專利名稱：一種壓力式流體溫度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓力式流體溫度傳感器。
背景技術(shù)：
流體溫度的測量最簡單的方法是用水銀溫度計測量。但其無法輸出電信號，不能自動采集數(shù)據(jù)，也不能與計算機(jī)或網(wǎng)絡(luò)連接，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。采用熱電偶和鉬電阻測量流體溫度雖能輸出電信號、自動采集數(shù)據(jù)；但由于探頭本身帶電，對易燃易爆流體存在安全隱患，同時探頭也易受環(huán)境電磁干擾，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性.。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種壓力式流體溫度傳感器，該種流體溫度傳感器抗電磁干擾，適于易燃易爆流體的測量；且能輸出電信號、可與計算機(jī)或網(wǎng)絡(luò)連接，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。本發(fā)明解決的技術(shù)問題，所采用的技術(shù)方案為一種壓力式流體溫度傳感器，其組成是密封的內(nèi)裝感溫流體的剛性溫包、剛性溫包經(jīng)連接導(dǎo)管與能輸出電信號的流體壓力傳感器的感壓腔連通。本發(fā)明的工作過程和原理是將剛性溫包置于被測溫度的流體環(huán)境中，溫包內(nèi)的感溫流體(氣體或液體)感測到包外流體溫度會熱脹冷縮而產(chǎn)生相應(yīng)的正、負(fù)壓力，該壓力通過連接導(dǎo)管傳遞至流體壓力傳感器的感壓腔，流體壓力傳感器測出感壓腔的壓力而輸出電信號，該輸出電信號隨包內(nèi)流體壓力成比例地變化，包內(nèi)流體壓力又與包外被測流體環(huán)境溫度成比例地變化，由此實(shí)現(xiàn)溫包外流體環(huán)境溫度的檢測。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是一、該傳感器能輸出電信號，便于與計算機(jī)或網(wǎng)絡(luò)連接，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。二、溫包與采用電量信號輸出的流體壓力傳感器在空間上被連通導(dǎo)管分隔開來， 測量時與被測流體直接接觸的溫包不帶電，有較高的防燃、防爆性能和安全性，適于易燃易爆流體的測量。三、溫包對溫度的敏感效應(yīng)非電磁效應(yīng)，抗電磁干擾能力強(qiáng)，適于電磁干擾大的環(huán)境中使用。上述的連接導(dǎo)管的內(nèi)徑為0.5-2. 0mm。這樣，連接導(dǎo)管實(shí)際上為毛細(xì)管，既能有效的將溫包內(nèi)的壓力傳遞給感壓腔；同時，又能減小溫包因熱傳導(dǎo)對流體壓力傳感器的影響。上述的流體壓力傳感器為硅壓阻式流體壓力傳感器。上述的流體壓力傳感器為硅電容式流體壓力傳感器。這兩種流體壓力傳感器為微電子工藝制作，體積小，且其靈敏度高。這樣，可減小整個儀表的體積，并提高其測量精度。下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例一的壓力式流體溫度傳感器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例二的壓力式流體溫度傳感器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例一圖1示出，本發(fā)明的一種具體實(shí)施方式
是，一種壓力式流體溫度傳感器，其組成是一種壓力式流體溫度傳感器，其組成是密封的內(nèi)裝感溫流體的剛性溫包1、剛性溫包1經(jīng)連接導(dǎo)管11與能輸出電信號的流體壓力傳感器3的感壓腔5連通。本例的連接導(dǎo)管11的內(nèi)徑為0. 5-2. 0mm。本例的流體壓力傳感器3為硅壓阻式流體壓力傳感器。實(shí)施例二圖2示出，本例的壓力式流體溫度傳感器3與實(shí)施例一基本相同，不同的僅僅是 本例的流體壓力傳感器3為硅電容式流體壓力傳感器。本發(fā)明的剛性溫包1可用傳熱好且剛性強(qiáng)的材料制成，如銅、不銹鋼、鋁、鈦、鎢等金屬，或陶瓷、玻璃等材料制成。感溫流體可以為空氣、氮?dú)?、氬氣等氣體，也可以是氟里昂、 乙醚、氯甲烷等液體。連接導(dǎo)管11則可用銅、不銹鋼、鈦或玻璃等制成。本發(fā)明的流體壓力傳感器3除可以是以上的硅壓阻式和硅電容式流體壓力傳感器外，還可以是各種能夠測量流體(氣體、液體)壓力，且能輸出電信號的壓力傳感器。
權(quán)利要求
1.一種壓力式流體溫度傳感器，其組成是密封的內(nèi)裝感溫流體的剛性溫包(1)、剛性溫包⑴經(jīng)連接導(dǎo)管(11)與能輸出電信號的流體壓力傳感器⑶的感壓腔(5)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力式流體溫度傳感器，其特征在于，所述的連接導(dǎo)管(11) 的內(nèi)徑為0. 5 2. 0mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力式流體溫度傳感器，其特征在于，所述流體壓力傳感器 (3)為硅壓阻式流體壓力傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力式流體溫度傳感器，其特征在于，所述的流體壓力傳感器C3)為硅電容式流體壓力傳感器。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種壓力式流體溫度傳感器，其組成是密封的內(nèi)裝感溫流體的剛性溫包(1)、剛性溫包(1)經(jīng)連接導(dǎo)管(11)與能輸出電信號的流體壓力傳感器(3)的感壓腔(5)連通。該種流體溫度傳感器抗電磁干擾，適于易燃易爆流體的測量；且能輸出電信號、可與計算機(jī)或網(wǎng)絡(luò)連接，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。
文檔編號G01K5/46GK102279057SQ201110199500
公開日2011年12月14日 申請日期2011年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月16日
發(fā)明者林其斌, 陳向東 申請人:西南交通大學(xué)