專利名稱：一種激光頻率測量裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光頻率測量裝置及方法，特別涉及一種用于飛秒激光頻率測量的光梳測頻裝置及方法，屬于飛秒激光測頻技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
激光頻率測量一直屬于前沿計量基礎(chǔ)學(xué)科中的重要問題，光波頻率用一般的電子學(xué)方法難以測量，而1978年出現(xiàn)的飛秒激光頻率梳技術(shù)，經(jīng)歷多年快速發(fā)展后建立起了光波和微波頻率之間的聯(lián)系，成功實現(xiàn)了激光頻率的精確測量。2005年，美國JILA實驗室的 John L. Hall和德國馬普實驗室的T. W. Hansch因在該領(lǐng)域的突出貢獻而榮膺諾貝爾物理學(xué)獎。隨著飛秒激光光梳技術(shù)的成熟發(fā)展和應(yīng)用，其在計量科研和工程技術(shù)方面的需求也隨之增多。但是以往構(gòu)造用于激光光頻測量的飛秒光梳測頻裝置包括單一窄帶高反鏡， 不僅浪費了具有寬譜特性的飛秒光梳中的大量有用光頻成分，而且還不利于提高激光頻率的測量效率。近年來，相關(guān)學(xué)者已經(jīng)發(fā)明了利用表面光場增強效應(yīng)在非線性介質(zhì)中通過高次諧波過程產(chǎn)生紫外光學(xué)頻率梳的方法，利用飛秒高重復(fù)頻率激光在滿足共振條件的入射角時，通過光場在光柵表面與等離子體波共振，在非線性介質(zhì)中形成的高次諧波來產(chǎn)生紫外光梳。還有研究者發(fā)明了一種采用四級光纖級聯(lián)放大方法來獲得高功率光學(xué)頻率梳的技術(shù)?？梢詫O低平均功率的光頻梳激光放大到超過百瓦量級。也有研究者針對飛秒激光頻率梳穩(wěn)定時間短的問題，發(fā)明了一種高穩(wěn)定高重復(fù)頻率單塊飛秒激光頻率梳的制作方法及設(shè)備。主要方法為使用飛秒鈦寶石振蕩器輸出高重復(fù)頻率、7fs以下的飛秒脈沖，通過單塊非線性晶體差頻產(chǎn)生飛秒脈沖CE0，再利用電路反饋技術(shù)將重復(fù)頻率和CEO頻率鎖定的飛秒光學(xué)頻率梳。該裝置具有結(jié)構(gòu)緊湊，鎖定時間長，輸出可用功率高、相位噪聲小等優(yōu)點，可廣泛應(yīng)用于光頻絕對測量、構(gòu)成光鐘和阿秒產(chǎn)生等科學(xué)研究中。上述有關(guān)飛秒激光頻率梳的技術(shù)中，大部分都是關(guān)于用來產(chǎn)生不同頻率的光學(xué)頻率梳，還有如何提高飛秒激光頻率梳功率的問題。然而在飛秒激光頻率梳測頻過程中，普遍存在飛秒激光頻率梳的重復(fù)頻率和載波包絡(luò)相移(CEO)長期穩(wěn)定性差、測量成本高等缺點，而且并沒有涉及如何提高測頻效率的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提高飛秒光學(xué)頻率梳裝置的測頻效率，提出了一種激光頻率測量裝置及方法。本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的。本發(fā)明的一種激光頻率測量裝置，由飛秒激光頻率梳裝置、激光脈沖壓縮裝置、光譜展寬裝置、第一全反射鏡、透射式石英光柵及與其配套的全反射鏡組、第一拍頻光路、第二拍頻光路、第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置組成；
上述與透射式石英光柵配套的全反射鏡組包括第二全反射鏡、第三全反射鏡和第四全反射鏡；飛秒激光頻率梳裝置的激光腔中發(fā)出的飛秒脈沖激光經(jīng)激光脈沖壓縮裝置對其進行脈沖壓縮后進入光譜展寬裝置，由光譜展寬裝置對其進行擴譜后到達第一全反射鏡， 第一全反射鏡將光束反射至第二全反射鏡，再經(jīng)第二全反射鏡反射至透射式石英光柵，經(jīng)透射式石英光柵后分為光頻不同的兩束激光，其中一束經(jīng)第三全反射鏡反射至第一拍頻光路后由第一數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集，另一束經(jīng)第四全反射鏡反射至第二拍頻光路后由第二數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集；上述激光脈沖壓縮裝置由棱鏡對和啁啾鏡組成或者由光柵對組成；激光脈沖壓縮裝置對飛秒激光頻率梳裝置激光腔中的脈沖光進行壓縮，將其壓縮至十飛秒至二十飛秒之間的范圍，以達到擴大超短脈沖光譜范圍的作用；上述光譜展寬裝置包括顯微物鏡和光子晶體光纖，顯微物鏡和光子晶體光纖安裝于高精度三維移動平臺上；光譜展寬裝置對壓縮后的飛秒脈沖激光進行光譜展寬的方法具體為通過將壓縮后的飛秒脈沖激光注入到光子晶體光纖中，利用光子晶體光纖的非線性效應(yīng)對飛秒脈沖進行進一步擴譜；上述透射式石英光柵為采用微納光學(xué)技術(shù)制作的高密度1x2透射式石英光柵，其作用是對飛秒光梳光譜中不同波長的高斯峰分光，并且可以實現(xiàn)高效透射；透射式石英光柵的制作過程為1)利用全息技術(shù)在涂有正光刻膠的鉻膜上記錄高密度光柵；2)對步驟1)所記錄的光柵進行顯影；3)用去鉻液將光刻光柵圖案轉(zhuǎn)移至鉻膜上，并使用化學(xué)方法將殘留的光刻膠去除，制成光柵模版；4)利用微電子刻蝕工藝，將步驟幻制作的光柵模版放入感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機中進行刻蝕，再進一步去除石英基片上的剩余鉻，即制作成所需的高效透射式石英光柵。本發(fā)明的一種光頻測量裝置，其中透射式石英光柵及其配套的全反射鏡組可由第一窄帶高反鏡和第二窄帶高反鏡代替，第一窄帶高反鏡和第二窄帶高反鏡對與其各自參數(shù)分別對應(yīng)的某一指定波長的激光高效反射，而對其余波長的激光高效透射；此時入射到第一全反射鏡的光束被反射至第一窄帶高反鏡，經(jīng)第一窄帶高反鏡后分為兩束其中一束被反射至第一拍頻光路后由第一數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集，另一束被透射至第二窄帶高反鏡，由第二窄帶高反鏡反射至第二拍頻光路后由第二數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集。本發(fā)明的一種激光頻率測量裝置，其測頻方法的步驟為1)通過高精度鎖相穩(wěn)頻電路模塊，將飛秒激光頻率梳裝置的重復(fù)頻率和偏移頻率鎖定到原子鐘頻率上，使飛秒光頻處于長時間的穩(wěn)定，便于精確可靠的測量待測光頻的絕對頻率；2)通過調(diào)節(jié)高精度三維移動平臺，來調(diào)整光譜展寬裝置中顯微物鏡和光子晶體光纖的位置，使注入光子晶體光纖的飛秒激光能量最大，可以通過觀察從光子晶體光纖出射的光強來判斷耦合效率的高低；3)通過調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置來控制飛秒脈沖寬度，進而影響飛秒脈沖中寬光譜域中的波峰位置和數(shù)量，具體為3. 1如果調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置由棱鏡對和啁啾鏡組成，通過調(diào)節(jié)其中一個棱鏡在光路中的插入量來控制飛秒脈沖寬度；3. 2如果調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置由光柵對組成，通過調(diào)節(jié)光柵對的間距來控制飛秒脈沖寬度；4)啟動激光頻率測量裝置，實施激光頻率測量。有益效果本發(fā)明的一種激光頻率測量裝置，結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、易集成化、成本低、應(yīng)用靈活，不僅可以用于可見光范圍的激光頻率測量，還可以用于紅外和紫外激光頻率的精密測量，有效利用了飛秒光梳寬譜中各個波長成分，對比以往使用高穩(wěn)定的飛秒激光頻率梳的測頻系統(tǒng)，具有較高的利用效率，便于快速實現(xiàn)雙波長甚至多波長激光的頻率測量。


圖1為本發(fā)明的實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；其中，Ll為飛秒激光頻率梳裝置，Cl為激光脈沖壓縮裝置，Sl為光譜展寬裝置， M1、M2、M3和M4分別為第一全反射鏡、第二全反射鏡、第三全反射鏡和第四全反射鏡，Gl為透射式石英光柵，Al和A2分別第一拍頻光路和第二拍頻光路，Bl和B2分別為第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置；圖2為實施例1中，在飛秒激光頻率梳中寬光譜范圍內(nèi)，針對波長633納米的光設(shè)計的透射式石英光柵的衍射效率圖；圖3為實施例1中，在飛秒激光頻率梳中寬光譜范圍內(nèi)，針對波長613納米的光設(shè)計的透射式石英光柵的衍射效率圖；圖4為本發(fā)明的實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；其中，Ll為飛秒激光頻率梳裝置，Cl為激光脈沖壓縮裝置，Sl為光譜展寬裝置，Ml 為第一全反射鏡，M5和M6分別為第一窄帶高反鏡和第二窄帶高反鏡，Al和A2分別第一拍頻光路和第二拍頻光路，Bl和B2分別為第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明做進一步說明。實施例1一種激光頻率測量裝置，如圖1所示，由飛秒激光頻率梳裝置、激光脈沖壓縮裝置、光譜展寬裝置、第一全反射鏡、透射式石英光柵、第二全反射鏡、第三全反射鏡、第四全反射鏡、第一拍頻光路、第二拍頻光路、第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置組成；飛秒激光頻率梳裝置的激光腔中發(fā)出的飛秒脈沖激光經(jīng)激光脈沖壓縮裝置對其進行脈沖壓縮后進入光譜展寬裝置，由光譜展寬裝置對其進行擴譜后到達第一全反射鏡， 第一全反射鏡將光束反射至第二全反射鏡，再經(jīng)第二全反射鏡反射至透射式石英光柵，經(jīng)透射式石英光柵后分為光頻不同的兩束激光，其中一束經(jīng)第三全反射鏡反射至第一拍頻光路后由第一數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集，另一束經(jīng)第四全反射鏡反射至第二拍頻光路后由第二數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集；
上述激光脈沖壓縮裝置由棱鏡對和啁啾鏡組成，激光脈沖壓縮裝置對飛秒激光頻率梳裝置激光腔中的脈沖光進行壓縮，將其壓縮至十飛秒至二十飛秒之間的范圍，以達到擴大超短脈沖光譜范圍的作用；上述光譜展寬裝置包括顯微物鏡和光子晶體光纖，顯微物鏡和光子晶體光纖安裝于高精度三維移動平臺上；光譜展寬裝置對壓縮后的飛秒脈沖激光進行光譜展寬的方法具體為通過將壓縮后的飛秒脈沖激光注入到光子晶體光纖中，利用光子晶體光纖的非線性效應(yīng)對飛秒脈沖進行進一步擴譜；上述透射式石英光柵為采用微納光學(xué)技術(shù)制作的高密度1x2透射式石英光柵，光柵占空比f = 0.5，周期d范圍為1 <d< 2微米，深度h范圍為0.8 <h< 1.2微米，其作用是對飛秒光梳光譜中不同波長的高斯峰分光，并且可以實現(xiàn)高效透射；透射式石英光柵的制作過程為1)利用全息技術(shù)在涂有正光刻膠的鉻膜上記錄高密度光柵，所采用的正光刻膠的型號為 Shipley S1818 ；2)對步驟1)所記錄的光柵進行顯影；3)用去鉻液將光刻光柵圖案轉(zhuǎn)移至鉻膜上，并使用化學(xué)方法將殘留的光刻膠去除，制成光柵模版；4)利用微電子刻蝕工藝，將步驟幻制作的光柵模版放入感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機中進行刻蝕，再進一步去除石英基片上的剩余鉻，即制作成所需的高效透射式石英光柵。本實施例1中光柵的占空比f = 0.5，周期d= 1. 144微米，深度h = 0.86微米， 對波長為633納米和613納米的光有高效率透射作用，還可以讓兩束光在空間上分開。本實施例1的一種激光頻率測量裝置，其測頻方法的步驟為1)通過高精度鎖相穩(wěn)頻電路模塊，將飛秒激光頻率梳裝置的重復(fù)頻率和偏移頻率鎖定到原子鐘頻率上，使飛秒光頻處于長時間的穩(wěn)定，便于精確可靠的測量待測光頻的絕對頻率；2)通過調(diào)節(jié)高精度三維移動平臺，來調(diào)整光譜展寬裝置中顯微物鏡和光子晶體光纖的位置，使注入光子晶體光纖的飛秒激光能量最大，可以通過觀察從光子晶體光纖出射的光強來判斷耦合效率的高低；3)通過調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置來控制飛秒脈沖寬度，進而影響飛秒脈沖中寬光譜域中的波峰位置和數(shù)量，具體為調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置的棱鏡對中一個棱鏡在光路中的插入量來控制飛秒脈沖寬度，使飛秒脈沖的峰值位置處于633納米和613納米；4)啟動激光頻率測量裝置，實施激光頻率測量。 本實施例中，在飛秒激光頻率梳中寬光譜范圍內(nèi)，針對波長633納米和613納米波長而設(shè)計的高效透射式光柵的衍射效率圖分別如圖2和圖3所示。實施例2一種激光頻率測量裝置，如圖1所示，由飛秒激光頻率梳裝置、激光脈沖壓縮裝置、光譜展寬裝置、第一全反射鏡、第一窄帶高反鏡、第二窄帶高反鏡、第一拍頻光路、第二拍頻光路、第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置組成；上述第一窄帶高反鏡對波長為633納米的光高效反射，而對7 納米的光高效透射；
上述第二窄帶高反鏡對波長為7 納米的光高效反射，而對633納米的光高效透射；飛秒激光頻率梳裝置的激光腔中發(fā)出的飛秒脈沖激光經(jīng)激光脈沖壓縮裝置對其進行脈沖壓縮后進入光譜展寬裝置，由光譜展寬裝置對其進行擴譜后到達第一全反射鏡， 入射到第一全反射鏡的光束被反射至第一窄帶高反鏡，經(jīng)第一窄帶高反鏡后分為兩束其中633納米的光束被反射至第一拍頻光路后由第一數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集，7 納米的光束被透射至第二窄帶高反鏡，由第二窄帶高反鏡反射至第二拍頻光路后由第二數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集；上述激光脈沖壓縮裝置由光柵對組成，激光脈沖壓縮裝置對飛秒激光頻率梳裝置激光腔中的脈沖光進行壓縮，將其壓縮至十飛秒至二十飛秒之間的范圍，以達到擴大超短脈沖光譜范圍的作用；上述光譜展寬裝置包括顯微物鏡和光子晶體光纖，顯微物鏡和光子晶體光纖安裝于高精度三維移動平臺上；光譜展寬裝置對壓縮后的飛秒脈沖激光進行光譜展寬的方法具體為通過將壓縮后的飛秒脈沖激光注入到光子晶體光纖中，利用光子晶體光纖的非線性效應(yīng)對飛秒脈沖進行進一步擴譜；本實施例2的一種激光頻率測量裝置，其測頻方法的步驟為1)通過高精度鎖相穩(wěn)頻電路模塊，將飛秒激光頻率梳裝置的重復(fù)頻率和偏移頻率鎖定到原子鐘頻率上，使飛秒光頻處于長時間的穩(wěn)定，便于精確可靠的測量待測光頻的絕對頻率；2)通過調(diào)節(jié)高精度三維移動平臺，來調(diào)整光譜展寬裝置中顯微物鏡和光子晶體光纖的位置，使注入光子晶體光纖的飛秒激光能量最大，可以通過觀察從光子晶體光纖出射的光強來判斷耦合效率的高低；3)通過調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置來控制飛秒脈沖寬度，進而影響飛秒脈沖中寬光譜域中的波峰位置和數(shù)量，具體為調(diào)節(jié)光柵對的間距來控制飛秒脈沖寬度，使飛秒脈沖的峰值位置處于633納米和729納米；4)啟動激光頻率測量裝置，實施激光頻率測量。以上所述為本發(fā)明的較佳實施例而已，本發(fā)明不應(yīng)該局限于該實施例和附圖所公開的內(nèi)容。凡是不脫離本發(fā)明所公開的精神下完成的等效或修改，都落入本發(fā)明保護的范圍。
權(quán)利要求
1.一種激光頻率測量裝置，其特征在于由飛秒激光頻率梳裝置、激光脈沖壓縮裝置、 光譜展寬裝置、第一全反射鏡、透射式石英光柵及與其配套的全反射鏡組、第一拍頻光路、 第二拍頻光路、第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置組成；上述與透射式石英光柵配套的全反射鏡組包括第二全反射鏡、第三全反射鏡和第四全反射鏡；飛秒激光頻率梳裝置的激光腔中發(fā)出的飛秒脈沖激光經(jīng)激光脈沖壓縮裝置對其進行脈沖壓縮后進入光譜展寬裝置，由光譜展寬裝置對其進行擴譜后到達第一全反射鏡，第一全反射鏡將光束反射至第二全反射鏡，再經(jīng)第二全反射鏡反射至透射式石英光柵，經(jīng)透射式石英光柵后分為光頻不同的兩束激光，其中一束經(jīng)第三全反射鏡反射至第一拍頻光路后由第一數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集，另一束經(jīng)第四全反射鏡反射至第二拍頻光路后由第二數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集；上述光譜展寬裝置包括顯微物鏡和光子晶體光纖，顯微物鏡和光子晶體光纖安裝于高精度三維移動平臺上；光譜展寬裝置對壓縮后的飛秒脈沖激光進行光譜展寬的方法具體為通過將壓縮后的飛秒脈沖激光注入到光子晶體光纖中，利用光子晶體光纖的非線性效應(yīng)對飛秒脈沖進行進一步擴譜；上述透射式石英光柵為采用微納光學(xué)技術(shù)制作的高密度1x2透射式石英光柵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光頻率測量裝置，其特征在于所述透射式石英光柵的占空比f = 0.5，周期d范圍為1 <d< 2微米，深度h范圍為0.8 <h< 1.2微米，其制作過程為1)利用全息技術(shù)在涂有正光刻膠的鉻膜上記錄高密度光柵；2)對步驟1)所記錄的光柵進行顯影；3)用去鉻液將光刻光柵圖案轉(zhuǎn)移至鉻膜上，并使用化學(xué)方法將殘留的光刻膠去除，制成光柵模版；4)利用微電子刻蝕工藝，將步驟幻制作的光柵模版放入感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機中進行刻蝕，再進一步去除石英基片上的剩余鉻，即制作成所需的高效透射式石英光柵。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種激光頻率測量裝置，其特征在于所述正光刻膠的型號為 Shipley S1818。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種激光頻率測量裝置，其特征在于所述透射式石英光柵的占空比f = 0. 5，周期d = 1. 144微米，深度h = 0. 86微米，對波長為633納米和613納米的光有高效率透射作用并使兩束光在空間上分開。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光頻率測量裝置，其特征在于所述透射式石英光柵及其配套的全反射鏡組可由第一窄帶高反鏡和第二窄帶高反鏡代替，第一窄帶高反鏡和第二窄帶高反鏡對與其各自參數(shù)分別對應(yīng)的某一指定波長的激光高效反射，而對其余波長的激光高效透射；此時入射到第一全反射鏡的光束被反射至第一窄帶高反鏡，經(jīng)第一窄帶高反鏡后分為兩束其中一束被反射至第一拍頻光路后由第一數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集， 另一束被透射至第二窄帶高反鏡，由第二窄帶高反鏡反射至第二拍頻光路后由第二數(shù)據(jù)采集裝置對其光頻進行測試與采集。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的一種激光頻率測量裝置，其特征在于所述激光脈沖壓縮裝置由棱鏡對和啁啾鏡組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種激光頻率測量裝置的頻率測量方法，其特征在于其步驟為1)通過高精度鎖相穩(wěn)頻電路模塊，將飛秒激光頻率梳裝置的重復(fù)頻率和偏移頻率鎖定到原子鐘頻率上，使飛秒光頻處于長時間的穩(wěn)定，便于精確可靠的測量待測光頻的絕對頻率；2)通過調(diào)節(jié)高精度三維移動平臺，來調(diào)整光譜展寬裝置中顯微物鏡和光子晶體光纖的位置，使注入光子晶體光纖的飛秒激光能量最大，可以通過觀察從光子晶體光纖出射的光強來判斷耦合效率的高低；3)通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置的棱鏡對中一個棱鏡在光路中的插入量來控制飛秒脈沖寬度，進而影響飛秒脈沖中寬光譜域中的波峰位置和數(shù)量；4)啟動激光頻率測量裝置，實施激光頻率測量。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的一種激光頻率測量裝置，其特征在于所述激光脈沖壓縮裝置由光柵對組成。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種激光頻率測量裝置的頻率測量方法，其特征在于其步驟為1)通過高精度鎖相穩(wěn)頻電路模塊，將飛秒激光頻率梳裝置的重復(fù)頻率和偏移頻率鎖定到原子鐘頻率上，使飛秒光頻處于長時間的穩(wěn)定，便于精確可靠的測量待測光頻的絕對頻率；2)通過調(diào)節(jié)高精度三維移動平臺，來調(diào)整光譜展寬裝置中顯微物鏡和光子晶體光纖的位置，使注入光子晶體光纖的飛秒激光能量最大，可以通過觀察從光子晶體光纖出射的光強來判斷耦合效率的高低；3)通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)脈沖壓縮裝置的調(diào)節(jié)光柵對的間距來控制飛秒脈沖寬度，進而影響飛秒脈沖中寬光譜域中的波峰位置和數(shù)量；4)啟動激光頻率測量裝置，實施激光頻率測量。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種激光頻率測量裝置及方法，屬于飛秒激光測頻技術(shù)領(lǐng)域。測量裝置由飛秒激光頻率梳裝置、激光脈沖壓縮裝置、光譜展寬裝置、第一全反射鏡、透射式石英光柵及與其配套的全反射鏡組、第一拍頻光路、第二拍頻光路、第一數(shù)據(jù)采集裝置和第二數(shù)據(jù)采集裝置組成，其中透射式石英光柵及其配套的全反射鏡組可由第一窄帶高反鏡和第二窄帶高反鏡代替。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、成本低、應(yīng)用靈活，不僅可以用于可見光范圍的激光頻率測量，還可以用于紅外和紫外激光頻率的精密測量，有效利用了飛秒光梳寬譜中各個波長成分，對比以往使用高穩(wěn)定的飛秒激光頻率梳的測頻系統(tǒng)，具有較高的利用效率，便于快速實現(xiàn)雙波長甚至多波長激光的頻率測量。
文檔編號G01J9/02GK102213619SQ20111008611
公開日2011年10月12日 申請日期2011年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月20日
發(fā)明者張大鵬, 朱振宇, 李新良, 梁志國, 武騰飛 申請人:中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術(shù)研究所