò)優(yōu)化各材料、結(jié)構(gòu)可以達(dá)到很高的檢測(cè)靈敏度。
文檔編號(hào)G01R33/09GK202383274SQ201120489888
公開(kāi)日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月24日
發(fā)明者胡雨航 申請(qǐng)人:胡雨航