專(zhuān)利名稱(chēng)：檢測(cè)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測(cè)臺(tái)。
背景技術(shù)：
通常，平板玻璃、觸摸屏、導(dǎo)光板或液晶面板等器件在制造中需要經(jīng)過(guò)表面結(jié)構(gòu)質(zhì)量檢測(cè)，通過(guò)光學(xué)檢測(cè)判定元器件表面結(jié)構(gòu)是否存有缺陷。在光學(xué)檢測(cè)過(guò)程中，一般先通過(guò)第一光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)元件表面快速地進(jìn)行初檢，以判斷是否存在缺陷，初檢后再通過(guò)第二光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)初檢后的元件表面慢速地進(jìn)行復(fù)檢，以檢查出具體的缺陷，如線路的短路、斷路、錯(cuò)位等缺陷。現(xiàn)有的檢測(cè)臺(tái)如圖5所示，檢測(cè)臺(tái)包括運(yùn)載平臺(tái)11、支架12，設(shè)置在支架12—側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀13，設(shè)置在支架12另一側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀14。檢測(cè)一待測(cè)物件如平板顯示器15時(shí)，平板顯示器15先放置在設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀13 —側(cè)的運(yùn)載平臺(tái)11上，然后平板顯示器15在推動(dòng)或帶動(dòng)作用下，在運(yùn)載平臺(tái)11上朝具有第二光學(xué)檢測(cè)儀14的另一側(cè)運(yùn)動(dòng)，即第一方向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)第一光學(xué)檢測(cè)儀13在垂直第一方向的第二方向運(yùn)動(dòng),如此第一光學(xué)檢測(cè)儀13實(shí)現(xiàn)對(duì)平板顯示器15表面的初檢，初檢后的平板顯示器15表面進(jìn)入到有第二光學(xué)檢測(cè)儀14的另一側(cè)，第二光學(xué)檢測(cè)儀14在第二方向運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)平板顯示器15表面的復(fù)檢。然在隨著待測(cè)物件如平板顯示器尺寸的增大，如物件的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，第一光學(xué)檢測(cè)儀和第二光學(xué)檢測(cè)儀在第一方向上的距離為D，應(yīng)用這樣的布局方式，運(yùn)載平臺(tái)的長(zhǎng)度至少應(yīng)為2L+D的尺寸長(zhǎng)度，如此，運(yùn)載平臺(tái)的尺寸會(huì)很大，從而會(huì)加大自動(dòng)化光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的成本。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上所述，本實(shí)用新型有必要提供一種可減小運(yùn)載平臺(tái)尺寸、降低成本的檢測(cè)臺(tái)。一種檢測(cè)臺(tái)，用于檢測(cè)待測(cè)物件，包括運(yùn)載平臺(tái)、至少一支架，所述每一支架上設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述運(yùn)載平臺(tái)用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測(cè)物件，所述支架設(shè)在運(yùn)載平臺(tái)上，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測(cè)儀，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀以及第二光學(xué)檢測(cè)儀在檢測(cè)待測(cè)物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)待測(cè)物體分段檢測(cè)。其中，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測(cè)物件以檢測(cè)待測(cè)物件的缺陷位置，所述第二光學(xué)檢測(cè)為高倍顯微鏡，以對(duì)所述缺陷位置高倍顯示。其中，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀將待測(cè)物體分成若干段，所述待測(cè)物體為第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀分段同時(shí)測(cè)量。[0009]其中，第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀排列成兩排，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀將檢測(cè)臺(tái)分成第一段及第二段。其中，所述第一段、第二段、所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測(cè)儀之間在第一方向上的距離均為待測(cè)物件長(zhǎng)度的一半。其中，所述待測(cè)物件的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，第一段的長(zhǎng)度LI在L/2到L之間，第二段的的長(zhǎng)度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測(cè)儀之間在第一方向上的距離D小于L。其中，所述待測(cè)物件的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述第一段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述第二段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)/2，所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測(cè)儀之間在第一方向上的距離為L(zhǎng)/2。一種檢測(cè)臺(tái)，用于檢測(cè)待測(cè)物件，包括運(yùn)載平臺(tái)、支架、第一光學(xué)檢測(cè)儀、以及第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述運(yùn)載平臺(tái)用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測(cè)物件，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀分別列成兩排并設(shè)于所述支架上，所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀將運(yùn)載平臺(tái)分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀以及第二光學(xué)檢測(cè)儀在檢測(cè)待測(cè)物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，并且所述第一段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)I，第二段的長(zhǎng)度為D，第三段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)2，所述待測(cè)物的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，使得所述 L〈=L1+L2〈2L，0〈D〈L。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型檢測(cè)臺(tái)通過(guò)在支架兩側(cè)設(shè)置第一光學(xué)檢測(cè)儀，以及在支架的兩側(cè)或一側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測(cè)儀，可使得檢測(cè)時(shí)，待測(cè)物件放置在初始位置位于運(yùn)載平臺(tái)的一段時(shí)，其一段可伸過(guò)支架與另一段的第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀平齊，從而可避免僅有一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀而與該第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)齊而需要的更大位置長(zhǎng)度，然后通過(guò)支架的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀來(lái)初查或者復(fù)查，如此可減小運(yùn)載平臺(tái)的尺寸，從而降低設(shè)備的成本；且在初檢過(guò)程中，通過(guò)兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)待測(cè)物件兩段分別同時(shí)掃描，可節(jié)省掃描時(shí)間，提高檢測(cè)效率。

圖1為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例檢測(cè)臺(tái)示意圖；圖2為本實(shí)用新型檢測(cè)線路示意圖；圖3為本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例檢測(cè)臺(tái)示意圖；圖4為本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例檢測(cè)臺(tái)示意圖；圖5為現(xiàn)有的檢測(cè)臺(tái)示意圖。
具體實(shí)施方式
為詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖詳予說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例所示檢測(cè)臺(tái)20，包括運(yùn)載平臺(tái)21、支架22、第一光學(xué)檢測(cè)儀23、以及第二光學(xué)檢測(cè)儀24。所述運(yùn)載平臺(tái)21用以承載待測(cè)物件25。運(yùn)載平臺(tái)21上可設(shè)置傳送裝置(圖未示)，以帶動(dòng)待測(cè)物件25在第一方向上運(yùn)動(dòng)，如沿著圖I的水平方向。運(yùn)載平臺(tái)21上亦可不設(shè)傳送帶，通過(guò)外物推拉待測(cè)物件25在運(yùn)載平臺(tái)21
在一方向上滑動(dòng)。所述支架22在本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中為U型門(mén)，支架22設(shè)在運(yùn)載平臺(tái)21上，將運(yùn)載平臺(tái)21分成第一段211及第二段212，支架22形成通道(圖未示)可供待測(cè)物件25穿過(guò)從第一段211運(yùn)行至第二段212。所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23和第二光學(xué)檢測(cè)儀24在第一方向上的距離為D，第一段211的長(zhǎng)度為L(zhǎng)I，第二段212的長(zhǎng)度為L(zhǎng)2。所述支架22也可以為龍門(mén)結(jié)構(gòu)。所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23以及所述第二光學(xué)檢測(cè)儀24分別設(shè)置在支架22的兩側(cè)或一側(cè)，且所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23以及第二光學(xué)檢測(cè)儀24在檢測(cè)待測(cè)物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，如圖1中的鉛垂方向。在檢測(cè)的過(guò)程中，所述待測(cè)物件25沿著第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23沿著第二方向移動(dòng)，從而使第一光學(xué)檢測(cè)儀23掃描待測(cè)物件25的整個(gè)待側(cè)面，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)待測(cè)物件25的初步檢測(cè)。在檢測(cè)的過(guò)程中，所述待測(cè)物件25沿著第一方向運(yùn)動(dòng)，所述第二光學(xué)檢測(cè)儀24沿著第二方向移動(dòng)，從而使第二光學(xué)檢測(cè)儀24掃描待測(cè)物件25的經(jīng)初步檢測(cè)疑似缺陷位置，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)待測(cè)物件25的復(fù)檢。在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測(cè)物件以檢測(cè)待測(cè)物件大致的缺陷位置。所述第二光學(xué)檢測(cè)儀24為高倍顯微鏡，用以對(duì)所述缺陷位置高倍顯示，以便對(duì)缺陷進(jìn)一步確認(rèn)。本第一較佳實(shí)施例中，該支架22的一段的兩側(cè)分別設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23，該支架22另一段的兩側(cè)分別設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測(cè)儀24。較佳地，所待測(cè)物件25的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，第一段211的長(zhǎng)度LI為L(zhǎng)/2，第二段212的長(zhǎng)度L2為L(zhǎng)/2，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23和第二光學(xué)檢測(cè)儀24在第一方向上的距離D為L(zhǎng)/2。如此，運(yùn)載平臺(tái)的總體長(zhǎng)度為3L/2，小于長(zhǎng)度2L+D。應(yīng)用所述的檢測(cè)臺(tái)20的檢測(cè)所述待測(cè)物件25時(shí)，將待測(cè)物件25置入運(yùn)載平臺(tái)21的第一段211，待測(cè)物件25的末段與第一段211外側(cè)平齊，前段穿入支架22的通道，且與設(shè)置在第二段212的第一光學(xué)檢測(cè)儀23對(duì)齊。然后使待測(cè)物件25朝第二段212運(yùn)動(dòng)，同時(shí)開(kāi)啟支架22的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀23,待測(cè)物件25在第一方向運(yùn)動(dòng),第一光學(xué)檢測(cè)儀23在垂直第一方向的第二方向運(yùn)動(dòng)，與待測(cè)物件25在第一方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)待測(cè)物件25前段運(yùn)動(dòng)到第二段212的外側(cè)平齊時(shí)，待測(cè)物件25的末段恰進(jìn)入到支架22的通道內(nèi)，如此，支架22的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀23分別將待測(cè)物件25的一半?yún)^(qū)域掃描完成，如此實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物件25整個(gè)表面的初檢。在初檢過(guò)程中，待測(cè)物件25的前段在被第二段212的第一光學(xué)檢測(cè)儀23掃描的同時(shí)，第一段211的第一光學(xué)檢測(cè)儀23對(duì)待測(cè)物件25的后段進(jìn)行掃描，節(jié)省了初檢的掃描時(shí)間。然后使待測(cè)物件25朝第一段211運(yùn)動(dòng)，同時(shí)退出第一光學(xué)檢測(cè)儀23開(kāi)啟支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀24，待測(cè)物件25在第一方向運(yùn)動(dòng)，第二光學(xué)檢測(cè)儀24在垂直第一方向的第二方向運(yùn)動(dòng)，與待測(cè)物件25在第一方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)待測(cè)物件25末端運(yùn)動(dòng)到第一段211的外側(cè)平齊時(shí)，待測(cè)物件25的前段恰進(jìn)入到支架22的通道內(nèi)，如此，支架22的兩側(cè)的光第二光學(xué)檢測(cè)儀24分別將待測(cè)物件25的一半?yún)^(qū)域掃描完成，如此實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物件25整個(gè)表面的復(fù)檢。本實(shí)用新型可以采用待測(cè)物件25最小移動(dòng)法，最小第二光學(xué)檢測(cè)儀24移動(dòng)法，或者待測(cè)物件25與二光學(xué)檢測(cè)儀24位移總和最小法進(jìn)行檢測(cè)，從而優(yōu)化檢測(cè)路徑。結(jié)合參閱圖2，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的復(fù)檢示意圖，箭頭方向代表復(fù)檢的順序。初檢后獲知整個(gè)待測(cè)物件25表面缺陷點(diǎn)的具體位置，通過(guò)支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀24分別掃描聚焦抓取缺陷點(diǎn)，為了便于說(shuō)明，將支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀24分別定義為左側(cè)顯微鏡、右側(cè)顯微鏡，以?xún)蓚?cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀24各取五個(gè)復(fù)檢點(diǎn)的影響為例。在通過(guò)初步檢測(cè)獲取疑似缺陷位置信息后,每一缺陷坐標(biāo)位置為(X1、Yi),其中，i為待測(cè)點(diǎn)的次序，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的一種復(fù)檢流程如下通過(guò)計(jì)算機(jī)分析獲得支架22的兩側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀24即左側(cè)顯微鏡與右側(cè)顯微鏡需要分別掃描的缺陷點(diǎn)及兩側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)儀24對(duì)應(yīng)的最佳的優(yōu)化路徑，其計(jì)算方式可以為第一方向位移最小法、第二方向位移最小法、或者第一方向與第二方向位移之和最小法。例如圖2中，右側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24需要抓取第1、2、3、4、5共五個(gè)缺陷點(diǎn)的圖 像，左側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24需要抓取6、7、8、9、10五個(gè)缺陷點(diǎn)的圖像；右側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24從起始位置移到第I缺陷點(diǎn)所在縱坐標(biāo)Yl位置，左側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24移動(dòng)第6缺陷點(diǎn)的Y6位置；沿著水平方向移動(dòng)待測(cè)物體25，使其第I缺陷點(diǎn)移動(dòng)至右側(cè)第二光學(xué)儀器24 ；右側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24聚焦，微調(diào)并抓取第I缺陷點(diǎn)的影像；移動(dòng)待測(cè)物體25至第6缺陷點(diǎn)移動(dòng)至左側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24，微調(diào)左側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24并抓取第6缺陷點(diǎn)的影像，同時(shí)右側(cè)第二光學(xué)檢測(cè)儀24移動(dòng)至第2缺陷點(diǎn)所在的縱坐標(biāo)位置Y2 ；類(lèi)似地，兩邊分別復(fù)檢一個(gè)缺陷點(diǎn)，在檢測(cè)左側(cè)的缺陷點(diǎn)過(guò)程中，右側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)24移動(dòng)至下一個(gè)缺陷點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的縱坐標(biāo)的位置，在檢測(cè)右側(cè)的缺陷點(diǎn)過(guò)程中，左側(cè)的第二光學(xué)檢測(cè)24移動(dòng)至下一個(gè)缺陷點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的縱坐標(biāo)的位置，如此可以大大減少檢測(cè)的時(shí)間。進(jìn)一步地，若采用自動(dòng)跟蹤聚焦顯微鏡，則所述的微調(diào)步驟可以省略。請(qǐng)參閱圖3，本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例所示的檢測(cè)臺(tái)30，其結(jié)構(gòu)與第一較佳實(shí)施例大致相同，其區(qū)別在于所述待測(cè)物件25的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，第一段211的長(zhǎng)度LI在L/2到L之間，第二段212的長(zhǎng)度L2在L/2到L之間，當(dāng)LI < L2時(shí)，所述支架兩側(cè)的光學(xué)檢測(cè)儀在第一方向上的距離D在L LI與L之間，當(dāng)L1>L2時(shí)，所述支架兩側(cè)的光學(xué)檢測(cè)儀在第一方向上的距離D在L-L2與L之間。如此，運(yùn)載平臺(tái)21的總體長(zhǎng)度為L(zhǎng)1+L2+D，小于長(zhǎng)度2L+D。應(yīng)用該第二較佳實(shí)施例中所述的檢測(cè)臺(tái)30的檢測(cè)所述待測(cè)物件25的過(guò)程與所述第一較佳實(shí)施例的過(guò)程相同，在此不再詳述。可以看出，D+L1彡L ；D+L2彡L, L1+L2彡2L2D ;機(jī)臺(tái)總長(zhǎng)度L1+L2+D彡2L-D ;當(dāng)L1L2L D L/2時(shí)，平臺(tái)長(zhǎng)度最短。從第一、第二較佳實(shí)施例可看出，通過(guò)在支架22兩側(cè)設(shè)置第一光學(xué)檢測(cè)儀23，以及在支架22的兩側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測(cè)儀24，可使得檢測(cè)時(shí)，待測(cè)物件25放置在運(yùn)載平臺(tái)21初始位置位的一段時(shí)，待測(cè)物件25的一段可伸過(guò)支架與另一段的第一光學(xué)檢測(cè)儀23或光學(xué)第二光學(xué)檢測(cè)儀24平齊，從而可相對(duì)僅在支架一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀、另一側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測(cè)儀的運(yùn)載平臺(tái)21節(jié)省了的長(zhǎng)度，然后通過(guò)支架的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀23或第二光學(xué)檢測(cè)儀24來(lái)初查或者復(fù)查，如此減小運(yùn)載平臺(tái)21的尺寸，從而降低設(shè)備的成本；且無(wú)需對(duì)經(jīng)過(guò)支架下通道長(zhǎng)度D的時(shí)間空閑，可節(jié)省時(shí)間，提高了檢測(cè)效率。請(qǐng)參閱圖4，本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例所示的檢測(cè)臺(tái)40，其結(jié)構(gòu)與第一較佳實(shí)施例大致相同，其區(qū)別在于該支架22僅一側(cè)分別設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測(cè)儀24，且位于運(yùn)載平臺(tái)21的第一段211。所待測(cè)物件25的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，如此，為了確保復(fù)檢能被第二光學(xué)檢測(cè)儀24完全掃描到，則第一段211的長(zhǎng)度需為L(zhǎng)，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23和第二光學(xué)檢測(cè)儀24在第一方向上的距離D與第二段212的長(zhǎng)度L2之和為L(zhǎng)，從而整個(gè)運(yùn)載平臺(tái)21的總體長(zhǎng)度為2L,小于長(zhǎng)度2L+D。較佳地,本第三實(shí)施例中，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀23和第二光學(xué)檢測(cè)儀24在第一方向上的距離D與第二段212的長(zhǎng)度均為L(zhǎng)/2。應(yīng)用該第二較佳實(shí)施例中所述的檢測(cè)臺(tái)30的檢測(cè)所述待測(cè)物件25的過(guò)程與所述第一較佳實(shí)施例的過(guò)程相同，在此不再詳述。有必要說(shuō)明的是在初檢中，所述待測(cè)物件25的前段可與第一段211的第一光學(xué)檢測(cè)儀23平齊，亦可伸過(guò)支架與第二段212的第一光學(xué)檢測(cè)儀23平齊。然本實(shí)用新型通過(guò)在支架22兩側(cè)均設(shè)置第一光學(xué)檢測(cè)儀23，如此可減小初檢掃描時(shí)間，如此，需將所述待測(cè)物件25的前段伸過(guò)支架與第二段212的第一光學(xué)檢測(cè)儀23平齊，從而，在待測(cè)物件25的前段在被第二段212的第一光學(xué)檢測(cè)儀23掃描的同時(shí)，第一段211的第一光學(xué)檢測(cè)儀23對(duì)待測(cè)物件25的后段進(jìn)行掃描，節(jié)省了初檢的掃描時(shí)間。在復(fù)檢中，待測(cè)物件25的前段與末段均需通過(guò)設(shè)置在支架22第一段211的所述第二光學(xué)檢測(cè)儀24掃描。綜上，本實(shí)用新型檢測(cè)臺(tái)通過(guò)在支架兩側(cè)設(shè)置第一光學(xué)檢測(cè)儀，以及在支架的兩側(cè)或一側(cè)設(shè)置第二光學(xué)檢測(cè)儀，可使得檢測(cè)時(shí)，待測(cè)物件放置在位于運(yùn)載平臺(tái)初始位置的一段時(shí)，待測(cè)物件的一段可伸過(guò)支架與支架另一側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀或光學(xué)第二光學(xué)檢測(cè)儀平齊，從而可避免僅有一側(cè)設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀而與該第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)齊而需要的更大位置長(zhǎng)度，然后通過(guò)支架的兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀來(lái)初查或者復(fù)查，如此可減小運(yùn)載平臺(tái)的尺寸，從而降低設(shè)備的成本；且在檢測(cè)過(guò)程中，通過(guò)兩側(cè)的第一光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)待測(cè)物件兩段同時(shí)分別掃描，可節(jié)省掃描時(shí)間，提高檢測(cè)效率。所述支架亦可為多個(gè)支架排列形成構(gòu)成一整體的支架，第一光學(xué)檢測(cè)儀與第二光學(xué)檢測(cè)儀設(shè)置在該整體支架的兩側(cè)。此外，本實(shí)用新型的檢測(cè)臺(tái)還可以設(shè)置兩個(gè)、三個(gè)及其他數(shù)量的支架，每一支架上安裝第一光學(xué)檢測(cè)儀及第二光學(xué)檢測(cè)儀，通過(guò)提高支架的數(shù)量，可以采用類(lèi)似上述方法對(duì)待測(cè)物分段分別同時(shí)檢測(cè)，進(jìn)一步提高了檢測(cè)速度。上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不受上述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種緊湊型的檢測(cè)臺(tái)，用于檢測(cè)待測(cè)物件，包括運(yùn)載平臺(tái)、至少一支架，所述每一支架上設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述運(yùn)載平臺(tái)用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測(cè)物件，所述支架設(shè)在運(yùn)載平臺(tái)上，其特征在于至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測(cè)儀，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀以及第二光學(xué)檢測(cè)儀在檢測(cè)待測(cè)物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)待測(cè)物體分段檢測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述第一光學(xué)檢測(cè)儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測(cè)物件以檢測(cè)待測(cè)物件的缺陷位置，所述第二光學(xué)檢測(cè)為高倍顯微鏡，以對(duì)所述缺陷位置高倍顯示。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀將待測(cè)物體分成若干段，所述待測(cè)物體為第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀分段同時(shí)測(cè)量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀排列成兩排，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀將檢測(cè)臺(tái)分成第一段及第二段。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述第一段、第二段、所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測(cè)儀之間在第一方向上的距離均為待測(cè)物件長(zhǎng)度的一半。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述待測(cè)物件的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，第一段的長(zhǎng)度LI在L/2到L之間，第二段的的長(zhǎng)度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測(cè)儀之間在第一方向上的距離D小于L。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述待測(cè)物件的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述第一段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，所述第二段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)/2，所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀之間或者所述兩排第二光學(xué)檢測(cè)儀之間在第一方向上的距離為L(zhǎng)/2。
8.一種緊湊型的檢測(cè)臺(tái)，用于檢測(cè)待測(cè)物件，包括運(yùn)載平臺(tái)、支架、第一光學(xué)檢測(cè)儀、以及第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述運(yùn)載平臺(tái)用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測(cè)物件，其特征在于所述第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀分別列成兩排并設(shè)于所述支架上，所述兩排第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀將運(yùn)載平臺(tái)分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀以及第二光學(xué)檢測(cè)儀在檢測(cè)待測(cè)物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，并且所述第一段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)I，第二段的長(zhǎng)度為D，第三段的長(zhǎng)度為L(zhǎng)2，所述待測(cè)物的長(zhǎng)度為L(zhǎng)，使得所述L〈=L1+L2〈2L，0〈D〈L。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述第一光學(xué)檢測(cè)儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測(cè)物件以檢測(cè)待測(cè)物件的缺陷位置，所述第二光學(xué)檢測(cè)為高倍顯微鏡，以對(duì)所述缺陷位置高倍顯示。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測(cè)臺(tái)，其特征在于所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀將待測(cè)物體分成若干段，所述待測(cè)物體為第一光學(xué)檢測(cè)儀或第二光學(xué)檢測(cè)儀分段同時(shí)測(cè)量。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種緊湊型的檢測(cè)臺(tái)。該檢測(cè)臺(tái)，用于檢測(cè)待測(cè)物件，包括運(yùn)載平臺(tái)、至少一支架，所述每一支架上設(shè)有第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述運(yùn)載平臺(tái)用以放置在第一方向運(yùn)動(dòng)的待測(cè)物件，所述支架設(shè)在運(yùn)載平臺(tái)上，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)分別設(shè)置有所述第一光學(xué)檢測(cè)儀，至少一支架上的一側(cè)或兩側(cè)設(shè)置有所述第二光學(xué)檢測(cè)儀，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀以及第二光學(xué)檢測(cè)儀在檢測(cè)待測(cè)物件時(shí)沿第二方向運(yùn)動(dòng)，所述第一方向與第二方向形成預(yù)定角度，所述第一光學(xué)檢測(cè)儀和/或第二光學(xué)檢測(cè)儀對(duì)待測(cè)物體分段檢測(cè)。本實(shí)用新型可減小運(yùn)載平臺(tái)的尺寸，從而降低設(shè)備的成本。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202854051SQ20122051126
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月29日
發(fā)明者裴世鈾, 李波, 溫曄, 楊鐵成, 張梁, 孫繼忠 申請(qǐng)人:肇慶中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司