專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)量電路及測(cè)試設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)量電路及測(cè)試設(shè)備，尤其涉及對(duì)被測(cè)試裝置加直流電壓， 測(cè)量上述被測(cè)試裝置通過(guò)的直流電流。本申請(qǐng)與下列日本申請(qǐng)有關(guān)。對(duì)于 承認(rèn)通過(guò)文獻(xiàn)參考編入內(nèi)容的指定國(guó)，通過(guò)參考下列申請(qǐng)記載的內(nèi)容編入 本申請(qǐng)，作為本申請(qǐng)的一部分。
l.專(zhuān)利申請(qǐng)2006-310358，申請(qǐng)日2006年11月16日。
背景技術(shù)：
作為半導(dǎo)體電路等的被測(cè)試裝置的測(cè)試項(xiàng)目，公知的有對(duì)被測(cè)試裝置 的直流測(cè)試。所謂直流測(cè)試，是通過(guò)測(cè)量供給到被測(cè)試裝置中的電源電流
或電源電壓，判定被測(cè)試裝置的好壞的測(cè)試。例如可以考慮在對(duì)被測(cè)試 裝置施加了規(guī)定的直流電壓時(shí)，測(cè)量在被測(cè)試裝置供給的直流電流的電壓 輸入電流測(cè)量，或在對(duì)被測(cè)試裝置供給了規(guī)定的直流電流時(shí)，測(cè)量供給被 測(cè)試裝置的直流電壓的電流外加電壓測(cè)量。
同時(shí)，還可以考慮在進(jìn)行該直流測(cè)試時(shí)，應(yīng)該防止對(duì)被測(cè)試裝置輸入 過(guò)電流等，限制對(duì)被測(cè)試裝置供給的直流電流。例如，在被測(cè)試裝置通過(guò) 的直流電流達(dá)到極限值以上時(shí)，考慮采用鉗位電路，以限制對(duì)被測(cè)試裝置 施加的直流電壓(例如參考專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。
被測(cè)試裝置中的直流電流，例如能夠從設(shè)置在供給電源功率的放大器 和被測(cè)試裝置的輸入端之間的電阻兩端的壓降測(cè)得。因此，通過(guò)檢測(cè)出電 阻的放大器側(cè)的一端相對(duì)接地電位的第1電壓和在電阻的其它端相對(duì)接地電位的電壓加上根據(jù)極限值得到的電壓后的第2電壓之間的大小關(guān)系，能 査出直流電流是否比極限值大。
例如，通過(guò)把用規(guī)定的分壓電阻對(duì)第1電壓進(jìn)行分壓之后的，和用同 一分壓比的分壓電阻對(duì)第2電壓分壓后的電壓輸入到差動(dòng)放大器，能夠檢 測(cè)出直流電流是否比極限值大。并且，通過(guò)根據(jù)差動(dòng)放大器的輸出限制直 流電流，而能夠防止對(duì)被測(cè)試裝置輸入過(guò)大的直流電流。
專(zhuān)利文獻(xiàn)l，特開(kāi)2002-277505號(hào)公報(bào)。
可是，如果對(duì)被測(cè)試裝置施加了高電壓，如上所述，以接地電位為基 準(zhǔn)讓鉗位電路工作，則被加到分壓電阻的電壓變?yōu)楦唠妷骸Ｒ虼?，在? 電壓對(duì)應(yīng)的分壓電阻的分壓比和第2電壓對(duì)應(yīng)的分壓電阻的分壓比之間如 果產(chǎn)生誤差，則CMR誤差變得更大，可以認(rèn)為會(huì)導(dǎo)致鉗位的精密度劣化。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供解決上述課題的測(cè)量電路及測(cè)試設(shè) 備。該目的由獨(dú)立權(quán)利要求記載的特征組合達(dá)成。從屬權(quán)利要求規(guī)定了本 發(fā)明的更有利的具體例子。
為了解決上述課題，根據(jù)與本發(fā)明說(shuō)明書(shū)包含的與新發(fā)明相關(guān)的第1 方面的測(cè)量電路之一例，提供一種測(cè)量電路，該測(cè)量電路是對(duì)被測(cè)試裝置 施加直流電壓，測(cè)量在上述被測(cè)試裝置通過(guò)的直流電流，其包括根據(jù)輸 入電壓發(fā)生上述直流電壓，并施加給上述被測(cè)試裝置的主放大部、串聯(lián)設(shè) 置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間的串聯(lián)電阻、 限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值的鉗位電路。上述鉗位電 路包括接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出相對(duì)上述直流電壓具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第1極限電壓的第1極限電
壓輸出部；基于上述第1極限電壓與在上述串聯(lián)電阻兩端的壓降，限制上 述主放大部輸出的上述直流電流的第1鉗位單元。
另外，根據(jù)本說(shuō)明書(shū)包含的發(fā)明涉及的第2方面的測(cè)量電路的一個(gè)例 子，提供一種對(duì)被測(cè)試裝置施加直流電壓，測(cè)量上述被測(cè)試裝置中通過(guò)的 直流電流的測(cè)量電路，包括主放大部，其根據(jù)輸入電壓生成上述直流電 壓，施加給上述被測(cè)試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出 端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的 上述直流電流的電流值；緩沖器，分路并接受上述輸入電壓，輸入給上述 鉗位電路。上述鉗位電路具有第1極限電壓輸出部，接受上述主放大部 輸出的上述直流電壓，輸出相對(duì)上述緩沖器輸入的上述輸入電壓，具有與 上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第1極限電壓；第1鉗位單元，根 據(jù)上述第1極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸 出的上述直流電流。
另外，根據(jù)與本說(shuō)明書(shū)包含的發(fā)明有關(guān)的第3方面的測(cè)試設(shè)備的一例， 提供一種測(cè)試被測(cè)試裝置的測(cè)試設(shè)備，包括，對(duì)上述被測(cè)試裝置供給直流 電壓，測(cè)量在上述被測(cè)試裝置通過(guò)的直流電流的測(cè)量電路；根據(jù)上述測(cè)量 電路測(cè)量的上述直流電流，判斷上述被測(cè)試裝置的好壞的判斷部；上述測(cè) 量電路具有按照輸入電壓發(fā)生上述直流電壓，施加給上述被測(cè)試裝置的 主放大部；串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端 之間的串聯(lián)電阻；限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值的鉗位 電路。上述鉗位電路包括接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出相 對(duì)上述直流電壓，具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第1極限電壓的第1極限電壓輸出部；根據(jù)上述第1極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端 中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的第1鉗位單元。
同時(shí)，根據(jù)與本說(shuō)明書(shū)包含的發(fā)明有關(guān)的第4方面的測(cè)試設(shè)備的一例， 提供一種測(cè)試被測(cè)試裝置的測(cè)試設(shè)備，包括測(cè)量電路，供給上述被測(cè)試 裝置直流電壓，測(cè)量上述被測(cè)試裝置中通過(guò)的直流電流；判斷部，按照上 述測(cè)量電路測(cè)量的上述直流電流，判定上述被測(cè)試裝置的好壞；上述測(cè)量 電路具有主放大部，根據(jù)輸入電壓生成上述直流電壓，施加給上述被測(cè) 試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置 的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流 值；緩沖器，分路接受上述輸入電壓，輸入上述鉗位電路。上述鉗位電路 包括第1極限電壓輸出部，接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸 出相對(duì)上述緩沖器輸入的上述輸入電壓，具有上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng) 的電壓差的第1極限電壓；第1鉗位單元，根據(jù)上述第1極限電壓和在上 述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流。
上述發(fā)明的概要，并未列舉出本發(fā)明必要技術(shù)特征的全部，這些的特 征的結(jié)合也能構(gòu)成發(fā)明。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的測(cè)量電路100的一例示意圖。 圖2是測(cè)量電路100的其他構(gòu)造例示意圖。 圖3是測(cè)量電路100的其他構(gòu)造例示意圖。
圖4是本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的測(cè)試設(shè)備200的構(gòu)造的一例示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明
10.電壓值控制部，12.電阻，14.串聯(lián)電阻，16.電流讀數(shù)裝置，18.電 流測(cè)量部，20.主放大部，22.差動(dòng)放大器，24.主放大器，26.分流電容器， 30.鉗位裝置，40.第1鉗位電路，42.第1極限電壓輸出部，46、 66.第1 電阻，48、 6&第2電阻，50、 70.第3電阻，52、 72.第4電阻，54.第1 比較部，56.第1 二極管，58.第1鉗位單元，60.第2鉗位電路，62.第2 極限電壓輸出部，74.第2比較部，76.第2二極管，78.第2鉗位單元，80. 緩沖器，IOO.測(cè)量電路，IIO.判斷部，120.圖案輸入部，200，測(cè)試設(shè)備， 300.被測(cè)試裝置
具體實(shí)施例方式
下面通過(guò)具體實(shí)施方式
說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)方面，但以下實(shí)施方式不是 限定權(quán)利要求范圍所涉及的發(fā)明，另外并非實(shí)施方式所表示的特征組合的 全部都是發(fā)明的必須解決手段。
圖1是對(duì)本發(fā)明之一實(shí)施方式涉及的測(cè)量電路100構(gòu)造的一例示意圖。 測(cè)量電路IOO，是對(duì)被測(cè)試裝置300施加規(guī)定的直流電壓，測(cè)量通過(guò)被測(cè)試 裝置300的直流電流的電壓外加電流測(cè)量電路，具有電壓值控制部IO、電 阻12、主放大部20、串聯(lián)電阻14、電流讀數(shù)裝置16、電流測(cè)量部18、鉗 位裝置30以及分流電容器26。
電壓值控制部10控制對(duì)被測(cè)試裝置300施加的電壓。例如電壓值控制 部IO，是數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器，輸出與所給予的數(shù)字值對(duì)應(yīng)的輸入電壓。
主放大部20通過(guò)電阻12接收輸入電壓。同時(shí)，主放大部20產(chǎn)生與該 輸入電壓對(duì)應(yīng)的直流電壓，施加給被測(cè)試裝置300。主放大部20具有差動(dòng)放大器22及主放大器24。差動(dòng)放大器22回饋被測(cè)試裝置300輸入端的直 流電壓，輸出對(duì)應(yīng)于該直流電壓和輸入電壓的差的電壓。主放大器24以規(guī) 定的放大率放大差動(dòng)放大器22輸出的電壓并輸出。根據(jù)這樣的構(gòu)造，能夠 將被測(cè)試裝置300施加的直流電壓維持成與來(lái)自電壓值控制部10的輸入電 壓對(duì)應(yīng)的所規(guī)定的電壓值。
電流讀數(shù)裝置16，檢測(cè)由主放大部20供給被測(cè)試裝置300的直流電流 的電流值，輸出與該電流值對(duì)應(yīng)的檢測(cè)電壓。例如，電流讀數(shù)裝置16，可 以是在主放大部20輸出端和被測(cè)試裝置300輸入端之間串聯(lián)設(shè)置的電阻。 電流測(cè)量部18，按照電流讀數(shù)裝置16給與的檢測(cè)電壓，測(cè)量對(duì)被測(cè)試裝置 300供給的直流電流的電流值。例如電流測(cè)量部18，可以是接收電流讀數(shù) 裝置16的電阻兩端的各自的電壓的差動(dòng)放大器。
分流電容器26，設(shè)置在被測(cè)試裝置300輸入端和接地電位之間。分流 電容器26，補(bǔ)償被測(cè)試裝置300輸入端中的供電電壓或電流的急劇波動(dòng)。
串聯(lián)電阻14，串聯(lián)設(shè)置在主放大部20輸出端和被測(cè)試裝置300輸入端 之間。比如串聯(lián)電阻14可以串聯(lián)設(shè)置在主放大部20輸出端和電流讀數(shù)裝 置16輸入端之間。
鉗位裝置30，限制主放大部20輸出的直流電流的電流值。例如鉗位裝 置30，至少將該直流電流的電流值限制在允許對(duì)被測(cè)試裝置300輸入的容 許電流范圍內(nèi)。通過(guò)這種方法，防御在被測(cè)試裝置300通過(guò)過(guò)大電流，減 少被測(cè)試裝置300產(chǎn)生不合格的問(wèn)題。
在本例中，鉗位裝置30具有第1鉗位電路40及第2鉗位電路60。第 l鉗位電路40,規(guī)定流向被測(cè)試裝置300的直流電流的上限；而第2鉗位 電路60，規(guī)定流向被測(cè)試裝置300的直流電流的下限。第1鉗位電路40，具有第1極限電壓輸出部42、第1電阻46、第2電 阻48、第3電阻50、第4電阻52和第1鉗位單元58。第1極限電壓輸出 部42，例如可以是數(shù)模擬轉(zhuǎn)換器，輸出與被給予的數(shù)字值對(duì)應(yīng)的電壓。
第1極限電壓輸出部42，規(guī)定流向被測(cè)試裝置300的直流電流的上限。 在本例中，第1極限電壓輸出部42，輸出直流電流的上限對(duì)應(yīng)的第1極限 電壓。另外，第1極限電壓輸出部42，以主放大部20輸出的直流電壓為基 準(zhǔn)，輸出第l極限電壓?？傊?，第1極限電壓輸出部42，接收主放大部20 輸出的直流電壓，對(duì)該直流電壓，輸出具有與直流電流的上限對(duì)應(yīng)的電壓 差的第l極限電壓。比如，若設(shè)主放大部20輸出的直流電壓為V1，設(shè)對(duì)應(yīng) 直流電流的上限電壓為Vc的話(huà)，則第1極限電壓輸出部42輸出的第1極 限電壓是V1+Vc。
第1鉗位單元58，根據(jù)第1極限電壓和在串聯(lián)電阻14兩端的壓降，限 制主放大部20輸出的直流電流。在本例中包括第1鉗位單元58、第1比較 部54及第l二極管56。
第1比較部54，放大輸出基于壓降和對(duì)應(yīng)第1極限電壓的電壓的比較 結(jié)果的，輸出第1比較結(jié)果電壓的第1比較部的差。在本例中第1比較部 54，是具有第1及第2的輸入端，輸出對(duì)應(yīng)第1輸入端及第2輸入端輸入 的電壓之差的第1比較結(jié)果電壓的差動(dòng)放大器。所謂對(duì)應(yīng)第1極限電壓的 電壓，是用第2電阻48及以第3電阻50分壓在串聯(lián)電阻14的被測(cè)試裝置 300側(cè)的一端的電壓V2和第1極限電壓后的電壓。
第2電阻48，連接串聯(lián)電阻14的被測(cè)試裝置300側(cè)的一端和第1比較 部54的第2輸入端。第3電阻50與第1極限電壓輸出部42輸出端和第2 電阻48及第2輸入端的分路點(diǎn)連接。優(yōu)選第3電阻50電阻值，充分地大于第2電阻48的電阻值。例如第2電阻48的電阻值是5kQ程度，第3電 阻50電阻值是200kQ程度為好。在這種情況下，設(shè)串聯(lián)電阻14的壓降為 Vf ，則被加到第1比較部54的第2輸入端的電壓變?yōu)?200kQ X (Vl-Vf)+5k Q X (Vl+Vc)) / (200k Q +5k Q) =V1+ (5k Q X Vc-200k Q X Vf) /205k Q 。
同時(shí)，第1電阻46連接串聯(lián)電阻14的主放大部20側(cè)的一端和第1比 較部54的第1輸入端。第4電阻52設(shè)置在第1電阻46的第1比較部54 側(cè)的一端和串聯(lián)電阻14的主放大部20側(cè)的一端之間。在這里，最好第1 電阻46電阻值與第2電阻48電阻值相等，第4電阻52的電阻值與第3電 阻50的電阻值大體上相等。S卩，被施加到第1比較部54的第1輸入端的 電壓，輸入串聯(lián)電阻14的主放大部20側(cè)的一端的電壓V1。因此，第l比 較部54將第1輸入端加的電壓VI和第2輸入端輸入的電壓Vl+(5kQ X Vc-200kQ X Vf)/205k Q的差分(5k Q XVc-200kQ XVf)/205k Q放大后輸 出。即，第1比較部54，輸出與被第2電阻48及第3電阻50電阻值加權(quán) 后的Vc和Vf的大小關(guān)系對(duì)應(yīng)的電壓。
第1 二極管56,根據(jù)第1比較結(jié)果電壓，通過(guò)限制主放大部20輸入的 輸入電壓，來(lái)限制主放大部20輸出的直流電流。在本例中，第1二極管56 與第1比較部54輸出端在陰極連接，在主放大部20輸入端與陽(yáng)極連接。 同時(shí)，第1比較部54，在(5kQXVc-200kQXVf)是負(fù)時(shí)，即輸入被測(cè)試裝 置300的直流電流比上限值大時(shí)，輸出把第1 二極管56設(shè)為接通狀態(tài)的第 1比較結(jié)果電壓。據(jù)此，在電阻12中的壓降增加，對(duì)主放大部20的輸入電 壓被限制。為此，被測(cè)試裝置300中的直流電流被限制成比上限值小。另 外，第1比較部54在(5kQ XVc-200kQ XVf)為正時(shí)，即被測(cè)試裝置300 中的直流電流比上限值小時(shí)，輸出把第1 二極管56設(shè)為斷開(kāi)狀態(tài)的第1比較結(jié)果電壓。根據(jù)這樣的構(gòu)造，能夠?qū)⒈粶y(cè)試裝置300中的直流電流設(shè)為 規(guī)定的上限以下。
如上所述，第2鉗位電路60調(diào)節(jié)主放大部20輸入電壓，以使被測(cè)試 裝置300的直流電流在所定的下限值以上。第2鉗位電路60具有第2極限 電壓輸出部62、第1電阻66、第2電阻68、第3電阻70、第4電阻72和 第2鉗位單元78。第2極限電壓輸出部62，例如可以是數(shù)字模擬轉(zhuǎn)換器， 能輸出與給予的數(shù)字值對(duì)應(yīng)的電壓。
第2極限電壓輸出部62規(guī)定被測(cè)試裝置300的直流電流的下限值。在 本例中，第2極限電壓輸出部62輸出與直流電流的下限值對(duì)應(yīng)的第2極限 電壓。另外，第2極限電壓輸出部62，作為參考，輸入主放大部20輸出的 直流電壓，輸出第2極限電壓。也就是，第2極限電壓輸出部62接收主放 大部20輸出的直流電壓，相對(duì)該直流電壓，輸出具有直流電流的下限值對(duì) 應(yīng)的電壓差的第2極限電壓。例如設(shè)主放大部20輸出的直流電壓為V1，設(shè) 直流電流的上限對(duì)應(yīng)的電壓作為Vc，則第2極限電壓輸出部62輸出的第2 極限電壓是V1-Vc。
第2鉗位部78根據(jù)第2極限電壓和在串聯(lián)電阻14兩端的壓降，限制 主放大部20輸出的直流電流。在本例中第2鉗位單元78具有第2比較部 74及第2二極管76。
第2比較部74，最好是具有和第1比較部54大體上同樣的特性的差動(dòng) 電路。第2比較部74的第1輸入端連接第1電阻66及第4電阻72的連接 點(diǎn)。同時(shí)，第2比較部74的第2輸入端連接第2電阻68及第3電阻70的 連接點(diǎn)。同時(shí)，第2 二極管76被第2比較部74輸出端陽(yáng)極連接，被主放 大部20輸入端陰極連接。第2 二極管76根據(jù)第2比較部74輸出的第2比主放大部20的輸入電壓的下限，限制流向被測(cè)試 裝置300的直流電流的下限。
第1電阻66、第2電阻68、第3電阻70和第4電阻72可以是和第1 鉗位電路40中的第1電阻46、第2電阻48、第3電阻50和第4電阻52 相同的電阻，并具有相同的連接關(guān)系。
根據(jù)這樣的構(gòu)造，當(dāng)?shù)?比較部74在串聯(lián)電阻14中的壓降比第2極 限電壓小時(shí)，輸出把第2 二極管76設(shè)置為接通狀態(tài)的第2比較結(jié)果電壓， 在該壓降比第2極限電壓大時(shí)，輸出把第2 二極管76設(shè)置為斷開(kāi)狀態(tài)的第 2比較結(jié)果電壓。根據(jù)這樣的構(gòu)造，能夠?qū)⒈粶y(cè)試裝置300中的直流電流設(shè) 為規(guī)定的下限值以上。
同時(shí)，本例的鉗位裝置30以主放大部20輸出的直流電壓V1為基準(zhǔn)工 作。因此，能夠降低第1電阻(46， 66)、第2電阻(48， 68)、第3電阻(50， 70)和第4電阻(52, 72)施加的電壓。為此，得以降低由于這些電阻的電阻 值散差產(chǎn)生的CMR誤差。特別是在主放大部20輸出的直流電壓VI是高電 壓時(shí)，其效果更加顯著。
同時(shí)，如果鉗位裝置30以接地電位為參考工作時(shí)，對(duì)于鉗位裝置30， 需要供給與主放大部20輸出的直流電壓對(duì)應(yīng)的高壓的電源電壓。但是，在 本例的鉗位裝置30，因?yàn)橐灾鞣糯蟛?0輸出的直流電壓為基準(zhǔn)工作，所以 即使不供給高壓的電源電壓也可以。例如供給在+Vc -Vc的范圍內(nèi)能工作 的電源電壓就可以了。
圖2是測(cè)量電路100的其他構(gòu)造的示意圖。本例的測(cè)量電路100與圖1 中所示的測(cè)量電路100構(gòu)造相比，在沒(méi)有第4電阻(52， 72)這一點(diǎn)上不同。 同時(shí)，本例中的第3電阻50，設(shè)置在第1電阻46及第1比較部54接點(diǎn)和第1極限電壓輸出部42的輸出端之間。同樣，第3電阻70設(shè)置在第1電 阻66及第2比較部74的連接點(diǎn)和第2極限電壓輸出部62輸出端之間。其 他與圖1相同的元件具有相同的符號(hào)。
在圖1中，在串聯(lián)連接的第1電阻(46， 66)及第4電阻(52， 72)的兩 端，都施加主放大部20輸出的直流電壓V1。因此，如圖2所示，在測(cè)量電 路100中即使省略第4電阻(52， 72)，也能進(jìn)行在圖1中所述的測(cè)量電路 IOO同樣的操作。同時(shí)在本例中，因?yàn)楦牧说?電阻50及70的接頭處， 所以第1極限電壓輸出部42及第2極限電壓輸出部62輸出電壓的極性也 改變。例如，可以設(shè)第1極限電壓輸出部42輸出電壓為Vl-Vc，設(shè)第2極 限電壓輸出部62輸出電壓為Vl+Vc。
圖3是測(cè)量電路100其他構(gòu)造例的示意圖。在本例的測(cè)量電路100是 在圖1所示的測(cè)量電路100構(gòu)造上增加了緩沖器80的電路。其他與圖1同 樣符號(hào)的元件可以具有同樣的功能及構(gòu)造。
緩沖器80，將主放大部20輸入的輸入電壓分路接收，輸入鉗位裝置 30。在本例中，緩沖器80從電阻12和主放大部20的輸入端的分路點(diǎn)，將
輸入電壓分路接收。
同時(shí)，圖1中的第1極限電壓輸出部42及第2極限電壓輸出部62，以
主放大部20輸出的直流電壓為基準(zhǔn)工作，不過(guò)本例中的第1極限電壓輸出 部42及第2極限電壓輸出部62，以緩沖器80輸出的輸入電壓為基準(zhǔn)電壓 工作。
同時(shí)，圖1中的第4電阻(52， 72)的一端施加主放大部20輸出的直流 電壓。不過(guò)，本例中的第4電阻(52， 72)的該端施加緩沖器80輸出的輸入 電壓。在主放大部20的放大率，例如為1倍時(shí)，根據(jù)這樣的構(gòu)造，也能獲得 與在圖1所示的測(cè)量電路100同樣的效果。但在主放大部20的放大率不限 定為1倍。
圖4是本發(fā)明之一實(shí)施方式涉及的測(cè)試設(shè)備200構(gòu)造的一例示意圖。 測(cè)試設(shè)備200，是測(cè)試半導(dǎo)體電路等的被測(cè)試裝置300的設(shè)備，具有測(cè)量電 路IOO、圖案輸入部120和判斷部110。
測(cè)量電路100是與圖1至圖3所示的測(cè)量電路100相同的電路。即測(cè) 量電路100向被測(cè)試裝置300供給電源功率，且進(jìn)行被測(cè)試裝置300的電 壓外加電流測(cè)量。
判斷部110，按照在測(cè)量電路100中的測(cè)定結(jié)果判定被測(cè)試裝置300的 好壞。例如判斷部110，可以根據(jù)圖1所示的電流測(cè)量部18測(cè)量的直流電 流的電流值是否在所規(guī)定的范圍內(nèi)來(lái)判定被測(cè)試裝置300的好壞。
同時(shí)，在進(jìn)行在被測(cè)試裝置300靜止時(shí)的直流測(cè)試時(shí)，測(cè)量電路100 可以在圖案輸入部120不輸入測(cè)試圖案的狀態(tài)中進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)，如果進(jìn) 行在被測(cè)試裝置300動(dòng)作時(shí)的直流測(cè)試，測(cè)量電路100可以在圖案輸入部 120輸入測(cè)試圖案的狀態(tài)中進(jìn)行測(cè)量。
圖案輸入部120，可以向被測(cè)試裝置300輸入例如被測(cè)試裝置300包含 的所規(guī)定的邏輯電路的狀態(tài)順序改變的測(cè)試圖案。此時(shí)，能夠査出該邏輯 電路是否正常。同時(shí)，圖案輸入部120，也可以對(duì)被測(cè)試裝置輸入使被測(cè)試 裝置300包含的多個(gè)邏輯電路依次工作的測(cè)試圖案。在這種情況下，能夠 指定被測(cè)試裝置300中的質(zhì)量不良之處。
以上用實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明的一個(gè)側(cè)面，不過(guò)本發(fā)明的技術(shù)的范圍 不受上述實(shí)施方式記載的范圍所限定。本領(lǐng)域的技術(shù)人員明白，對(duì)上述實(shí)施方式可以作多種多樣的變形或改善。從權(quán)利要求的范圍可以知道，其變 形和改善的實(shí)施例也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)量電路，是對(duì)被測(cè)試裝置施加直流電壓，測(cè)量上述被測(cè)試裝置中通過(guò)的直流電流的測(cè)量電路，其特征在于包括主放大部，其根據(jù)輸入電壓生成上述直流電壓，施加給上述被測(cè)試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值；上述鉗位電路具有第1極限電壓輸出部，接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出對(duì)應(yīng)于上述直流電壓，具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第1極限電壓；第1鉗位單元，根據(jù)上述第1極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量電路，其特征在于上述第1鉗位單元具有第1比較部，輸出基于上述壓降和與上述第1極限電壓對(duì)應(yīng)的電壓的比較結(jié)果的第l比較結(jié)果電壓；第1二極管，通過(guò)根據(jù)上述第1比較結(jié)果電壓限制上述輸入電壓來(lái)限制上述直流電流。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量電路，其特征在于上述第1極限電壓輸出部，輸出與上述直流電流的上限值對(duì)應(yīng)的上述第1極限電壓；上述第1 二極管，在上述第1比較部的輸出端連接陰極，在上述主放大部的輸入端連接陽(yáng)極；上述第1比較部，當(dāng)上述壓降比與上述第1極限電壓對(duì)應(yīng)的電壓大時(shí)，輸出把上述第1二極管設(shè)定為接通狀態(tài)的上述第1比較結(jié)果電壓，當(dāng)上述壓降比與上述第1極限電壓對(duì)應(yīng)的電壓小時(shí)，輸出把上述第1 二極管設(shè)定為斷開(kāi)狀態(tài)的上述第1比較結(jié)果電壓。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量電路，其特征在于上述第1比較部，具有第1及第2輸入端，輸出與被輸入到所述第1輸入端及上述第2輸入端的電壓差對(duì)應(yīng)的上述第1比較結(jié)果電壓的差動(dòng)電路；上述第1鉗位單元還包括連接上述串聯(lián)電阻的上述主放大部側(cè)的一端和上述第1比較部的上述第1輸入端的第1電阻；連接上述串聯(lián)電阻的上述被測(cè)試裝置側(cè)的一端和上述第1比較部的上述第2輸入端，與上述第1電阻的電阻值大致相等的第2電阻；連接上述第1極限電壓輸出部的輸出端和上述第2電阻及上述第2輸入端的連接點(diǎn)，比上述第2電阻的電阻值大的第3電阻。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量電路，其特征在于上述第1鉗位單元還具有設(shè)置在上述第1電阻的上述第1比較部側(cè)的一端和上述串聯(lián)電阻的上述主放大部側(cè)的一端之間，與上述第3電阻的電阻值大致相等的第4電阻。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量電路，其特征在于還包括接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出相對(duì)上述直流電壓，具有上述直流電流的下限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第2極限電壓的第2極限電壓輸出部；根據(jù)上述第2極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的下限的第2鉗位單元；上述第2鉗位單元有輸出基于上述壓降和與上述第2極限電壓對(duì)應(yīng)的電壓的比較結(jié)果的第2比較結(jié)果電壓的第2比較部；在上述第2比較部的輸出端連接陽(yáng)極，在上述主放大部的輸入端連接陰極，通過(guò)按照上述第2比較結(jié)果電壓限制上述輸入電壓的下限來(lái)限制上述直流電流的下限的第2 二極管；上述第2比較部，當(dāng)上述壓降比上述第2極限電壓對(duì)應(yīng)的電壓小時(shí)，輸出把上述第2 二極管設(shè)置為接通狀態(tài)的上述第2比較結(jié)果電壓；當(dāng)上述壓降比上述第2極限電壓對(duì)應(yīng)的電壓大時(shí)，輸出把上述第2 二極管設(shè)定為斷開(kāi)狀態(tài)的上述第2比較結(jié)果電壓。
7. —種測(cè)量電路，是對(duì)被測(cè)試裝置施加直流電壓，測(cè)量上述被測(cè)試裝置中通過(guò)的直流電流的測(cè)量電路，其特征在于包括主放大部，其根據(jù)輸入電壓生成上述直流電壓，施加給上述被測(cè)試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值；緩沖器，分路并接受上述輸入電壓，輸入給上述鉗位電路；上述鉗位電路具有-第1極限電壓輸出部，接受上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出對(duì)應(yīng)于上述緩沖器輸入的上述輸入電壓，具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第l極限電壓；第1鉗位單元，根據(jù)上述第1極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流。
8. —種測(cè)試設(shè)備，是測(cè)試被測(cè)試裝置的測(cè)試設(shè)備，其特征在于包括測(cè)量電路，向上述被測(cè)試裝置供給直流電壓，測(cè)量上述被測(cè)試裝置中通過(guò)的直流電流；判斷部，根據(jù)上述測(cè)量電路測(cè)量的上述直流電流，判斷上述被測(cè)試裝置的好壞；上述測(cè)量電路具有主放大部，根據(jù)輸入電壓生成上述直流電壓，施加給上述被測(cè)試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值；上述鉗位電路包括第1極限電壓輸出部，接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出對(duì)應(yīng)于上述直流電壓，具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第1極限電壓；第1鉗位單元，根據(jù)上述第1極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流。
9. 一種測(cè)試設(shè)備，是測(cè)試被測(cè)試裝置的測(cè)試設(shè)備，其特征在于包括測(cè)量電路，供給上述被測(cè)試裝置直流電壓，測(cè)量上述被測(cè)試裝置中通過(guò)的直流電流；判斷部，按照上述測(cè)量電路測(cè)量的上述直流電流，判定上述被測(cè)試裝置的好壞；上述測(cè)量電路具有主放大部，根據(jù)輸入電壓生成上述直流電壓，施加給上述被測(cè)試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值；緩沖器，分路接受上述輸入電壓，輸入上述鉗位電路；上述鉗位電路包括第1極限電壓輸出部，接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，輸出對(duì)應(yīng)于上述緩沖器輸入的所述輸入電壓，具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第l極限電壓；第1鉗位單元，根據(jù)上述第1極限電壓和在上述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測(cè)量電路，用于對(duì)被測(cè)試裝置施加直流電壓，測(cè)量所述被測(cè)試裝置的直流電流。其包括主放大部，其根據(jù)輸入電壓生成上述直流電壓，施加給上述被測(cè)試裝置；串聯(lián)電阻，串聯(lián)設(shè)置在上述主放大部的輸出端和上述被測(cè)試裝置的輸入端之間；鉗位電路，限制上述主放大部輸出的上述直流電流的電流值；上述鉗位電路，具有第1極限電壓輸出部，接收上述主放大部輸出的上述直流電壓，相對(duì)上述直流電壓，輸出具有與上述直流電流的極限值對(duì)應(yīng)的電壓差的第1極限電壓；第1鉗位單元，根據(jù)上述第1極限電壓和上述串聯(lián)電阻兩端中的壓降，限制上述主放大部輸出的上述直流電流。
文檔編號(hào)G01R31/26GK101542304SQ20078004266
公開(kāi)日2009年9月23日 申請(qǐng)日期2007年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月16日
發(fā)明者小原賢二, 蓮見(jiàn)卓也 申請(qǐng)人:愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試株式會(huì)社