專利名稱：光學(xué)檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體涉及光學(xué)檢測，特別涉及一種用于檢測相關(guān)物件的缺陷或特征的裝置。
背景技術(shù)：
例如液晶顯示器(Liquid crystal display,「LCD」)裝置的顯示裝置,是用于電子式顯示包括文字、影像及動畫的信息。IXD可以包括一些迭層，例如可判定上述IXD的質(zhì)量的偏光濾光板、玻璃基板、彩色濾光板、液晶及反射表面。為了檢查LCD是否合格，也就是說，上述LCD是否具有少于預(yù)定數(shù)量的缺陷，有時候采用肉眼來檢測。但是，肉眼檢測在LCD 的大量生產(chǎn)中代表耗時、耗工及不準(zhǔn)確。再者，隨著半導(dǎo)體制造的進步，由肉眼檢測來檢驗具較小尺寸特征的LCD產(chǎn)品變得更為困難。因此，已經(jīng)開發(fā)出用于自動檢測LCD面板的檢測系統(tǒng)或裝置。然而，一些自動掃描系統(tǒng)可能無法辨識，除非在特定方向上觀看才能看到或探測到的光學(xué)特性的缺陷。另外，在檢測程序期間，外來物質(zhì)(例如塵土或灰塵等)可能被錯認(rèn)為缺陷。再者，在檢測之前可能需要手動開啟面板，這使得這種掃描系統(tǒng)并非如此自動化。因此需要提供一種能夠辨識光學(xué)特性的缺陷，且在檢測期間能夠移除面板表面上的外來物質(zhì)的裝置。另外，還需要提供一種能夠供應(yīng)電力給檢測中的面板的裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種光學(xué)檢測裝置。上述裝置包含平臺，其在第一方向上延伸的；傳送單元，用于在上述第一方向上由其輸入埠輸送至少一個載板至輸出埠，上述至少一載板的每一個用于支撐要被檢測的至少一物件其中之一個；第一探測器，其設(shè)置在上述平臺之上，并在與上述第一方向垂直的第二方向上延伸，用于檢測在上述至少一個載板上的上述至少一物件，上述第一探測器包括第一掃描儀，其在上述第二方向上延伸于上述輸入埠與上述輸出埠之間；以及第一滾輪組，其位于上述第一掃描儀與上述輸入埠之間，用于施加力量至上述至少一物件的每一個的表面上。本發(fā)明的實例也可提供一種光學(xué)檢測裝置。上述裝置包括第一裝置單元，其包含第一平臺，其在第一方向上延伸；第一傳送單兀，用于在上述第一方向上由其一第一輸入埤輸送載板至第一輸出埠；以及第一探測器，其設(shè)置在上述第一平臺之上，并在與上述第一方向垂直的第二方向上延伸，用于縱向地檢測在上述載板上的物件；以及第二裝置單元，其包含第二平臺，其在上述第二方向上延伸；第二傳送單元，用于在上述第二方向上由其第二輸入埠輸送上述載板至第二輸出埠；以及第二探測器，其設(shè)置在上述第二平臺之上，并在上述第一方向上延伸，用于橫向地檢測在上述載板上的上述物件。本發(fā)明的實例另可以提供一種光學(xué)檢測裝置。上述裝置包括平臺，其在第一方向上延伸；第一探測器，其設(shè)置在上述平臺之上，并在與上述第一方向垂直的第二方向上延伸，用于檢測物件；以及傳送單兀，用于在上述第一方向上由其輸入埤輸送載板至輸出埤，其中上述載板具有第一表面以支撐在其上的上述物件，及第二表面，在其上提供電力控制單元以控制對上述物件的電力供應(yīng)，上述載板包括在上述第二表面上的一對導(dǎo)電軌，用于在檢測期間當(dāng)上述載板由上述傳送單元輸送時，通過上述傳送單元電氣連接上述電力控制單元至電源。于下文的說明中將部份提出本發(fā)明的其它特點與優(yōu)點，而且從上述說明中將了解本發(fā)明其中一部份，或者通過實施本發(fā)明也可得知。憑借隨附的權(quán)利要求中特別列出的元件與組合將可了解且達成本發(fā)明的特點與優(yōu)點。應(yīng)該了解的是，上文的概要說明以及下文的詳細(xì)說明都僅供作示例與解釋，其并未限制本文所主張的發(fā)明。


結(jié)合以下附圖進行閱讀，即可更好地了解本發(fā)明的上述詳細(xì)說明。為達到本發(fā)明的說明目的，各附圖中圖繪有實施例。應(yīng)當(dāng)了解本發(fā)明并不限于實施例中所示的精確排置方式及設(shè)備裝置。圖I為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的光學(xué)檢測裝置的示意圖；圖2為圖I所示的裝置的清洗器的放大圖；圖3A為圖I所示的裝置的探測器的俯視圖；圖3B為圖3A所示的裝置的探測器的后視立面圖；圖3C為圖I所示的裝置的左側(cè)示意圖；圖3D為根據(jù)本發(fā)明另一個實施例如圖I所示的裝置的左側(cè)示意圖；圖3E為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的滾輪調(diào)整機構(gòu)的示意圖；圖3F為根據(jù)本發(fā)明另一個實施例的滾輪調(diào)整機構(gòu)的示意圖；圖3G為根據(jù)本發(fā)明又另一個實施例的滾輪調(diào)整機構(gòu)的示意圖；圖4為根據(jù)本發(fā)明另一個實施例的光學(xué)檢測裝置的示意圖；圖5A及5B為根據(jù)本發(fā)明又另一個實施例的光學(xué)檢測裝置的示意俯視圖；圖6A為圖I所示的光學(xué)檢測裝置中載板的俯視立面圖；圖6B為圖6A所示的載板的底視圖；圖7-1到7-6為其中可應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的載板的不同尺寸的面板的示意圖；圖8A為顯示根據(jù)本發(fā)明一個實施例中當(dāng)其上固定有第一物件的載板的俯視立面圖； 圖SB為顯示根據(jù)本發(fā)明一個實施例中當(dāng)其上固定有第二物件的上述載板的俯視立面圖；圖SC為顯示根據(jù)本發(fā)明一個實施例中當(dāng)其上固定有第三物件的上述載板的俯視立面圖；圖9A為圖8A所示的上述第一物件的底視圖；以及圖9B為顯示當(dāng)其上固定有上述第一物件的上述載板的底視圖。主要元件符號說明20光學(xué)檢測裝置21 平臺
22探測器22k第三調(diào)整工具22H第一調(diào)整工具22R第二調(diào)整工具
220支撐結(jié)構(gòu)221第一掃描儀222第二掃描儀227滾輪支撐227R滾輪支撐單元228第一組滾輪229第二組滾輪23清洗器23R第四調(diào)整工具231離子移除器232空氣刀24傳送單元241輸送帶242輸入埠243輸出埠25-1 載板25-2 載板25-3 載板251 第一開口252 第二開口253 第三開口254連接器25t上方或第一表面25b底面或第二表面26b底表面26-1 物件26-2 物件26-3 物件27控制器30光學(xué)檢測裝置32探測器327滾輪支撐328 單一滾輪329直線溝槽428 單一滾輪
429對角線溝槽50光學(xué)檢測裝置51第一裝置單元52第二裝置單元
60電力控制單元61，62 導(dǎo)電軌81插頭82可撓性電路板83夾鉗92條形碼Xl第一軸X2第二軸S3第三傳感器yl缺陷y2缺陷
具體實施例方式現(xiàn)將詳細(xì)參照于本發(fā)明的實施例，其實施例的圖解在說明書附圖中。盡其可能，所有附圖中將依相同元件符號以代表相同或類似的部件。圖I為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的光學(xué)檢測裝置20的示意圖。請參照圖1，裝置20可包括平臺21、探測器22、清洗器23、傳送單元24、復(fù)數(shù)個載板25_1、25_2與25_3用于在檢測時分別承載物件26-1、26-2與26-3、及控制器27。平臺21可作為光學(xué)檢測用的工作臺。在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，平臺21可包括金屬架構(gòu)，并延伸于第一方向上。此外，平臺21的長度可設(shè)計成允許排列例如六個物件。傳送單兀24可包括一組輸送帶241及導(dǎo)軌(圖中未表不)，用于在上述第一方向上由其輸入埠242輸送物件26-1到26-3至輸出埠243。探測器22可包括一個或多個掃描儀用于檢測物件26-1到26_3。上述掃描儀可包括由Cooper S. K. Kuo與Ron Tsai (與本申請的發(fā)明人相同)在2010年3月26日申請的美國專利，申請編號12/732,586(名為「檢測系統(tǒng)(Inspection System) J )中描述與示例的掃描儀。探測器22可以設(shè)置在平臺21之上，并在實質(zhì)上與上述第一方向垂直的第二方向上延伸。清洗器23可用于移除外來物質(zhì)，例如由于環(huán)境因素而在檢測時附著在物件的表面上的灰塵或塵土。這些外來物質(zhì)如果沒有經(jīng)過適當(dāng)?shù)匾瞥龝惶綔y器22探測到，并會在檢測時被誤認(rèn)為是上述物件的缺陷，其在當(dāng)需要高的缺陷辨識率時不能允許的。清洗器23可設(shè)置在輸入埠242與探測器22之間，并可延伸于第二方向上。圖2為圖I所示的裝置20的清洗器23的放大圖。請參照圖2，清洗器23可包括離子移除器231與空氣刀232。離子移除器231設(shè)置在輸入埠242與空氣刀232之間，其可在當(dāng)物件26-1在第一方向上朝向探測器22傳送時，在檢測時去離子化物件上所不需要的或外來的物質(zhì)，例如物件26-1。然后，上述上述這些去離子化的粒子可由來自空氣刀232的氣流輕易地移除。在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，離子移除器231可包括但不限于HAUGIonizationTM所生產(chǎn)的離子化棒「EI RN」，而空氣刀232可包括但不限于NEX FLOWTM所生產(chǎn)的 Γsilent x-streamTM air bladeTMj 空氣刀?；氐綀DI，載板25-1到25-3的尺寸適合于支撐物件26_1到26_3，并配合在例如傳送單元24的導(dǎo)軌內(nèi)。在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，其還在以下的討論，物件26-1到26-3可包括但不限于液晶顯示器(IXD)面板，其尺寸例如為13”、14”及15”。載板25-1到25_3的尺寸可配合不同尺寸的IXD面板。此外，也如以下將討論的，載板25-1到25-3可由外部電源通過傳送單元24來供電，從而開啟上述這些IXD面板來促進檢測?？刂破?7可連接于清洗器23、探測器22與一組傳感器(圖中未表示)，用來控制檢測的進行。上述組傳感器可設(shè)置在平臺21中所需的位置處以便于檢測。另外，控制器27可配置成由探測器22收集有關(guān)于物件的已掃描的數(shù)據(jù)，分析上述已掃描的數(shù)據(jù)，并實時地 在屏幕(圖中未表示)上顯示特定物件的檢測結(jié)果。在操作時，第一物件26-1和第一載板25-1在它們共同放置在輸入埤242處之前被定位在第一載板25-1上。然后第一物件26-1由傳送單兀24在第一方向上朝向輸出埤243傳送。以幫助第一傳感器(圖中未表示)，第一物件26-1在當(dāng)其靠近清洗器23漏出時被探測到，然后控制器27可響應(yīng)于要到達的第一物件26-1而使清洗器23運作。接著，第一物件26-1可由探測器22進行掃描。以助于第二探測器(圖中未表示)，可辨識出將第一物件26-1與其它物件區(qū)分出來的有關(guān)于第一物件26-1的第一條形碼(圖中未表示)。上述已掃描的數(shù)據(jù)與上述已辨識出的條形碼可由控制器27收集。在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，當(dāng)?shù)谝晃锛?6-1繼續(xù)行進到輸出埤243時,可同時顯不第一物件26-1的上述已掃描的數(shù)據(jù)。另外，控制器27可使警報裝置(圖中未表示)在當(dāng)物件的缺陷數(shù)目超過預(yù)定值時發(fā)出警不聲音或燈號。第二物件26-2和第二載板25-2可在當(dāng)?shù)谝晃锛?6_1沿著第一方向進行時被放置在輸入埠242處。例如，第二物件26-2可在當(dāng)?shù)谝晃锛?6-1到達清洗器23或探測器22時被放置在輸入埠242處。同樣地，第三物件26-3可在當(dāng)?shù)诙锛?6-2在稍后到達清洗器23或探測器22時被放置在輸入埠242處。另外，物件在當(dāng)?shù)竭_輸出埠243時將被拾取，以預(yù)留空間給后續(xù)物件。圖3A為圖I所示的裝置20的探測器22的俯視圖。參照圖3A，探測器22可包括第一掃描儀221與第二掃描儀222，其由支撐結(jié)構(gòu)220固持在平臺21之上所需的高度處。第一與第二掃描儀221、222可延伸于上述第二方向，且如本實施例所示，當(dāng)物件26-1在第一方向上行進時縱向地掃描物件26-1。第一與第二掃描儀221、222的每一個可包括配置在第二方向上的一些掃描單元，其足以覆蓋物件26-1的寬度。圖3B為圖I所示的裝置20的探測器22的后視立面圖。參照圖3B，裝置20還可包括第一調(diào)整工具22H來調(diào)整探測器22相對于平臺21或物件的高度。具體而言，探測器22可被調(diào)整成向上或向下移動到在實質(zhì)上與上述第一方向和上述第二方向垂直的第三方向上的所需的高度處。此外，裝置20也可包括第二調(diào)整工具22R，用于調(diào)整一組滾輪(圖中未表示)在檢測時施加于物件的表面上的力量，其將在以下參照圖3C中進行討論。另外，裝置20仍可包括一個或多個第三調(diào)整工具22A，來調(diào)整第一與第二掃描儀221、222在檢測時相對于物件的表面的法線方向的角度。圖3C為圖I所示的裝置20的左側(cè)示意圖。參照圖3C，設(shè)置在支撐結(jié)構(gòu)220 (如虛線所示)處的第三傳 感器S3可探測與物件26-1的表面的距離D1。距離Dl可由控制器27分析，以判定探測器22是否到達所需要的高度。如果否，探測器22以及第一與第二掃描儀221、222可通過第一調(diào)整工具22H被調(diào)整到所需要的高度。在一個實施例中，第一調(diào)整工具22H可允許手動調(diào)整。在另一個實施例中，第一調(diào)整工具22H可允許通過輸入命令到控制器27從而由控制器27進行調(diào)整。關(guān)于探測器22的第一組滾輪228可配置在輸入埠242與第一掃描儀221之間以壓住物件26-1的表面，以便于在檢測程序中的后續(xù)掃描。在掃描之前按壓物件可降低將良好的像素點誤認(rèn)為缺陷(反之亦然)的風(fēng)險，特別是在當(dāng)物件由于例如制造因素而有翹曲表面的情況。此外，須要通過外力才能顯像的異物，也能通過第一組滾輪228對于物件26-1的表面所施加的壓力來顯像，而被第一掃描儀221探測到。另外，利用來自第一組滾輪228的壓力，在物件內(nèi)的缺陷在被壓住的區(qū)域中可更容易地與正常的像素辨識和區(qū)別出來。在本實施例中，在第一組滾輪228與第一掃描儀221之間被壓住的區(qū)域中的缺陷yl可變得更容易探測。此外，為了均勻地按壓物件的表面，第一組滾輪228可被配置成延伸于第二方向上，并覆蓋在第一方向上縱向行進的上述物件的寬度。滾輪228施加于物件26-1的表面上的力量或壓力可由控制器27分析，并通過第二調(diào)整工具22R進行調(diào)整，其可由手動或由控制器27進行。圖3D為根據(jù)本發(fā)明另一個實施例如圖I所示的裝置20的左側(cè)示意圖。參照圖3D，探測器22還可包括設(shè)置在第二掃描儀222與傳送單元24的輸出埠243之間的第二組滾輪229。在本發(fā)明的一個實施例中，第二組滾輪229和第二掃描儀222之間的缺陷y2可變得更容易探測。另外，第二組滾輪229可由第四調(diào)整工具23R以類似于第一組滾輪228的方式固持與調(diào)整。圖3E為根據(jù)本發(fā)明一個實施例的滾輪調(diào)整機構(gòu)的示意圖。參照圖3E，上述滾輪調(diào)整機構(gòu)可包括第二調(diào)整工具22R與第一組滾輪228。第二調(diào)整工具22R可包括滾輪支撐227用于支撐第一組滾輪228。在本實施例中，滾輪支撐227包括一組滾輪支撐單元227R，其每一個支撐第一組滾輪228中相對應(yīng)者。另外，每個滾輪支撐單元227R可為伸縮狀，所以可調(diào)整相對于物件26-1的對應(yīng)滾輪的高度以及上述對應(yīng)滾輪施加于物件26-1的表面上的力量。在如圖3E所示的非平面表面的情況下，通過調(diào)整滾輪支撐單元227R的每一個，SP可達到橫跨上述非平面表面的均勻壓力。圖3F為根據(jù)本發(fā)明另一個實施例的滾輪調(diào)整機構(gòu)的示意圖。參照圖3F，上述滾輪調(diào)整機構(gòu)可包括滾輪支撐327與單一滾輪328。滾輪328可采用圓柱形，在其上具有多個直線溝槽329。滾輪327施加在物件26-1上的力量可由滾輪支撐327在第三方向上的伸縮移動來控制。圖3G為根據(jù)本發(fā)明又另一個實施例的滾輪調(diào)整機構(gòu)的示意圖。參照圖3G，上述滾輪調(diào)整機構(gòu)可包括單一滾輪428，在其上具有對角線溝槽429。回頭參照圖3C，第一掃描儀221可被固持于第三調(diào)整工具22A其中之一個當(dāng)中。第一掃描儀221與物件26-1的表面的法線方向(在本實施例中為第三方向)之間的角度可通過相關(guān)的第三調(diào)整工具22A調(diào)整。具體而言，第一掃描儀221可環(huán)繞第一軸Xl被旋轉(zhuǎn)至第一需要角度，其可由手動或通過控制器27進行。同樣地，第二掃描儀222可被固持于第三調(diào)整工具22A的另一個中。第二掃描儀222與物件26-1的表面的法線方向之間的角度可通過相關(guān)的第三調(diào)整工具22A調(diào)整。具體而言，第二掃描儀222可環(huán)繞第二軸X2被旋轉(zhuǎn)到第二需要角度，其可由手動或通過控制器27進行。在根據(jù)本發(fā)明的一個實施例中，每個掃描儀221、222可旋轉(zhuǎn)的角度的范圍由大約負(fù)30度到正30度( ±30o)。例如，第一掃描儀221相對于法線LN可在范圍由O到30度的第一角度Al內(nèi)旋轉(zhuǎn)，而第二掃描儀222相對于法線LN可在范圍由O到-30度的第二角度A2內(nèi)旋轉(zhuǎn)，上述視角調(diào)整可便于進行全方向的探測，所以可以特定角度來探測像灰塵或具有光學(xué)方向的刮痕的缺陷。圖4為根據(jù)本發(fā)明另一個實施例的光學(xué)檢測裝置30的示意圖。參照圖4，裝置30可類似于參照圖I所描述及示例的裝置20，除了例如加入另一個探測器32。具體而言，裝置30包括輸入埠242與輸出埠243之間的第一掃描儀221，及第一探測器22與輸出埠242之間的第二探測器32。另外，第二探測器32的結(jié)構(gòu)與功能可類似或相同于第一探測器22，因此不做進一步討論。裝置30可應(yīng)用于當(dāng)被檢測中的物件具有多個相關(guān)層時的方案，其中需要對物件進行冗余掃描，或需要快速掃描。在快速掃描方案中，第一和第二探測器22、32可一次掃描兩個物件。例如，在如圖4所示的輸送順序中，第二探測器32可被指定掃描第一物件26-1，而指定第一探測器22掃描第二物件26-2，由此加倍掃描速率。本領(lǐng)域技術(shù)人員將了解，根據(jù)本發(fā)明的裝置可在當(dāng)檢測程序允許時裝設(shè)有三個或更多的探測器。圖5A及5B為根據(jù)本發(fā)明又另一個實施例的光學(xué)檢測裝置50的示意俯視圖。參照圖5A，裝置50可包括第一裝置單元51和第二裝置單元52。在本實施例中，第一裝置單元51可包括清洗器和一對探測器，且其結(jié)構(gòu)與功能可類似或相同于圖4所示的裝置30。另夕卜，第二裝置單元52可包括一對探測器，且其結(jié)構(gòu)與功能可類似于圖4所示的裝置30，除了第二裝置單元52并未包括如第一裝置單元51的清洗器，因為在檢測時可附著在物件表面上的外來物質(zhì)可能已經(jīng)由第一裝置單元51的清洗器所移除。在另一個實施例中，第一與第二裝置單元51、52其每一個包括一個單一探測器，并可與圖I所示的裝置20類似或相同，除了第二裝置單元52可不包括如第一裝置單元51的清洗器。第一裝置單元51可配置成在第一方向上傳送物件26-1到26-3，并縱向地掃描它們。因此，由于窄光束照射或者由于僅可沿著第一方向看到和探測到的缺陷可由第一裝置單元51的上述對探測器或單一探測器的掃描儀探測到。另一方面，第二裝置單元52可配置成在與上述第一方向垂直的第二方向上傳送物件26-1到26-3,并橫向地掃描它們。因此，僅有沿著第二方向可看到與探測到的缺陷可由第二裝置單元52之上述對探測器或單一探測器的掃描儀探測到。為了便于這種掃描，第一裝置單元51和第二裝置單元52可配置成在互相垂直的方向上延伸，將第一裝置單元51的輸出埠243連接于或作為第二裝置單元52的輸入埠242。在操作時，物件26-1到26-3可放置在第一裝置單元51的輸入埠242處，其每一個的寬度側(cè)面向第一裝置單元51的輸出埠243，使得物件26-1到26_3在當(dāng)它們行進在第一裝置單元51的第一方向上時縱向地進行掃描。參照圖5B，當(dāng)?shù)谝晃锛?6-1到達第一裝置單元51的輸出埠243時，將其長度側(cè)面向第二裝置單元52的輸入埠242、物件26_1以及后續(xù)的物件26-2與26-3即可在當(dāng)其行進在第二裝置單元52的第二方向上時橫向地進行掃描。圖6A為圖I所不的光學(xué)檢測裝置20中載板25-1的俯視立面圖。參照圖6A,載板25-1具有復(fù)數(shù)個第一開口 251、復(fù)數(shù)個第二開口 252、復(fù)數(shù)個第三開口 253與復(fù)數(shù)個連接器254。第一開口 251可由助插頭而配置成使得載板25-1可被應(yīng)用到不同尺寸的面板的樣式。圖7-1到7-6為其中可應(yīng)用根據(jù)本發(fā)明的載板25-1的不同尺寸的面板的示意圖。上述這些面板可包括但不限于13”、14”與15”面板。具體而言，如圖7-1到7-3所示的上述這些面板的長寬比為16 9，而圖7-4到7-6所示的上述這些面板的長寬比為4 3。回頭參照圖6A，第二開口 252的形式為在第一方向上延伸的長方形通孔，其可以連接于產(chǎn)品信息的位置的樣式(例如印刷在面板的底面上的面板條形碼)來配置。上述條形碼位置可隨著面板尺寸不同而不同。因此，根據(jù)面板尺寸，第二開口 252其中之一個可露出一特定尺寸的面板的條形碼。第三開口 253可用于將面板固定到載板25-1上。類似于第一開口 251，第三開口253可將面板保持在定位，所以上述面板在檢測期間不會相對于載板25-1移動。在載板25-1上面板的位移可能造成檢測錯誤，例如探測到的缺陷與其坐標(biāo)之間的不符。連接器254可包括配置在載板25-1的上方或第一表面25t上的導(dǎo)電墊，用以在檢測期間通過傳送單元24維持和外部電源的電氣連接。圖6B為圖6A所不的載板25-1的底視圖。參照圖6B,載板25_1還可包括電力控制單兀60,及在載板25-1的底面或第二表面25b上的一對導(dǎo)電軌61、62。電力控制單兀60可控制對面板的電力供應(yīng)，例如光源(像是上述面板的背光源)。至少在檢測周期期間，需要電力控制單元60來開啟上述背光源，以便于上述面板的掃描，并使得像是亮點或暗點的缺陷可被看到和探測到。此外，延伸于第一方向上的導(dǎo)電軌61、62可接觸傳送單元24，以通過連接器254與傳送單元24電氣連接電力控制單元60至上述外部電源。圖8A為顯示根據(jù)本發(fā)明一個實施例中當(dāng)其上固定有第一物件26-1的載板25_1的俯視立面圖。參照圖8A，一些插頭81的每一個的尺寸能夠緊密配合在第一開口 251之內(nèi)，并被插入到第一開口 251的第一選出的群組中，以將第一尺寸的第一物件26-1固定于載板25-1的第一表面25t上。另外，電氣連接于第一物件26-1的光源的可撓性電路板(Flexible circuit board, TFCB」)82可連接至連接器254的一選出的組合,來開啟上述這些光源來便于光學(xué)檢測。此外，上述這些光源每一個可包括內(nèi)含于磁性金屬外殼中的冷陰極突光燈(Cold cathode fluorescence lamp, Γ CCFL」)。在上述實施例中，插頭81可 由磁性材料制成，以更穩(wěn)定地固定第一物件26-1。圖SB為顯示根據(jù)本發(fā)明一個實施例中當(dāng)其上固定有第二物件26-2的載板25_1的俯視立面圖。參照圖8Β，一些插頭81可被插入到第一開口 251的第二選出的群組中，以將第二尺寸的第二物件26-2固定于載板25-1的第一表面25t上。與圖8A所示的第一物件26-1比較，上述第二尺寸小于上述第一尺寸。因此，以有利于插頭81和通過選擇預(yù)定樣式的第一開口 251的適當(dāng)組合，載板251可適用于支撐不同尺寸的面板。圖SC為顯示根據(jù)本發(fā)明一個實施例中當(dāng)其上固定有第三物件26-3的載板25-1的俯視立面圖。參照圖8C，一些插頭81可被插入到第一開口 251的第三選出的群組中，以將第三尺寸的第三物件26-3固定在載板25-1的第一表面25t上。此外，第三物件26_3的上述這些光源每一個可包括可由塑料罩所覆蓋的發(fā)光二極管(Light emitting diode,「LEDJ )串。在上述實施例中，其一側(cè)在第三開口 253中的夾鉗83，即可利用其另一側(cè)將第三物件26-3固定在載板25-1的第一表面25t上。圖9A為圖8A所示的第一物件26-1的底視圖。參照圖9A，條形碼92可沿著第一方向印刷在物件26-1的底表面26b上。條形碼92可以用于區(qū)別26-1和其它物件。為了辨識面板的條形碼，如前所述，可在平臺21的適當(dāng)位置處裝設(shè)第二傳感器。圖9B為顯示當(dāng)其上固定有第一物件26-1的載板25_1的底視圖。參照圖9B，預(yù)定樣式的第二開口 252其中之一個可露出第一物件26-1的條形碼92。條形碼92可由上述第二傳感器探測到，然后傳送至控制器27。
本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解可對上述各項實施例進行變化，而不悖離其廣義的發(fā)明概念。因此，應(yīng)當(dāng)了解本發(fā)明并不限于上述具體實施例，而為涵蓋歸屬各項權(quán)利要求所定義的本發(fā)明精神及在其范圍內(nèi)的修飾。進一步地，在說明本發(fā)明的代表性實施例時，本說明書可將本發(fā)明的方法及/或工藝表示為特定的步驟順序；不過，由于上述方法或工藝的范圍并不在于本文所提出的特定的步驟順序，故上述方法或工藝不應(yīng)受限于所述的特定步驟順序。作為本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)會了解其它步驟順序也是可行的。所以，不應(yīng)將本說明書所提出的特定步驟順序視為對申請專利范圍的限制。此外，也不應(yīng)將有關(guān)本發(fā)明的方法及/或工藝的權(quán)利要求范圍僅限制在以書面所記載的步驟順序的實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員易于了解，上述這些順序也可加以改變，并且仍涵蓋在本發(fā)明的精神和范疇之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)檢測裝置，其特征在于，上述裝置包含 平臺，其延伸于第一方向上； 傳送單元，用于在上述第一方向上由其輸入埠輸送至少一個載板至輸出埠，上述至少一個載板的每一個用于支撐要被檢測的至少一個物件其中之一個； 第一探測器，其設(shè)置于上述平臺之上，并延伸于與上述第一方向垂直的第二方向上，用于檢測在上述至少一個載板上上述至少一個物件，上述第一探測器包括第一掃描儀，其在上述第二方向上延伸于上述輸入埤與上述輸出埤之間；以及 第一滾輪組，其位于上述第一掃描儀與上述輸入埠之間，用于施加力量至上述至少一個物件的每一個的表面上。
2.如權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，其中上述至少一個物件的每一個包括液晶顯示器面板，且其中上述至少一個載板的每一個均具有在其第一表面上的復(fù)數(shù)個第一開口，以允許上述每一個載板可支撐不同尺寸的面板。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，其中上述至少一個載板的每一個具有在上述第一表面上的復(fù)數(shù)個第二開口，以暴露上述面板的條形碼。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，其中上述至少一個載板的每一個包括在其第二表面上的電力控制單元，以控制對上述面板的電力供應(yīng)。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，其中上述至少一個載板的每一個包括在上述第二表面上的一對導(dǎo)電軌，以在當(dāng)上述每一個載板由上述傳送單元輸送時，通過上述傳送單元電氣連接上述電力控制單元至電源。
6.如權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，其中上述第一探測器包括第二掃描儀，其在上述第二方向上延伸于上述第一掃描儀與上述輸出埠之間，其還包含位在上述第二掃描儀與上述輸出埠之間的第二滾輪組，以施加力量至上述至少一物件的每一個的表面上。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個被允許在與上述第一方向和上述第二方向垂直的第三方向上移動。
8.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括單一滾輪，其具有在滾輪表面上的直線溝槽與對角線溝槽中的一種。
9.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括復(fù)數(shù)個滾輪，其每一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
10.權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，還包含第一角度調(diào)整工具或第二角度調(diào)整工具的至少其中之一個，上述第一角度調(diào)整工具用以相對于上述至少一物件的每一個的上述表面的法線方向調(diào)整上述第一掃描儀的角度工具，上述第二角度調(diào)整工具，用以相對于上述每一物件的法線方向調(diào)整上述第二掃描儀的角度工具。
11.如權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，還包含清洗器，其設(shè)置在上述傳送單元的上述輸入埠與上述第一探測器的上述第一掃描儀之間的上述平臺之上，并延伸于上述第二方向上。
12.如權(quán)利要求I所述的裝置，其特征在于，還包含第二探測器，其設(shè)置在上述輸入埠與上述第一探測器之間的上述平臺之上，并延伸于上述第二方向上。
13.一種光學(xué)檢測裝置，其特征在于，上述裝置包含第一裝置單元，其包含 第一平臺，其延伸于第一方向上； 第一傳送單兀，用于在上述第一方向上由其第一輸入埤輸送載板至第一輸出埤；以及 第一探測器，其設(shè)置在上述第一平臺之上，并延伸于與上述第一方向垂直的第二方向上，用于縱向地檢測在上述載板上的物件；以及 第二裝置單元，其包含 第二平臺，其延伸于上述第二方向上； 第二傳送單元，用于在上述第二方向上由其第二輸入埠輸送上述載板至第二輸出埠；以及 第二探測器，其設(shè)置在上述第二平臺之上，并延伸于上述第一方向上，用于橫向地檢測在上述載板上的上述物件。
14.如權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于，其中上述物件包括液晶顯示器面板，且其中上述載板具有在其第一表面上的復(fù)數(shù)個第一開口，以允許上述載板可支撐不同尺寸的面板。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，其中上述載板具有在上述第一表面上的復(fù)數(shù)個第二開口，以暴露上述面板的條形碼。
16.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，其中上述載板包括在其第二表面上的電力控制單元，以控制對上述面板的電力供應(yīng)。
17.如權(quán)利要求16所述的裝置，其特征在于，其中上述載板包括在上述第二表面上的一對導(dǎo)電軌，以在當(dāng)上述載板由上述傳送單元輸送時，通過上述傳送單元電氣連接上述電力控制單元至電源。
18.如權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于，其中上述第一探測器包括第一掃描儀，其位在上述第一輸入埠與上述第一輸出埠之間，平行于上述第一探測器而延伸，更包含第一滾輪組，其位在上述第一輸入埠與上述第一掃描儀之間，用以施加力量至上述物件的表面上。
19.如權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于，其中上述第一探測器包括第二掃描儀，其位在上述第一掃描儀與上述第一輸出埠之間，平行于上述第一探測器而延伸，還包含第二滾輪組，其位在上述第二掃描儀與上述第一輸出埠之間，用以施加力量至上述物件的上述表面上。
20.如權(quán)利要求19所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
21.如權(quán)利要求19所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括單一滾輪，其具有在滾輪表面上的直線溝槽與對角線溝槽中的一種。
22.如權(quán)利要求19所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括復(fù)數(shù)個滾輪，其每一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
23.如權(quán)利要求19所述的裝置，其特征在于，還包含第一角度調(diào)整工具或第二角度調(diào)整工具的至少一個，上述第一角度調(diào)整工具用以相對于上述物件的上述表面的法線方向調(diào)整上述第一掃描儀的角度工具，上述第二角度調(diào)整工具，用以相對于上述物件的法線方向調(diào)整上述第二掃描儀的角度工具。
24.如權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于，還包含清洗器，其設(shè)置在上述第一傳送單元的上述第一輸入埠與上述第一探測器之間的上述第一平臺之上，并延伸于上述第二方向上。
25.如權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于，還包含第三探測器，其設(shè)置在上述第一輸入埠與上述第一探測器之間的上述第一平臺之上，并延伸于上述第二方向上。
26.如權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于，其中上述第二探測器包括第一掃描儀，其位于上述第二輸入埠與上述第二輸出埠之間，平行于上述第二探測器而延伸，還包含第一滾輪組，其位于上述第二輸入埠與上述第一掃描儀之間，用以施加力量至上述物件的表面上。
27.如權(quán)利要求26所述的裝置，其特征在于，其中上述第二探測器包括第二掃描儀，其位于上述第一掃描儀與上述第二輸出埠之間，平行于上述第二探測器而延伸，還包含第二滾輪組，其位于上述第二掃描儀與上述第二輸出埠之間，用以施加力量至上述物件的上述表面上。
28.如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
29.如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括單一滾輪，其具有在滾輪表面上的直線溝槽與對角線溝槽中的一種。
30.如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括復(fù)數(shù)個滾輪，其每一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
31.如權(quán)利要求27所述的裝置，其特征在于，還包含用第一角度調(diào)整工具或第二角度調(diào)整工具的至少一個，上述第一角度調(diào)整工具以相對于上述物件的上述表面的法線方向調(diào)整上述第一掃描儀的角度，工具上述第二角度調(diào)整工具用以相對于上述物件的法線方向調(diào)整上述第二掃描儀的角度的第二角度調(diào)整工具中至少一個。
32.一種光學(xué)檢測裝置，其特征在于，上述裝置包含 平臺，其延伸于第一方向上； 第一探測器，其設(shè)置于上述平臺之上，并延伸于與上述第一方向垂直的第二方向上，用于檢測物件；以及 傳送單元，用于在上述第一方向上由其輸入埠輸送載板至輸出埠，其中上述載板具有第一表面用于在其上支撐上述物件，及第二表面，在其上提供電力控制單元用于控制對上述物件的電力供應(yīng)，上述載板包括在上述第二表面上的一對導(dǎo)電軌，用以在檢測期間當(dāng)上述載板由上述傳送單元輸送時，通過上述傳送單元電氣連接上述電力控制單元至電源。
33.如權(quán)利要求32所述的裝置，其特征在于，其中上述物件包括液晶顯示器面板，且其中上述載板具有在上述第一表面上的復(fù)數(shù)個第一開口，以允許上述載板可支撐不同尺寸的面板。
34.如權(quán)利要求33所述的裝置，其特征在于，其中上述載板具有在上述第一表面上的復(fù)數(shù)個第二開口，以暴露上述面板的條形碼。
35.如權(quán)利要求32所述的裝置，其特征在于，其中上述第一探測器包括第一掃描儀，其在上述第二方向上延伸于上述輸入埠與上述輸出埠之間，還包含第一滾輪組，其位于上述輸入埠與上述第一掃描儀之間，用以施加力量至上述物件的表面上。
36.如權(quán)利要求35所述的裝置，其特征在于，其中上述第一探測器包括第二掃描儀，其在上述第二方向上延伸于上述第一掃描儀與上述輸出埠之間，還包含位于上述第二掃描儀與上述輸出埠之間的第二滾輪組，以施加力量至上述物件的上述表面上。
37.如權(quán)利要求36所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
38.如權(quán)利要求36所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括單一滾輪，其具有在滾輪表面上的直線溝槽與對角線溝槽中的一種。
39.如權(quán)利要求36所述的裝置，其特征在于，其中上述第一滾輪組或上述第二滾輪組中至少一個包括復(fù)數(shù)個滾輪，其每一個被允許在與上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移動。
40.如權(quán)利要求36所述的裝置，其特征在于，還包含用第一角度調(diào)整工具或第二角度調(diào)整工具的至少一個，上述第一角度調(diào)整工具以相對于上述物件的上述表面的法線方向調(diào)整上述第一掃描儀的角度，工具上述第二角度調(diào)整工具用以相對于上述物件的法線方向調(diào)整上述第二掃描儀的角度的第二角度調(diào)整工具中至少一個。
41.如權(quán)利要求32所述的裝置，其特征在于，還包含清洗器，其設(shè)置在上述傳送單元的上述輸入埠與上述第一探測器的上述第一掃描儀之間的上述平臺之上，并延伸于上述第二方向上。
42.如權(quán)利要求32所述的裝置，其特征在于，還包含第二探測器，其設(shè)置在上述輸入埠與上述第一探測器之間的上述平臺之上，并延伸于上述第二方向上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光學(xué)檢測裝置，上述裝置包含平臺，其在第一方向上延伸的；傳送單元，用于在上述第一方向上由其輸入埠輸送至少一載板至輸出埠，上述至少一載板的每一個用于支撐要被檢測的至少一物件其中之一；第一探測器，其設(shè)置在上述平臺之上，并在與上述第一方向垂直的第二方向上延伸，用于檢測在上述至少一載板上的上述至少一物件，上述第一探測器包括第一掃描儀，其在上述第二方向上延伸于上述輸入埠與上述輸出埠之間；以及第一滾輪組，其位于上述第一掃描儀與上述輸入埠之間，用于施加力量至上述至少一物件的每一個的表面上。
文檔編號G01N21/89GK102621155SQ20111016987
公開日2012年8月1日 申請日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月1日
發(fā)明者李小麟, 蔡榮華, 郭上鯤 申請人:郭上鯤