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一種電解銅箔生產(chǎn)的在線檢測裝置的制作方法

文檔序號:5855599閱讀:278來源:國知局
專利名稱:一種電解銅箔生產(chǎn)的在線檢測裝置的制作方法
技術領域
一種電解銅箔生產(chǎn)的在線檢測裝置 所屬領域 本實用新型涉及印刷電路板制造所用材料——電解銅箔生產(chǎn)中的在線質量檢測, 尤其是涉及對電解銅箔上的針孔和氣隙的在線實時檢測。
背景技術
電解銅箔的質量檢驗中,對銅箔上的針孔和氣隙有一定的數(shù)量限制,通常采用每
巻銅箔切下一塊300X 300mm2面積的試樣,用稀硫酸溶液涂抹一面后,在另一面計算滲透點
數(shù)目。或者將試樣置于燈光臺上,計算光亮點數(shù)目,并用刻度鏡測量針孔尺寸。 這種檢測存在諸多不足1、取樣率太小,以此檢測結果判定整巻電解銅箔質量,可
信度太低。2、切取試樣不方便,浪費大,而且容易引起相連部位的銅箔起折皺。3、檢測結果
滯后,生產(chǎn)環(huán)節(jié)無法根據(jù)檢測中發(fā)現(xiàn)的問題及時作出針對性的調控。

發(fā)明內容本實用新型針對現(xiàn)有檢測方式的不足之處,提供了一種使用激光的在線檢測裝 置。本檢測裝置主要由發(fā)射激光的激光器4和接收激光的光電轉換器件5(如硅光電池或 光電倍增管或CCD器件等)組成,一個激光器和相對應的光電轉換器件組成探頭。安裝在 電解銅箔生產(chǎn)現(xiàn)場。如圖1所示,電解銅箔3從探頭中間的縫隙通過,當銅箔上有針孔或氣 隙時,激光通過針孔或氣隙照射到對面的光電轉換器件上,產(chǎn)生光電流。計算機數(shù)據(jù)采樣系 統(tǒng)采集到該電信號,即記錄并顯示出銅箔在該位置有針孔或氣隙,并根據(jù)由透射的光通量 大小決定的電信號的強弱程度判定針孔或氣隙的大小尺寸。 為了盡量減少生產(chǎn)現(xiàn)場的各種其它光線進入探頭的光電轉換器件,影響其靈敏度 和準確性,光電轉換器件應置于不透光的機匣6內。機匣的四壁盡量貼近銅箔,與銅箔一起 構成一個基本不透光的密閉空間。 探頭的布置方式可分為固定式和活動式兩類。 固定式布置時,探頭成一排或數(shù)排一個連一個橫列,其發(fā)射的激光束一個連一個
覆蓋銅箔的整個橫斷面。這種布置方式的優(yōu)點是銅箔的檢測面積可達100% ;檢測裝置沒
有運動部件,生產(chǎn),安裝和維護都比較容易。缺點是需要較多數(shù)量的探頭。 活動式布置時,一個或數(shù)個探頭安裝在運動部件上,作垂直于銅箔運動方向的橫
向來回掃描。其優(yōu)點是只需少數(shù)幾個探頭。缺點是檢測面積不能達100% ;需要一套較復
雜的運動機構。 本實用新型提供的上述檢測裝置,結構簡單,可靠,體積小,可以方便地安裝到電 解銅箔生產(chǎn)現(xiàn)場,實現(xiàn)實時檢測。及時地準確地檢測出電解銅箔上針孔和氣隙的數(shù)量、位置 及大??;并同時反饋到生產(chǎn)環(huán)節(jié),便于及時采取針對性的調控措施。

圖1是電解銅箔生產(chǎn)系統(tǒng)及其在線檢測裝置的結構示意圖。[0012] 附圖標記1、電解槽2、轉鼓3、電解銅箔4、激光器5、光電轉換器件6、機匣7、 銅箔巻軸
具體實施方式圖1中,由激光器和光電轉換器件構成在線檢測裝置的探頭,電解槽中生產(chǎn)出來 的電解銅箔從探頭中間的縫隙通過。當銅箔上有針孔(或氣隙)時,透射過來的激光照射 到光電轉換器件上產(chǎn)生光電流,被計算機數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)所采集、記錄和顯示,檢測出該針孔 (或氣隙)的位置和尺寸大小。探頭以一排或數(shù)排的形式一個連一個地橫向排列,其發(fā)射出 的激光光束覆蓋銅箔的整個橫斷面。光電轉換器件置于不透光的機匣里,機匣盡量貼近銅 箔,以減小現(xiàn)場其它光線對光電轉換器件的干擾。 探頭也可安置于運動部件上,作垂直于銅箔運動方向的橫向來回掃描。
權利要求一種電解銅箔生產(chǎn)的在線檢測裝置,安裝在由電解槽、轉鼓、卷軸等構成的電解銅箔生產(chǎn)系統(tǒng)中檢測電解銅箔上的針孔和氣隙,其特征是激光器安裝在所檢測的電解銅箔的一面,接受其發(fā)射的激光的光電轉換器件安裝在電解銅箔相對應的另一面。
專利摘要一種電解銅箔在線檢測裝置,在所檢測的電解銅箔的一面安裝有激光器,另一面相應位置安裝有接受激光的光電轉換器件,可以實時無損傷檢測出電解銅箔上針孔和氣隙的數(shù)量、位置和大小。取樣面積可達100%。
文檔編號G01N21/894GK201508310SQ200920186739
公開日2010年6月16日 申請日期2009年7月31日 優(yōu)先權日2009年7月31日
發(fā)明者強曉明 申請人:強曉明
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