專利名稱：機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中的檢測(cè)方法，尤其涉及一種機(jī)械手臂表面金屬 污染檢測(cè)方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工過(guò)程中，晶圓(wafer)的制作必須經(jīng)過(guò)多個(gè)程序，晶圓需要在各工 藝環(huán)節(jié)之間傳遞，而晶圓的傳遞通常都是由機(jī)械手臂來(lái)完成。因而，這些傳遞工序?qū)ε烤?圓中的一個(gè)或多個(gè)晶圓都存在污染的潛在危機(jī)。同時(shí)，半導(dǎo)體晶圓結(jié)構(gòu)的復(fù)雜度愈高，以及 半導(dǎo)體晶圓結(jié)構(gòu)的尺寸愈小，其對(duì)制造環(huán)境潔凈度的要求就愈高。為了減小晶圓表面的污染，在進(jìn)行晶圓傳遞工序之前都需要對(duì)用于晶圓傳遞的機(jī) 械手臂表面進(jìn)行金屬污染水平檢測(cè)。通常的做法是首先，利用拋光后的晶圓前表面與所述 機(jī)械手臂進(jìn)行充分接觸。然后，將富集機(jī)械手臂表面成分的晶圓通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體質(zhì) 譜儀(ICP-MQ進(jìn)行金屬污染水平檢測(cè)。但是，在經(jīng)過(guò)感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行金屬污染水平檢測(cè)后，該晶圓上表面 將被劃傷，嚴(yán)重的影響晶圓的性能和成本良率，甚至增加制造成本，浪費(fèi)晶圓。另一方面，如 果不進(jìn)行機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)，則機(jī)械手臂表面污染不可避免的造成晶圓污染，潛 在地?fù)p害器件的可靠性。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改 良，于是有了本發(fā)明機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，在對(duì)機(jī)械手臂表面進(jìn)行金屬污染檢測(cè)時(shí)，需要利用拋 光后的晶圓去接觸機(jī)械手臂表面，導(dǎo)致晶圓產(chǎn)生劃傷而浪費(fèi)，而且操作不便，效率低下等缺 陷，提供一種機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，所述方法 包括機(jī)械手臂表面金屬成分取樣裝置的制備；容量瓶的準(zhǔn)備及清洗；清洗溶劑的煎蘸；機(jī) 械手臂表面擦拭；機(jī)械手臂表面金屬成分的提?。粰C(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)。其中，所述 取樣裝置包括握持部和固定在握持部一端的取樣部。所述取樣部之異于握持部的一端為方 頭結(jié)構(gòu)。所述取樣部由無(wú)塵布制備。所述金屬成分包括但不限于堿金屬和堿土金屬。可選的，所述清洗溶劑為超純水?？蛇x的，所述清洗溶劑煎蘸的時(shí)間為2 5分鐘?？蛇x的，所述擦拭是從機(jī)械手臂下端向上端移動(dòng)?？蛇x的，所述移動(dòng)的距離為6cm。綜上所述，本發(fā)明通過(guò)采用由無(wú)塵布制備的取樣部所構(gòu)成的取樣裝置進(jìn)行機(jī)械手 臂表面金屬成分取樣，并通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行表面金屬污染檢測(cè)，不僅減少 了晶圓的浪費(fèi)，節(jié)約了制造成本。同時(shí)，本發(fā)明機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法操作方便、簡(jiǎn)單，提高了生產(chǎn)效率。


圖1是本發(fā)明機(jī)械手臂表面金屬成分的取樣裝置；圖2是本發(fā)明機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式為詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí) 施例并配合附圖予以詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖1，圖1為機(jī)械手臂表面金屬成分的取樣裝置1的結(jié)構(gòu)示意圖。所述取樣 裝置1包括握持部11和固定在握持部11 一端的取樣部12。所述取樣部12之異于握持部 11的一端為具有一定寬度的方頭結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，所述取樣部12采用無(wú)塵布制備。請(qǐng)參閱圖2，圖2所示為利用取樣裝置1在機(jī)械手臂表面進(jìn)行金屬成分取樣的流程 圖。執(zhí)行步驟S21 機(jī)械手臂表面金屬成分取樣裝置的制備。所述取樣裝置1包括握 持部11和固定在握持部11 一端的取樣部12。所述取樣部12之異于握持部11的一端為具 有一定寬度的方頭結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，所述取樣部12采用無(wú)塵布制備。執(zhí)行步驟S22 容量瓶的準(zhǔn)備及清洗。所述容量瓶包括用于盛裝清洗溶劑的第一 容量瓶和用于盛裝富集機(jī)械手臂表面金屬成分的取樣裝置1的第二容量瓶。所述清洗溶劑 為超純水。在提取機(jī)械手臂表面金屬成分之前首先用異丙醇清洗所述第一容量瓶和第二容 量瓶外側(cè)，并將所述第一容量瓶和第二容量瓶?jī)?nèi)分別盛裝超純水。執(zhí)行步驟S23 清洗溶劑的煎蘸。將取樣裝置1的取樣部12浸入盛裝超純水的第 一容量瓶，浸泡時(shí)間為2 5分鐘，以使取樣部12充分吸收超純水，直至飽和。同時(shí)，將過(guò) 飽和的超純水利用第一容量瓶的內(nèi)壁進(jìn)行分離。執(zhí)行步驟S24 機(jī)械手臂表面擦拭。利用經(jīng)過(guò)步驟S22操作的取樣裝置1，將所述 取樣裝置1的取樣部12的一側(cè)與機(jī)械手臂表面的下端部位接觸，并平緩的由下往上移動(dòng)預(yù) 定距離，進(jìn)行表面擦拭。在本實(shí)施例中，由下往上移動(dòng)的距離為6厘米。此時(shí)，機(jī)械手臂表 面的擦拭面積S便可得知。執(zhí)行步驟S25 機(jī)械手臂表面金屬成分的提取。步驟S23執(zhí)行完畢，則取樣裝置1 的取樣部12富集機(jī)械手臂表面的金屬元素。并將富集機(jī)械手臂表面金屬成分的取樣裝置 1置入第二容量瓶，并封裝保存。執(zhí)行步驟S26 機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)。將封裝保存的具有機(jī)械手臂表面金 屬成分的第二容量瓶送檢，并通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行表面金屬污染檢測(cè)。所述 金屬污染包括但不限于堿金屬和堿土金屬。所述感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀檢測(cè)采用本領(lǐng)域 常用手法。所述金屬污染水平用原子個(gè)數(shù)與擦拭面積S的比值衡量。綜上所述，本發(fā)明通過(guò)采用由無(wú)塵布制備的取樣部12所構(gòu)成的取樣裝置1進(jìn)行機(jī) 械手臂表面金屬成分取樣，并通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行表面金屬污染檢測(cè)，不僅 減少了晶圓的浪費(fèi)，節(jié)約了制造成本。同時(shí)，本發(fā)明機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法操作方 便、簡(jiǎn)單，提高了生產(chǎn)效率。
本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可以對(duì)本發(fā) 明進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù) 范圍內(nèi)時(shí)，認(rèn)為本發(fā)明涵蓋這些修改和變型。
權(quán)利要求
1.一種機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述方法包括機(jī)械手臂表面金屬成分取樣裝置的制備；容量瓶的準(zhǔn)備及清洗；清洗溶劑的煎蘸；機(jī)械手臂表面擦拭；機(jī)械手臂表面金屬成分的提?。粰C(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述取樣裝置 包括握持部和固定在握持部一端的取樣部。
3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述取樣部之 異于握持部的一端為方頭結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述取樣部由 無(wú)塵布制備。
5.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述清洗溶劑 為超純水。
6.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述清洗溶劑 煎蘸的時(shí)間為2 5分鐘。
7.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述擦拭是從 機(jī)械手臂下端向上端移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述移動(dòng)的距 離為6cm。
9.如權(quán)利要求7所述的機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，其特征在于所述金屬成分 包括但不限于堿金屬和堿土金屬。
全文摘要
一種機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法，所述方法包括機(jī)械手臂表面金屬成分取樣裝置的制備；容量瓶的準(zhǔn)備及清洗；清洗溶劑的煎蘸；機(jī)械手臂表面擦拭；機(jī)械手臂表面金屬成分的提??；機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)。其中，所述取樣裝置包括握持部和固定在握持部一端的方頭取樣部。所述取樣部由無(wú)塵布制備。本發(fā)明通過(guò)采用由無(wú)塵布制備的取樣部所構(gòu)成的取樣裝置進(jìn)行機(jī)械手臂表面金屬成分取樣，并通過(guò)感應(yīng)耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行表面金屬污染檢測(cè)，不僅減少了晶圓的浪費(fèi)，節(jié)約了制造成本。同時(shí)，本發(fā)明機(jī)械手臂表面金屬污染檢測(cè)方法操作方便、簡(jiǎn)單，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G01N27/64GK102095599SQ20101050462
公開日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月12日
發(fā)明者王碩, 許忠義 申請(qǐng)人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司