專(zhuān)利名稱(chēng)：自動(dòng)光學(xué)檢查裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自動(dòng)光學(xué)檢查方法，更具體地，涉及用于對(duì)檢查對(duì)象物的外觀進(jìn)行 檢査的印刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢查裝置方法。
背景技術(shù)：
目前，在IC封裝用電路基板(PCB)中，板面芯片(Board On Chip:BOC)這 樣的產(chǎn)品通常被用作為存儲(chǔ)器。作為該基板的特征，通常在安裝半導(dǎo)體芯片的部分穿 有孔，但是，在最近的穿孔工藝中，在基板的邊緣截面部分往往會(huì)存在切去的部分， 或者在邊緣會(huì)殘留辯隹性異物等。這種，將誘發(fā)致命的弱點(diǎn)，即在后安裝半導(dǎo)體芯 片時(shí)使安裝性斷氐，在半導(dǎo)體芯片面和基板圖形面安裝之后使固有功能(導(dǎo)通性)降 低。
面對(duì)這樣的現(xiàn)狀，在光學(xué)檢査業(yè)界翻如下方式對(duì)其進(jìn)行檢查，即在艘進(jìn)行 檢查的基板面和圖像傳感器(相機(jī))之間平行定位照明器，對(duì)基板面照射光線?？墒?， 對(duì)于該照明，置(反射照明器)，即使在穿孔的邊界部存在異物，也因穿孔部位暗 淡而不可能將異物測(cè)出。為了檢測(cè)形形成這種孔的邊界部產(chǎn)生的不合格，利用照射透 射光而得至啲圖像，來(lái)識(shí)別形成孔部分的邊界部的不合格。
為了這樣對(duì)一個(gè)面進(jìn)行檢査，如果采用上部照明器和下部照明器分別獲取圖像進(jìn)行檢
査，則檢查速度變慢，由于生產(chǎn)效率降低及數(shù)據(jù)處理速度導(dǎo)致出現(xiàn)各種問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的在于提供一種能夠迅速進(jìn)行檢査的印刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢查裝
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠同時(shí)實(shí)施穿孔部異物檢查査和圖形外觀檢査的印
刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢查裝置及方法。
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠容易檢查焊MC蝕劑(SR)內(nèi)異物的印刷電路
基板的自動(dòng)光檢查裝置及方法。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的印刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢裝置包括對(duì)印 刷電路基板的一面照射光線的照明器、利用由印刷電路基板的一面反射反射光拍攝
反射圖像的第1攝像部件、利用由印刷電1 ^的該面透射向另一面的,光拍
射圖像的第2攝像部件、從Mil^第l、 2攝像部j權(quán)收反射圖像和透射圖像以判 斷異物是否雜的控制部。
在本實(shí)施形態(tài)中，i^印刷電^fe為具有形成孔的穿 L部的不,性基阪、 或者在3iMWi:形^^"性圖形的柔性,。
為實(shí)5肚述目的，根據(jù)本發(fā)明印刷秒 ^的自動(dòng)光學(xué)檢査方法中，MW印 刷電i^^的一面照射，，利用^: 1"照射有±^光線的印刷頓 ^的一面進(jìn) 行拍攝，同附,鄉(xiāng)艦照謝有戰(zhàn)纖的印刷電^^的另一面進(jìn)行拍攝，同時(shí) 獲得蹄光圖f斜卩翻光圖像，以檢查印刷^J^^有無(wú)不合格。
撥明效果]
本發(fā)明具有M51—次拍攝即可同時(shí)獲得g圖像和透射圖像的顯著的效果。 本發(fā)明具有M31—個(gè)照明器即可同時(shí)獲得SM圖像和透射圖像的顯著的效果。
本發(fā)明還具有這樣的顯著的效果，M;將由一個(gè)照明部m尋到的皿圖像和透 射圖像與已經(jīng)設(shè)定的 的照度*5行比較,會(huì)辦同時(shí)判斷是否在圖形上以及圖 形之間的空間區(qū):^ 在異物，g肯辦同時(shí)判斷在圖形上是否^E^tl及在穿孔部的 周邊是否雜急


圖i為用于說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的自動(dòng)光學(xué)檢査系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的圖。
圖2為示出在一個(gè)照明部件具有2個(gè)攝像部件的檢查部的圖。
圖3A為示出以不itlt性S^作為m獲得的g光圖像和J^M光圖像的^
級(jí)(照度量)的圖表。
圖3B為示出以不纖性 作為)^^獲得的 光圖像和翻光圖像的離
級(jí)(照度量)的圖表。
圖4為示出以皿性 作為，獲得的目光圖像和,光圖像的亮度級(jí)的
圖表。 符號(hào)說(shuō)明
110裝載部120檢查部130卸載部140控制部
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明實(shí)施形態(tài)會(huì)^^進(jìn)行各種各樣的變形，本發(fā)明范圍并非解釋為P艮于后述的 實(shí)施^^之中。本^M皿只是為了會(huì)辦更完全》^本領(lǐng)域普 術(shù)人員解釋發(fā)明而
提供。因此，附圖中要素的皿等為更明確的突出說(shuō)明而進(jìn)行了夸張。
下面將參照附圖1到圖4對(duì)本發(fā)明實(shí)施形態(tài)進(jìn)纟雅細(xì)說(shuō)明。另外，戰(zhàn)附圖中 具有同一功能的結(jié)構(gòu)要素采用同一附圖新己表示。
本發(fā)明的檢^S和方法非常適于同啦査不翻性繊的夕卜觀(異物、變A、 污染等)以皿成于該mh的穿孔的不合格(burr)。
圖1為用于說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明 形態(tài)的自動(dòng)光學(xué)檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖，圖2為 示出在一個(gè)照明部件具有2個(gè)攝像部件的檢査部的圖。
參照?qǐng)D1和圖2，本發(fā)明自動(dòng)光學(xué)檢查系統(tǒng)100為會(huì)辦對(duì)由印刷電1^ 形成
的檢查m物利用同一光線同時(shí)獲得反射光圖像和3iM光圖像以進(jìn)行檢查的系統(tǒng)。在
圖1中，示出的實(shí)線箭頭表示檢査X^m物移動(dòng)路徑，虛線箭頭表示信號(hào)傳送。
自動(dòng)光學(xué)檢査系統(tǒng)100包,載部(loader) 110、檢查部120、卸載部(unloader) 130鵬制這些構(gòu)鵬件的各種動(dòng)作的控制部140。
裝載部110將膜或帶形態(tài)的印刷^ ^以巻軸#滾筒形態(tài)1續(xù)連接的檢查 * #1至檢査部120， ^將由單品形態(tài)的印刷電{1^形成的檢査)^ ^ 至檢查部120。卸載部130從檢^fP 120回收檢査結(jié)^后的檢査)(it^物。
檢查部120對(duì)由裝載部110提供的檢査)(^^物10的一面照射光線，同時(shí)獲得透 射圖f斜ng圖像，并將其^l給控制部140。
檢査部120包括)^t查)^^物10的上面(形成圖形的面)照射光線的照明部件 124、 )^t査)(jm物10的上面進(jìn)行拍攝以得到g光圖像的第1攝像部件122、皿 檢査)^^物的底面進(jìn)行拍攝以得到 光圖像的第2攝像部件126。
這樣，在本發(fā)明中，照明部件124對(duì)第1攝像部件122翻鄉(xiāng)光，而對(duì)第2 攝像部件126 ， 光。即特征在于, 一個(gè)照明部件124同時(shí)照謝目光和 光， 第1、 2攝像部件122、 126即會(huì)辦分別離査)^t^物10的上面和TM進(jìn)行拍攝，以 這樣的方式，戰(zhàn)第1、 2攝像部件122、 126配魏艦相對(duì)。
控制部140可以含T^般的計(jì)^mm統(tǒng)(一臺(tái)微機(jī))之中，隨著自動(dòng)光學(xué)檢査
而進(jìn)行各種動(dòng)作的控制及處理。并且，控制部140絲1、 2攝像部件122、 126接收 鄉(xiāng)圖f斜卩翻圖像，以判斷檢査)^t^物10的不合格。即，控制部140利用已經(jīng)輸 入的程序，利用(1)基準(zhǔn)圖像的照度值(^g值)和檢査)^tm物的透射圖像的照度 值的差，和(2)基準(zhǔn)圖像的照度值(離值)和檢查)^ja物的鄉(xiāng)圖像的照度值的 差，來(lái)判斷是否#^#物。
(不iW性印刷^Stt^檢査)
圖3A和圖3B示出將具有形成有 L的穿孔部12的不鄉(xiāng)性繊作為檢查職 物10a、由礎(chǔ)圖像和鄉(xiāng)圖像得至啲離級(jí)(照度)的圖表。其中，檢查的)^t^物 10a為諸如具有穿孔部12的BOC這樣的不 性 。
圖3A的檢査)^]^物10在不娜性鎌11上具有圖形13和穿 L部12。參照?qǐng)D 2和圖3A，如圖表g,在利用第1攝像部件122獲得的目光圖像的場(chǎng)合，由圖 形13得到的^比形成圖形的mJt得到的^^，穿孔部12處由于沒(méi)有反射光 而離最暗。而在利用第2攝像部件126獲得的鄉(xiāng)光圖像的場(chǎng)合，由穿孔部12得 到的^非常亮，其他部分則由于沒(méi)有M"照明部件124的光而很暗淡。
這樣，控制部140利用由第1攝像部件122得至啲鄉(xiāng)光圖辦除開(kāi)穿孔部12 的部^S行表面檢查，利用由第2攝像部件126得到的,光圖像對(duì)除開(kāi)利用MM光 圖#^穿孔部12的不合格進(jìn)行檢査。
如圖3B所示，在穿孔部12雜異物(條痕)12a時(shí)，因?yàn)橛煞鈭D像與穿 孔部12相當(dāng)?shù)牟糠值那眉眲嘭?，所以，控制?40會(huì)辦很容易判斷穿孔部12 中是否雜異物。當(dāng)然，位于圖形18上的異鵬鼓mil的外觀檢查(異物、刮 痕、變色、污染等)，倉(cāng)辦利用由第1攝像部件122麟的鄉(xiāng)光圖像以和現(xiàn)有技術(shù) 的檢查方式同樣的進(jìn)行。
因此，本發(fā)明MOT湖光和翻光艦同一照明部件124會(huì)辦以一7燭攝即 可同時(shí)獲得g光圖像和^f光圖像。
C性印刷^li^^檢查)
圖4為示出^1M性膜14上由具有不，性圖形15的柔性SW成的檢查對(duì) 象物10b獲得的碰光圖像和繊光圖像的離級(jí)的圖表。其中，檢査的贈(zèng)物可以 是具有不,性圖形的,' ^態(tài)的TAB (T， Automated Bonding) 、 COF (Chip OnFilm) 、 BGA (Ball Grid Array)中的一種。
參照?qǐng)D4，檢査Xj^物10b^tlt,14上具有圖形15、 SR (solderresist)層16。
參照?qǐng)D2和圖4，如圖^f^，在利用第1攝像部件122獲得的目光圖像的 場(chǎng)合，由圖形13得到的離比由圖形13和圖形之間的空間得到的離魏。另外， 在禾擁第2攝像部件126獲得的謝光圖像的場(chǎng)合，與鄉(xiāng)光圖像相反，由圖形13 得至啲離比由圖形13和圖形之間的空間得到的離要暗。即，圖形處照明部件124
的光由于未,而變暗，而圖形和圖形之間的空間則由于照明部件124的光透性膜14而比圖形部分相對(duì)要亮。
控制部140利用反射光圖像檢測(cè)出圖形上的異物，圖形和圖形之間的空間的異 物不i5Wl繊光圖像而且利用娜光圖像相互比較地檢測(cè)，所以，肯灘得到可靠性 更高的檢測(cè)結(jié)果。
如上戶，，本發(fā)明具有這樣的顯著的效果，皿將由)^查，物上面照浙光 線而同附尋到的湖光圖像和鄉(xiāng)光圖像，與已設(shè)定的基準(zhǔn)娜的照Sa行比較，能 夠同B寸判斷圖形上以及圖形之間的空間區(qū)^Ji否，異物,或者會(huì)辦同時(shí)判斷圖形上 是否M異物以及穿孔部的周邊是否存在^t!。
以i:313ih^說(shuō)明和參照附圖對(duì)本發(fā)明自動(dòng)光學(xué)檢査^S和方法的結(jié)構(gòu)及作用 進(jìn)行了說(shuō)明及圖示，但其只^例性說(shuō)明，不言自明，本發(fā)明可以在不脫離本發(fā)明技 術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)作出各種變tt^變更。
權(quán)利要求
1. 一種印刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢查裝置，其特征在于，包括對(duì)印刷電路基板的一面照射光線的照明器、利用由上述照明器照射的、由印刷電路基板的一面反射的反射光拍攝反射圖像的第1攝像部件、利用由上述照明器照射的、由印刷電路基板的一面透射到另一面的透射光拍攝透射圖像的第2攝像部件、分別從上述第1、2攝像部件接收反射圖像和透射圖像以判斷是否存在異物的控制部。
2. —種印刷 的自動(dòng)光，查方法，，征在于，艦頓印刷電] ^的一面照射光線，禾傭鄉(xiāng)艦照射有戰(zhàn)麟的印刷 電^^的一面進(jìn)行拍攝的同時(shí)，利用激艦照浙有±^光線的印刷％ ^的另 —面進(jìn)行拍攝，由此同時(shí)獲得鄉(xiāng)光圖像和鄉(xiāng)光圖像，以檢查印刷^s^有無(wú)不 合格。
3. 如權(quán)利要求2所述印刷電1 & 的自動(dòng)光學(xué)檢査方法，，征在于， 上述印刷電1 板為具有形成了孔的穿孔部的不,性基阪。4如權(quán)利要求2戶誠(chéng)印刷電1 & 的自動(dòng)光雜査方法，辦征在于， ，印刷電1 & 為^^^1±形成有不自性圖形的柔性 。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對(duì)檢查對(duì)象物的外觀進(jìn)行檢查的印刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢查裝置。本發(fā)明的印刷電路基板的自動(dòng)光學(xué)檢查裝置包括對(duì)印刷電路基板的一面照射光線的照明器、利用由印刷電路基板的一面反射的反射光拍攝反射圖像的第1攝像部件、利用由印刷電路基板的該面透射向另一面的透射光拍攝透射圖像的第2攝像部件、分別從上述第1、2攝像部件接收反射圖像和透射圖像以判斷異物是否存在的控制部。
文檔編號(hào)G01B11/00GK101382501SQ20081016860
公開(kāi)日2009年3月11日 申請(qǐng)日期2008年9月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月5日
發(fā)明者崔鉉鎬, 金敏秀 申請(qǐng)人:Aju高技術(shù)公司