專利名稱：膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種制造業(yè)檢測(cè)結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種能夠檢測(cè)膜厚的探頭結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
膜厚探頭檢測(cè)裝置是對(duì)基片膜厚的檢測(cè)類設(shè)備。通過(guò)外置機(jī)械手自動(dòng)傳輸基片進(jìn)行無(wú)接觸式檢測(cè)，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果分別的放進(jìn)不同定義的片盒內(nèi)的一種必要檢測(cè)過(guò)程。用戶可以將不同參數(shù)的基片進(jìn)行后續(xù)的再加工、銷售和選用，能實(shí)時(shí)的為用戶提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)并自動(dòng)分類，便于用戶方便設(shè)置。但是，在國(guó)內(nèi)，目前沒有單位生產(chǎn)、提供類似的產(chǎn)品，國(guó)外制造公司也主要集中在不多的幾家公司，且售價(jià)很高(平均約30萬(wàn)美元)。而國(guó)內(nèi)大部分企業(yè)都是通過(guò)人工進(jìn)行相關(guān)的檢測(cè)，但人工方法極易造成檢測(cè)精度不高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠檢測(cè)膜厚的探頭結(jié)構(gòu)，以解決現(xiàn)有基片膜厚采用人工檢測(cè)導(dǎo)致檢測(cè)精度不高的問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為一種膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，包括一工作臺(tái)，其中，所述工作臺(tái)的正上方設(shè)有一垂直設(shè)置的超聲波探頭。本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例中，其中，所述工作臺(tái)分為上層和下層， 所述上層面積小于所述下層面積。本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例中，其中，還包括一平臺(tái)，所述工作臺(tái)水平置于所述平臺(tái)上。本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例中，其中，還包括支架，所述超聲波探頭固定在所述支架上。本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例中，其中，所述上層與所述下層均為厚度較薄的矩形臺(tái)。本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的一實(shí)施例中，其中，所述支架與所述平臺(tái)的材料均為大理石。本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)，使之具有的積極效果是膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，通過(guò)該結(jié)構(gòu)的能夠裝置以自動(dòng)對(duì)基片膜厚進(jìn)行探測(cè)，減少人工檢測(cè)導(dǎo)致的精度不高的問(wèn)題，能有有效地提高產(chǎn)品的良品率。

圖1是本實(shí)用新型的膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的具體實(shí)施方式
。[0015]圖1為本實(shí)用新型的膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)的示意圖，請(qǐng)參見圖1所示。本實(shí)用新型的一種膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)主要由一工作臺(tái)6和位于該工作臺(tái)6的正上方的一垂直設(shè)置的超聲波探頭1。其中，工作臺(tái)6分為兩層，上層4的面積小于下層5的面積，上層4與所述下層5的形狀均可為厚度較薄的矩形臺(tái)。該工作臺(tái)6水平置于一平臺(tái)3上，平臺(tái)3上固定有支架2，超聲波探頭1固定在支架2上。其中，上述支架2與平臺(tái)3的材料均可以為大理石。綜上所述，本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，通過(guò)該結(jié)構(gòu)的能夠裝置以自動(dòng)對(duì)基片膜厚進(jìn)行探測(cè)，減少人工檢測(cè)導(dǎo)致的精度不高的問(wèn)題，能有有效地提高產(chǎn)品的良品率。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，包括一工作臺(tái)，其特征在于，所述工作臺(tái)的正上方設(shè)有一垂直設(shè)置的超聲波探頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述工作臺(tái)分為上層和下層，所述上層面積小于所述下層面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括一平臺(tái)，所述工作臺(tái)水平置于所述平臺(tái)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括支架，所述超聲波探頭固定在所述支架上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上層與所述下層均為厚度較薄的矩形臺(tái)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支架與所述平臺(tái)的材料均為大理石。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，包括一工作臺(tái)，其中，所述工作臺(tái)的正上方設(shè)有一垂直設(shè)置的超聲波探頭。本實(shí)用新型膜厚檢測(cè)探頭結(jié)構(gòu)，通過(guò)該裝置能夠自動(dòng)對(duì)基片的缺陷和污染進(jìn)行探測(cè)，減少人工檢測(cè)導(dǎo)致的精度不高的問(wèn)題，能有有效地提高產(chǎn)品的良品率。
文檔編號(hào)G01B17/02GK202229742SQ201120265430
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月26日
發(fā)明者丁天祥, 李正賢 申請(qǐng)人:上海卓晶半導(dǎo)體科技有限公司