專利名稱：利用光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應的方法
技術領域：
本發(fā)明屬于光纖光柵傳感技術領域，特別涉及利用Bragg光纖光柵檢測激光與透 明介質(zhì)相互作用區(qū)域熱效應的方法。
背景技術：
短脈沖激光尤其是飛秒激光具有超短持續(xù)時間和超強峰值功率，可實現(xiàn)對透明介 質(zhì)的超精細、低損傷和超高空間分辨率的非熱熔性“冷”加工，使其在微光學、微機械、微流 控和微傳感等諸多領域展現(xiàn)了廣闊的應用前景。這種“冷”加工的實現(xiàn)是由于飛秒激光脈 沖能夠在短于晶格熱擴散的時間(PS量級)內(nèi)將能量作用到介質(zhì)中具有高度空間選擇的區(qū) 域，而絕大部分激光能量被材料以多光子形式吸收，并以等離子噴發(fā)的形式釋放掉，使激光 作用區(qū)域溫度快速下降，避免了附近區(qū)域的熱熔化。然而，實際上在激光與介質(zhì)相互作用過 程中還有部分能量轉(zhuǎn)化為熱量引起材料升溫。這種作用區(qū)域熱量的積累與擴散除與介質(zhì)本 身有關外，還受到激光工作條件的影響，如重復頻率和脈沖能量，對于高重復頻率或高脈 沖能量的情況，熱積累效應尤為顯著，產(chǎn)生的熱影響將會向作用區(qū)域以外擴展。在飛秒激光微納加工中，利用這種熱效應可以減輕因強烈的非線性作用導致材料 的破壞，比如，加工中形成的微裂紋等，這一特性對于玻璃等脆性介質(zhì)加工尤為明顯，特別 是對于制備波導及其陣列、三維波導分束器和衍射光柵等光學器件格外重要。為了掌握和 應用超短脈沖激光與介質(zhì)相互作用時產(chǎn)生的熱效應，近些年來，部分學者對此進行了相關 研究。更多的集中在對熱效應現(xiàn)象的研究上，主要從激光重復頻率(MHz)和脈沖能量(nj) 情況下考慮熱效應對介質(zhì)折變和熱熔化區(qū)域的影響。然而對于激光作用區(qū)域熱效應所引 起溫升的檢測卻比較困難，在已有的研究中，F(xiàn). Ladieu等人在研究飛秒激光誘導介質(zhì)材料 損傷時，利用光刻技術在石英樣品表面制作出微型金屬熱電偶，測量了高脈沖能量OmJ) 作用下介質(zhì)局部溫度的變化，并證明了熱效應產(chǎn)生的高溫是引起材料損傷的重要因素。該 研究中要求使用高的脈沖能量，以使熱擴散時間(ms)和熱影響區(qū)域都顯著增大，達到測量 熱量積累與擴散時溫度變化的目的。但這種方法制備工藝比較復雜成本高，而且溫度敏感 元件與激光作用介質(zhì)屬不同材質(zhì)，彼此分立不能有機的結(jié)合為一個整體對測溫有較大的影 響，并且熱電偶也容易被激光所損壞。綜上所述，檢測激光尤其是超短脈沖激光與物質(zhì)相互作用時的熱效應成為亟待解 決的問題，同時需要一種嶄新的溫度檢測方法。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種利用Bragg光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應 的方法。該方法是基于溫度敏感元件Bragg光纖光柵的溫度敏感性和高溫穩(wěn)定性，Bragg 光纖光柵既是作為溫度檢測器件又是作為激光作用的物質(zhì)，兩種元素有機的結(jié)合為一體有 助于提高熱效應檢測的響應時間和效果。
為了達到上述檢測熱效應的目的，本發(fā)明是通過如下技術方案予以實施的首 先制備作為溫度敏感元件的Bragg光纖光柵，并通過等時退火研究確定所制備光柵的波 長-溫度靈敏度；然后采用所搭建的反射式或透射式熱效應檢測系統(tǒng)，使激光與寫有Bragg 光柵的光纖或者波導區(qū)域相互作用；再利用光譜分析儀檢測Bragg諧振波長并結(jié)合波 長-溫度靈敏度即可分析得到激光作用區(qū)域的等效溫度。此方法的原理如下所述當激光照射到寫有Bragg光柵的光纖或者波導區(qū)域時， 在作用區(qū)域能量的沉積會引起熱量的積累和擴散，導致光柵區(qū)域整體溫度的增加，而光柵 介質(zhì)的熱光效應和熱膨脹效用會引起光纖的有效折射率和體積等特性的改變，產(chǎn)生一個 Bragg諧振波長變化量Δ λ Β，再根據(jù)光柵所具有的波長-溫度靈敏特性計算出溫 度。這種效果類似于處于恒溫場中的光柵，其諧振波長隨溫度的變化為Δ λΒ= λΒ(ζ+α) ΔΤ，其中，參數(shù)ζ和α分別為熱光系數(shù)和熱膨脹系數(shù)，ΔΤ為溫升。因此，便可以將熱效 應引起的溫度等效視為光纖光柵處于恒溫場中的溫度，即等效溫度它是激光作用區(qū)域 熱積累和熱擴散相對平衡狀態(tài)下的平均化溫度，并且由入射激光的重復頻率和脈沖能量等 參數(shù)所決定。所以，可以通過檢測激光與Bragg光柵介質(zhì)相互作用時引起的Bragg諧振波 長的變化量△ λΒ，結(jié)合光柵的高溫測試給出的波長-溫度靈敏度，既可以得到作用區(qū)域的 等效溫度，這樣便可以實現(xiàn)對激光與物質(zhì)相互作用熱效應的檢測。本發(fā)明所述的方法，其更為具體的實施步驟如下(1)制備作為溫度敏感元件的Bragg光纖光柵制備Bragg光纖光柵的方法可以是相位掩模法、逐點掃描直寫法以及全息干涉法 等。曝光光源可以選擇準分子激光器和飛秒激光器，還可以進一步采用飛秒激光微納加工 技術實現(xiàn)高溫穩(wěn)定性好的溫度敏感元件。飛秒激光誘導光纖折射率變化是由于超快超短脈 沖的多光子吸收和多光子電離效應產(chǎn)生的，所制備的光柵溫度穩(wěn)定性可以達到材料的熱熔 化轉(zhuǎn)變溫度(制備方法參考“Formation of Type I-IR and Type II-IR gratings with an ultrafast IR laser and a phase mask，，,Christopher W. Smelser,Optics Express, 2005, 13，5377-5386)。如使用工作波長為800nm，脈沖寬度為100fs，重復頻率為1 1000Hz，單脈 沖能量大于0.4mJ/pulSe的飛秒激光制備的紅外II型Bragg光纖光柵(Type II-IR FBG)， 其溫度穩(wěn)定性可以達到1150°C，波長-溫度靈敏度達到15pm/°C。所述的制備Bragg光柵所需的光纖材料可以是純石英光纖、摻雜石英光纖、藍寶 石光纖、氟化玻璃光纖、光子晶體光纖等各種晶體或類玻璃材料制備的光纖，但不限于這些 材料。關于Bragg光纖光柵的溫度穩(wěn)定性和光纖材質(zhì)的要求，可以根據(jù)熱效應檢測中所 選擇的激光器種類以及與何種透明介質(zhì)相互作用來決定。(2)繪制溫度敏感元件的波長-溫度敏感特性曲線上述步驟制備的Bragg光纖光柵進行等時退火實驗以分析溫度敏感元件的溫度 靈敏特性，并繪制出波長-溫度敏感特性曲線。等時退火實驗過程為將Bragg光纖光柵自然放置在普通高溫爐中，在普通大氣 環(huán)境下進行退火，退火溫度從室溫到1000°c，升溫速度控制在10°C /min，每次溫度增加 100°C，共選取11個測試點進行測試。Bragg光纖光柵在每個測試點保持1小時，待光譜穩(wěn) 定后用光譜分析儀檢測Bragg光纖光柵的光譜，在光譜中讀取諧振峰的峰值波長即Bragg光纖光柵的諧振波長，其與室溫時光柵諧振波長的差值即為退火溫度引起的Bragg光纖光 柵諧振波長的變化量，對測試得到的11組溫度及對應波長變化量的數(shù)據(jù)使用Origin軟件 進行分析，并通過線性擬合繪制出波長-溫度敏感特性曲線，擬合曲線的斜率即為該Bragg 光纖光柵的波長-溫度靈敏度，該敏感特性曲線及靈敏度將被用于后續(xù)對熱效應引起的平 均化等效溫度的定標。(3)搭建反射式或透射式熱效應檢測系統(tǒng)搭建基于Bragg光纖光柵的激光與物質(zhì)相互作用熱效應的檢測系統(tǒng)。所述的熱效 應的檢測系統(tǒng)主要包括作為溫度敏感元件的Bragg光纖光柵、寬帶光源、以及用于記錄反 射譜或透射譜變化的光譜分析儀(Optical Spectrum Analyzer)。Bragg光纖光柵的一端通過光纖環(huán)行器或耦合器連接寬帶光源和光譜分析儀，另 一端置于折射率匹配液(如折射率為1. 52的香柏油)中，構(gòu)成反射式熱效應檢測系統(tǒng)，通 過光譜分析儀用以檢測和分析Bragg光纖光柵反射譜的變化；Bragg光纖光柵的兩端分別連接寬帶光源和光譜分析儀，構(gòu)成透射式熱效應檢測 系統(tǒng)，通過光譜分析儀用以檢測和分析Bragg光纖光柵透射譜的變化。(4)使激光與溫度敏感元件相互作用，檢測Bragg光纖光柵的諧振波長并通過波 長-溫度敏感特性曲線實現(xiàn)對激光與物質(zhì)相互作用熱效應的檢測采用上述搭建的反射式或透射式熱效應檢測系統(tǒng)，使激光與Bragg光纖光柵相互 作用。所述的激光光源可以是飛秒脈沖激光器(波長范圍為200 ^K)0nm，脈沖寬度范圍 為10 lOOfs，重復頻率范圍為1 80MHz，單脈沖能量范圍為IOpJ ImJ)、皮秒脈沖激光 器(波長范圍為200 ^00nm，脈沖寬度范圍為10 900ps，重復頻率范圍為1 80MHz， 單脈沖能量范圍為InJ 1J)，或者納秒脈沖激光器(波長范圍為200 2000nm，脈沖寬度 范圍為10 900ns，重復頻率范圍為1 ΙΟΚΗζ，單脈沖能量范圍為IOpJ 1J)。激光作用于溫度敏感元件的方式可以是直接照射或者通過球面透鏡、柱面透鏡等 聚焦透鏡聚焦后照射到Bragg光纖光柵區(qū)域。無論是何種激光照射方式，都應將Bragg光 纖光柵的溫度敏感區(qū)域整體置于激光可及的范圍內(nèi)，以保證對熱效應的有效檢測。采用上述搭建的反射式或透射式熱效應檢測系統(tǒng)，并使激光與Bragg光纖光柵相 互作用后，再利用光譜分析儀檢測光柵的反射譜或透射譜，光譜中的峰值波長為Bragg諧 振波長，其與未經(jīng)激光作用時Bragg光纖光柵諧振波長的差值即為熱效應導致的諧振波長 變化量Δ λ Β，并結(jié)合等溫退火實驗得到的波長-溫度敏感特性曲線即可分析獲得激光作用 區(qū)域的等效溫度
圖1 本發(fā)明采用的基于溫度敏感元件的反射式熱效應檢測系統(tǒng)示意圖；圖2 本發(fā)明采用的基于溫度敏感元件的透射式熱效應檢測系統(tǒng)示意圖；圖3 本發(fā)明的激光經(jīng)透鏡聚焦后與Bragg光纖光柵相互作用示意圖；圖4 本發(fā)明中溫度敏感元件的波長-溫度敏感特性曲線；圖5 不同參數(shù)激光照射導致Bragg諧振峰漂移的光譜圖；圖6 不同參數(shù)激光引起的Bragg諧振波長變化量和等效溫度的曲線圖；圖7 諧振波長變化量與激光重復頻率和脈沖能量的函數(shù)關系曲面；
圖8 不同參數(shù)激光引起作用區(qū)域的等效溫度的等溫分布曲線。如圖所示，本發(fā)明的檢測裝置各部件名稱分別為溫度敏感元件(Bragg光纖光 柵)1、寬帶光源2、光譜分析儀3、光纖環(huán)行器或者耦合器4、折射率匹配液5、激光光束6、柱 面透鏡7、球面透鏡8。其中，如圖1所示，溫度敏感元件1的一端由光纖環(huán)行器或耦合器(三端口，工作 于C波段(1530nm 1565nm)和L波段(1565nm 1625nm))與寬帶光源和光譜分析儀相 連接，溫度敏感元件1的另一端置于折射率匹配液中，構(gòu)成反射式熱效應檢測系統(tǒng)；而如圖 2所示，溫度敏感元件1的兩端分別與寬帶光源2和光譜分析儀3相連接，構(gòu)成透射式熱效 應檢測系統(tǒng)。圖4為具體實施例1中，利用紅外飛秒激光結(jié)合相位掩模法制備的Bragg光纖光 柵經(jīng)過等時退火實驗得到的透射譜隨溫度(室溫至1000°c )的變化情況，讀取每個測試溫 度及對應的Bragg諧振波長變化量，得到的11組數(shù)據(jù)使用Origin軟件進行分析，并通過 線性擬合繪制出波長-溫度敏感特性曲線，如插圖所示，擬合曲線的斜率即為該光柵的波 長-溫度靈敏度。圖5為具體實施例1中，利用圖3-(a)所示的飛秒激光經(jīng)柱面透鏡聚焦后照射到 Bragg光纖光柵上，使用圖2所示的透射式熱效應檢測系統(tǒng)得到的不同參數(shù)(激光重復頻 率、單脈沖能量)激光導致的Bragg諧振峰漂移的光譜圖。而不同參數(shù)激光導致的Bragg 諧振波長變化量表示在圖6中，而其對應的平均化等效溫度示于圖6的右側(cè)坐標，這是根據(jù) 圖4中的波長-溫度靈敏度定標得到的。而圖7和圖8分別為具體實施例1中，利用Matlab軟件對實驗結(jié)果進行擬合得到 的諧振波長變化量與激光重復頻率和脈沖能量的函數(shù)關系曲面，以及等效溫度的等溫分布 曲線。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和具體實施為例來對本發(fā)明進行詳細說明。實施例1 首先，溫度敏感元件選擇Bragg光纖光柵，它是利用紅外飛秒激光結(jié)合相位掩 模法(制備方法參考"Formation of Type I-IR and Type II-IR gratings with an ultrafast IR laser and a phase mask，，, Christopher W. Smelser, Optics Express, 2005, 13,5377-5386)在通信用SMF-觀光纖中制備的溫度穩(wěn)定性較高的Type II-IRFBG0光柵的 制備條件為激光工作波長800nm，重復頻率為100Hz，單脈沖能量為0. 7mJ/pulSe，相位掩 模板周期為3. 33 μ m。其次，對上述條件制備的Bragg光纖光柵進行等時退火實驗(從室溫到1000°C )， 得到透射譜隨溫度的變化情況如圖4所示，并繪制出波長-溫度敏感特性曲線如插圖所示， 經(jīng)線性擬合分析可知其呈現(xiàn)的函數(shù)關系為Δ λΒ = 0.015Τ-0. 49，其中，T為退火溫度，Δ λΒ 為Bragg光纖光柵諧振波長變化量，波長-溫度靈敏度約為15pm/°C。該曲線將被用于熱效 應引起的平均化等效溫度的定標。然后，采用如圖2所示的透射式熱效應檢測系統(tǒng)來檢測激光與透明介質(zhì)即Bragg 光纖光柵相互作用區(qū)域的熱效應。Bragg光纖光柵的兩端分別接有寬帶光源(丹麥NKTPhotonics公司，Superk Compact)和光譜分析儀(日本^kogawa公司，AQ6370B)，用以探 測和記錄光柵經(jīng)激光照射時候的光譜變化情況。在此實例中分析飛秒激光與透明介質(zhì)相互作用區(qū)域的熱效應，飛秒脈沖激光是通 過美國Spectra-Physics公司制造的鈦藍寶石鎖模激光器產(chǎn)生的，其工作波長為800nm，脈 沖寬度為lOOfs。飛秒激光與Bragg光纖光柵相互作用的方式如圖3-(a)所示，激光脈沖通 過焦距為40mm的柱面透鏡聚焦后直接照射到Bragg光纖光柵，寫有Bragg光柵的溫度敏感 區(qū)域要整體置于激光可及的范圍內(nèi)，以保證對熱效應的有效檢測。本實例中選擇不同參數(shù)的飛秒激光進行分析，脈沖能量在0. 2 1. lmj/pulse間 變化，重復頻率在5 1000Hz可調(diào)。光譜分析儀對不同參數(shù)激光作用下引起熱效應所導致 的Bragg諧振波長的變化情況進行記錄，分析的結(jié)果示于圖5、圖6中。其中圖5_(a)為脈 沖能量0. SmJ/pulse時，不同激光重復頻率的飛秒激光引起的透射譜漂移情況；圖5-(b)為 激光重復頻率IkHz時，不同脈沖能量的飛秒激光引起的透射譜漂移情況。此外，根據(jù)透射譜漂移情況可以得到不同參數(shù)激光所對應的Bragg諧振波長變化 量Δ λΒ，繪制的二者關系曲線如圖6所示。由圖4給出的波長-溫度靈敏度對熱效應所導 致的等效溫度進行定標，進一步計算出不同參數(shù)激光對應的等效溫度Trai,并表示在圖6的 右側(cè)坐標。圖6_(a)表示在相同的脈沖能量下依次提高重復頻率對Δ的影響趨 勢，結(jié)果表明二者隨著重復頻率的增加成線性遞增的關系，并且脈沖能量越高二者的增加 量d(A人^/^！^和孔^！^也越大。圖6-(b)表示在相同的重復頻率下依次提高脈沖能 量對△ λ Trai的影響趨勢，結(jié)果表明二者隨著脈沖能量的增加呈現(xiàn)一個非線性的遞增關 系，即在低脈沖能量的情況下，Δ λΒ變化非常?。划斆}沖能量增加時，Δ 先增大后 趨于平穩(wěn)。以上實驗及分析過程既實現(xiàn)了對飛秒激光與石英光纖介質(zhì)相互作用熱效應的檢 測，并可給出熱效應所引起的平均化等效溫度。最后為了進一步分析不同參數(shù)激光所引起 的等效溫度的區(qū)別，進行如下分析。最后，對圖6的數(shù)據(jù)進一步分析可以得到不同重復頻率和脈沖能量Ein的激光 與石英光纖相互作用區(qū)域等效溫度的等溫分布曲線。利用Matlab軟件對圖6中檢測到的重 復頻率I^ltt和脈沖能量Ein對應的諧振波長變化量△ λΒ進行擬合，得到如圖7所示的Δ λΒ = f(Rlrr,E)函數(shù)關系曲面。進而結(jié)合波長-溫度靈敏度曲線，繪制出不同重復頻率和脈沖 能量組合(R1ct，Ε)時，飛秒激光作用區(qū)域等效溫度的等溫線分布，如圖8所示，分別繪出了 50、100、150、......、500°C時的等溫線分布。綜上所述，本發(fā)明公開了一種利用Bragg光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效 應的方法。上述描述的應用場景和實施例，并非用于限定本發(fā)明，本發(fā)明可以適用于檢測任 何激光與各種光纖或波導等透明介質(zhì)相互作用時的熱效應。凡采用上述方法進行熱效應的 檢測，均屬于本發(fā)明專利公開的內(nèi)容，因此本發(fā)明的保護范圍視權(quán)利要求范圍所界定。權(quán)利要求
1.利用光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應的方法，其步驟如下(1)制備作為溫度敏感元件的Bragg光纖光柵制備Bragg光纖光柵的方法是相位掩模法、逐點掃描直寫法或全息干涉法，制備Bragg 光纖光柵所需的光纖材料是純石英光纖、摻雜石英光纖、藍寶石光纖、氟化玻璃光纖或光子 晶體光纖；(2)繪制溫度敏感元件的波長-溫度敏感特性曲線上述步驟制備的Bragg光纖光柵進行等時退火實驗以分析溫度敏感元件的溫度靈敏 特性，并繪制出波長-溫度敏感特性曲線；(3)搭建反射式或透射式熱效應檢測系統(tǒng)檢測系統(tǒng)包括作為溫度敏感元件的Bragg光纖光柵、寬帶光源、以及用于記錄反射譜 或透射譜變化的光譜分析儀；Bragg光纖光柵的一端通過光纖環(huán)行器或耦合器連接寬帶光源和光譜分析儀，另一端 置于折射率匹配液中，構(gòu)成反射式熱效應檢測系統(tǒng)，通過光譜分析儀用以檢測和分析Bragg 光纖光柵反射譜的變化；Bragg光纖光柵的兩端分別連接寬帶光源和光譜分析儀，構(gòu)成透射式熱效應檢測系統(tǒng)， 通過光譜分析儀用以檢測和分析Bragg光纖光柵透射譜的變化；(4)使激光與溫度敏感元件相互作用，檢測Bragg光纖光柵的諧振波長并通過波長-溫 度敏感特性曲線實現(xiàn)對激光與物質(zhì)相互作用熱效應的檢測。
2.如權(quán)利要求1所述的利用光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應的方法，其特 征在于步驟O)中等時退火實驗過程是將Bragg光纖光柵自然放置在普通高溫爐中，在 普通大氣環(huán)境下進行退火，退火溫度從室溫到1000°C，升溫速度控制在10°C /min，每次溫 度增加100°C，共選取11個測試點進行測試；Bragg光纖光柵在每個測試點保持1小時， 待光譜穩(wěn)定后用光譜分析儀檢測Bragg光纖光柵的光譜，在光譜中讀取諧振峰的峰值波 長即Bragg光纖光柵的諧振波長，其與室溫時光柵諧振波長的差值即為退火溫度引起的 Bragg光纖光柵諧振波長的變化量，對測試得到的11組溫度及對應波長變化量的數(shù)據(jù)使用 Origin軟件進行分析，并通過線性擬合繪制出波長-溫度敏感特性曲線，擬合曲線的斜率 即為該Bragg光纖光柵的波長-溫度靈敏度，該敏感特性曲線及靈敏度將被用于后續(xù)對熱 效應引起的平均化等效溫度的定標。
3.如權(quán)利要求1所述的利用光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應的方法，其特征 在于步驟(4)中采用上述搭建的反射式或透射式熱效應檢測系統(tǒng)，使激光與Bragg光纖光 柵相互作用，所述的激光光源是飛秒脈沖激光器、皮秒脈沖激光器或者納秒脈沖激光器。
4.如權(quán)利要求3所述的利用光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應的方法，其特征 在于激光作用于Bragg光纖光柵的方式是直接照射、或通過球面透鏡聚焦后照射、或通過 柱面透鏡聚焦后照射到Bragg光纖光柵區(qū)域。
5.如權(quán)利要求1所述的利用光纖光柵檢測激光與物質(zhì)相互作用熱效應的方法，其特征 在于步驟(4)中使激光與Bragg光纖光柵相互作用后，再利用光譜分析儀檢測光柵的反射 譜或透射譜，光譜中的峰值波長為Bragg光纖光柵的諧振波長，其與未經(jīng)激光作用時Bragg 光纖光柵諧振波長的差值即為熱效應導致的諧振波長變化量△ λ B，并結(jié)合Bragg光纖光柵 的波長-溫度敏感特性曲線即可分析獲得激光作用區(qū)域的等效溫度
全文摘要
本發(fā)明屬于光纖光柵傳感技術領域，特別涉及利用Bragg光纖光柵檢測激光與透明介質(zhì)相互作用區(qū)域熱效應的方法。該方法基于Bragg光纖光柵的溫度靈敏性和高溫穩(wěn)定性，將入射激光束通過透鏡聚焦后直接照射到寫有光柵的光纖區(qū)域，溫度敏感區(qū)域應整體置于激光可及的范圍內(nèi)。激光作用產(chǎn)生的熱效應將會導致光柵光譜的變化，通過光譜分析儀進行檢測得到Bragg諧振波長變化量，并結(jié)合光柵等時退火實驗給出的波長-溫度靈敏度，進而得到激光作用區(qū)域的等效溫度，這樣便可實現(xiàn)對激光與透明介質(zhì)相互作用區(qū)域熱效應的檢測。本發(fā)明中光柵本身是溫度檢測器件和激光作用介質(zhì)的有機結(jié)合體，能更有效的提高熱效應檢測的響應時間和效果。
文檔編號G01K11/30GK102053105SQ20101055495
公開日2011年5月11日 申請日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者于永森, 孫洪波, 楊睿, 陳岐岱, 陳超 申請人:吉林大學