專利名稱：用于輔助座上激光芯片的自動特征分析系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體上涉及在光學(xué)通信系統(tǒng)中使用的激光二極管。更特別地，本發(fā) 明涉及一檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)能在激光在使用過程中可能受到的各種溫度下自動 檢測連接到輔助座組件的激光芯片。
背景技術(shù)：
激光二極管和其他相似的光源在光發(fā)射器中承擔(dān)重要角色，其中一個示例 是在光數(shù)據(jù)通信中使用的光學(xué)收發(fā)模塊。該激光二極管用于光發(fā)射器中以產(chǎn)生 光信號，數(shù)據(jù)以預(yù)定頻率被調(diào)制在光信號上從而通過光纖傳送到特定目的地。
給出的它們的重要功能，激光二極管的檢測對于確保在使用中不間斷及可 靠運行是很重要的。為了該目的，每個激光二極管典型地被測試以確保它滿足 可接受性能的預(yù)定規(guī)范。但是，該檢測典型地在激光二極管被安裝在支承輔助 座結(jié)構(gòu)之前被執(zhí)行， 一旦被安裝在光發(fā)射器中，激光將被固定在該支承輔助座 結(jié)構(gòu)上。另外，激光二極管檢測通常被手動執(zhí)行——時間損耗和緩慢進程將只 會增加光發(fā)射器產(chǎn)品的整體成本。另外，激光二極管典型地不在模擬實際溫度 條件的一個或多個溫度下被檢測，當(dāng)作為光發(fā)射器的一部分時，激光二極管將 運行在該實際溫度條件下。
由于上述考慮，在本領(lǐng)域需要一種裝置，利用該裝置可以在激光二極管被 安裝到輔助座或其他合適表面上吋提供激光二極管檢測。上述需要的任何解決 方法應(yīng)包括自動處理，由此激光二極管以最少操作人員介入的方式被檢測。進 一步地，激光二極管檢測應(yīng)能夠在多個運行溫度進行從而模擬真實環(huán)境的條 件。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明響應(yīng)本領(lǐng)域上述和其他需要而被fF制。簡要概括，本發(fā)明實施例涉
及用于檢測被安裝在輔助座上的激光硬模(laser die)的溫度受控的系統(tǒng)。該 檢測系統(tǒng)包括具有電機驅(qū)動平移平臺的基座。平移平臺包括具有被安裝在基部
上的兩級溫度控制系統(tǒng)(two-stage temperature control system)的第一檢測位置。 溫度控制系統(tǒng)包括熱電冷卻器和用于在循環(huán)塊中循環(huán)冷卻/加熱流體的流體系 統(tǒng)。安裝部也被包括在第一檢測位置上，其中輔助座被定位在該安裝部上。安 裝部的溫度由溫度控制系統(tǒng)進行控制。當(dāng)?shù)谝粰z測位置與探針板對準(zhǔn)時，具有 臂和連接到該臂的電接觸部的探針板向該輔助座提供電源。具有可與第一檢測 位置對準(zhǔn)的透鏡組件的對準(zhǔn)器接收由激光器產(chǎn)生的光信號。
溫度受控的第二檢測位置和第三檢測位置也包括在該系統(tǒng)中，以擴展用于 輔助座組件的溫度受控檢測選項。
本發(fā)明的這些和其他特征從下面的說明書和所附權(quán)利要求而完全變得更 顯而易見，或可通過下文所述的本發(fā)明的實例而被了解。


為進一步闡明本發(fā)明上述和其他優(yōu)點和特征，本發(fā)明的特別具體的說明將 參考在附圖中示出的其特定實施例而說明。應(yīng)當(dāng)意識到，這些圖僅描述本發(fā)明 典型實施例，且因此不限制它的范圍。本發(fā)明將通過使用附圖利用另外的特性
和細節(jié)來描述和解釋，其中
圖1A是根據(jù)本發(fā)明一個實施例的輔助座特征分析系統(tǒng)上的自動激光芯片 的透視圖1B是圖1A中的輔助座特征分析系統(tǒng)上的自動激光芯片的一部分的透 視圖2A是圖1B所示的特征分析系統(tǒng)的第一和第二檢測位置的透視圖； 圖2B是圖2A的第一檢測位置的靠近視圖； 圖3A是圖2B的第二檢測位置的靠近視圖3B是圖1B所示的特征分析系統(tǒng)的第二和第三檢測位置的透視圖4是根據(jù)一實施例的第二檢測位置的安裝面的靠近視圖，示出其各種結(jié)
構(gòu)；
圖5是如圖1B所示的特征分析系統(tǒng)的第一檢測位置和周圍構(gòu)件的側(cè)視圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在將參考附圖，其中相同的結(jié)構(gòu)具有相同的附圖標(biāo)記?？梢岳斫飧綀D是 本發(fā)明示例性實施例的圖示和圖解表示，既不是本發(fā)明的限定也不必要按比例 繪制。
圖lA-5描述本發(fā)明實施例的各種特征，所述特征大體上涉及特征分析系 統(tǒng)，該特征分析系統(tǒng)用于檢測和特征分析激光二極管和可被應(yīng)用在光學(xué)系統(tǒng)中 的其它光源，如光發(fā)射器。該特征分析系統(tǒng)被配置為當(dāng)被安裝到輔助座上時能 夠檢測激光二極管，由此簡化激光檢測過程。另外，該特征分析利用一級和兩 級溫度受控的檢測位置，所述溫度受控檢測位置能使激光二極管或其他合適的 光源在多個溫度下被檢測，由此模擬使用激光器的真實環(huán)境條件。因此，提供 了更可靠的檢測結(jié)果，其繼而導(dǎo)致更少的現(xiàn)場設(shè)備故障。另外，該特征分析系 統(tǒng)使用用于將光纖光連接到檢測中的激光二極管上的自動對準(zhǔn)臺(auto-aligning stage)。這增加了檢測過程的自動化，由此降低人力介入和每個設(shè)備的檢測時 間。因此，該特征分析系統(tǒng)表現(xiàn)出優(yōu)于公知技術(shù)的先進，該公知技術(shù)包括缺少 溫度控制結(jié)構(gòu)且當(dāng)激光器被定位在輔助座上時不能測試該激光器的手動對準(zhǔn) 系統(tǒng)。
首先參考圖1A和1B，其以透視圖的方式描述根據(jù)本發(fā)明示例性實施例 的整體上被標(biāo)記為10的激光源特征分析系統(tǒng)("系統(tǒng)")。系統(tǒng)IO被配置用 于使用多級冷卻檢測位置和加熱檢測位置的自動的輔助座安裝的激光硬模檢 測。具體來說，系統(tǒng)IO包括支承基座15的底基座18，其中多個相關(guān)的系統(tǒng) 構(gòu)件被定位到所述基座15上。系統(tǒng)10主要構(gòu)件之一是分度器20，所述分度 器20被構(gòu)造為支承并有選擇地移動多個激光硬模檢測位置，g卩，第一檢測位 置30、第二檢測位置35和第三檢測位置40。關(guān)于每個位置的更詳細敘述將在 下面給出。要注意，雖然它包含三個檢測位置，但如果對特定應(yīng)用有需要或必 要，該系統(tǒng)可以可替換地包括更多或更少的檢測位置。
系統(tǒng)10包括用于特征分析激光硬模的各種其他構(gòu)件，包括用于在檢測 中為激光硬模/輔助座供電的探針板50;在檢測中將光纖和激光輸出自動對準(zhǔn) 的對準(zhǔn)器60;和用于將激光硬模從系統(tǒng)檢測位置拾取和將其置入系統(tǒng)檢測位 置的四軸(x， y， z，和旋轉(zhuǎn))布置機械手70。另夕卜，包括有裝載/卸載臺71， 其與布置機械手70 —起工作以促進將激光硬模裝載到布置機械手和從布置機
械手上卸載。在本實施例中，布置機械手70包括雙直線電動機驅(qū)動的x和y 臺、滾珠絲杠驅(qū)動的z臺和直接驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)臺，然而在其他實施例中也可接受
地使用其他結(jié)構(gòu)的機械手。
三個檢測位置30、 35和40被構(gòu)造為可利用分度器20—起移動，從而使 得在檢測中該位置可以根據(jù)探針板50和對準(zhǔn)器60的需要而定位。具體來說， 檢測位置30、 35和40被安裝在分度器20的平移平臺72上。電動機控制器 74被用于經(jīng)由一平移基座76來相對于系統(tǒng)基座15移動平臺72。這樣，任意 一檢測位置能在檢測之前、之中或之后精確定位在探針板50和對準(zhǔn)器60之間。 當(dāng)然，可以使用其他的分度器或平移系統(tǒng)以全體地或單個地移動檢測位置。注 意，系統(tǒng)IO進一步包括用于容納與平移平臺的運動相關(guān)的電纜和其他線纜的 線纜載體78、和用于輔助激光硬模在布置機械手70和裝載/卸載臺71之間的 合適的拾取和放置操作的照相機組件79。
現(xiàn)在與圖1A和1B—起參考圖2A、 2B、 3A和3B。更細致地，第一檢測 位置30被設(shè)置為使得位于該位置的激光硬模的檢測能夠進行。另外，檢測位 置30被設(shè)置為使得激光硬模能在一個或多個溫度范圍內(nèi)被檢測，所述一個或 多個溫度范圍能模擬當(dāng)激光器被封裝在例如光發(fā)射器的設(shè)備中時該激光器所 使用的實際操作條件。圖2B示出包括第一檢測位置包括安裝部80，包括安裝 在輔助座上的激光硬模的輔助座組件82被定位在該安裝部80。但是，也更具 體地參考圖3A，其示出了與第二檢測位置35相關(guān)聯(lián)的安裝部100，該安裝部 也包括定位在其上的輔助座組件82，且其被設(shè)計為與第一檢測位置30的安裝 部80基本相似。這樣，可以參考圖3A來詳細考慮安裝部80和安裝部100。
在一實施例中的安裝部80包括預(yù)定部，組件82可以被定位在該預(yù)定部上 從而與被包括在安裝部80上的電接頭150 (圖4)電連接。組件82被定位在 安裝部80上從而使得探針臂50能以下面描述的方式經(jīng)由接頭150向輔助座供 電，且從而使得在檢測過程中從被輔助座安裝的激光硬模所發(fā)射出的光可以由 被連接到對準(zhǔn)器60的光纖接收，如也將在下面進一步描述的。
第一檢測位置30進一步包括用于在激光硬模測試中改變輔助座組件82 的溫度的溫度控制系統(tǒng)84。溫度控制系統(tǒng)84包括熱電冷卻器("TEC" ) 86， 其用作第一級溫度控制。還包括的是流體系統(tǒng)88，其用作為用于輔助座組件 82的第二級溫度控制。
更詳細地，TEC86位于安裝部80下方，而流體系統(tǒng)88位于TEC下方。 TEC 86能快速并精確地以0.1攝氏度增量來改變輔助座組件82的溫度。但是， 當(dāng)與流體系統(tǒng)88相比時，TEC的溫度范圍是相對小的。
比較而言，流體系統(tǒng)88具有相對大的可獲得溫度的范圍，而對于在輔助 座組件82中獲得的小溫度波動處理精度相對較小。這樣，流體系統(tǒng)88與TEC 86—起的使用導(dǎo)致了輔助座組件82的具有O.l攝氏度增量控制的大約介于-40 攝氏度到IOO攝氏度之間的可能溫度范圍。這樣，輔助座組件82上的激光硬 模能在檢測中被冷卻和加熱到一個或多個溫度。
為獲得上述溫度范圍，流體系統(tǒng)88可包括具有液體循環(huán)塊90的典型的工 業(yè)冷卻器/加熱器。入口92A和出口92B與冷卻器/加熱器液體連通。這樣，冷 卻液或加熱液能經(jīng)由入口 92A /入口管94A和出口 92B /出口管94B選擇性地 通過塊90被循環(huán)，由此能與安裝部80的TEC 86和輔助組件82 —起被加熱/ 冷卻。在一實施例中，第一檢測位置30被用于激光硬模的低溫檢測。為避免 第一檢測位置30在該低溫檢測中結(jié)冰，干氮氣經(jīng)由流體系統(tǒng)88被輸送至檢測 位置以在檢測位置防止形成不適當(dāng)?shù)某睗瘛Ｈ缢镜?，流體系統(tǒng)88設(shè)置在基 座96上方。
圖3A特別地示出了第二檢測位置35，其用作為另一位置，如圖2中所示 的輔助座組件82的輔助座組件能被定位在該位置上用于激光硬模檢測。與第 一檢測位置30相鄰定位，第二檢測位置35相似地包括在基座116頂上的安裝 部100和溫度控制系統(tǒng)102。溫度控制系統(tǒng)102包括TEC 106、和具有工業(yè)冷 卻器/加熱器的流體系統(tǒng)108，如液體循環(huán)塊110、流體入口 112A、流體出口 112B、和隨附的流體入口管和出口管114A和114B。第二檢測位置35首要用 于被輔助座安裝的激光硬模的高溫檢測的一個實施例中，雖然它具有與第一檢 測位置30相同的加熱和冷卻能力。
圖3B示出鄰近間隔壁118設(shè)置的第三檢測位置40，該間隔壁被設(shè)置在第 三檢測位置和第二檢測位置35之間。與其他兩個檢測位置一樣，第三檢測位 置40包括安裝部120，為檢測目的輔助座組件可安裝在該安裝部。與其他兩 個檢測位置相反，本實施例的第三檢測位置40包括基座122頂上的TEC 126 和冷卻片結(jié)構(gòu)124，但沒有流體系統(tǒng)和液體循環(huán)塊。第三檢測位置40被用在 激光硬模的室溫檢測的 一個實施例中。
如上所述地設(shè)置，系統(tǒng)10能被用于在三種不同的溫度下檢測配備有輔助
座組件的激光硬模，如將在下面進一步解釋的，在三個檢測位置30、 35和40
的每處對應(yīng)一種溫度。這樣，激光硬模能在被放置到實際設(shè)備中之前在可能的 真實環(huán)境溫度條件的范圍內(nèi)被評估以確定其可靠性，由此導(dǎo)致在現(xiàn)場使用中設(shè) 備故障率更低。當(dāng)然，如果需要，該系統(tǒng)能設(shè)置為包括多于三檢測位置。
參考圖2A、 2B和5描述了關(guān)于探針板50的各種細節(jié)。如所述的，探針 板50被用于當(dāng)被定位到安裝部80上時對輔助座組件82提供合適的電力供應(yīng)， 從而使激光硬模能運行且發(fā)光，由此使得它能夠在預(yù)定的溫度下被檢測。這樣， 探針板50包括臂130，其中該臂能上升或降低的從而選擇性地接近輔助座組 件82。具有x、 y、和z直線臺(linear stage)的對準(zhǔn)控制器132 (圖IB)被 包括并設(shè)置為選擇性地將探針板臂130與安裝部80上的輔助座組件82對齊。 這樣，對準(zhǔn)控制器132與平移平臺72的運動一起，能在檢測開始之前確保在 探針板50和第一檢測位置30之間獲得合適的對準(zhǔn)。
電接觸部134被包括在探針板臂130上，且被構(gòu)造為當(dāng)該臂位于其在安裝 部80頂上的被降低的位置時向安裝部80提供電力供應(yīng)。特別地，電接觸部 134被經(jīng)由電纜/聯(lián)接器136提供合適的電力供應(yīng)，且被構(gòu)造為當(dāng)探針板臂130 被降低到安裝部頂上時與被設(shè)置在第一檢測位置30的安裝部80上的接頭150 電連接，該接頭150與圖4中以150所示的那些相似。電接觸部134以足夠的 力與輔助座組件82接合從而產(chǎn)生電連接。安裝部80的接頭150繼而被電連接 到出現(xiàn)在輔助座組件82上的導(dǎo)電結(jié)構(gòu)上，如下面結(jié)合圖4進一步詳細描述的， 該結(jié)構(gòu)與激光硬模電連接。
這樣，當(dāng)電力供應(yīng)經(jīng)由探針板臂電接觸部134和安裝部80提供給輔助座 組件82時，激光硬模被供電，這使其能進行以檢測為目的的操作。探針板臂 的電接觸部134的特定結(jié)構(gòu)以及安裝部80的電接頭和路徑可根據(jù)輔助座組件 82的特定設(shè)計而變化。
注意到如上面所描述的探針板和第一檢測位置的構(gòu)造與探針板和第二檢 測位置以及和第三檢測位置的相互作用相似。這樣，位于任一檢測位置的輔助 座組件能如上面所描述的那樣與探針臂電連接以便允許被包括其上的激光硬 模的功能性，只要平移平臺72被移動至與探針板50合適對準(zhǔn)。而且，探針臂 50的位置能通過對準(zhǔn)控制器132的精確定位控制而修改，以便將探針板臂130
及其電接觸部134與各檢測位置的安裝部的電結(jié)構(gòu)對準(zhǔn)，從而保證供給激光硬 模充足的電力供應(yīng)。進一步地，接觸傳感器(未示出)能被設(shè)置在探針板臂
130上或電接觸部134上以確保構(gòu)成可靠的探針臂接觸。
如在圖2A、 2B和5中最優(yōu)示出的，對準(zhǔn)器60被用于相對于位于輔助座 組件82上的激光硬模精確且自動地定位光纖146，該輔助座組件繼而被定位 在檢測位置之一的安裝部上，如所示的第一檢測位置30的安裝部80。這使得 光纖146能與來自激光器的光發(fā)射光學(xué)連接。這繼而使得激光器的光學(xué)輸出能 夠在該特征分析過程中被評估，為在如光發(fā)射器的光學(xué)構(gòu)件中包含激光器做準(zhǔn) 備。注意，相對于第一檢測位置的對準(zhǔn)器操作的描述同樣也用于它相對于第二 和第三檢測位置的使用。
如所示出的，對準(zhǔn)器60 (也見圖1B)包括支承臂140，該支承臂從對準(zhǔn) 控制器132向第一檢測位置30的安裝部80延伸。支承臂140被可操作地連接 到對準(zhǔn)控制器142。該對準(zhǔn)控制器142包括x、 y和z直線臺，從而使得該控 制器能相對于安裝部80移動支承臂，以便根據(jù)透鏡組件接合件144相對于激 光硬模的光輸出的光能反饋功能來精確定位透鏡組件接合件144。
透鏡組件界面144被構(gòu)造為接收來自激光硬模的光發(fā)射且將該發(fā)射送入 光纖146。這樣，對準(zhǔn)控制器142被構(gòu)造為相對激光硬模在四個維度(x、 y、 z、和旋轉(zhuǎn))運動，以便將來自激光器的光發(fā)射和透鏡組件接合件合適地光學(xué) 連接。如它的名稱所意味的，透鏡組件接合件144包括一個或多個透鏡以合適 地聚焦從激光硬模接收到的光，以便將該光發(fā)送至光纖146中。
在一個實施例中，可選擇地將透鏡組件接合件144與激光硬模對準(zhǔn)的對準(zhǔn) 器60的操作是自動的，從而使得在對準(zhǔn)過程中不需要直接人為介入。這種自 動操作可由布置控制器142自身提供，或由不僅能控制對準(zhǔn)器60也能控制系 統(tǒng)10其他構(gòu)件的主控制器設(shè)備或計算機(未示出)來提供。該控制器也能用 于自動控制構(gòu)件功能，包括在每個檢測位置的溫度等。
如上面提及的，分度器20用于可選擇地移動在平移平臺72上的第一、第 二和第三檢測位置。分度器20與布置機械手70—起，用于在激光硬模檢測之 前或之后將輔助座組件裝載到檢測位置30、 35和40中各自的一個以及將輔助 座組件從檢測位置中各自的一個卸載。如所提及的，在一個實施例中的拾取和 放置布置機械手70是視覺引導(dǎo)的，且被構(gòu)造用于在四個軸(x、 y、 z、和旋轉(zhuǎn))
移動，以便能從各檢測位置的安裝部精確地安裝和移除輔助座組件。
圖4示出了關(guān)于將輔助座組件82定位在一個檢測位置的安裝部上的方式
的各種細節(jié)，在該例子中為第二檢測位置35。具體來說，輔助座組件82包括 具有上表面202和下表面204的輔助座200。輔助座上表面202包括被電連接 到導(dǎo)電通道208的激光硬模206。
輔助座組件82在安裝部表面上的兩預(yù)定位置之一被定位到安裝部100上。 每個預(yù)定位置包括真空孔152，當(dāng)該組件被定位在安裝部100上從而使得該下 輔助座表面204覆蓋該真空孔時，該真空孔通過抽吸來保持輔助座組件82。 每個真空孔152與從第二檢測位置35延伸出的兩真空入口 154中的一個相連 通。由真空系統(tǒng)156 (圖1B)經(jīng)由相應(yīng)的真空孔152所提供的抽吸力將輔助 座組件82保持在安裝部100的表面上的兩個位置中的一個的位置，為下面描 述的激光硬模特征分析方法作準(zhǔn)備。當(dāng)然，多于或少于兩個的輔助座組件定位 位置可被包括在系統(tǒng)10中的任一或全部安裝部中。
根據(jù)一實施例的對激光硬?；蚱渌庠催M行特征分析的系統(tǒng)10的操作可 大體上如下進行上面已經(jīng)安裝有激光硬模的輔助座組件82被布置機械手70 裝載到三個檢測位置30、 35和40中被選出的一個上。在本示例中，輔助座組 件82被自動裝載到第一檢測位置30的安裝部80上。然后分度器20使平移平 臺72運動直到第一檢測位置30被定位到鄰近探針板60。探針板臂130被降 低，且如果需要的話由對準(zhǔn)控制器132調(diào)節(jié)，直到該臂的電接觸部134與安裝 部80的接頭150電連接、或在可替換實施例中直接與輔助座組件82的電氣結(jié) 構(gòu)連接。這樣，輔助座組件82的位置在檢測之前得到檢驗。
在它被定位到鄰接探針板50之前、之中或之后，使第一檢測位置30到達 所需溫度，以便在該溫度檢測激光硬模。在一個實施例中，第一檢測位置30 被冷卻至低于室溫的溫度，但在其他實施例中，該溫度可被保持在更高或更低 的溫度。這使激光硬模能夠在其運行壽命中可能面對的條件中被檢測。
對準(zhǔn)器60也設(shè)置為接近當(dāng)前己定位的檢測位置30。由于輔助座組件82 由探針臂50進行電能供應(yīng)，激光硬?？杀患せ顝亩蛊浒l(fā)射光信號。支承臂 140的透鏡組件接合件144于是能由對準(zhǔn)控制器142自動且精確地定位，從而 使得激光硬模經(jīng)由透鏡組件接合件的光信號接收可被最大化。而且，該過程通 過對準(zhǔn)器60自動發(fā)生，在一些實施例中通過主控制器自動發(fā)生。
一旦在激光硬模和透鏡組件接合件144之間存在充足的光學(xué)連接，可以進 行在特定溫度下的激光硬模的檢測和特征分析。
一旦檢測完成，探針板臂130
被從安裝部80上移除，對準(zhǔn)器60的支承臂140根據(jù)需要收回，且分度器20 被致動以使平移平臺72移動至一位置，在該位置布置機械手70能將輔助座組 件82從第一檢測位置30移除，并將它移動至另一檢測位置，裝載/卸載臺、 或一些其他預(yù)定位置。
在這里，另外的輔助座組件可被放置在第一檢測位置30并重復(fù)上述過程。 可替換地，布置機械手70能將剛在第一檢測位置30被檢測過的輔助座組件 82放置在第二檢測位置35。在后面的情形中，分度器20隨后被移動以將第二 檢測位置35定位到接近探針板50。上述檢測過程隨后如上面所描述的那樣來 進行。但是，在該情形中，輔助座組件82的激光硬模優(yōu)選地在第二檢測位置 以與第一檢測位置30所保持的溫度不同的溫度被檢測。例如，如果第一檢測 位置30在低于室溫的溫度檢測了激光硬模，第二檢測位置35可在高于室溫的 溫度檢測相同激光硬模。
上述過程可被第三次重復(fù)以在第三檢測位置40在環(huán)境溫度(室溫)下檢 測輔助座組件82的激光硬模。這樣，激光硬模能在三個不同的溫度下被自動 且精確地檢測，由此在激光硬模被安裝在光學(xué)設(shè)備之前確保其穩(wěn)定性和性能。 這于是在降低了由于故障激光硬模而導(dǎo)致的使用廢品率的數(shù)目的同時提高了 收益且降低了成本。
在一個實施例中，不同的輔助座組件通過布置機械手70可被裝載到每個 檢測位置，且在全部三個組件由分度器返回到機械手之前，每個輔助座組件可 被連續(xù)地檢測?；蛘撸谝粋€實施例中的系統(tǒng)可包括多個探針板和對準(zhǔn)器，從 而使得可以在多個檢測位置同時進行檢測。雖然在這里以激光硬模進行說明， 但是光源可以為其他形式，在一個實施例中光源包括LED。該系統(tǒng)也能被改 造使其能夠檢測，舉例來說，在激光棒結(jié)構(gòu)中仍然連接到相鄰激光硬模的激光 硬模，或甚至已經(jīng)被安裝在管座組件中的激光硬模。
本發(fā)明在不背離其精神或本質(zhì)特征的前提下可以以其他特定形式被具體 化。所描述的實施例僅作為示出而不是限制被充分考慮。因此，本發(fā)明的范圍 由所附權(quán)利要求書而不是通過前面說明書示出。在權(quán)利要求的等同范圍和意義 內(nèi)的全部改變包含在它們的范圍中。
權(quán)利要求
1. 一種用于檢測被安裝在輔助座上的激光硬模的溫度受控的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括基座，具有受電機驅(qū)動的平移平臺，該平移平臺包括至少第一檢測位置，該第一檢測位置包括基部；兩級溫度控制系統(tǒng)，安裝在該基部上且具有熱電冷卻器；和流體系統(tǒng)，用于循環(huán)冷卻/加熱流體；安裝部，所述輔助座被定位在該安裝部上用于檢測，該安裝部的溫度由該溫度控制系統(tǒng)可選擇地控制；探針板，具有可移動臂和連接到該臂的電接觸部，用于當(dāng)該第一檢測位置與該探針板對準(zhǔn)時向該輔助座提供電源；和對準(zhǔn)器，具有可與該第一檢測位置對準(zhǔn)從而接收該激光硬模產(chǎn)生的光信號的透鏡組件。
2. 如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括真空控制系統(tǒng)，該真空控制系統(tǒng)包括被限定在該安裝部中的孔，該孔提供抽吸從而將輔助 座固定到該安裝部。
3. 如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，該對準(zhǔn)器的透鏡組件可 通過x、 y和z直線臺可自動對準(zhǔn)。
4. 如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，該探針板可通過x、 y和 z直線臺對準(zhǔn)。
5. 如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括第二和第三 檢測位置。
6. 如權(quán)利要求5所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，該第二檢測位置包括兩 級溫度控制系統(tǒng)，而該第三檢測位置包括單級溫度控制系統(tǒng)。
7. 如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，該第一檢測位置的兩級 溫度控制系統(tǒng)使得該安裝部的溫度能夠在-40到100攝氏度之間變化。
8. 如權(quán)利要求1所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，該流體系統(tǒng)包括用于在 循環(huán)塊中循環(huán)冷卻/加熱流體的入口和出口管道。
9. 一種利用檢測系統(tǒng)檢測被安裝在輔助座上的激光硬模的方法，該檢測 系統(tǒng)包括至少第一檢測位置，該第一檢測位置具有兩級溫度控制系統(tǒng)，該方法 包括將該輔助座固定在所述至少第一檢測位置的安裝部上；將所述至少第一檢測位置與探針板對準(zhǔn)，從而使得該探針板向該激光用模 提供電源；將透鏡組件與該輔助座組件對準(zhǔn)，從而使得由該激光硬模產(chǎn)生的光信號被 該透鏡組件接收；和在由所述至少第一檢測位置的該兩級溫度控制系統(tǒng)所產(chǎn)生的第一溫度下 檢測該激光硬模。
10. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，進一歩包括在由所述至少第一檢測位置的該兩級溫度控制系統(tǒng)所產(chǎn)生的第二溫度下 檢測該激光硬模。
11. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，進一步包括在第二檢測位置在第二溫度下檢測該激光硬模。
12. 如權(quán)利要求ll所述的檢測方法，其特征在于，進一步包括 在第三檢測位置在第三溫度下檢測該激光硬模。
13. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，將該輔助座固定到該至少第一檢測位置的安裝部上進一步包括使用布置機械手將該輔助座固定到該 安裝部上。
14. 如權(quán)利要求13所述的檢測方法，其特征在于，該布置機械手自動地 將該輔助座從裝載/卸載臺傳送到該安裝部。
15. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，將該輔助座固定到該至 少第一檢測位置的安裝部上進一步包括利用真空將該輔助座安裝到該安裝部 上。
16. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，將該至少第一檢測位置 與該探針板對準(zhǔn)包括移動安裝有該第一檢測位置的平移平臺，并包括相對于第 一檢測位置移動該探針板。
17. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，該透鏡組件被包括在對 準(zhǔn)器中，該對準(zhǔn)器根據(jù)該輔助座的激光硬模所產(chǎn)生的光信號與該激光硬模自動 對準(zhǔn)。
18. 如權(quán)利要求9所述的檢測方法，其特征在于，該探針板經(jīng)由被包括在 該安裝部上的接頭向該激光硬模提供電源，該接頭與該輔助座電連接。
19. 一種用于檢測被安裝在輔助座組件上的激光源的檢測系統(tǒng)，該檢測系 統(tǒng)包括分度器臺，包括第一檢測位置，具有供該輔助座組件定位的安裝部，該第一檢測位 置包括被設(shè)置為將該輔助座組件保持在第一溫度的兩級溫度控制系統(tǒng)；第二檢測位置，具有供該輔助座組件定位的安裝部，該第二檢測位 置包括被設(shè)置為將該輔助座組件保持在第二溫度的兩級溫度控制系統(tǒng)； 和第三檢測位置，具有供該輔助座組件定位的安裝部，該第三檢測位 置能夠?qū)⒃撦o助座組件保持在環(huán)境溫度；探針板臺，包括電接觸部，該電接觸部選擇性地接合其上定位有輔助座組 件的被選擇出的一個檢測位置的安裝部，該電接觸部向該輔助座組件的光源提 供電力供應(yīng)；和對準(zhǔn)器臺，該對準(zhǔn)器臺能夠自動地將透鏡組件和該輔助座組件的光源對 準(zhǔn)，從而使得該光源所產(chǎn)生的光信號被與該透鏡組件光學(xué)連接的光纖所接收。
20. 如權(quán)利要求19所述的檢測系統(tǒng)，其特征在于，該第三檢測位置包括 用于選擇性地調(diào)整該輔助座組件的溫度的熱電冷卻器。
全文摘要
公開了一種用于檢測被安裝在輔助座上的激光硬模的溫度受控的系統(tǒng)。該檢測系統(tǒng)包括具有受電機驅(qū)動的平移平臺的基座。平移平臺包括具有被安裝在基部上的兩級溫度控制系統(tǒng)的第一檢測位置。溫度控制系統(tǒng)包括熱電冷卻器和用于在循環(huán)塊中循環(huán)冷卻/加熱流體的流體系統(tǒng)。安裝部也被包括在第一檢測位置上，其中輔助座被定位在該安裝部上。安裝部的溫度被該溫度控制系統(tǒng)控制。當(dāng)?shù)谝粰z測位置與探針板對準(zhǔn)時，具有臂和連接到該臂的電接觸部的探針板向輔助座提供電源。具有可與第一檢測位置對準(zhǔn)的透鏡組件的對準(zhǔn)器接收由激光器產(chǎn)生的光信號。
文檔編號G01B11/26GK101384880SQ200780005282
公開日2009年3月11日 申請日期2007年2月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月13日
發(fā)明者丹尼爾·崔恩, 亭·石, 帕維爾·普洛斯卡魯 申請人:菲尼薩公司