技術編號：5919718
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種制造業(yè)檢測結構，尤其涉及一種能夠檢測膜厚的探頭結構。 背景技術膜厚探頭檢測裝置是對基片膜厚的檢測類設備。通過外置機械手自動傳輸基片進行無接觸式檢測，并根據(jù)檢測結果分別的放進不同定義的片盒內的一種必要檢測過程。用戶可以將不同參數(shù)的基片進行后續(xù)的再加工、銷售和選用，能實時的為用戶提供準確數(shù)據(jù)并自動分類，便于用戶方便設置。但是，在國內，目前沒有單位生產、提供類似的產品，國外制造公司也主要集中在不多的幾家公司，且售價很高(平均約30萬美元)。而國...
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