膜厚的檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本申請涉及膜厚的檢測領域，具體而言，涉及一種膜厚的檢測裝置。
【背景技術】
[0002]在金融領域中，驗鈔機、ATM機與清分機通過各種方式對紙幣的真?zhèn)芜M行鑒別并篩選，其中，很多都是通過對紙幣的厚度的檢測來辨別紙幣的真?zhèn)?。而紙幣厚度的檢測大多都采用壓輪的檢測方式，即紙幣通過壓輪時，測量壓輪的間隙，進而通過間隙來判斷紙幣的厚度。這種檢測方式存在很多缺點，包括檢測結構龐大、分辨率不高、高速送入紙幣時容易造成卡鈔，且檢測精度較低，例如，當紙幣上貼有較小的異物時，不容易檢測出來。

【發(fā)明內容】

[0003]本申請的主要目的在于提供一種膜厚的檢測裝置，以解決現有技術中的檢測裝置龐大且檢測精度較低的問題。
[0004]為了實現上述目的，根據本申請的一個方面，提供了一種膜厚的檢測裝置，該檢測裝置包括至少一個公共電極與至少一個檢測芯片，其中，各上述檢測芯片包括:檢測電極陣列，與上述公共電極在第一方向上相對且間隔設置，上述公共電極與上述檢測電極陣列之間的間隔構成待測膜的傳輸通道，上述檢測電極陣列包括多個檢測電極;復位單元，與上述檢測電極陣列中的各上述檢測電極電連接，用于將各上述檢測電極的電信號進行復位;初始放大單元，與上述檢測電極陣列中的各上述檢測電極電連接，上述初始放大單元用于放大各上述檢測電極的電信號;移位控制單元，與上述初始放大單元電連接，上述移位控制單元用于控制放大后的多個上述電信號的輸出順序;掃描位總線，包括多個掃描連接點，一個上述掃描連接點與上述移位控制單元電連接;邏輯控制單元，用于接收外界的輸入信號、產生控制上述檢測芯片的控制信號與輸出檢測信號。
[0005]進一步地，上述檢測芯片還包括:增益放大單元，包括第一輸入端與第二輸入端，上述第一輸入端與一個上述掃描連接點電連接。
[0006]進一步地，上述初始放大單元為初始放大器陣列，上述初始放大器陣列包括多個初始放大器，上述初始放大器與上述檢測電極一一對應，各上述初始放大器的輸入端與對應的檢測電極電連接。
[0007]進一步地，上述復位單元為復位開關陣列，上述復位開關陣列包括多個復位開關，上述復位開關與上述檢測電極一一對應，各上述復位開關包括復位開關第一端、復位開關第二端與復位開關第三端，各上述復位開關第一端接入固定電壓，上各述復位開關第二端接入復位信號，各上述復位開關第三端與對應的檢測電極電連接，上述復位信號控制上述復位開關接通，將對應的上述檢測電極的電信號進行復位。
[0008]進一步地，上述移位控制單元包括:移位開關陣列，包括多個移位開關，上述移位開關與上述初始放大器一一對應，各上述移位開關包括移位開關第一端、移位開關第二端與移位開關第三端，各上述移位開關第一端與對應的初始放大器的輸出端電連接;移位控制電路與各上述移位開關第二端電連接，上述移位控制電路用于控制各上述移位開關的接通與關斷。
[0009]進一步地，上述檢測芯片還包括:掃描存儲開關陣列，包括多個掃描存儲開關，上述掃描存儲開關與上述初始放大器一一對應，各上述掃描存儲開關包括掃描存儲開關第一端、掃描存儲開關第二端與掃描存儲開關第三端，各上述掃描存儲開關第一端與對應的初始放大器的輸出端電連接，各上述掃描存儲開關第二端接入掃描開關信號；掃描存儲電容陣列，包括多個掃描存儲電容，上述掃描存儲電容包括掃描電容第一端與掃描電容第二端，上述掃描存儲電容與上述掃描存儲開關一一對應，各上述掃描電容第一端電連接在對應的掃描存儲開關第三端與對應的移位開關第一端之間，各上述掃描電容第二端接地，各上述掃描存儲電容用于存儲對應的初始放大器在掃描對應的檢測電極時的輸出電信號。
[0010]進一步地，上述檢測芯片還包括:掃描位總線鉗位開關，包括掃描鉗位開關第一端、掃描鉗位開關第二端與掃描鉗位開關第三端，上述掃描鉗位開關第一端電連接在上述掃描位總線與上述第一輸入端之間，上述掃描鉗位開關第二端接入鉗位開關信號，上述掃描鉗位開關第三端接入固定電壓Vc，在讀取各上述掃描存儲電容的電信號前，上述鉗位開關信號控制上述掃描位總線鉗位開關接通，將上述掃描位總線的電壓鉗位到電壓Vc。
[0011 ]進一步地，上述增益放大單元包括:增益放大器，包括兩個輸入端與一個輸出端，兩個輸入端分別對應上述第一輸入端與上述第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線電連接;基準電壓取樣電路，與上述第二輸入端電連接，上述基準電壓取樣電路用于調節(jié)上述增益放大器的輸出電信號;輸出緩沖電路，上述輸出緩沖電路的輸入端與上述增益放大器的上述輸出端電連接，用于增加上述增益放大器的輸出信號的驅動能力。
[0012]進一步地，上述移位開關陣列包括多對移位開關，多對上述移位開關與多個上述初始放大器對應，每對移位開關包括兩個移位開關，分別是第一移位開關與第二移位開關，各上述第一移位開關包括第一移位開關第一端、第一移位開關第二端與第一移位開關第三端;各上述第二移位開關包括第二移位開關第一端、第二移位開關第二端與第二移位開關第三端，其中，各上述第一移位開關第一端與對應的掃描電容第一端電連接，各上述第一移位開關第三端與上述掃描位總線電連接，各上述第一移位開關第二端與上述移位控制電路電連接，且上述檢測芯片還包括:復位存儲開關陣列，包括多個復位存儲開關，上述復位存儲開關與上述初始放大器一一對應，各上述復位存儲開關包括復位存儲開關第一端、復位存儲開關第二端與復位存儲開關第三端，各上述復位存儲開關第一端與對應的初始放大器的輸出端電連接，各上述復位存儲開關第二端接入復位開關信號;復位存儲電容陣列，包括多個復位存儲電容，上述復位存儲電容與上述復位存儲開關一一對應，各上述復位存儲電容包括復位電容第一端與復位電容第二端，各上述復位電容第一端電連接在對應的復位存儲開關第三端與對應的第二移位開關第一端之間，各上述復位電容第二端接地，各上述復位存儲電容用于存儲對應的初始放大器在復位對應的檢測電極時的輸出電信號；復位位總線，包括多個復位連接點，一個上述復位連接點電連接在各上述第二移位開關第三端與上述第二輸入端，或者一個上述復位連接點與各上述第二移位開關第三端電連接，另一個上述復位連接點與上述第二輸入端電連接。
[0013]進一步地，上述檢測芯片還包括:復位位總線鉗位開關，包括復位鉗位開關第一端、復位鉗位開關第二端與復位鉗位開關第三端，上述復位鉗位開關第一端電連接在上述復位位總線與上述第二輸入端之間，上述復位鉗位開關第二端接入上述鉗位開關信號，上述復位鉗位開關第三端接入固定電壓Vc，在讀取各上述復位存儲電容的電信號前，上述鉗位開關信號控制上述復位位總線鉗位開關接通，將上述復位位總線的電壓鉗位到電壓Vc。
[0014]進一步地，上述增益放大單元包括:增益放大器，包括兩個輸入端與一個輸出端，兩個輸入端分別對應上述第一輸入端與上述第二輸入端，上述第一輸入端與上述掃描位總線電連接，上述第二輸入端與上述復位位總線電連接;基準電壓取樣電路，用于調節(jié)上述增益放大器的輸出電信號;輸出緩沖電路，上述輸出緩沖電路的一個輸入端與上述增益放大器的上述輸出端電連接，用于增加上述增益放大器的輸出信號的驅動能力。
[0015]進一步地，上述基準電壓取樣電路的基準電信號為基準電壓，上述Vc與上述基準電壓相同。
[0016]進一步地，上述邏輯控制單元包括輸入引腳與輸出引腳，其中，上述輸出引腳為掃描結束信號引腳，當掃描結束時，用于輸出脈沖信號，上述輸入引腳包括:時鐘信號引腳，用于為上述邏輯控制單元提供一個穩(wěn)定的頻率信號；掃描啟動信號引腳，用于輸入掃描啟動信號；第一芯片選擇引腳，用于控制上述檢測芯片的檢測信號輸出的啟動是由同一個上述檢測芯片中的上述移位控制單元控制還是由與上述檢測芯片連接的另一個上述檢測芯片的上述輸出引腳控制;分辨率選擇引腳，用于控制上述檢測芯片的厚度檢測分辨率。
[0017]進一步地，上述檢測芯片由結構膜層形成，上述結構膜層包括:基板；以及絕緣膜，設置于上述基板的表面上，上述絕緣膜中包括與上述基板接觸設置的第一絕緣層，上述第一絕緣層為氧化絕緣層，上述檢測電極陣列設置在上述絕緣膜的遠離上述基板的表面上。
[0018]進一步地，上述檢測電極為窄條狀電極，上述窄條狀電極在第二方向上的最大寬度小于在第三方向上的最大寬度，上述第二方向和上述第三方向均與上述第一方向垂直，且上述第三方向為上述待測膜的移動方向。
[0019]進一步地，至少一個上述檢測電極包括多個頂電極與底電極區(qū)域，上述底電極區(qū)域設置在上述絕緣膜中，上述底電極區(qū)域與上述基板不接觸設置，上述絕緣膜的遠離上述基板的表面開設有多個過孔，上述頂電極與上述過孔一一對應，各上述頂電極與上述底電極區(qū)域通過對應的過孔電連接。
[0020]進一步地，上述絕緣膜包括:第二絕緣層，設置在上述第一絕緣層的遠離上述基板的表面上；以及第三絕緣層，設置于上述第二絕緣層的遠離上述第一絕緣層的表面上。
[0021]進一步地，上述底電極區(qū)域設置在上述第三絕緣層中，多個上述過孔開設于上述第三絕緣層的遠離上述第二絕緣層的表面。
[0022]進一步地，上述結構膜層還包括:保護層，覆蓋各上述檢測電極的裸露表面與上述絕緣膜的裸露表面。
[0023]應用本申請的技術方案，檢測裝置將檢測電極陣列、復位單元、初始放大單元、移位控制單元、掃描位總線與邏輯控制單元集成在一個檢測芯片上，使得膜厚的檢測裝置體積較小，避免了現有技術中的檢測裝置體積龐大導致的檢測不便的問題，并且，該檢測芯片中包括復位單元，進行紙幣檢測前，即檢測各檢測電極的電信號前，該復位開關陣列將各檢測電極的電信號復位，避免檢測前，檢測電極上的電信號會影響檢測值，進而避免檢測結果不精確，提尚了檢測裝置的檢測精度。
【附圖說明】
[0024]構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本申請的進一步理解，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中:
[0025]圖1示出了本申請一種實施例提供的檢測裝置的局部結構框圖；
[0026]圖2示出了本申請實施例1提供的檢測裝置的局部電路結構示意圖；
[0027]圖3示出了本申請實施例2提供的檢測裝置的局部電路結構示意圖；
[0028]圖4示出了本申請實施例3提供的檢測裝置的局部電路結構示意圖；
[0029]圖5示出了本申請一