專利名稱：三維微位相差膜的檢測方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光學(xué)薄膜檢測方法，特別是指一種三維微位相差膜 (micro-retardation film)的檢測方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的三維微位相差膜的檢測技術(shù)，利用一個(gè)光罩(mask)將一個(gè)三維微位相差膜的一個(gè)單一位相差(retardation)區(qū)域之外的區(qū)域遮住，再利用位相差儀器量測對(duì)應(yīng)于該三維微位相差膜的位相差值。請(qǐng)參閱圖1，假設(shè)該三維微位相差膜對(duì)應(yīng)一個(gè)結(jié)構(gòu)紋理(texture)圖樣1，該結(jié)構(gòu)紋理圖樣1內(nèi)具有多個(gè)線條圖案11、12，假設(shè)該單一位相差區(qū)域?yàn)樵摱鄠€(gè)線條圖案11對(duì)應(yīng)的區(qū)域，則該光罩需遮住該多個(gè)線條圖案12對(duì)應(yīng)的區(qū)域。由此可知，當(dāng)該多個(gè)線條圖案11 的寬度(pitch，標(biāo)示為P)有所改變時(shí)，所需的光罩也隨之不同；換言之，在現(xiàn)有的三維微位相差膜的檢測技術(shù)中，對(duì)于對(duì)應(yīng)不同寬度P的單一位相差區(qū)域，必需利用位相差儀器配合不同的光罩來進(jìn)行量測。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的，即在提供一種不需位相差儀器及光罩的三維微位相差膜的檢測方法。于是，本發(fā)明三維微位相差膜的檢測方法，利用一個(gè)處理單元配合一個(gè)影像擷取單元來執(zhí)行，該影像擷取單元用以擷取對(duì)應(yīng)于一個(gè)待檢測的三維微位相差膜的一個(gè)待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，該方法包含下列步驟(A)接收該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，其中，該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像包括多個(gè)像素；(B)根據(jù)該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一色階，求得對(duì)應(yīng)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的一個(gè)第一色階分布資訊；(C)根據(jù)步驟(B)所求得的該第一色階分布資訊，配合一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，求得一個(gè)第一色差指標(biāo)；及(D)輸出對(duì)應(yīng)于步驟(C)所求得的該第一色差指標(biāo)的檢測結(jié)果。本發(fā)明的另一目的，即在提供一種三維微位相差膜的檢測系統(tǒng)。于是，本發(fā)明三維微位相差膜的檢測系統(tǒng)包含一個(gè)影像擷取單元，及一個(gè)處理單元。該影像擷取單元用以擷取對(duì)應(yīng)于一個(gè)待檢測的三維微位相差膜的一個(gè)待檢測的微結(jié)構(gòu)影像。該處理單元用以進(jìn)行接收該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，其中，該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像包括多個(gè)像素；根據(jù)該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一色階，求得對(duì)應(yīng)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的一個(gè)第一色階分布資訊；根據(jù)該第一色階分布資訊配合一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，求得一個(gè)第一色差指標(biāo)；及輸出對(duì)應(yīng)于該第一色差指標(biāo)的檢測結(jié)
本發(fā)明的功效在于藉由該第一色差指標(biāo)，即可進(jìn)行關(guān)于該待檢測的三維微位相差膜的檢測，對(duì)于對(duì)應(yīng)不同線條圖案寬度的三維微位相差膜，不須額外地利用位相差儀器配合各種不同的光罩來進(jìn)行量測。于本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與精神可以由以下的


及具體實(shí)施方式
詳述得到進(jìn)一步的了解。

圖1是一示意圖，說明一個(gè)三維微位相差膜所對(duì)應(yīng)的一個(gè)結(jié)構(gòu)紋理圖樣；圖2是一方塊圖，說明本發(fā)明三維微位相差膜的檢測系統(tǒng)的一個(gè)較佳實(shí)施例；圖3a至圖3g是一示意圖，說明對(duì)應(yīng)于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的三維微位相差膜的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像、一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)分布圖、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)分布圖、一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)分布圖、一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列分布圖、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列分布圖，及一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列分布圖；及圖4是一流程圖，說明本發(fā)明三維微位相差膜的檢測方法的一個(gè)較佳實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式有關(guān)本發(fā)明的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配合參考圖式的較佳實(shí)施例的詳細(xì)說明中，將可清楚的呈現(xiàn)。請(qǐng)參閱圖2及圖3a至圖3g，本發(fā)明三維微位相差膜的檢測系統(tǒng)2的一個(gè)較佳實(shí)施例包含一個(gè)光學(xué)顯微鏡21、一個(gè)第一偏光片22、一個(gè)第二偏光片23、一個(gè)光源24、一個(gè)影像擷取單元25，及一個(gè)處理單元26。該光源M用以提供朝該光學(xué)顯微鏡21行進(jìn)的光線。該第一偏光片22位于該光源M所提供的光線所形成的光路徑27上，且設(shè)置于該光源M與該光學(xué)顯微鏡21兩者之間，其中，該第一偏光片22對(duì)應(yīng)第一偏光軸。該第二偏光片23位于該光路徑27上，且設(shè)置于該第一偏光片22與該光學(xué)顯微鏡21兩者之間，其中，該第二偏光片23對(duì)應(yīng)第二偏光軸。在檢測過程中，三維微位相差膜3被置于該第一偏光片22及該第二偏光片23之間，且該第一偏光軸與該第二偏光軸呈一特定角度，以使該影像擷取單元25可擷取到對(duì)應(yīng)于三維微位相差膜3的微結(jié)構(gòu)影像。在本較佳實(shí)施例中，該第一偏光片22所對(duì)應(yīng)的該第一偏光軸為固定軸向的，該第二偏光片23所對(duì)應(yīng)的該第二偏光軸為可調(diào)軸向的。舉例來說，假設(shè)該影像擷取單元25所擷取的對(duì)應(yīng)于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的(standard)三維微位相差膜3的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31如圖3所示，該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31內(nèi)的多個(gè)線條圖案311、312平行于第一方向Li，且沿著垂直于該第一方向Ll的第二方向L2排列；則該第一偏光軸固定為平行于該第一方向Li，該第二偏光軸調(diào)整為垂直于該第一方向Ll的該第二方向L2;S卩，在此范例中，該特定角度為90°。換言之，第二偏光片23所對(duì)應(yīng)的該第二偏光軸的調(diào)整，會(huì)隨著三維微位相差膜3 的結(jié)構(gòu)紋理不同而有所不同，其調(diào)整的目的即是為了使該影像擷取單元25可清楚地?cái)X取到對(duì)應(yīng)于三維微位相差膜3的微結(jié)構(gòu)影像。該處理單元沈用以接收對(duì)應(yīng)于三維微位相差膜3的微結(jié)構(gòu)影像，并用以根據(jù)其接收到的微結(jié)構(gòu)影像進(jìn)行檢測。值得一提的是，由于三維微位相差膜3的液晶涂布(coating)厚度會(huì)影響其對(duì)應(yīng)的微結(jié)構(gòu)影像內(nèi)顏色分布特性；若兩個(gè)三維微位相差膜3的顏色分布特性相近，表示此兩個(gè)三維微位相差膜3分別對(duì)應(yīng)的兩個(gè)位相差值相近?；诖爽F(xiàn)象，我們可藉由分析微結(jié)構(gòu)影像，以檢測三維微位相差膜3對(duì)應(yīng)的位相差值是否符合預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)。請(qǐng)參閱圖2、圖3a至圖3g及圖4，以下配合本發(fā)明三維微位相差膜的檢測方法的一個(gè)較佳實(shí)施例，進(jìn)一步說明該處理單元26配合該影像擷取單元25所執(zhí)行的步驟。在步驟401中，延用以上范例，該影像擷取單元25擷取對(duì)應(yīng)于該標(biāo)準(zhǔn)的三維微位相差膜3的該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31。其中，所述的標(biāo)準(zhǔn)的三維微位相差膜3所對(duì)應(yīng)的位相差值為符合實(shí)際應(yīng)用需求的一預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)值；該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31內(nèi)的線條圖案311、312 可區(qū)分為暗態(tài)(dark state)的線條圖案311，及亮態(tài)(bright state)的線條圖案312，該多個(gè)線條圖案311、312的分布與該標(biāo)準(zhǔn)的三維微位相差膜3的液晶涂布厚度有關(guān)；其中，所述的標(biāo)準(zhǔn)的三維微位相差膜3所對(duì)應(yīng)的位相差值尤其與該多個(gè)暗態(tài)的線條圖案311強(qiáng)相關(guān)。在步驟402中，該處理單元沈接收該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31 ；其中，該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31包括多個(gè)像素(pixel)。在步驟403中，該處理單元沈根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階(gray level)、多個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階，及多個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階，求得對(duì)應(yīng)于該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31的一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，與一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，以及一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)門檻值(threshold)、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)門檻值，與一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)門檻值。其中，該多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階、該多個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階，及該多個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階分別屬于色彩空間(color space)中的三種顏色成分(color component)；在本較佳實(shí)施例中，該多個(gè)顏色成分分別為紅色(R)成分、綠色(G)成分，及藍(lán)色(B)成分。其中，對(duì)于該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31的每一像素而言，其對(duì)應(yīng)的該第一標(biāo)準(zhǔn)色階為已知的多個(gè)連續(xù)色階的其中一者，其對(duì)應(yīng)的該第二標(biāo)準(zhǔn)色階為該多個(gè)連續(xù)色階的其中一者，其對(duì)應(yīng)的該第三標(biāo)準(zhǔn)色階為該多個(gè)連續(xù)色階的其中一者；在本較佳實(shí)施例中，該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31的每一像素以M位元(bit)來表現(xiàn)其值，每一顏色成分各以8位元來表現(xiàn)其色階；更進(jìn)一步來說，該多個(gè)連續(xù)色階的值域?yàn)? 255，即，該多個(gè)連續(xù)色階的一下限值為0，該多個(gè)連續(xù)色階的一上限值為255。其中，步驟403包括下列子步驟(403-1)根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的該多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階、該多個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階，與該多個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階，求得一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，與一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊；其中，該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊即為該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31分別于該多個(gè)顏色成分(R、G、B)的影像色階-像素統(tǒng)計(jì)(image histogram)資訊；該第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊包括該多個(gè)連續(xù)色階分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)像素統(tǒng)計(jì)值，該第二標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊包括該多個(gè)連續(xù)色階分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)像素統(tǒng)計(jì)值，該第三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊包括該多個(gè)連續(xù)色階分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)像素統(tǒng)計(jì)值；如圖北至圖3d所示，該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊分別以一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)分布圖32、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)分布圖33，及一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)分布圖34來示意；該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)分布圖32、33及34中的橫軸坐標(biāo)代表該多個(gè)連續(xù)色階(值域?yàn)? 25 ，縱軸坐標(biāo)代表各連續(xù)色階于該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像31中出現(xiàn)的頻率(即，像素的統(tǒng)計(jì)數(shù)量)。(403-2)求得該多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階的一個(gè)平均值(average)以作該第一標(biāo)準(zhǔn)門檻值、求得該多個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階的一個(gè)平均值以作該第二標(biāo)準(zhǔn)門檻值，及求得該多個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階的一個(gè)平均值以作該第三標(biāo)準(zhǔn)門檻值。在步驟404中，該處理單元沈根據(jù)該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，及該第一、 二、三標(biāo)準(zhǔn)門檻值，得到一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列，及一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列，以及它們分別對(duì)應(yīng)的一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)函式、一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)函式，及一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)函式。其中，步驟404包括下列子步驟(404-1)根據(jù)該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，及該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)門檻值，得到該第一、二、三標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列，其等的條件式整理如式子(1) (3)。
權(quán)利要求
1.一種三維微位相差膜的檢測方法，利用一個(gè)處理單元配合一個(gè)影像擷取單元來執(zhí)行，該影像擷取單元用以擷取對(duì)應(yīng)于一個(gè)待檢測的三維微位相差膜的一個(gè)待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，其特征在于該方法包含下列步驟(A)接收該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，其中，該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像包括多個(gè)像素；(B)根據(jù)該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一色階，求得對(duì)應(yīng)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的一個(gè)第一色階分布資訊；(C)根據(jù)步驟(B)所求得的該第一色階分布資訊，配合一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，求得一個(gè)第一色差指標(biāo)；及(D)輸出對(duì)應(yīng)于步驟(C)所求得的該第一色差指標(biāo)的檢測結(jié)果。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于步驟(B)還根據(jù)該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第二色階及多個(gè)第三色階，分別求得對(duì)應(yīng)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的一個(gè)第二色階分布資訊及一個(gè)第三色階分布資訊，其中， 該多個(gè)第一色階、該多個(gè)第二色階，及該多個(gè)第三色階分別屬于色彩空間中的三種顏色成分；其中，步驟(C)還根據(jù)步驟(B)所求得的該第二色階分布資訊及該第三色階分布資訊， 配合一個(gè)第二標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊及一個(gè)第三標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，分別求得一個(gè)第二色差指標(biāo)及一個(gè)第三色差指標(biāo)；其中，步驟(D)輸出對(duì)應(yīng)于步驟(C)所求得的該第一色差指標(biāo)、該第二色差指標(biāo)，及該第三色差指標(biāo)的檢測結(jié)果。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于步驟(B)所述的該多個(gè)顏色成分分別為紅色成分、綠色成分，及藍(lán)色成分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于在步驟⑶中，對(duì)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的每一像素而言，其對(duì)應(yīng)的該第一色階為已知的多個(gè)連續(xù)色階的其中一者，該第一色階分布資訊包括該多個(gè)連續(xù)色階分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一像素統(tǒng)計(jì)值。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于該影像擷取單元還用以擷取對(duì)應(yīng)于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的三維微位相差膜的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像，該方法還包括步驟(C)之前的下列步驟(E)接收該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像，其中，該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像包括多個(gè)像素；(F)根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階，求得對(duì)應(yīng)于該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像的該第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，其中，該第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊包括該多個(gè)連續(xù)色階分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)像素統(tǒng)計(jì)值；(G)求得該標(biāo)準(zhǔn)的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的該多個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階的一個(gè)平均值，以作一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)門檻值；及(H)根據(jù)該第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，及該第一標(biāo)準(zhǔn)門檻值，得到一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于步驟(C)包括下列子步驟(c-1)求得該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的該多個(gè)第一色階的一個(gè)平均值，以作為一個(gè)第一門檻值；(c-2)根據(jù)該第一色階分布資訊，及該第一門檻值，得到一個(gè)第一暗態(tài)數(shù)列；及 (c-3)根據(jù)該第一暗態(tài)數(shù)列，及該第一標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列，求得該第一色差指標(biāo)。
7.依據(jù)申請(qǐng)專利范圍6所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于步驟(H)利用下列條件式，以得到該第一標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三維微位相差膜的檢測方法，其特征在于該第一暗態(tài)數(shù)列對(duì)應(yīng)于一第一函式，該第一標(biāo)準(zhǔn)暗態(tài)數(shù)列對(duì)應(yīng)于一第一標(biāo)準(zhǔn)函式，子步驟(el)利用下列式子求得該第一色差指標(biāo)
9.一種三維微位相差膜的檢測系統(tǒng)，其特征在于包含一個(gè)影像擷取單元，用以擷取對(duì)應(yīng)于一個(gè)待檢測的三維微位相差膜的一個(gè)待檢測的微結(jié)構(gòu)影像；及一個(gè)處理單元，用以進(jìn)行接收該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，其中，該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像包括多個(gè)像素； 根據(jù)該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一色階，求得對(duì)應(yīng)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的一個(gè)第一色階分布資訊；根據(jù)該第一色階分布資訊配合一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，求得一個(gè)第一色差指標(biāo)；及輸出對(duì)應(yīng)于該第一色差指標(biāo)的檢測結(jié)果。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的三維微位相差膜的檢測系統(tǒng)，其特征在于還包含 一個(gè)光學(xué)顯微鏡；一個(gè)光源，用以提供朝該光學(xué)顯微鏡行進(jìn)的光線；一個(gè)第一偏光片，位于該光源所提供的光線所形成的一光路徑上，且設(shè)置于該光源與該光學(xué)顯微鏡兩者之間，其中，該第一偏光片對(duì)應(yīng)一第一偏光軸；及一個(gè)第二偏光片，位于該光路徑上，且設(shè)置于該第一偏光片與該光學(xué)顯微鏡兩者之間， 其中，該第二偏光片對(duì)應(yīng)一第二偏光軸；其中，該待檢測的三維微位相差膜被置于該第一偏光片及該第二偏光片之間，且該第一偏光軸與該第二偏光軸呈一特定角度，以使該影像擷取單元可擷取到對(duì)應(yīng)于該待檢測的三維微位相差膜的該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像。
全文摘要
本發(fā)明關(guān)于一種三維微位相差膜的檢測方法，包含下列步驟(A)接收對(duì)應(yīng)于一個(gè)待檢測的三維微位相差膜的一個(gè)待檢測的微結(jié)構(gòu)影像，其中，該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像包括多個(gè)像素；(B)根據(jù)該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的該多個(gè)像素分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)第一色階，求得對(duì)應(yīng)于該待檢測的微結(jié)構(gòu)影像的一個(gè)第一色階分布資訊；(C)根據(jù)步驟(B)所求得的該第一色階分布資訊，配合一個(gè)第一標(biāo)準(zhǔn)色階分布資訊，求得一個(gè)第一色差指標(biāo)；及(D)輸出對(duì)應(yīng)于步驟(C)所求得的該第一色差指標(biāo)的檢測結(jié)果。
文檔編號(hào)G01J9/00GK102445278SQ201110286059
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月24日
發(fā)明者洪群泰, 黃獻(xiàn)頤 申請(qǐng)人:明基材料有限公司, 明基材料股份有限公司