專利名稱:X熒光測(cè)厚光譜儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種微量元素檢測(cè)儀器,尤其是一種獨(dú)特的上照式設(shè) 計(jì),方便對(duì)尺寸范圍較大的部件上進(jìn)行鍍層厚度和含量的逐點(diǎn)測(cè)量,并具
有開放式樣品腔的x熒光光譜儀。
背景技術(shù):
本發(fā)明人于2006年申請(qǐng)了名稱為一種自動(dòng)定位X熒光能量色散光譜儀 的專利,專利申請(qǐng)?zhí)枮?00620014536.X。如圖1所示,該專利為一種真空檢 測(cè)X熒光能量色散光譜儀,包括機(jī)身和與之相連的電腦,其中,所述機(jī)身內(nèi) 安裝有光源系統(tǒng)、探測(cè)器系統(tǒng)以及信號(hào)處理系統(tǒng),其中,所述光源系統(tǒng)包 括高壓?jiǎn)卧蚗光管,光源系統(tǒng)發(fā)射出X射線,X射線作用在樣品上后,樣品 中的各個(gè)原子會(huì)被激發(fā)出特征X熒光,這些X熒光被探測(cè)器系統(tǒng)所接收,分 析轉(zhuǎn)化為電信號(hào),電信號(hào)經(jīng)過(guò)MCA模塊系統(tǒng)的處理,再傳輸?shù)诫娔X中,在機(jī) 身和與之相連的電腦的用戶界面上顯示出來(lái),其特征在于所述真空檢測(cè)X 熒光能量色散光譜儀的機(jī)身包括一金屬框架和一外殼,其中,所述光源放 射系統(tǒng)、探測(cè)器系統(tǒng)、以及信號(hào)處理系統(tǒng)均固定于所述金屬框架上,所述 外殼罩在所述金屬框架外起保護(hù)作用,所述金屬框架的上部還設(shè)有一樣品 臺(tái),所述樣品放置于該樣品臺(tái)上,所述樣品臺(tái)、光源放射系統(tǒng)、探測(cè)器系 統(tǒng)、以及信號(hào)處理系統(tǒng)構(gòu)成一測(cè)量單元。
但本發(fā)明人經(jīng)過(guò)實(shí)踐,發(fā)現(xiàn)上述專利存在以下幾個(gè)方面的缺點(diǎn)需要改
進(jìn)
一、該X熒光光譜儀,樣品腔設(shè)計(jì)為封閉式的樣品腔,在大尺寸樣品 的測(cè)量時(shí)十分不便。
二、 該X熒光光譜儀,沒(méi)有移動(dòng)平臺(tái)這樣的裝置,在移動(dòng)樣品時(shí)完全依 靠手工操作。在移動(dòng)距離很小時(shí),很難達(dá)到微調(diào)的效果。
三、 該X熒光光譜儀,針對(duì)不同的樣品調(diào)整準(zhǔn)直器和濾光片時(shí),都是手 工進(jìn)行操作,這樣每次都必須開蓋進(jìn)行操作,可能會(huì)有灰塵進(jìn)入光路系統(tǒng), 或者手動(dòng)調(diào)整時(shí)是依靠人眼的標(biāo)準(zhǔn),難免會(huì)有一些偏差,而這些偏差反應(yīng) 到測(cè)試樣品上,就會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生影響。
發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述X熒光光譜儀的眾多缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的是提供一
種X熒光測(cè)厚光譜儀,采用獨(dú)特的上照式設(shè)計(jì)并具有開放式樣品腔的X熒
光光譜儀。
本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是 一種X熒光測(cè)厚光譜儀,包括機(jī)身和
與之相連的電腦,所述機(jī)身包括外殼(1)、機(jī)身(2)和樣品腔(3),其中, 所述外殼(1)罩在所述機(jī)身(2)外面,所述樣品腔(3)設(shè)在所述機(jī)身(2) 內(nèi),其特征在于所述樣品腔(3)包括可上下活動(dòng)的透明屏蔽罩(4)。
所述機(jī)身內(nèi)設(shè)有樣品腔(3),所述樣品腔包括升降平臺(tái)(33)、電機(jī)、 導(dǎo)軌(31)和按鍵(32),升降平臺(tái)(33)在電機(jī)拉動(dòng)下,沿著導(dǎo)軌(31) 上下平穩(wěn)地移動(dòng),移動(dòng)的方向和距離通過(guò)按鍵(32)控制。
所述機(jī)身上設(shè)有支架和氣撐,所述透明屏蔽罩(4)與機(jī)身支架上的左、 右氣撐連接,在左、右氣撐的力作用下,借助把手,沿著固定在支架上的 導(dǎo)軌上下移動(dòng)。
所述X熒光測(cè)厚光譜儀還設(shè)有移動(dòng)平臺(tái)(5),所述移動(dòng)平臺(tái)(5)包括 拉板(53)、切口 (54)和導(dǎo)軌(55),其中,所述移動(dòng)平臺(tái)(5)裝配在兩 層4條導(dǎo)軌(55)上,通過(guò)前面板上的中間的按鍵控制,移動(dòng)平臺(tái)(5)可
前后左右平穩(wěn)地移動(dòng),拉板(53)用來(lái)定位樣品,其上設(shè)有切口 (54),當(dāng) 待測(cè)點(diǎn)與豎直激光對(duì)齊后,手動(dòng)扣住其上的切口。
所述X熒光測(cè)厚光譜儀設(shè)有準(zhǔn)直器濾光片自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置(6),該裝置包 括電機(jī)(63)、準(zhǔn)直器(61)和濾光片(62)。通過(guò)兩頭的兩個(gè)電機(jī)(63) 驅(qū)動(dòng),其中一個(gè)電機(jī)往左拉動(dòng)準(zhǔn)直器,另一個(gè)電機(jī)往右拉動(dòng)濾光片,精確 定位準(zhǔn)直孔與濾光片。
本實(shí)用新型的有益效果是
第一、采用獨(dú)特的上照式設(shè)計(jì),結(jié)合可上下移動(dòng)的結(jié)構(gòu),以及精準(zhǔn)的移 動(dòng)平臺(tái)裝置,通過(guò)三維精確定位樣品測(cè)量點(diǎn),方便對(duì)尺寸范圍較大的部件 上進(jìn)行鍍層厚度和含量的逐點(diǎn)測(cè)量。
第二、設(shè)有自動(dòng)切換準(zhǔn)直器和濾光片調(diào)節(jié)裝置,最大限度減少人操作的 麻煩性和不精確性。
第三、有著精準(zhǔn)的移動(dòng)平臺(tái)裝置,通過(guò)X與Y兩個(gè)軸精確定位樣品,給 客戶提供方便。
第四、設(shè)有開放式樣品腔,可上下活動(dòng)的玻璃屏蔽罩,既避免了測(cè)試的 X射線外泄,又方便測(cè)量。
圖l本實(shí)用新型透明罩及升降平臺(tái)上移圖; 圖2本實(shí)用新型整體示意圖; 圖3本實(shí)用新型內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖4本實(shí)用新型透明罩沿著固定在支架上的導(dǎo)軌上下移動(dòng)示意圖; 圖5本實(shí)甩新型移動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖; . 圖6本實(shí)用新型準(zhǔn)直器濾光片自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中l(wèi)、外殼;2、機(jī)身;3、樣品腔;31、導(dǎo)軌;32、按鍵;33、升 降平臺(tái);4、透明屏蔽罩;5、移動(dòng)平臺(tái);53拉板;54、切口; 55、導(dǎo)軌;6、
準(zhǔn)直器濾光片自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置;61、準(zhǔn)直器;62、濾光片;63、電機(jī)。
具體實(shí)施方式
如圖l、圖2、圖3、圖4、圖5、和圖6所示的一種X熒光測(cè)厚光譜儀, 包括機(jī)身和與之相連的電腦,所述機(jī)身包括外殼(1)機(jī)身(2)和樣品腔 (3),其中,所述外殼(1)罩在所述機(jī)身(2)外面,所述樣品腔(3)設(shè) 在所述機(jī)身(2)內(nèi),所述樣品腔包括可上下活動(dòng)的透明屏蔽罩(4)。
所述機(jī)身內(nèi)設(shè)有樣品腔(3),所述樣品腔包括升降平臺(tái)(33)、電機(jī)、 導(dǎo)軌(31)和按鍵(32),升降平臺(tái)(33)在電機(jī)拉動(dòng)下,沿著導(dǎo)軌(31) 上下平穩(wěn)地移動(dòng),移動(dòng)的方向和距離通過(guò)按鍵(32)控制。
所述機(jī)身上設(shè)有支架和氣撐,所述透明屏蔽罩(4)與機(jī)身支架上的左、 右氣撐連接,在左、右氣撐的力作用下,借助把手,沿著固定在支架上的 導(dǎo)軌上下移動(dòng)。
所述X熒光測(cè)厚光譜儀還設(shè)有移動(dòng)平臺(tái)(5),所述移動(dòng)平臺(tái)(5)包括 拉板(53)、切口 (54)和導(dǎo)軌(55),其中,所述移動(dòng)平臺(tái)(5)裝配在兩 層4條導(dǎo)軌(55)上,通過(guò)前面板上的中間的按鍵控制,前后左右平穩(wěn)地 移動(dòng),所述移動(dòng)平臺(tái)之上的拉板(53)用來(lái)定位樣品,其上設(shè)有切口 (54), 當(dāng)待測(cè)點(diǎn)與豎直激光對(duì)齊后,手動(dòng)扣住其上的切口 (54)。
所述X熒光測(cè)厚光譜儀設(shè)有準(zhǔn)直器濾光片自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置(6),該裝置包 括電機(jī)(63)、準(zhǔn)直器(61)和濾光片(62)。通過(guò)兩頭的兩個(gè)電機(jī),其中 一個(gè)往左拉動(dòng)準(zhǔn)直器,另一個(gè)往右拉動(dòng)濾光片,精確定位準(zhǔn)直孔與濾光片。 另外,目前市場(chǎng)上推出的X熒光光譜儀,有些配套測(cè)量軟件是由其他
軟件改編而來(lái),操作界面十分繁復(fù),對(duì)操作人員的要求很高,給儀器購(gòu)買 商造成了不小的麻煩。
因此,本實(shí)用新型面向用戶的操作需求開發(fā)了操作軟件,方便用戶進(jìn)行 測(cè)試方面的操作,其工作原理如下
一、 儀器校正
調(diào)整儀器放大倍數(shù),消除峰漂的影響,確保待測(cè)樣品與標(biāo)注樣品條件一 致。
二、 工作曲線
根據(jù)樣品的成分和基材不同,把工作曲線分為六大類即測(cè)塑料中的
CrCl;測(cè)鋼鐵中的CrCdPbHg,測(cè)銅鋅中的Cr, Cd, Pb, Hg,測(cè)焊錫中的 CrCdPbHg,自定義。每一大類根據(jù)實(shí)際需要可任意添加多條曲線。
三、強(qiáng)度計(jì)算
這里采用峰背比的方法,峰面積用高斯擬合計(jì)算。即: / = ^; Ip為峰的面積,Ib為背景面積。
(n0)2
峰的左邊界 峰的右邊界 峰的高度。
5
X:峰道址 X。峰的中心道址 S :與峰的寬度有關(guān)的參數(shù)
四、計(jì)算含量
含量按公式OaW+b計(jì)算。 系數(shù)a,b用最小二乘法給出。
<formula>formula see original document page 8</formula>
Ci是標(biāo)準(zhǔn)樣品/的濃度。
Ii是標(biāo)準(zhǔn)樣品/的強(qiáng)度。
七、報(bào)告結(jié)果
可以把測(cè)量的結(jié)果保存到所需要的文件夾。
權(quán)利要求1、一種X熒光測(cè)厚光譜儀,包括機(jī)身和與之相連的電腦,所述機(jī)身包括外殼(1)、機(jī)身(2)和樣品腔(3),其中,所述外殼(1)罩在所述機(jī)身(2)外面,所述樣品腔(3)設(shè)在所述機(jī)身(2)內(nèi),其特征在于所述樣品腔(3)包括可上下活動(dòng)的透明屏蔽罩(4)。
2、 據(jù)權(quán)利要求1所述的X熒光測(cè)厚光譜儀,其特征在于所述機(jī)身內(nèi) 設(shè)有樣品腔(3),所述樣品腔(3)包括升降平臺(tái)(33)、電機(jī)、導(dǎo)軌(31) 和按鍵(32),升降平臺(tái)(33)在電機(jī)拉動(dòng)下,沿著導(dǎo)軌(31)上下平穩(wěn)地 移動(dòng),移動(dòng)的方向和距離通過(guò)按鍵(32)控制。
3、 據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X熒光測(cè)厚光譜儀,其特征在于所述機(jī) 身上設(shè)有支架和氣撐,所述透明屏蔽罩(4)與機(jī)身支架上的左、右氣撐連 接,在左、右氣撐的力作用下,借助把手,沿著固定在支架上的導(dǎo)軌上下 移動(dòng)。
4、 據(jù)權(quán)利要求1或2所述的X熒光測(cè)厚光譜儀,其特征在于所述X 熒光測(cè)厚光譜儀設(shè)有移動(dòng)平臺(tái)(5),所述移動(dòng)平臺(tái)(5)包括拉板(53)、 切口 (54)和導(dǎo)軌(55),其中,所述移動(dòng)平臺(tái)(5)裝配在兩層4條導(dǎo)軌(55)上,通過(guò)機(jī)身前面板上的中間的按鍵控制。
5、 據(jù)權(quán)利要求4所述的X熒光測(cè)厚光譜儀,其特征在于所述X熒光 測(cè)厚光譜儀設(shè)有準(zhǔn)值器濾光片自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置(6),該裝置包括電機(jī)(63)、 準(zhǔn)直器(61)和濾光片(62)。
專利摘要一種X熒光測(cè)厚光譜儀,包括機(jī)身和與之相連的電腦,其特征在于所述機(jī)身包括外殼機(jī)身和樣品腔,其特征在于所述樣品腔包括可上下活動(dòng)的透明屏蔽罩。所述機(jī)身內(nèi)設(shè)有樣品腔,所述樣品腔包括升降平臺(tái)、電機(jī)、導(dǎo)軌和按鍵,升降平臺(tái)在電機(jī)拉動(dòng)下,沿著導(dǎo)軌上下平穩(wěn)地移動(dòng),移動(dòng)的方向和距離通過(guò)按鍵控制。
文檔編號(hào)G01B15/02GK201177501SQ20072019652
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2007年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月27日
發(fā)明者劉召貴, 剛 應(yīng), 胡曉斌 申請(qǐng)人:江蘇天瑞信息技術(shù)有限公司