專利名稱：復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是有關(guān)一種自動光學(xué)檢測設(shè)備，特別是指一種復(fù) 合式自動光學(xué)檢測設(shè)備。
背景技術(shù)：
AOI (automatics optical inspection, 自動光學(xué)檢澳!l設(shè)備) 之主要操作原理是主要藉由電腦程序驅(qū)動下，透過攝像鏡頭對檢 測物進行自動掃描，采集圖像，并將圖像與資料庫中的合格參數(shù) 進行比較分析，經(jīng)過圖樣處理后，檢測出檢測物上的缺陷，并透 過顯示器或自動標志把缺陷顯示/標示出來，以供維修人員進行修 整，因此AOI除了能檢測出目檢無法査出的缺陷外，還能把生產(chǎn) 過程中所出現(xiàn)的缺陷類型加以收集，產(chǎn)生統(tǒng)計資料，以供制程控 制人員分析和管理。
綜上所述，AOI相較于傳統(tǒng)檢測方式，具有精密度高，沒有 人工目測受到組件微小化的限制，再者檢測速度快，能夠有效節(jié) 省人工成本，與具有資料儲存功能，可供后讀分析管理。因此AOI 設(shè)備已普遍應(yīng)用于各種產(chǎn)業(yè)的檢測作業(yè)上，尤其是在半導(dǎo)體(IC)、 平面顯示器(FDP)、印刷電路板(PCB)、印刷電路板組裝(PCBA) 等領(lǐng)域中。
而就薄膜電晶體液晶顯示器而言，AOI設(shè)備的檢測幾乎應(yīng)用 于所有制程步驟中，舉例來說在TFT圖形陣列版、彩色濾光片、 LCD面板組裝、LCD模組組裝等制程中需要AOI設(shè)備進行檢測，而 已完成的TFT圖形陣列版與彩色濾光片在運送至LCD面板組裝站 點前、偏光板運送至LCD面板組裝站點前、LCD面板組裝后進行 LCD模組組裝前，以及LCD模組組裝后也皆需要利用AOI進行檢測。 在液晶顯示器基板所需進行的AOI檢測，包含有如第1A圖 所示之利用掃描式攝像鏡頭IO對液晶顯示基板12進行污染粒子
4檢測(particle inspection);第IB圖所示之利用顯微鏡頭14 對液晶顯示基板12進行缺陷圖面拍攝；與如第1C圖所示之利用 量測鏡頭16對于液晶顯示基板12進行配向膜(PI)膜厚量測。
但是上述AOI設(shè)備皆為獨立機臺設(shè)備，因此造成無塵室的使 用與配置受到限制，再者，為配置這三套AOI設(shè)備與設(shè)備所需的 載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，將占據(jù)無塵室相當大的空間，而 相對的運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車 (RGV)的動線也受到限制。
有鑒于此，本實用新型遂針對上述習(xí)知技術(shù)之缺失，提出一 種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，以有效克服上述之該等問題。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于解決上述缺陷，而提供一種復(fù)合式自 動光學(xué)檢測設(shè)備，其同時具有液晶顯示器面板污染粒子檢測、缺 陷圖面拍攝與配向膜膜厚量測的功能。
本實用新型的另一目的在提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其僅需配置一個載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，即可具有液 晶顯示器面板污染粒子檢測、缺陷圖面拍攝與配向膜膜厚量測的 功用，能夠大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的空間占用率， 進而使得無塵室的空間應(yīng)用能更靈活。
本實用新型的再一目的在提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其能使運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運 車(RGV)動線的配置更具彈性。
為實現(xiàn)上述目的
一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有 載入?yún)^(qū)域，其是用以載入一待測物； 卸載區(qū)域，其是用卸載該待測物；
掃描式攝像鏡頭、 一顯微鏡頭與一配向膜膜厚量測鏡頭，其 是裝設(shè)于該載入?yún)^(qū)域與該卸載區(qū)域之間，該掃描式攝像鏡頭是用以對該待測物進行污染粒子檢測，該顯微鏡頭是用以對該特測物 之表面缺陷進行缺陷圖面拍攝，該配向膜膜厚量測鏡頭是用以對 該待測物進行配向膜膜厚量測；
主要程序主機，其是用儲存該掃描式攝像鏡頭、該顯微鏡頭 與該配向膜膜厚量測鏡頭所量測到之資料并趨動該掃描式攝像鏡 頭、該顯微鏡頭與該配向膜膜厚量測鏡頭。
其中該待測物是利用一輸送帶搬送該待測物至該復(fù)合式自動 光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)進行相關(guān)檢測。
其中該掃描式攝像鏡頭是使用一掃描式電荷偶合組件。 其中該主要程序主機包含有一顯示裝置。
其中該待測物承載至該載入?yún)^(qū)域是利用一磁性導(dǎo)引無人搬運 車或有軌式搬運車進行搬運。
其中該待測物是液晶顯示器基板。
其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一靠位機器，以 將待測物整列定位于該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)。
其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一錄像機，以讀 取該待測物的識別碼。
其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一真空裝置，以 吸附該待測物并使用空氣漂浮，使該待測物呈均勻水平。
其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一自動滾輸，以 運送該待測物。
本實用新型的有益效果 為達上述之目的，本實用新型提供一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè) 備，其包含有一用以載入一待測物的載入?yún)^(qū)域； 一是用卸載待測 物的卸載區(qū)域； 一掃描式攝像鏡頭、一顯微鏡頭與一配向膜(PI) 膜厚量測鏡頭，其是裝設(shè)于載入?yún)^(qū)域與卸載區(qū)域之間，掃描式攝 像鏡頭是用以對待測物進行污染粒子檢測，顯微鏡頭是用以對特 測物之表面缺陷進行缺陷圖面拍攝；配向膜(PI)膜厚量測鏡頭是用以對待測物進行配向膜膜厚量測；以及一主要程序主機，其 是用儲存該掃描式攝像鏡頭、顯微鏡頭與配向膜(PI)膜厚量測 鏡頭所量測到之資料并趨動掃描式攝像鏡頭、顯微鏡頭與配向膜 (PI)膜厚量測鏡頭。


圖1A是為利用掃描式攝像鏡頭進行液晶顯示器基板之污染粒 子檢測的示意圖1B是為利用顯微鏡頭進行液晶顯示器基板缺陷圖面拍攝的 示意圖1C是為以量測鏡頭進行配向膜膜厚量測的示意圖； 圖2a是為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備之一架構(gòu)示 意圖2b是為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備之另一架構(gòu) 示意圖3 5是為利用本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備進行 污染粒子檢測、缺陷圖面拍攝與進行配向膜膜厚量測的示意圖6為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺立體示 意圖7為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺側(cè)視圖； 圖8是為本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備機臺的人員 操作示意圖。
具體實施方式
如圖1至8所示
本實用新型的發(fā)明目的所在乃針對在液晶顯示器基板進行的 污染粒子檢測(particle inspection)、缺陷圖面拍攝與配向膜 (PI)膜厚量測之自動光學(xué)檢測設(shè)備整合形成一嶄新的復(fù)合式自 動光學(xué)檢測設(shè)備。
藉由本實用新型之整合型復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的設(shè)置，僅 需一個載入(LD) /卸載(ULD)區(qū)域，因此相對的能夠大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的占用率，進而使得無塵室的空間能更有有效地應(yīng)用，不再受限于運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車(RGV)動線的配置限制。此外，利用本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的設(shè)置可將原先分作為多個自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺中的相同組件部分共享，因而能有效的減少工廠配置在檢測儀器上的成本花費。
接讀，下列說明是針對上述本實用新型之精神所提出之具體實施例說明，但須陳明的是下列說明僅是為使熟悉該項技術(shù)更清楚、明白本實用新型，而并不能以此具體實施例來作為本實用新型之權(quán)利范圍的局限。
首先，請一并參閱第2a圖，其是本實用新型之一架構(gòu)示意圖。本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備20包含有一檢測污染粒子的掃描式攝像鏡頭22，其是使用掃描式電荷偶合組件(scan CCD);一顯微鏡頭24,其是用以對缺陷面進行拍攝；以及一配向膜膜厚量測鏡頭26，其是使用量測式電荷偶合組件(measured CCD)來對配阮膜進行膜厚量測；然而在其它較佳實施例中，復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備20亦包含一資訊讀取裝置(Vericode Reader,VCR) 27，以識別送入之液晶顯示器基板，如圖2b所示。 一主要程序主機28，其包含有一瑩幕30，主要程序主機28是將檢測污染粒子的掃描式攝像鏡頭22所檢測到的缺點座標位置儲存在主要程序主機28內(nèi)并顯示出液晶顯示器基板的缺陷數(shù)量，以供后讀進行缺陷圖片拍攝時，利用點選主要程序主機28之瑩幕30上所顯示之缺陷位置，透過主要程序主機28趨動顯微鏡頭24自動移往缺陷位置并自動對焦顯示缺陷圖片，或者手動選擇不同倍率的顯微鏡頭24作不同倍率的缺陷圖片拍攝并儲存，再者，主要程序主機28也控制將經(jīng)過配向膜油墨印刷后的液晶顯示器基板搬送至量測區(qū)域，由主要程序主機28來控制配向膜膜厚量測鏡頭26進行膜厚量測并且進行比較分析并記錄。
藉由這樣的設(shè)置將可以達成在單一機臺設(shè)備內(nèi)達到兼具污染粒子檢測、表面缺陷分析與PI膜厚量測。
再者，復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一自動滾輸(freeroller),以運送基板。接讀，請參閱第3 5圖，其是利用本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備進行液晶顯示器基板污染粒子檢測、表面缺陷檢測或進行配向膜膜厚量測的示意圖。當輸送帶(conveyor)(圖中未示)搬送液晶顯示器基板32進入本發(fā)明之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備之檢測區(qū)域時，靠位機器(圖中未示)自動會整列液晶顯示器基板32至定位，并由資訊讀取裝置讀取基板的識別碼(ID)。讀取完畢后，基板兩側(cè)的真空裝置(圖中未示)吸附液晶顯示器基板32，于液晶顯示器基板32下方使用空氣漂浮(air floating)使液晶顯示器基板32呈均勻水平并搭配移載組移動于掃描式攝像鏡頭22檢視范圍內(nèi)作基板32檢測，并將檢測后的缺陷座標作儲存于主要程序主機28及并于瑩幕30上顯示受檢測基板的污染粒子或缺陷數(shù)量。
檢測完畢后，點選瑩幕30所顯示的缺陷位置示意圖，顯微鏡頭24會移往缺陷位置并自動對焦顯示缺陷圖片，也可以手動選擇不同倍率的顯微鏡頭24作缺陷圖片的拍攝儲存。
經(jīng)配向膜油墨印刷后的基板32使用移載組搬送至配向膜量測區(qū)域，于主要程序主機28趨動配向膜量測鏡頭26執(zhí)行配向膜膜厚量測功能，膜厚量測軟體會依recipe編輯的座標位置移動至液晶顯示器基板32上適當位置，以使配向膜膜厚量測鏡頭26進行配向膜膜厚量測。
請再參閱第6圖與第7圖，其為分別本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備的機臺立體示意圖與側(cè)視圖。由圖中可視，本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備20只需一個載入(LD)區(qū)域34/卸載(ULD)區(qū)域36，即可進行液晶顯示器面板之污染粒子檢測、缺陷圖面拍攝與配向膜膜厚的量測，因此，能夠大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的空間占用率，進而使得無塵室的空間能更有效地靈活應(yīng)用。而人員的操作位置38則設(shè)定于本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備20之兩側(cè)，如第8圖所示。
綜上所述，本實用新型是基于提升作業(yè)人員對自動光學(xué)檢測設(shè)備操作的便利性、簡易性及提升自動光學(xué)檢測設(shè)備的使用性與無塵室空間的規(guī)劃，而將污染粒子檢査、缺陷圖面拍攝與配向膜膜厚量測之設(shè)備機臺結(jié)合在一起，產(chǎn)生一嶄新復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，此嶄新復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備包含有一用于檢測污染粒子用的掃描式攝像鏡頭、 一缺陷拍攝的顯微鏡頭、 一用以量測配向膜膜厚的攝像鏡頭、一主要程序主機以及一用'以載入或卸載LCD面板的載入/卸載區(qū)域。
本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備將液晶顯示器面板之配向膜膜厚量測檢測、污染粒子檢測與表面缺陷圖面拍攝設(shè)備結(jié)合在一機臺，藉此大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的空間占用率，進而使得無塵室的空間能更有有效地應(yīng)用，使運送基板之磁性導(dǎo)引無人搬運車(AGV)或有軌式搬運車(RGV)動線的配置更具彈性。
此外共享一自動光學(xué)檢測設(shè)備后能將液晶顯示器面板之配向膜膜厚量測、污染粒子檢測與缺陷圖面拍攝機臺中相同組件的部分省略，能有效的減少工廠配置在檢測儀器上的成本花費。
唯以上所述者，僅為本實用新型之較佳實施例而已，并非用來限定本實用新型實施之范圍。故即凡依本實用新型申請范圍所述之特征及精神所為之均等變化或修飾，均應(yīng)包括于本實用新型之申請專利范圍內(nèi)。
10
權(quán)利要求1，一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有載入?yún)^(qū)域，其是用以載入一待測物；卸載區(qū)域，其是用卸載該待測物；掃描式攝像鏡頭、一顯微鏡頭與一配向膜膜厚量測鏡頭，其是裝設(shè)于該載入?yún)^(qū)域與該卸載區(qū)域之間，該掃描式攝像鏡頭是用以對該待測物進行污染粒子檢測，該顯微鏡頭是用以對該特測物之表面缺陷進行缺陷圖面拍攝，該配向膜膜厚量測鏡頭是用以對該待測物進行配向膜膜厚量測；主要程序主機，其是用儲存該掃描式攝像鏡頭、該顯微鏡頭與該配向膜膜厚量測鏡頭所量測到之資料并趨動該掃描式攝像鏡頭、該顯微鏡頭與該配向膜膜厚量測鏡頭。
2，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該待測物是利用一輸送帶搬送該待測物至該復(fù)合式自動光學(xué) 檢測設(shè)備內(nèi)進行相關(guān)檢測。
3，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該掃描式攝像鏡頭是使用一掃描式電荷偶合組件。
4，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該主要程序主機包含有一顯示裝置。
5，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該待測物承載至該載入?yún)^(qū)域是利用一磁性導(dǎo)引無人搬運車或 有軌式搬運車進行搬運。
6，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該待測物是液晶顯示器基板。
7，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一靠位機器，以將待測物整列定位于該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)。
8，根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一錄像機，以讀取該 待測物的識別碼。
9,根據(jù)權(quán)利要求l所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征是， 其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一真空裝置，以吸附 該待測物并使用空氣漂浮，使該待測物呈均勻水平。
10，根據(jù)權(quán)利要求1所述復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其特征 是，其中該復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備內(nèi)更包含有一自動滾輸，以 運送該待測物。
專利摘要本實用新型公開了一種復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備，其包含有一檢測污染粒子的掃描式攝像鏡頭；一缺陷面拍攝的顯微鏡頭；一配向膜膜厚量測鏡頭；以及一主要程序主機。本實用新型之復(fù)合式自動光學(xué)檢測設(shè)備在僅需配置一個載入/卸載區(qū)域的設(shè)計下，即可具有污染粒子檢測、缺陷面拍攝與配向膜膜厚量測的功用，形成一機多用途的有效利用，因此可大幅度縮小自動光學(xué)檢測設(shè)備在無塵室的空間占用率，進而使得無塵室的空間能更有效地應(yīng)用。
文檔編號G01N21/88GK201266176SQ20082004660
公開日2009年7月1日 申請日期2008年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月18日
發(fā)明者施明峯 申請人:深超光電(深圳)有限公司