專利名稱：一種用于大型真空腔體批量真空檢漏的方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空產(chǎn)品的真空漏率檢測。
背景技術(shù)：
一般對真空產(chǎn)品進(jìn)行真空漏率檢查，都是采用真空檢漏儀與產(chǎn)品直接連接來進(jìn)行 檢查，如圖1。該種方法存在以下缺點(diǎn)1、檢漏儀真空系統(tǒng)附帶的粗抽泵的功率一般都比較小，對腔體容積較大的真空產(chǎn) 品，抽真空達(dá)到規(guī)定的測試真空度條件，耗時(shí)比較長；2、對腔體容積較大的產(chǎn)品進(jìn)行真空檢漏，檢漏儀會(huì)因長時(shí)間高負(fù)荷的運(yùn)行，對檢 漏儀的使用壽命有很大的影響；3、體積大的真空產(chǎn)品內(nèi)腔，當(dāng)沒有專用設(shè)備整體洗凈時(shí)，人工洗凈的內(nèi)腔通常達(dá) 不到高精度檢漏儀要求的潔凈度，在這種狀態(tài)下抽真空，檢漏儀零部件易損壞，特別是系統(tǒng) 中的分子泵；4、檢漏儀一般在凈空房的環(huán)境下使用，環(huán)境達(dá)不到潔凈度要求時(shí)，檢漏儀的精度 下降比較快。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決現(xiàn)有的真空檢漏方法存在費(fèi)時(shí)、檢查精度低的問題，提供了一種檢 測時(shí)間短、精度高的用于大型真空腔體批量真空檢漏的方法。本發(fā)明的技術(shù)方案一種用于大型真空腔體批量真空檢漏的方法，對大型真空產(chǎn)品檢漏時(shí)先粗抽真空 再用高精度檢漏儀檢漏，其步驟如下1、將被檢真空產(chǎn)品洗凈后，與真空管道接口聯(lián)接，檢查系統(tǒng)氣路；2、對多個(gè)被檢真空產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行粗抽；3、待被檢測產(chǎn)品中的真空度達(dá)到高真空度后，用高精度的檢漏儀對被檢測產(chǎn)品進(jìn) 行精抽和檢查。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明方法的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，包括真空檢漏儀，其 特征在于所述真空檢漏儀并接有真空粗抽泵，所述真空檢漏儀與所述粗抽泵均連接在用 于獲得真空系統(tǒng)粗抽時(shí)的真空度動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)的真空托表上，所述真空托表的另一側(cè)與檢測產(chǎn) 品連接。進(jìn)一步，所述真空托表上連接有多個(gè)檢查產(chǎn)品。進(jìn)一步，所述真空托表與檢查產(chǎn)品、真空粗抽泵、真空檢漏儀之間均設(shè)有真空閥 門。進(jìn)一步，所述真空托表的連接管路上設(shè)有預(yù)留接口。進(jìn)一步，所述真空托表與真空閥門之間通過無縫鋼管連接。進(jìn)一步，所述檢查產(chǎn)品、真空粗抽泵、真空檢漏儀與真空閥門之間均通過波紋管連接。本發(fā)明先用真空粗抽泵對產(chǎn)品進(jìn)行粗抽，相對凈化了產(chǎn)品中的空氣，使其達(dá)到高精度檢漏儀要求的潔凈度后，再用檢漏儀進(jìn)行精抽，從而提高了檢漏儀檢測精度，也延長檢 漏儀的使用壽命。本系統(tǒng)可同時(shí)對多個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行粗抽，針對批量的大型真空產(chǎn)品漏率檢測 時(shí)，大大縮短了檢測時(shí)間；發(fā)生異常漏率時(shí)，也可通過閥門控制接入系統(tǒng)的產(chǎn)品，一一確認(rèn)。本發(fā)明的有益效果大大縮短了檢測時(shí)間；提高了檢漏儀檢測精度；延長檢漏儀 的使用壽命。


圖1是傳統(tǒng)檢漏真空系統(tǒng)的示意圖。圖2是本發(fā)明的真空檢漏系統(tǒng)示意圖。
具體實(shí)施例方式一種用于大型真空腔體批量真空檢漏的方法，對大型真空產(chǎn)品檢漏時(shí)先粗抽真空 再用高精度檢漏儀檢漏，其具體實(shí)施步驟如下1、將被檢真空產(chǎn)品洗凈后，與真空管道接口聯(lián)接，檢查系統(tǒng)氣路；2、關(guān)閉控制真空檢漏儀的自制閥門；3、打開真空粗抽泵的自制閥門，打開真空粗抽泵進(jìn)行粗抽；4、觀察真空托表，當(dāng)真空托表的數(shù)據(jù)達(dá)到高真空度；5、關(guān)閉控制粗抽泵的自制閥門，停止粗抽；6、開啟高精度檢漏儀，儀器完成自檢進(jìn)入檢查狀態(tài)后，打開控制檢漏儀的自制閥 門；7、對產(chǎn)品進(jìn)行真空漏率檢查；8、當(dāng)出現(xiàn)系統(tǒng)漏率異常，需要對單個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行檢查確認(rèn)時(shí)，關(guān)閉關(guān)聯(lián)回路中的其 它幾個(gè)自制閥門，一一檢測；參照圖2，實(shí)現(xiàn)本發(fā)明方法的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，包括真空檢 漏儀1，所述真空檢漏儀1并接有真空粗抽泵2，所述真空檢漏儀1與所述粗抽泵2均連接 在用于獲得真空系統(tǒng)粗抽時(shí)的真空度動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)的真空托表4上，所述真空托表4的另一側(cè) 與檢測產(chǎn)品6連接。所述真空托表4上連接有多個(gè)檢查產(chǎn)品6。所述真空托表4與檢查產(chǎn)品6、真空粗抽泵2、真空檢漏儀1之間均設(shè)有真空閥門 3。所述真空托表4的連接管路上設(shè)有預(yù)留接口 5。所述真空托表4與真空閥門3之間通過無縫鋼管連接。所述檢查產(chǎn)品6、真空粗抽泵2、真空檢漏儀1與真空閥門3之間均通過波紋管連 接。本說明書實(shí)施例所述的內(nèi)容僅僅是對發(fā)明構(gòu)思的實(shí)現(xiàn)形式的列舉，本發(fā)明的保護(hù) 范圍的不應(yīng)當(dāng)被視為僅限于實(shí)施例所陳述的具體形式，本發(fā)明的保護(hù)范圍也及于本領(lǐng)域技 術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思所能夠想到的等同技術(shù)手段。
權(quán)利要求
一種用于大型真空腔體批量真空檢漏的方法，對大型真空產(chǎn)品檢漏時(shí)先粗抽真空再用高精度檢漏儀檢漏，其步驟如下①將被檢真空產(chǎn)品洗凈后，與真空管道接口聯(lián)接，檢查系統(tǒng)氣路；②對多個(gè)被檢真空產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行粗抽；③待被檢測產(chǎn)品中的真空度達(dá)到高真空度后，用高精度的檢漏儀對被檢測產(chǎn)品進(jìn)行精抽和檢查。
2.實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述的用于大型真空腔體批量真空檢漏方法的系統(tǒng)，包括真空檢漏 儀，其特征在于所述真空檢漏儀并接有真空粗抽泵，所述真空檢漏儀與所述粗抽泵均連接 在用于獲得真空系統(tǒng)粗抽時(shí)的真空度動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)的真空托表上，所述真空托表的另一側(cè)與檢 測產(chǎn)品連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，其特征在于所述 真空托表上連接有多個(gè)檢查產(chǎn)品。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，其特征在于 所述真空托表與檢查產(chǎn)品、真空粗抽泵、真空檢漏儀之間均設(shè)有真空閥門。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，其特征在于所述 真空托表的連接管路上設(shè)有預(yù)留接口。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，其特征在于所述 真空托表與真空閥門之間通過無縫鋼管連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于大型真空腔體批量真空檢漏的系統(tǒng)，其特征在于所述 檢查產(chǎn)品、真空粗抽泵、真空檢漏儀與真空閥門之間均通過波紋管連接。
全文摘要
一種用于大型真空腔體批量真空檢漏的方法，對大型真空產(chǎn)品檢漏時(shí)先粗抽真空再用高精度檢漏儀檢漏，其步驟如下1、將被檢真空產(chǎn)品洗凈后，與真空管道接口聯(lián)接，檢查系統(tǒng)氣路；2、對多個(gè)被檢真空產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行粗抽；3、待被檢測產(chǎn)品中的真空度達(dá)到高真空度后，用高精度的檢漏儀對被檢測產(chǎn)品進(jìn)行精抽和檢查。本發(fā)明的有益效果大大縮短了檢測時(shí)間；提高了檢漏儀檢測精度；延長檢漏儀的使用壽命。
文檔編號G01M3/02GK101839794SQ201010175750
公開日2010年9月22日 申請日期2010年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月19日
發(fā)明者唐建強(qiáng), 張志成, 徐磊, 戴永成, 李天普, 阮根才 申請人:杭州大和熱磁電子有限公司