取向膜檢測(cè)裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種取向膜檢測(cè)裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display，以下簡(jiǎn)稱為TFT-LCD)的陣列基板和彩膜基板上分別設(shè)置有取向膜，取向膜上設(shè)置有沿一定方向的溝槽，用于使液晶分子在無(wú)電場(chǎng)影響的情況下沿溝槽方向排列。一般情況下，通過(guò)包裹在摩擦輥輪上的摩擦布對(duì)涂覆并固化在玻璃基板上的聚酰亞胺(Polyimide，以下簡(jiǎn)稱為PD膜進(jìn)行摩擦，在PI膜表面獲得具有沿預(yù)定方向的溝槽，使PI膜成為具有取向功能的取向膜。
[0003]在制備取向膜的過(guò)程中，由于摩擦布可能存在的缺陷，如摩擦布寬度不均勻、表面粘附有異物或摩擦配向過(guò)程中的雜質(zhì)等，會(huì)使得制備出的取向膜上的溝槽的方向、形狀及深度等產(chǎn)生偏差(即Rubbing mura)，進(jìn)而影響取向性能。因此，在將取向膜制備完成之后，需要對(duì)取向膜上的溝槽是否存在缺陷進(jìn)行檢測(cè)。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，一般通過(guò)下述方法檢測(cè)取向膜上的溝槽是否存在缺陷:
[0005]蒸汽噴頭(一般由檢測(cè)者手持)向玻璃基板的取向膜表面噴射水蒸氣，使溝槽的表面產(chǎn)生水珠微粒；同時(shí)，使用強(qiáng)光燈照射取向膜上噴射水蒸氣的區(qū)域，由人眼目視觀察溝槽在強(qiáng)光燈照射下的情況(光線穿過(guò)溝槽的缺陷處時(shí)會(huì)產(chǎn)生漫反射)，判斷取向膜上的溝槽是否存在缺陷(一般為亮線，即線狀Mura)。
[0006]在檢測(cè)出取向膜上的溝槽存在缺陷時(shí)，一般通過(guò)標(biāo)尺測(cè)量出溝槽缺陷所在的位置，經(jīng)過(guò)人工換算后，找出導(dǎo)致該溝槽缺陷產(chǎn)生的摩擦布上的缺陷所在的大概位置，對(duì)該摩擦布缺陷所在的區(qū)域進(jìn)行修復(fù)；而后，再次進(jìn)行摩擦工藝，通過(guò)上述的蒸汽檢測(cè)方法檢測(cè)取向膜上是否仍然存在上述溝槽缺陷，進(jìn)而確定是否消除摩擦布缺陷。
[0007]在實(shí)際中，上述蒸汽檢測(cè)方法存在以下問(wèn)題:
[0008]其一，在噴射到玻璃基板及取向膜表面的水蒸氣附著在玻璃基板及取向膜表面，產(chǎn)生水珠微粒的同時(shí)，由于空氣流動(dòng)、蒸發(fā)等因素，水珠微粒也會(huì)不斷地散去，使得檢測(cè)過(guò)程中需要長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)的噴射蒸汽，并導(dǎo)致效率較低。
[0009]其二，使用人工檢測(cè)取向膜上的溝槽是否存在缺陷，使檢測(cè)的效率較低；并且，不同檢測(cè)者人眼檢測(cè)的尺度很難統(tǒng)一，還會(huì)使檢測(cè)結(jié)果的可信度不高。
[0010]其三，由于蒸汽噴頭由檢測(cè)者手持，在玻璃基板及取向膜較大的情況下，有些位置蒸汽噴頭“夠不到”，導(dǎo)致無(wú)法對(duì)取向膜上一些區(qū)域的溝槽是否存在缺陷進(jìn)行檢測(cè)。
[0011]其四，蒸汽噴頭一般直接連接被加熱的水箱，在水箱中的水位較高的情況下，部分水箱中的水珠會(huì)穿過(guò)蒸汽噴頭濺射到取向膜上，從而影響后續(xù)工藝，導(dǎo)致不良影響。
[0012]其六，隨著TFT LCD的配向溝槽檢出能力不斷提高，要求取向膜上的溝槽也越來(lái)越小，由于玻璃基板及取向膜表面產(chǎn)生的水珠微粒的均一度較低，以及人眼觀察的局限性，上述蒸汽檢測(cè)方法不能滿足用于高配向溝槽檢出能力TFT LCD中的取向膜的檢測(cè)的需要。
[0013]并且，由于上述蒸汽檢測(cè)方法為人工檢測(cè)，在檢測(cè)出取向膜上的溝槽缺陷后，一般情況下，無(wú)法通過(guò)人工換算準(zhǔn)確地得出摩擦布上缺陷存在的位置，從而可能導(dǎo)致通過(guò)一次定位和修復(fù)工藝無(wú)法消除摩擦布上的缺陷，這樣就需要進(jìn)行多次工藝，若多個(gè)工藝仍然無(wú)法消除摩擦布上的缺陷，就必須更換新的摩擦布；從而需要耗費(fèi)大量的人力物力，并降低產(chǎn)線的稼動(dòng)率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014]本發(fā)明的目的在于提供一種取向膜檢測(cè)裝置及方法，可以提高檢測(cè)效率，以及提高檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可信度。
[0015]本發(fā)明所提供的技術(shù)方案如下:
[0016]一種取向膜檢測(cè)裝置，用于對(duì)形成在基板的取向膜上的配向溝槽進(jìn)行檢測(cè)，所述取向膜檢測(cè)裝置包括:
[0017]用于獲取基板的取向膜上的配向溝槽的圖像信息的圖像成像單元；
[0018]以及，用于根據(jù)所述圖像信息，判定取向膜上的配向溝槽是否存在缺陷的圖像處理單元，所述圖像處理單元與圖像成像單元連接。
[0019]進(jìn)一步的，所述圖像成像單元包括:
[0020]射線源，用于產(chǎn)生透過(guò)帶有取向膜的基板的射線；
[0021]以及，接收模塊，與射線源關(guān)于基板位置相對(duì)，用于接收透過(guò)基板的射線并形成灰度條紋圖像，其中所述灰度條紋圖像包括與取向膜上的各條配向溝槽所對(duì)應(yīng)的第一灰度圖像區(qū)以及與各條配向溝槽之間的部分所對(duì)應(yīng)并與所述第一灰度圖像區(qū)交錯(cuò)的第二灰度圖像區(qū)；
[0022]其中，所述圖像處理單元包括:
[0023]第一測(cè)量模塊，用于根據(jù)所述第一灰度圖像區(qū)與所述第二灰度圖像區(qū)之間的灰度值呈梯度變化的交界位置，按照設(shè)定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，換算為取向膜上的各條配向溝槽的寬度值；
[0024]第一判定模塊，用于將所述第一測(cè)量模塊得到的各條配向溝槽的寬度值與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)寬度閾值進(jìn)行對(duì)比，判定取向膜上的各條配向溝槽的寬度是否存在缺陷。
[0025]進(jìn)一步的，所述圖像處理單元還包括:
[0026]第二測(cè)量模塊，用于根據(jù)所述第一灰度圖像區(qū)的灰度值，按照設(shè)定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，換算為取向膜上的各條配向溝槽的深度值；
[0027]第二判定模塊，用于將所述第二測(cè)量模塊得到的各條配向溝槽的深度值與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)深度閾值進(jìn)行對(duì)比，判定取向膜上的各條配向溝槽的深度是否存在缺陷。
[0028]進(jìn)一步的，所述射線源包括用于發(fā)射X射線的X射線源；
[0029]所述接收模塊包括用于接收X射線并根據(jù)X射線形成灰度條紋圖像的X射線敏感鏡頭O
[0030]進(jìn)一步的，所述X射線敏感鏡頭與基板之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)透過(guò)基板的X射線的強(qiáng)弱，以穩(wěn)定X射線敏感鏡頭所接收的輻射劑量的光闌。
[0031]進(jìn)一步的，所述圖像成像單元至少有兩個(gè)，其中任一個(gè)的圖像成像單元的接收模塊接收另一個(gè)圖像成像單元的射線源透過(guò)基板的射線，并形成灰度條紋圖像。
[0032]進(jìn)一步的，所述取向膜檢測(cè)裝置還包括用于移動(dòng)所述圖像成像單元，以改變射線源的射線發(fā)射角度的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0033]進(jìn)一步的，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:
[0034]用于從基板的一側(cè)環(huán)繞延伸至基板的另一側(cè)的圓弧軌道，其中所述圖像成像單元能夠在所述圓弧軌道上移動(dòng)，以使得射線入射基板的角度改變，且同一圖像成像單元的射線源和接收模塊能夠在圓弧軌道上相對(duì)于基板互換位置，以將射線從基板的正面入射形成的正面灰度條紋圖像和同一區(qū)域的射線從基板的反面入射形成的反面灰度條紋圖像進(jìn)行復(fù)合。
[0035]一種取向膜檢測(cè)方法，用于對(duì)形成在基板的取向膜上的配向溝槽進(jìn)行檢測(cè)，所述方法包括:
[0036]獲取基板的取向膜上的配向溝槽的圖像信息；
[0037]根據(jù)所述圖像信息，判定取向膜上的配向溝槽是否存在缺陷。
[0038]進(jìn)一步的，所述方法中，
[0039]獲取基板的取向膜上的配向溝槽的圖像信息，具體包括:
[0040]產(chǎn)生透過(guò)帶有取向膜的基板的射線，接收透過(guò)基板的射線并形成灰度條紋圖像，其中所述灰度條紋圖像包括與各條配向溝槽所對(duì)應(yīng)的第一灰度圖像區(qū)以及與各條配向溝槽之間的區(qū)域所對(duì)應(yīng)并與所述第一灰度圖像區(qū)交錯(cuò)的第二灰度圖像區(qū)；
[0041]根據(jù)所述圖像信息，判定取向膜上的配向溝槽是否存在缺陷，包括:
[0042]根據(jù)所述第一灰度圖像區(qū)與所述第二灰度圖像區(qū)的交界位置，按照設(shè)定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，換算為各條配向溝槽的寬度值；
[0043]將得到的各條配向溝槽的寬度值與預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)寬度閾值進(jìn)行對(duì)比，判定取向膜上的各條配向溝槽的寬度是否存在缺陷。
[0044]進(jìn)一步的，所述方法中，根據(jù)所述圖像信息，判定取向膜上的配向溝槽是否存在缺陷，還包括:
[0045]根據(jù)所述第一灰度圖像區(qū)的灰度值，按照設(shè)定的對(duì)應(yīng)關(guān)系，換算為各條配向溝槽的深度值；