專利名稱：晶粒外觀檢查機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種檢查機(jī)，特別是涉及一種晶粒外觀檢查機(jī)。
背景技術(shù)：
如圖1所示，以往在晶圓切割后為了檢查晶粒是否不良，作業(yè)員需利用一個顯微鏡1來檢查數(shù)個粘附于一張膠膜2的晶粒201，以對不良的晶粒201做標(biāo)記，或利用一個吸筆裝置3將不良的晶粒201吸除，雖然，由作業(yè)員來判別不良晶粒201的準(zhǔn)確性很高，但是， 作業(yè)員通過該顯微鏡1來做人工檢查的速度很慢，并且可能發(fā)生重復(fù)檢查相同晶粒201的情形，此外，由于人眼容易疲勞，因此，往往也會在檢查后發(fā)生誤標(biāo)記到良好的晶粒201或誤移除良好的晶粒201的問題。如圖2所示，為現(xiàn)有一種可自動判別晶粒外觀的晶粒外觀檢查機(jī)，包含一個可沿X 軸方向與Y軸方向移動并可繞ζ軸方向轉(zhuǎn)動的工作臺4、一個取像單元5、一個具有吸嘴601 的移除單元6，及一個可控制該工作臺4、該取像單元5與該移除單元6的中央處理單元7， 當(dāng)作業(yè)員將粘附有所述晶粒201的膠膜2擺置于該工作臺4后，該中央處理單元7會先進(jìn)行晶粒自動對正程序與校正機(jī)器原點坐標(biāo)的程序；接著，該中央處理單元7會控制該取像單元5去掃瞄拍攝所述晶粒201的影像；接著，該中央處理單元7會定位出每一個晶粒201 的坐標(biāo)位置，并通過影像比對軟件將所述晶粒201的影像與內(nèi)建的樣本影像進(jìn)行比對，以自動判別所述晶粒201是否不良；最后，該中央處理單元7會控制該移除單元6將不良的晶粒201移除。雖然，此種晶粒外觀檢查機(jī)可利用影像比對軟件來自動判別所述晶粒201是否不良，然而，在實務(wù)上由于軟件判別的準(zhǔn)確性并無法達(dá)到人工檢查的100%，因此，最后仍是要如圖1所示一般，再由作業(yè)員通過該顯微鏡1對剩下的晶粒201進(jìn)行復(fù)檢，并以人工挑除其中的不良晶粒201，此外，這種晶粒外觀檢查機(jī)在檢查不同批或不同規(guī)格的晶粒時，均需重新進(jìn)行一次影像比對軟件的設(shè)定作業(yè)或教學(xué)程序，相當(dāng)費時且麻煩。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種判別準(zhǔn)確性佳且作業(yè)方便的晶粒外觀檢查機(jī)。本實用新型晶粒外觀檢查機(jī)，適用于檢查數(shù)個粘附于一張膠膜的晶粒，包含一個機(jī)臺單元、一個工作臺單元、一個取像單元、一個中央處理單元，及一個檢視單元。該工作臺單元設(shè)置于該機(jī)臺單元，該工作臺單元供黏附有所述晶粒的膠膜擺置定位。該取像單元設(shè)置于該機(jī)臺單元，該取像單元拍攝所述晶粒的影像。該中央處理單元與該取像單元電連接， 該中央處理單元根據(jù)所述晶粒的影像對所述晶粒分別定義出一個坐標(biāo)位置。該檢視單元與該中央處理單元電連接，該檢視單元具有一個顯示所述晶粒的影像的觸控屏幕。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該檢視單元還具有一個鼠標(biāo)。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個設(shè)置于該機(jī)臺單元與該工作臺單元之間的移動單元，該移動單元具有一個第一移動裝置，及一個第二移動裝置，該第一移動裝置設(shè)置于該機(jī)臺單元，并具有一個沿一個第一方向移動的第一移動部， 該第二移動裝置設(shè)置于該第一移動部，并具有一個沿一個垂直于所述第一方向的第二方向移動的第二移動部，該工作臺單元設(shè)置于該第二移動部。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個與該中央處理單元電連接的移除單元，該移除單元具有一個設(shè)置于該機(jī)架單元的移載機(jī)構(gòu)，及一個設(shè)置于該移載機(jī)構(gòu)的吸取裝置。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該移載機(jī)構(gòu)具有一個第三移動裝置，及一個第四移動裝置，該第三移動裝置設(shè)置于該機(jī)臺單元，并具有一個沿該第一方向移動的第三移動部，該第四移動裝置設(shè)置于該第三移動部，并具有一個沿一個垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移動的第四移動部，該吸取裝置設(shè)置于該第四移動部。較佳地，所述晶粒外觀檢查機(jī)中，該中央處理單元可將所述晶粒的影像分區(qū)顯示于該觸控屏幕地電連接于該檢視單元。本實用新型的有益效果在于利用該取像單元去掃瞄拍攝所述晶粒的影像，并將所述晶粒的影像顯示于該觸控屏幕，以供作業(yè)員準(zhǔn)確地進(jìn)行檢查。

圖1是現(xiàn)有作業(yè)員利用一個顯微鏡來檢查晶粒的平面示意圖；圖2現(xiàn)有一種晶粒外觀檢查機(jī)的平面示意圖；圖3是本實用新型的晶粒外觀檢查機(jī)一較佳實施例的平面示意圖；圖4是作業(yè)員通過該較佳實施例的一個觸控屏幕來檢查晶粒并直接在該觸控屏幕上點選出不良晶粒的作業(yè)示意圖；圖5是作業(yè)員通過該觸控屏幕來檢查晶粒并利用該較佳實施例的一個鼠標(biāo)在該觸控屏幕上點選出不良晶粒的作業(yè)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。有關(guān)本實用新型的前述及其它技術(shù)內(nèi)容、特點與功效，在以下配合參考附圖的一較佳實施例的詳細(xì)說明中，將可清楚地明白。參閱圖3，為本實用新型晶粒外觀檢查機(jī)的較佳實施例，該晶粒外觀檢查機(jī)適用于檢查數(shù)個粘附于一張膠膜100的晶粒200，并包含一個機(jī)臺單元10、一個移動單元20、一個工作臺單元30、一個取像單元40、一個中央處理單元50、一個檢視單元60，及一個移除單元70。 該移動單元20設(shè)置于該機(jī)臺單元10與該工作臺單元30之間，該移動單元20具有一個第一移動裝置21，及一個第二移動裝置22，該第一移動裝置21設(shè)置于該機(jī)臺單元10， 并具有一個可沿一個第一方向X移動的第一移動部211，該第二移動裝置22設(shè)置于該第一移動部211，并具有一個可沿一個垂直于第一方向X的第二方向Y移動的第二移動部221。 該工作臺單元30可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于該第二移動部221，而位于該機(jī)臺單元10上，該工作臺單元30可供黏附有所述晶粒200的膠膜100擺置定位。在本實施例中，該工作臺單元30可繞一個垂直于第一方向X、第二方向Y的第三方向Z轉(zhuǎn)動。[0023]該取像單元40設(shè)置于該機(jī)臺單元10，該取像單元40可拍攝所述晶粒200的影像。 在本實施例中，該取像單元40是一種攝影機(jī)。該中央處理單元50與該移動單元20、該工作臺單元30、該取像單元40、該檢視單元60與該移除單元70電連接，該中央處理單元50可根據(jù)所述晶粒200的影像對所述晶粒 200分別定義出一個坐標(biāo)位置。該檢視單元60與該中央處理單元50電連接，該檢視單元60具有一個顯示所述晶粒200的影像的觸控屏幕61，及一個鼠標(biāo)62。在本實施例中，該中央處理單元50可將所述晶粒200的影像分區(qū)顯示于該觸控屏幕61。該移除單元70與該中央處理單元50電連接，該移除單元70具有一個設(shè)置于該機(jī)架單元10的移載機(jī)構(gòu)71，及一個設(shè)置于該移載機(jī)構(gòu)71的吸取裝置72。該移載機(jī)構(gòu)71具有一個第三移動裝置73，及一個第四移動裝置74，該第三移動裝置73設(shè)置于該機(jī)臺單元10，并具有一個可沿第一方向X移動的第三移動部731，該第四移動裝置74設(shè)置于該第三移動部731，并具有一個可沿第三方向Z移動的第四移動部741。該吸取裝置72設(shè)置于該第四移動部741，并具有一個吸嘴721。借此，如圖4、5所示，當(dāng)要檢查所述晶粒200的外觀時，該中央處理單元50會先進(jìn)行晶粒自動對正程序與校正機(jī)器原點坐標(biāo)的程序；接著，該中央處理單50會控制該移動單元20與該取像單元40，讓該取像單元40去掃瞄拍攝所述晶粒200的影像；接著，該中央處理單元50會根據(jù)所述晶粒200的影像對每一個晶粒200定義出該坐標(biāo)位置；接著，該中央處理單元50會將所述晶粒200的影像分區(qū)放大顯示于該觸控屏幕61，以供作業(yè)員檢查所述晶粒200是否不良；接著，作業(yè)員可在該觸控屏幕61上直接點選出不良的晶粒200或利用該鼠標(biāo)62點選出不良的晶粒200，在此過程中，該中央處理單元50會記錄不良晶粒200的坐標(biāo)位置；最后，該中央處理單元50會根據(jù)不良晶粒200的坐標(biāo)位置，控制該移動單元20 與該移除單元70，讓該移除單元70將不良的晶粒200準(zhǔn)確地移除。要說明的是，本實用新型也可取消該移除單元70的設(shè)置，而在該中央處理單元50 記錄不良晶粒200的坐標(biāo)位置后，將不良晶粒200的坐標(biāo)位置數(shù)據(jù)輸出，以供使用者在另一臺移除機(jī)器根據(jù)這些坐標(biāo)位置數(shù)據(jù)，進(jìn)行不良晶粒200的移除作業(yè)。經(jīng)由以上的說明，可再將本實用新型的優(yōu)點歸納如下一、本實用新型是利用該取像單元40去掃瞄拍攝所述晶粒200的影像，而可快速地完成所述晶粒200的取像作業(yè)，并可將所述晶粒200的影像顯示于該觸控屏幕61，供作業(yè)員檢查，相較于現(xiàn)有作業(yè)員利用顯微鏡檢查的方式，不但作業(yè)員不易發(fā)生眼睛疲勞的情形， 而且，由于所述晶粒200的影像是自動分區(qū)放大顯示于該觸控屏幕61，因此，作業(yè)員可快速且正確地對每一個晶粒200進(jìn)行檢查，并且不會發(fā)生重復(fù)檢查或誤標(biāo)記的問題。二、此外，由于本實用新型是讓作業(yè)員觀看該觸控屏幕61顯示的影像來判別所述晶粒200是否不良，因此，本實用新型判別的準(zhǔn)確性會遠(yuǎn)高于現(xiàn)有技術(shù)利用影像比對軟件來判別的準(zhǔn)確性，而且在檢查不同批或不同規(guī)格的晶粒時，本實用新型也完全不需重新進(jìn)行現(xiàn)有比對軟件的設(shè)定作業(yè)，在作業(yè)上相當(dāng)省時且方便。綜上所述，本實用新型的晶粒外觀檢查機(jī)，不但判別準(zhǔn)確性佳且作業(yè)快速、方便， 所以確實能達(dá)成本實用新型的目的。
權(quán)利要求1.一種晶粒外觀檢查機(jī)，適用于檢查數(shù)個粘附于一張膠膜的晶粒，其特征在于該晶粒外觀檢查機(jī)包含一個機(jī)臺單元、一個供黏附有所述晶粒的膠膜擺置定位的工作臺單元、 一個用于拍攝所述晶粒的影像的取像單元、一個根據(jù)所述晶粒的影像對所述晶粒分別定義出一個坐標(biāo)位置的中央處理單元，及一個檢視單元；該工作臺單元，設(shè)置于該機(jī)臺單元；該取像單元，設(shè)置于該機(jī)臺單元；該中央處理單元，與該取像單元電連接；該檢視單元，與該中央處理單元電連接，該檢視單元具有一個顯示所述晶粒的影像的觸控屏幕。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該檢視單元還具有一個鼠標(biāo)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個設(shè)置于該機(jī)臺單元與該工作臺單元之間的移動單元，該移動單元具有一個第一移動裝置，及一個第二移動裝置，該第一移動裝置設(shè)置于該機(jī)臺單元，并具有一個沿一個第一方向移動的第一移動部，該第二移動裝置設(shè)置于該第一移動部，并具有一個沿一個垂直于所述第一方向的第二方向移動的第二移動部，該工作臺單元設(shè)置于該第二移動部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該晶粒外觀檢查機(jī)還包含一個與該中央處理單元電連接的移除單元，該移除單元具有一個設(shè)置于該機(jī)架單元的移載機(jī)構(gòu)，及一個設(shè)置于該移載機(jī)構(gòu)的吸取裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該移載機(jī)構(gòu)具有一個第三移動裝置，及一個第四移動裝置，該第三移動裝置設(shè)置于該機(jī)臺單元，并具有一個沿該第一方向移動的第三移動部，該第四移動裝置設(shè)置于該第三移動部，并具有一個沿一個垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移動的第四移動部，該吸取裝置設(shè)置于該第四移動部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶粒外觀檢查機(jī)，其特征在于該中央處理單元可將所述晶粒的影像分區(qū)顯示于該觸控屏幕地電連接于該檢視單元。
專利摘要一種晶粒外觀檢查機(jī)，適用于檢查數(shù)個粘附于一張膠膜的晶粒，包含一個機(jī)臺單元、一個設(shè)置于該機(jī)臺單元并可供粘附有所述晶粒的膠膜擺置定位的工作臺單元、一個設(shè)置于該機(jī)臺單元并可拍攝所述晶粒的影像的取像單元、一個與該取像單元電連接的中央處理單元，及一個與該中央處理單元電連接的檢視單元，該中央處理單元根據(jù)所述晶粒的影像對所述晶粒分別定義出一個坐標(biāo)位置，該檢視單元具有一個顯示所述晶粒的影像的觸控屏幕。
文檔編號G01N21/88GK201955309SQ201120037829
公開日2011年8月31日 申請日期2011年2月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月14日
發(fā)明者陳冠男, 陳清涼 申請人:富振昌科技股份有限公司