專利名稱：導(dǎo)電性接觸件組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性接觸件組件，其在進(jìn)行液晶面板或半導(dǎo)體集成電路 等電子部件中的導(dǎo)通狀態(tài)檢查或工作特性檢查時，與所述電子部件的電極 或端子接觸而進(jìn)行電信號的發(fā)送接收。
背景技術(shù)：
以往，在半導(dǎo)體集成電路等檢查對象的電特性檢查的技術(shù)領(lǐng)域，已知 有涉及導(dǎo)電性接觸件組件的技術(shù)，所述電性接觸件組件具有下述功能，艮口， 對應(yīng)半導(dǎo)體集成電路的連接用電極而設(shè)置多個導(dǎo)電性接觸件，通過使導(dǎo)電 性接觸件與連接用電極物理性接觸，來確保電導(dǎo)通。導(dǎo)電性接觸件組件具 備多個導(dǎo)電性接觸件、以及保持該多個導(dǎo)電性接觸件的導(dǎo)電性接觸件支 架。在這樣的導(dǎo)電性接觸件組件中，提出用于對應(yīng)與檢查對象即半導(dǎo)體集 成電路等的微細(xì)化趨勢伴隨的連接用電極的排列間隔狹小化的各種技術(shù)。
例如，下述專利文獻(xiàn)1公開了一種技術(shù)，其涉及一種具備有與檢查對 象相接觸的接觸部、對該接觸部進(jìn)行彈性作用的彈性部且做成板狀的導(dǎo)電 性接觸件。該現(xiàn)有技術(shù)通過隔開狹小的間隔在板厚度方向排列多個導(dǎo)電性 接觸件，可以應(yīng)對檢查對象的連接用電極的排列間隔的狹小化。
專利文獻(xiàn)l:(日本國)特開2001-343397號公報
但是，在使用上述的導(dǎo)電性接觸件組件來重復(fù)進(jìn)行檢査的情況下，有 時每個導(dǎo)電性接觸件的負(fù)荷特性產(chǎn)生混亂。因此，不僅不能進(jìn)行穩(wěn)定的檢 査，而且有可能因不同情況而造成導(dǎo)電性接觸件破損，在耐久性上存在問 題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種耐久性優(yōu)良的 導(dǎo)電性接觸件組件。
4為了解決上述課題而實現(xiàn)本發(fā)明目的，本發(fā)明第一方面提供一種導(dǎo)電 性接觸件組件，其在輸出檢查用信號的電路結(jié)構(gòu)與檢查對象之間進(jìn)行信號 的發(fā)送接收，其特征在于，具備多個導(dǎo)電性接觸件，所述導(dǎo)電性接觸件 由板狀的導(dǎo)電性材料形成，其具有第一接觸部，所述第一接觸部與輸出 檢查用信號的電路結(jié)構(gòu)相接觸；彈性部，所述彈性部在長度方向能夠伸縮； 第二接觸部，所述第二接觸部與檢查對象相接觸，其進(jìn)行該接觸的前端與 所述彈性部的寬度方向的緣端部相比向遠(yuǎn)離所述彈性部的寬度方向中心 軸的方向突出；第一連接部，所述第一連接部連接所述彈性部和所述第一 接觸部；以及第二連接部，所述第二連接部連接所述彈性部和所述第二接 觸部，其設(shè)置有在板厚度方向貫通并且以平行于所述長度方向的邊為長邊 的長方形狀的開口部；導(dǎo)電性接觸件支架，所述導(dǎo)電性接觸件支架具有 多個第一引導(dǎo)槽，所述導(dǎo)電性接觸件的長度方向的一緣端部即所述第二接 觸部突出一側(cè)的緣端部嵌合并保持在所述第一引導(dǎo)槽中；以及多個第二引 導(dǎo)槽，所述多個第二引導(dǎo)槽分別與所述多個第一引導(dǎo)槽相對設(shè)置，嵌入到 位于對向側(cè)的所述第一引導(dǎo)槽的所述導(dǎo)電性接觸件的另一緣端部嵌合并 保持在所述第二引導(dǎo)槽中；以及棒狀部件，所述棒狀部件被固著于所述導(dǎo) 電性接觸件支架，且貫通分別設(shè)置于所述多個導(dǎo)電性接觸件的所述開口 部，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成從如下長方形中去除如下 區(qū)域而得到的形狀，所述長方形是兩條短邊與所述開口部的短邊相平行且 該兩條短邊的長度與所述開口部的短邊的長度大致相等但比所述開口部 的短邊的長度短的長方形，所述區(qū)域是包含位于下方的短邊的至少一部分 的區(qū)域。
此外，在所述發(fā)明中，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成梯形。
此外，在所述發(fā)明中，所述梯形的截面的上底長度與下底長度之比為 2: 1。
此外，在所述發(fā)明中，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成具 有兩組平行的對邊的五邊形。
此外，在所述發(fā)明中，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成直 角三角形。此外，在所述發(fā)明中，所述第二接觸部的前端比所述導(dǎo)電性接觸件支 架的外側(cè)面、即在內(nèi)側(cè)形成有所述第一引導(dǎo)槽的部分的外側(cè)面更向所述外 側(cè)面的法線方向突出。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種導(dǎo)電性接觸件組件，具備多個導(dǎo)電性接觸件， 所述導(dǎo)電性接觸件由板狀的導(dǎo)電性材料形成，其具有第一接觸部，所述 第一接觸部與輸出檢査用信號的電路結(jié)構(gòu)相接觸；彈性部，所述彈性部在 長度方向能夠伸縮；第二接觸部，所述第二接觸部與檢查對象相接觸的前 端與所述彈性部的寬度方向的緣端部相比向遠(yuǎn)離所述彈性部的寬度方向 中心軸的方向突出；第一連接部，所述第一連接部連接所述彈性部和所述 第一接觸部；以及第二連接部，所述第二連接部連接所述彈性部和所述第 二接觸部，其設(shè)置有在板厚度方向貫通并且以平行于所述長度方向的邊為 長邊的長方形狀的開口部；以及棒狀部件，所述棒狀部件被固著于保持多 個所述導(dǎo)電性接觸件的導(dǎo)電性接觸件支架，且貫通分別設(shè)置于所述多個導(dǎo) 電性接觸件的所述開口部，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成從 如下長方形中去除如下區(qū)域而得到的形狀，所述長方形是兩條短邊與所述 開口部的短邊相平行且該兩條短邊的長度與所述開口部的短邊的長度大 致相等但比所述開口部的短邊的長度短的長方形，所述區(qū)域是包含位于下 方的短邊的至少一部分的區(qū)域，由此，可提供一種耐久性優(yōu)良的導(dǎo)電性接 觸件組件。


圖1是表示本發(fā)明一實施方式的導(dǎo)電性接觸件組件的結(jié)構(gòu)的立體圖;
圖2是表示本發(fā)明一實施方式的導(dǎo)電性接觸件的結(jié)構(gòu)的圖3是表示導(dǎo)電性接觸件支架的上面部的局部放大立體圖4是表示本發(fā)明一實施方式的導(dǎo)電性接觸件組件的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖;
圖5是表示棒狀部件的截面形狀的局部放大圖6是表示棒狀部件的其它結(jié)構(gòu)例(第二例)的剖面圖7是表示棒狀部件的其它結(jié)構(gòu)例(第三例)的剖面圖8是表示棒狀部件的其它結(jié)構(gòu)例(第四例)的剖面圖。
標(biāo)記說明
61:導(dǎo)電性接觸件組件 2:導(dǎo)電性接觸件 3:導(dǎo)電性接觸件支架 3a:上面部 3b、 3c:側(cè)面部 3d:底面部
4、 5、 6、 7:棒狀部件 2h第一接觸部
22:第二接觸部 23:彈性部
23a:直線部
23b:彎曲部 24:第一連接部 25:開口部 26:第二連接部 31:保持部 32:固著用孔部
31a:第一引導(dǎo)槽 31b:第二引導(dǎo)槽 100:電路基板 101:固定部件 200:檢查對象 P、 Q:目U順 △ !:偏移量 &、 h:突出量
具體實施例方式
下面，參照附圖來說明用于實施本發(fā)明的優(yōu)選實施方式(以下稱為"實 施方式")。此外，應(yīng)注意的是附圖是示意性的圖，各部分的厚度和寬度的 關(guān)系、各部分的厚度的比例等有時與實際不同，當(dāng)然，有時在附圖相互之
7間也包含彼此的尺寸關(guān)系或比例不同的部分。
圖1是表示本發(fā)明一實施方式的導(dǎo)電性接觸件組件的結(jié)構(gòu)的立體圖。 該圖所示的導(dǎo)電性接觸件組件1進(jìn)行檢查對象即液晶面板等電路結(jié)構(gòu)的導(dǎo) 通狀態(tài)檢查或工作特性檢查，其具備做成板狀的多個導(dǎo)電性接觸件2、 收容保持多個導(dǎo)電性接觸件2的導(dǎo)電性接觸件支架3、被固著于導(dǎo)電性接
觸件支架3且支承多個導(dǎo)電性接觸件2的棒狀部件4。
首先，說明導(dǎo)電性接觸件2。圖2是表示本發(fā)明實施方式1的導(dǎo)電性 接觸件2的結(jié)構(gòu)的圖。在以下的說明中，分別將圖2中的鉛直方向稱為"導(dǎo) 電性接觸件2的長度方向"，將圖2中的水平方向稱為"導(dǎo)電性接觸件2 的寬度方向"，將與這些長度方向及寬度方向分別正交的方向即垂直于紙 面的方向稱為"導(dǎo)電性接觸件2的板厚度方向"。
圖2所示的導(dǎo)電性接觸件2以使用導(dǎo)電性材料做成板狀的方式形成， 從而建立生成檢査用信號的電路結(jié)構(gòu)與檢查對象的電連接。更具體地說， 導(dǎo)電性接觸件2具備與包含檢查用電路的規(guī)定的電路結(jié)構(gòu)物理性接觸的 第一接觸部21、與液晶面板等檢查對象物理性接觸的第二接觸部22、介 于第一接觸部21及第二接觸部22之間且在長度方向可伸縮的彈性部23、 將第一接觸部21及彈性部23連接的第一連接部24、將第二接觸部22及 彈性部23連接且貫通板厚度方向并形成有具有與長度方向平行的長邊的 長方形狀的開口部25的第二連接部26。
第一接觸部21以從第一連接部24的短邊方向中央部向長度方向突出 的方式設(shè)置。此外，第一接觸部21的自第一連接部24的突出位置不限于 此，只要根據(jù)設(shè)置于接觸對象的電路結(jié)構(gòu)的電極位置等條件來確定即可。
第二接觸部22與彈性部23的寬度方向的緣端部相比向遠(yuǎn)離彈性部23 的寬度方向中心軸的方向突出。此外，第二接觸部22的形狀根據(jù)導(dǎo)電性 接觸件2的材質(zhì)或進(jìn)行檢査時應(yīng)對導(dǎo)電性接觸件2施加的負(fù)荷、收容保持 導(dǎo)電性接觸件2的導(dǎo)電性接觸件支架3的形狀、檢查對象的種類等各種條 件來確定，只要比第二連接部26的寬度方向的緣端部更向該寬度方向突 出，就可對其形狀的詳細(xì)進(jìn)行適當(dāng)變更。
彈性部23具有與導(dǎo)電性接觸件2的長度方向正交且平行于寬度方 向的多個直線部23a、及連接相鄰的直線部的多個彎曲部23b，其做成沿長度方向蜿蜒成S字形的形狀。直線部23a的線徑一樣，彎曲部23b的外 徑及線徑也一樣。此外，彈性部23的彎曲部23b的數(shù)量根據(jù)施加于導(dǎo)電 性接觸件2的負(fù)荷來確定。
下面，說明導(dǎo)電性接觸件支架3。如圖l所示，導(dǎo)電性接觸件支架3 做成大致長方體狀的外觀形狀，具有貫通上面部3a和底面部(圖1中 未圖示)且保持多個導(dǎo)電性接觸件2的保持部31、分別形成于隔著保持部 31彼此相對的側(cè)面部3b的規(guī)定位置并固著棒狀部件4的端部的固著用孔 部32。
圖3是表示導(dǎo)電性接觸件支架3的上面部3a的局部放大立體圖。如 圖3所示，在保持部31形成有多對直線狀的第一引導(dǎo)槽31a與直線狀的 第二引導(dǎo)槽31b，第一引導(dǎo)槽31a在安裝導(dǎo)電性接觸件2時嵌合保持該導(dǎo) 電性接觸件2的寬度方向一緣端部，第二引導(dǎo)槽31b與該第一引導(dǎo)槽31a 相對設(shè)置且嵌合保持嵌入到該第一引導(dǎo)槽31a的導(dǎo)電性接觸件2的寬度方 向的另一緣端部。成對的第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b具有將導(dǎo)電性 接觸件2相對于垂直于其長度方向的面方向進(jìn)行定位的功能，并且，具有 引導(dǎo)導(dǎo)電性接觸件2的伸縮動作的功能。此外，在第一引導(dǎo)槽31a及第二 引導(dǎo)槽31b構(gòu)成的對之中鄰接的各對彼此的間隔完全相等且互相平行。
每個第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b具有相同的槽寬(設(shè)為w)， 并且具有相同槽深(設(shè)為d)。此外，在此說明的是第一引導(dǎo)槽31a的槽深 與第二引導(dǎo)槽31b的槽深相等的情況，但也可以是兩引導(dǎo)槽的槽深彼此不 同的情況。
圖4是表示導(dǎo)電性接觸件組件1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。該圖所示的導(dǎo)電性 接觸件支架3的截面相當(dāng)于圖3的A—A線截面。如圖4所示，第一引導(dǎo) 槽31a及第二引導(dǎo)槽31b具有沿著圖4的z軸方向(與槽寬方向垂直的方 向)彼此平行延伸的結(jié)構(gòu)。第一引導(dǎo)槽31a沿圖4的z軸方向延伸的長度 比第二引導(dǎo)槽31b沿同一 z軸方向延伸的長度短，第二引導(dǎo)槽31b到達(dá)至 導(dǎo)電性接觸件支架3的底面部3d，而第一引導(dǎo)槽31a只到達(dá)至底面部3d 的鉛直上方的位置。
具有以上結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸件支架3，在圖1及圖4所示的坐標(biāo)系 (xyz)中，按照使寬度方向與x軸方向平行、板厚度方向與y軸方向平
9行、長度方向與Z軸方向平行的方式保持導(dǎo)電性接觸件2。在該含義中，
導(dǎo)電性接觸件2的板厚度比第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b的槽寬(w) 略小。
被保持于導(dǎo)電性接觸件支架3的導(dǎo)電性接觸件2在對第一接觸部21 及第二接觸部22不施加負(fù)荷的狀態(tài)下(如圖4所示的狀態(tài))，在x軸正方 向上，第二接觸部22的前端Q比導(dǎo)電性接觸件支架3的側(cè)面部3c突出規(guī) 定量(將突出量設(shè)為&)。此外，第二接觸部22的前端Q從導(dǎo)電性接觸件 支架3的底面部3d向z軸負(fù)方向突出規(guī)定量(將突出量設(shè)為h)。由此， 操作員即使從導(dǎo)電性接觸件組件1的斜上方也可以確認(rèn)導(dǎo)電性接觸件2的 前端與檢查對象有無物理接觸(參照圖1)。此外，圖4中，將距離通過第 一接觸部21的前端P且平行于z軸方向的軸O的第二接觸部22的前端的 偏移量設(shè)為"。在此所說明的突出量5,及h、以及偏移量^可根據(jù)導(dǎo)電 性接觸件2或?qū)щ娦越佑|件支架3的大小、以及要施加于檢查對象的負(fù)荷 等條件來適當(dāng)確定。
從防止與導(dǎo)電性接觸件2電連接而發(fā)生短路的觀點來看，優(yōu)選導(dǎo)電性 接觸件支架3由絕緣性材料形成。例如，只要使用低熱膨脹的合成樹脂形 成導(dǎo)電性接觸件支架3并通過切割等形成第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽 31b即可。此外，例如也可以使用氧化鋁(A1203)、氧化鋯(Zr02)、 二氧 化硅(Si02)等陶瓷、硅酮、環(huán)氧等熱固性樹脂、聚碳酸酯等工程塑料等 來形成導(dǎo)電性接觸件支架3的母材，通過蝕刻等加工技術(shù)來形成第一引導(dǎo) 槽31a及第二引導(dǎo)槽31b。此外，也可以替代使用絕緣性材料形成導(dǎo)電性 接觸件支架3，而做成使用其它合適的材料(無論有無絕緣性)來形成母 材，并對于要與導(dǎo)電性接觸件2接觸的部分(包括第一引導(dǎo)槽31a或第二 引導(dǎo)槽31b的部分)涂敷適當(dāng)?shù)慕^緣性涂料。該含義中，也可以對導(dǎo)電性 接觸件2的表面的局部或全部涂敷絕緣性涂料。
下面，說明棒狀部件4。棒狀部件4在將多個導(dǎo)電性接觸件2安裝于 保持部31且貫通各導(dǎo)電性接觸件2的開口部25之后，其兩端部插入分別 形成于導(dǎo)電性接觸件支架3的彼此相對的側(cè)面部3b的固著用孔部32，而 相對于導(dǎo)電性接觸件支架3被固著。棒狀部件4通過一并貫通由保持部31 所保持的多個導(dǎo)電性接觸件2的開口部25，發(fā)揮導(dǎo)電性接觸件2自保持部31的防脫功能，并且，發(fā)揮對導(dǎo)電性接觸件2賦予初始撓曲的功能。
如圖4所示，棒狀部件4的垂直于長度方向的截面形成從如下長方形
中去除如下區(qū)域而得到的形狀，即，所述長方形是兩條短邊與導(dǎo)電性接觸
件2的第二連接部26所具有的開口部25的短邊相平行且該兩條短邊的長 度與開口部25的短邊的長度大致相等但比該開口部25的短邊的長度短的 長方形，所述區(qū)域是包含位于下方的短邊的至少一部分的區(qū)域，更具體而 言，棒狀部件4的垂直于長度方向的截面形成以短邊方向的邊為上邊及下 邊的梯形。為了使導(dǎo)電性接觸件2的滑動性良好，而將該梯形的頂點部分 進(jìn)行倒角，形成R形狀。如圖5的放大圖所示，形成該梯形的截面中的上 底的長度u與下底的長度v之比為2: 1 (v=u/2)。此外，該比例畢竟只 是一例，其可以根據(jù)對棒狀部件4要求的剛性等條件來變更。
鑒于棒狀部件4貫通多個導(dǎo)電性接觸件2的開口部25而支承這些所 有的導(dǎo)電性接觸件2，特別優(yōu)選的是剛性強(qiáng)、即使施加負(fù)荷其撓曲也小且 與導(dǎo)電性接觸件2的滑動阻力小的陶瓷等的絕緣性材料。由此，可以縮小 棒狀部件4與開口部25的間隔。其結(jié)果，可以使施加負(fù)荷時的導(dǎo)電性接 觸件2的移動變得順暢，并且，利用棒狀部件4還可以確保導(dǎo)電性接觸件 2的支承穩(wěn)定性。
在具有以上結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性接觸件支架3的上方安裝有建立與生成輸出 檢查用信號的信號處理電路的電連接的電路基板100。電路基板100在由 聚酰亞胺等構(gòu)成的片狀基材的一表面形成有由鎳等構(gòu)成的多條布線及連 接用的電極。在安裝電路基板100時，按照使電路基板100的電極與導(dǎo)電 性接觸件2的第一接觸部21接觸的方式進(jìn)行定位，利用由與導(dǎo)電性接觸 件支架3同樣的材料構(gòu)成的固定部件101及導(dǎo)電性接觸件支架3來夾持電 路基板100，并使用螺釘?shù)染o固裝置(未圖示)進(jìn)行固定。其結(jié)果，在各 導(dǎo)電性接觸件2上施加因作用于自身的重力之外的力引起的負(fù)荷(初始負(fù) 荷)，使各彈性部23在長度方向進(jìn)行收縮。
下面，說明導(dǎo)電性接觸件組件1與檢査對象200的接觸方式。在進(jìn)行 檢査時，利用規(guī)定的驅(qū)動裝置(未圖示)使液晶面板等檢査對象200與第 二接觸部22的前端Q進(jìn)行接觸，上升至到達(dá)規(guī)定的位置。如上所述，由 于第二接觸部22的前端Q從第一接觸部21的前端P向x軸方向偏移
ii因而在與檢查對象200進(jìn)行接觸的導(dǎo)電性接觸件2上產(chǎn)生轉(zhuǎn)矩。g卩，導(dǎo)電
性接觸件2在彈性部收縮而使開口部25離開棒狀部件之后，在圖4中按 順時針方向旋轉(zhuǎn)微小角度。
通過上述的轉(zhuǎn)動，第二接觸部22的前端Q —邊持續(xù)與檢查對象200 表面的接觸狀態(tài)， 一邊在其表面上刮動而進(jìn)行移動。這樣，通過使第二接 觸部22的前端在檢查對象200之上移動，可以除去形成于檢查對象200 表面的氧化膜或附著于其表面的污漬，在與檢查對象200之間得到穩(wěn)定的 電接觸。此時，只要適宜控制檢查對象200的移動速度(上升速度)，第 二接觸部22的前端就不會對檢查對象200的表面造成大的劃傷，也不會 對導(dǎo)電性接觸件2施加過度的負(fù)荷。
以上說明的導(dǎo)電性接觸件組件1，在將一部分嵌入到沿導(dǎo)電性接觸件 2的彈性部23的伸縮方向延伸的第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b的狀態(tài) 下，來保持導(dǎo)電性接觸件2。因此，防止成板狀的導(dǎo)電性接觸件2特有的 問題即彈性部23收縮時的壓曲及扭轉(zhuǎn)的發(fā)生，不會產(chǎn)生由此引起的彈性 部23的彈簧特性的劣化。因此，在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)即使對導(dǎo)電性接觸件2 施加規(guī)定以上的負(fù)荷，也可以不產(chǎn)生壓曲及扭轉(zhuǎn)而實現(xiàn)大的行程，從而可 以在與檢查對象200之間得到所期望的接觸狀態(tài)。
如上所述，雖然在檢查對象200與第二接觸部22的前端Q接觸之后 還繼續(xù)上升一些，但由于接觸后的檢查對象200的上升，使導(dǎo)電性接觸件 2旋轉(zhuǎn)微小角度，而與棒狀部件4或第二引導(dǎo)槽31b接觸。在本實施方式 中，通過作為棒狀部件4的截面形狀采用上述的梯形，由此，可以減少開 口部25與棒狀部件4的接觸部位，從而可以使導(dǎo)電性接觸件2的負(fù)荷特 性穩(wěn)定化。其結(jié)果，可以提高導(dǎo)電性接觸件2的耐久性，還可以提高檢查 的可靠性。
此外，在導(dǎo)電性接觸件組件l中，由于由第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo) 槽31b來保持導(dǎo)電性接觸件2，因此，可以減小導(dǎo)電性接觸件2與導(dǎo)電性 接觸件支架3 (的保持部31)之間的接觸面積，可以減小滑動阻力，從而 可以使導(dǎo)電性接觸件2的伸縮動作順暢地進(jìn)行。
進(jìn)而，在導(dǎo)電性接觸件組件l中，第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b 的槽寬(w)可以是與導(dǎo)電性接觸件2的板厚度相同程度的值，彼此相鄰的第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b間的各間隔可以采用任意小的值，只 要是可以充分確保相鄰的導(dǎo)電性接觸件2間的絕緣性的值即可。因此，可 以將多個導(dǎo)電性接觸件2的排列間隔狹小化，還可以充分對應(yīng)電路基板 100或檢查對象200所具有的連接用的電極或端子的排列間隔的狹小化。
而且，在導(dǎo)電性接觸件組件l中，通過使棒狀部件4貫通導(dǎo)電性接觸 件2，而對導(dǎo)電性接觸件2賦予初始撓曲，并且進(jìn)行防脫。其結(jié)果，可以 使第二接觸部22的前端Q即導(dǎo)電性接觸件2的下端從導(dǎo)電性接觸件支架 3的底面部3d向鉛直下方突出的突出量h減小。換言之，即使減小第二接 觸部22，也可以防止其前端附近的彎曲且穩(wěn)定保持，可抑制導(dǎo)電性接觸件 2在下端部附近脫離第一引導(dǎo)槽31a及/或第二引導(dǎo)槽31b。因此，可以 提高導(dǎo)電性接觸件2的位置精度，且可提高導(dǎo)電性接觸件組件1的可靠性 及耐久性。
組裝導(dǎo)電性接觸件組件1時，將導(dǎo)電性接觸件2收容于保持部31的 工序是通過先將第一接觸部21—側(cè)插入保持部31內(nèi)部，再將寬度方向的 緣端部嵌入第一引導(dǎo)槽31a及第二引導(dǎo)槽31b而完成的。因此，與現(xiàn)有的 導(dǎo)電性接觸件組件相比組裝容易，還可以得到降低制造成本的效果。
根據(jù)以上說明的本發(fā)明一實施方式，提供一種導(dǎo)電性接觸件組件，具 備多個導(dǎo)電性接觸件，所述導(dǎo)電性接觸件由板狀的導(dǎo)電性材料形成，其 具有第一接觸部，所述第一接觸部與輸出檢查用信號的電路結(jié)構(gòu)相接觸； 彈性部，所述彈性部在長度方向能夠伸縮；第二接觸部，所述第二接觸部 與檢查對象相接觸的前端與所述彈性部的寬度方向的緣端部相比向遠(yuǎn)離 所述彈性部的寬度方向中心軸的方向突出；第一連接部，所述第一連接部 連接所述彈性部和所述第一接觸部；以及第二連接部，所述第二連接部連 接所述彈性部和所述第二接觸部，其設(shè)置有在板厚度方向貫通并且以平行 于所述長度方向的邊為長邊的長方形狀的開口部；以及棒狀部件，所述棒 狀部件被固著于保持多個所述導(dǎo)電性接觸件的導(dǎo)電性接觸件支架，且貫通 分別設(shè)置于所述多個導(dǎo)電性接觸件的所述開口部，所述棒狀部件的垂直于 長度方向的截面形成從如下長方形中去除如下區(qū)域而得到的形狀，所述長 方形是兩條短邊與所述開口部的短邊相平行且該兩條短邊的長度與所述 開口部的短邊的長度大致相等但比所述開口部的短邊的長度短的長方形，
13所述區(qū)域是包含位于下方的短邊的至少一部分的區(qū)域。由此，可提供一種 耐久性優(yōu)良的導(dǎo)電性接觸件組件。
此外，根據(jù)本實施方式，即使檢查次數(shù)增加而使與導(dǎo)電性接觸件之間 的摩擦變小，也可以不必增加導(dǎo)電性接觸件與棒狀部件的接觸部位，從而 可以使導(dǎo)電性接觸件的負(fù)荷特性穩(wěn)定化。其結(jié)果，導(dǎo)電性接觸件的耐久性 提高，可進(jìn)行穩(wěn)定的檢査。
至此，詳細(xì)敘述了用于實施本發(fā)明的優(yōu)選方式，但本發(fā)明不限于上述
一實施方式。圖6 圖8是表示本發(fā)明的導(dǎo)電性接觸件支架所具備的棒狀 部件的另一結(jié)構(gòu)例的剖面圖。其中，圖6所示的棒狀部件5具有與上述一 實施方式的棒狀部件4在圖中左右翻轉(zhuǎn)的截面形狀。此外，圖7所示的棒 狀部件6形成具有兩組平行的對邊的五邊形的截面。進(jìn)而，圖8所示的棒 狀部件7具有直角三角形的截面。圖6 圖8中，為了使導(dǎo)電性接觸件2 的滑動性良好，而對各截面中的頂點部分進(jìn)行了倒角，形成R形狀。
這樣，本發(fā)明的導(dǎo)電性接觸件支架所具備的棒狀部件的垂直于長度方 向的截面在保持導(dǎo)電性接觸件時，只要形成如下形狀即可，即，形成從如 下長方形中去除如下區(qū)域而得到的形狀，所述長方形是兩條短邊與所述開 口部的短邊相平行且該兩條短邊的長度與所述開口部的短邊的長度大致 相等但比所述開口部的短邊的長度短的長方形，所述區(qū)域是包含位于下方 的短邊的至少一部分的區(qū)域。此外，關(guān)于邊的比例，只要根據(jù)對棒狀部件 要求的剛性等條件來適當(dāng)確定即可。
但是，本發(fā)明的導(dǎo)電性接觸件組件并不限于檢查液晶面板的情況，還 可以作為用于搭載有半導(dǎo)體芯片的封裝基板或晶片級的檢查的高密度導(dǎo) 電性接觸件組件來應(yīng)用。
從以上的說明可以看出，本發(fā)明還包含在此未記載的各種各樣的實施 方式等，在不脫離由技術(shù)方案范圍所確定的技術(shù)思想的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行 各種設(shè)計變更等。
產(chǎn)業(yè)上的可應(yīng)用性
如上所述，本發(fā)明的導(dǎo)電性接觸件組件在進(jìn)行液晶面板或半導(dǎo)體集成 電路等電子部件中的導(dǎo)通狀態(tài)檢查或工作特性檢查時是有用的。
權(quán)利要求
1、一種導(dǎo)電性接觸件組件，其在輸出檢查用信號的電路結(jié)構(gòu)與檢查對象之間進(jìn)行信號的發(fā)送接收，其特征在于，具備多個導(dǎo)電性接觸件，所述導(dǎo)電性接觸件由板狀的導(dǎo)電性材料形成，其具有第一接觸部，所述第一接觸部與輸出檢查用信號的電路結(jié)構(gòu)相接觸；彈性部，所述彈性部在長度方向能夠伸縮；第二接觸部，所述第二接觸部與檢查對象相接觸，其進(jìn)行該接觸的前端與所述彈性部的寬度方向的緣端部相比向遠(yuǎn)離所述彈性部的寬度方向中心軸的方向突出；第一連接部，所述第一連接部連接所述彈性部和所述第一接觸部；以及第二連接部，所述第二連接部連接所述彈性部和所述第二接觸部，其設(shè)置有在板厚度方向貫通并且以平行于所述長度方向的邊為長邊的長方形狀的開口部；導(dǎo)電性接觸件支架，所述導(dǎo)電性接觸件支架具有多個第一引導(dǎo)槽，所述導(dǎo)電性接觸件的長度方向的一緣端部即所述第二接觸部突出一側(cè)的緣端部嵌合并保持在所述第一引導(dǎo)槽中；以及多個第二引導(dǎo)槽，所述多個第二引導(dǎo)槽分別與所述多個第一引導(dǎo)槽相對設(shè)置，嵌入到位于對向側(cè)的所述第一引導(dǎo)槽的所述導(dǎo)電性接觸件的另一緣端部嵌合并保持在所述第二引導(dǎo)槽中；以及棒狀部件，所述棒狀部件被固著于所述導(dǎo)電性接觸件支架，且貫通分別設(shè)置于所述多個導(dǎo)電性接觸件的所述開口部，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成從如下長方形中去除如下區(qū)域而得到的形狀，所述長方形是兩條短邊與所述開口部的短邊相平行且該兩條短邊的長度與所述開口部的短邊的長度大致相等但比所述開口部的短邊的長度短的長方形，所述區(qū)域是包含位于下方的短邊的至少一部分的區(qū)域。
2、 如權(quán)利要求l所述的導(dǎo)電性接觸件組件，其特征在于， 所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成梯形。
3、 如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電性接觸件組件，其特征在于， 所述梯形的截面的上底長度與下底長度之比為2: 1。
4、 如權(quán)利要求l所述的導(dǎo)電性接觸件組件，其特征在于，所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成具有兩組平行的對邊的 五邊形。
5、 如權(quán)利要求l所述的導(dǎo)電性接觸件組件，其特征在于， 所述棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成直角三角形。
6、 如權(quán)利要求1 5中任一項所述的導(dǎo)電性接觸件組件，其特征在于， 所述第二接觸部的前端比所述導(dǎo)電性接觸件支架的外側(cè)面、即在內(nèi)側(cè)形成有所述第一引導(dǎo)槽的部分的外側(cè)面更向所述外側(cè)面的法線方向突出。
全文摘要
本發(fā)明提供耐久性優(yōu)良的導(dǎo)電性接觸件組件。為實現(xiàn)該目的，具備多個板狀的導(dǎo)電性接觸件，其具有第一接觸部，其與輸出檢查用信號的電路結(jié)構(gòu)相接觸；彈性部，其在長度方向能夠伸縮；第二接觸部，其與檢查對象相接觸的前端與彈性部的寬度方向的緣端部相比向遠(yuǎn)離寬度方向中心軸的方向突出；以及第二連接部，其連接彈性部和第二接觸部，其設(shè)置有在板厚度方向貫通并且以平行于長度方向的邊為長邊的長方形狀的開口部；以及棒狀部件，其被固著于導(dǎo)電性接觸件支架，且貫通分別設(shè)置于多個導(dǎo)電性接觸件的開口部，棒狀部件的垂直于長度方向的截面形成從兩條短邊與開口部的短邊相平行且該兩條短邊的長度與開口部的短邊的長度大致相等但比開口部的短邊的長度短的長方形，去除包含位于下方的短邊至少一部分的區(qū)域的形狀。
文檔編號G01R1/067GK101506665SQ20078003068
公開日2009年8月12日 申請日期2007年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月18日
發(fā)明者大屋敷由香, 茂木孝浩 申請人:日本發(fā)條株式會社