專利名稱：分層攝影檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及工業(yè)檢測的圖像成像系統(tǒng)，尤其涉及分層攝影 檢測的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
X光分層攝影技術(shù)已廣為周知。此種技術(shù)可為待測物體中的特 定平面，建立截面圖像，藉以進行物體內(nèi)部的檢測。在現(xiàn)有技術(shù)中， X光分層攝影系統(tǒng)包括X光源、X光探測器(藉以定義圖像平面)、
以及固定機座(藉以固定待測物體、將之置放于x光源以及x光探 測器之間)。為取得待測物體的x光圖像，現(xiàn)有技術(shù)通常利用x光
源以及X光探測器的周期運動，來取得待測物體一連串的X光圖像；
其中，x光源可以對應待測物體進行運動，亦可與x光探測器同時 對應待測物體運動。在單一檢測周期中，x光源、待測物體、以及
X光探測器的相對位置設定，均會對應待測物體之中的特定平面，
藉以取得該特定平面的圖像，稱之為"對焦平面"?？v然單一周期中，
x光源的相對位置不斷改變，對焦平面上的任一點，仍會因為x光
源與待測物體或者x光探測器的相對位置設定，固定投影于圖像平 面上的單一對應點；而對焦平面以外任一點，則會因為X光源與待 測物體的相對位置改變，在圖像平面之上呈現(xiàn)多個光點。將不同X 光源位置的所得圖像重迭時，因為對焦平面上的任一點，固定呈現(xiàn) 于圖像平面上的對應位置L;所以，重迭圖像時，對焦平面上任一 點的圖像，會顯得相當清晰，而對焦平面以外的單點則因為X光源 與X光探測器相對位置的改變，呈現(xiàn)多個模糊的圖像。藉由組合X 光探測器所取得的多個圖像，即可重建待測物體的特定截面圖像。
過去已經(jīng)開發(fā)出多種有效的分層攝影系統(tǒng)，可參見美國專利號 4,926,452，名稱為"Automated Laminography System For Inspection ofElectronics"、美國專利號5,583,904，名稱為"Continuous Linear Scan Laminography System And Method"、美國專利號6,324,249，名稱為 "Electronic Planar Laminography System and Method"以及美國專禾廿 號6,748,046，名稱為"Off-centerTomosynthesis";謹此提出以供參考。 在現(xiàn)有技術(shù)中的一種分層攝影系統(tǒng)中，固定待測物體，并利用 X光源與X光探測器對應于待測物體的相對圓周運動，來取得待測 物體的多個圖像。在單一檢測周期之中，X光源與X光探測器利用 區(qū)間的相對運動，在圓周上的不同位置，利用不同角度取得多個待 測物體圖像。由于X光源與探測器必須在圓周上不斷啟動與停止， 因此檢測速度較慢，而所能取得的圖像數(shù)目也受到限制。此外，利 用圓周運動進行檢測的機臺也相對龐大、制造復雜，同時制造成本 較為昂貴。
另一種現(xiàn)有技術(shù)，則是采用單一轉(zhuǎn)化檢測(single translational scan),以由不同的角度取得檢測圖像。此種檢測機制中，X光源必 須瞄準待測物體，藉以使得扇形的X光束，覆蓋完整的待測物體表 面。此外，必須增加X光探測器的數(shù)量，如此才能在不同的檢測角 度上取得圖像，取得足量的單一線型掃描圖像。雖然這種分層攝影 系統(tǒng)具有簡單快速的掃描優(yōu)勢，但是由于必須增加X光探測器的數(shù) 量，仍會提高設備成本。此外，X光源必須進行「瞄準」，也會使得 系統(tǒng)過于復雜。
尚有另一種現(xiàn)有技術(shù)，利用大型攝影機(a large format camera)來
取得待測物體的圖像數(shù)據(jù)。在單一檢測周期中，X光源與X光探測 器固定，而待測物體則在X光源與X光探測器之間移動；藉此，待 測物體的不同部分，可同時在攝影機上呈現(xiàn)不同角度的圖像。雖然 此種方法可以節(jié)省X光源以及攝影機運動的成本，但是仍會因為采 用大型攝影機而提高費用。此外，在檢測過程之中移動待測物體， 亦可能影響對象穩(wěn)定度，而降低圖像的質(zhì)量。
此外，待測物體本身因為重力而造成的彎曲，也是分層檢測的 一個難題。待測物體的彎曲，可能在物體的實際位置與檢測系統(tǒng)估 計位置之間形成偏差。由此，分層攝影所重建的截面圖像，可能不
會是實際選定平面的圖像，而是位移之后的其它平面圖像。為解決
此一難題，美國第5,678,2095號專利已經(jīng)披露一種彎曲補償?shù)臋C制， 在此提供做為參考。此種現(xiàn)有的彎曲補償機制，需要使用對象預先 設定的計算機輔助設計(CAD)數(shù)據(jù)，與實際取得的圖像數(shù)據(jù)進行 比對，以獲得待測物體的彎曲程度。在圖像重建的過程之中，必須 利用此種彎曲補償計算，來取得選定區(qū)域的截面圖像。但實際應用 時，常因為選定區(qū)域無法與CAD位置精確對應，或者無法預先獲得 足夠的CAD數(shù)據(jù)，而無法精確修正對象彎曲。
因此，產(chǎn)生改良分層攝影系統(tǒng)的需求，希望能夠克服前述先前 技術(shù)產(chǎn)生的問題。

實用新型內(nèi)容
本實用新型披露一種分層攝影檢測的系統(tǒng)，其可利用簡便的彎 曲補償計算方法，有效地建立待測物體中選定平面區(qū)域的截面圖像。
依據(jù)本實用新型的一種優(yōu)選實施例，分層攝影檢測系統(tǒng)包括輻 射源，多個線型圖像探測器(其可定義圖像平面)、固定桌面(以將 待測物體固定于輻射源以及線型圖像探測器之間)、以及計算裝置 (可處理多個圖像探測器所取得的圖像)。輻射源與圖像探測器可藉 由一連串的并行線型掃描，使輻射光線穿越待測物體，藉以完成周 期性檢測。由此，計算裝置可以計算不同角度之下所獲得的圖像， 同時適當?shù)乩闷婆c縮放來調(diào)校圖像，藉以重建待測物體中特定 區(qū)段的截面圖像。
依據(jù)本實用新型的優(yōu)選實施例，計算裝置亦可在偏移與縮放圖 像的過程之中，加入彎曲補償?shù)男Ｕ?，以獲得待測物體的圖像。彎 曲補償可以利用立體圖像法來計算。
本實用新型的系統(tǒng)，具有節(jié)省費用的優(yōu)勢，同時可以利用簡便 的方法計算彎曲補償，而無須取得待測物體的CAD數(shù)據(jù)。
前述內(nèi)容并非用以限縮本實用新型的范圍。上述系統(tǒng)與操作可 利用多種方式達成，而其改變與修正均落入本實用新型的范圍。其 余方面、發(fā)明特征、以及本實用新型的優(yōu)勢，由權(quán)利要求定義，同
時參照下列實施方式，惟其內(nèi)容并非用以限縮本實用新型的范圍。

圖1A為依據(jù)本實用新型的一種實施例，所設置的分層攝影檢測 系統(tǒng)的透視示意圖。
圖IB為依據(jù)本實用新型的一種實施例，所設置的分層攝影檢測 系統(tǒng)的側(cè)面示意圖。
圖1C為依據(jù)本實用新型的一種實施例，由分層攝影檢測系統(tǒng)進 行掃描的運作模式示意圖。
圖2A、圖2B、圖2C、與圖2D為本實用新型重建待測物體特 定區(qū)域X光圖像的原理示意圖。
圖2E顯示本實用新型決定彎曲補償?shù)臋C制。
圖3為流程圖，顯示依據(jù)本實用新型的一種實施例，進行分層 攝影檢測的步驟流程。
圖4A、圖4B、圖4C、圖4D、與圖4E顯示X光圖像的范例， 此種X光圖像示意圖是依據(jù)本實用新型的分層攝影檢測所取得的圖 像為基礎繪制而得。
主要組件符號說明
100:檢測系統(tǒng)
102: X光源
104:固定桌面
106:待測物體
108:圖像探測器
110:計算裝置
112:支撐框架
410、 420:分層
412、 414、 422、 426:焊接點
416、 418、 424、 428:缺陷
P:特定區(qū)段
S:輻射源
D:圖像平面
Dj、 D2、 D3:探測器
F:對焦平面
H、 H0、 H卜/z、 Rx、 Ry:距離
0、 Oh:取樣點
01、 Ohi、 Oi，、 Oh，成像點
Lsx、 Lsy:位移參數(shù) /:縮放參數(shù)
I, 、 12:圖像
具體實施方式
本實用新型披露一種經(jīng)濟實用的分層攝影檢測系統(tǒng)，其可利用 便利的彎曲補償計算方法，獲得待測物體中特定平面的截面圖像。 于此所稱"輻射源"指一種能量來源，用以產(chǎn)生電磁輻射，作
為x光攝影之用，其中包括但不限于x光源、伽瑪射線、或其它相
類似者。此外，"圖像探測器(image detector)"系指用以接收由輻 射源發(fā)射、穿越待測物體的電磁輻射，并可產(chǎn)生待測物體圖像信號 的裝置，其中包括但不限于X光探測器、伽瑪射線探測器、或者其 它相類似者。
圖1A和圖1B為依據(jù)本實用新型的一種實施例所設置的分層攝 影檢測系統(tǒng)示意圖。檢測系統(tǒng)100包括X光源102、用以置放待測 物體106的固定桌面104、線型(linear) X光探測器108、以及計算 裝置IIO。 X光源102位于固定桌面104之上，并可發(fā)射錐形X光， 使X光穿越待測物體106，照射在探測器108之上；探測器108位 于待測物體106之下，位置對應于X光源102。各個線型探測器108 均可將穿透過待測物體106的X光轉(zhuǎn)換為圖像信號，并將之傳送至 計算裝置110進行分析。
參照圖1A，為了更詳細說明本實用新型，此處將以任意的X、 Y、 Z軸向作為說明檢測系統(tǒng)100的輔助之用。固定桌面104固定在 水平平面上，平行于X軸與Y軸。X光源102固定在垂直軸向上， 其平行于Z軸并垂直于固定桌面104。 X光源102由馬達驅(qū)動(未
顯示)，可獨立沿著X、 Y、或Z軸移動。X光源102包括但不限于 任何標準的X光發(fā)射管。
線型X光探測器108與支撐框架112位在同一平面上，各個探 測器108在X軸方向上具有固定距離，在Y軸方向則為平行。依據(jù) 本實用新型的一種優(yōu)選實施例，系統(tǒng)具有三個線型探測器108，個別 由類似于電荷耦合裝置(charge coupled devices)的X光感測組件形 成，其形狀為線型或單一軸向排列。然而，應理解線型探測器108 的數(shù)量可隨著不同設計的需求而更動。支撐框架112可獨立沿著X、 Y、或Z軸運動，如此方可對應于待測物體106與X光源102,設 定探測器108的位置。X光源102與線型探測器108的相對位置， 可以依據(jù)所需的對焦平面、以及最佳X光圖像分辨率的需求，進行 設定。
圖1C披露依據(jù)本實用新型的一種實施例所設置的系統(tǒng)100檢測 周期。在單一檢測周期中，測試對象106保持固定，而X光源102 與探測器108同步移動，藉以掃描待測物體106。測試周期包含線型 掃描路徑114，其平行于X軸，同時逐漸增加Y軸方向位移，以完 整掃描待測物體106的表面區(qū)域。經(jīng)過一個周期的掃描之后，三個 線型探測器108可分別針對待測物體106的掃描區(qū)域，取得三個不 同角度(對應于X光源102)的X光圖像數(shù)據(jù)。依據(jù)本實用新型的一 種實施例，可以繼續(xù)增加Y方向上的位移，而相連接的掃描路徑可 以重迭。就待測物體106的特定掃描部分而言，可以藉由增加掃描 路徑，來增加檢測角度。因此，無須增加任何圖像檢測器或費用昂 貴的掃描動作，即可讓計算裝置110取得更多不同檢測角度的X光 圖像數(shù)據(jù)。
同時，應理解，前后兩條路徑可以重迭，也可為相異的兩條路 徑。此外，除了采用三個探測器以外，也可以在其它實施例中利用 單一探測器，經(jīng)過三個線型掃描路徑，以三個對應X光源102的不 同檢測角度，取得三組相同的圖像。釆用上述方法所得的圖像，計 算裝置110即可產(chǎn)生待測物體106的分層攝影檢測圖像。
圖2A、圖2B、圖2C、與圖2D為利用不同檢測角度，組合X
光圖像數(shù)據(jù)，藉以重建區(qū)段P的圖像的主要原理示意圖。為能詳細
說明其內(nèi)容，于此采用下列代號。距離Hl為X光源S到圖像平面 D的距離，圖像平面D之上具有探測器Dl、 D2、 D3。探測器Dl 安排在相對于光源S的左邊偏角，探測器D2安排在光源S的垂直 位置之下，而探測器D3則是安排在相對于光源的右邊偏角。距離 HO為對焦平面F與X光源S之間的距離，h則是特定區(qū)域P以及對 焦平面之間的距離。距離Rx為兩個相鄰探測器之間的距離，而長度 Ry則為兩個連續(xù)掃描路徑之間的Y軸位移。
當系統(tǒng)100掃描檢測待測物體106時，位于待測物體106之中、 對焦平面F之外的區(qū)段，會在圖像平面D中形成相異的圖像，其個 別具有不同的形變以及位移。因此，在圖像平面D中，只有對焦平 面F之上的各點會具有清晰的圖像，而對焦平面F之外的各點則會 顯得模糊。為了重建待測物體之中的特定區(qū)段P，必須對不同角度 檢測而得的X光圖像數(shù)據(jù)進行適當?shù)奈灰婆c縮放，再將之重迭，以 針對特定區(qū)段P產(chǎn)生適當?shù)膶獔D像。上述位移與縮放的參數(shù)，可 分為X軸和Y軸，詳述如下。
圖2B顯示如何根據(jù)平行于X軸與Z軸的投影平面，決定X軸 向上的位移與縮放參數(shù)。在此投影平面之中，對焦平面F之中的一 點O將對應至圖像平面D之中的一個圖像點Oj，而將垂直于O點 之上、位于特定區(qū)域P之中的一點Oh，則會對應至圖像平面D中的 一點Ohi。利用簡單的幾何投影，可得圖像平面D之上Oi與Ohi之間 的位移參數(shù)Lsx為
L汰-hxtan6-hRx/H!。
此外，當光源S在X方向上進行線型掃描時，待測物體106中、 特定平面P內(nèi)X方向上的區(qū)段Oh-M，會毫無變化地投影至圖像平 面D之上。此時，X軸向上的縮放參數(shù)為l。
同樣地，圖2C顯示如何根據(jù)平行于Y軸和Z軸的投影平面， 決定Y軸上的位移參數(shù)I^。在此投影平面中，對焦平面F之中的一 點O，會在圖像平面D之上成像于Oi'，而特定區(qū)域P之中的一點 Oh，，則會在圖像平面D至上成像于一點Ohi，。圖像平面D中，Oi，與
Ohi'之間的位移參數(shù)Uy可由下列關(guān)系表示
Lsy = h， x tan 6，
當h，二hxH!/Ho而tane， = (Ry+Lsy)/HJf，位移參數(shù)Lsy可表 示為
Lsy = hxRy/(H『h) 圖2D顯示如何根據(jù)平行于Y軸和Z軸的投影平面，決定Y軸 上的縮放參數(shù)f。假定特定平面P中的區(qū)段Oh，-M，會在圖像平面D 之中形成變形的圖像Ohi'-Mj，則縮放參數(shù)f可由下列比例定義 Oh，-Mh/Ohi，-Mi-Lh/Lj。利用相似三角形，Y方向上的縮放參數(shù)可
表示為
f二諷—h，)/H廣l一固0
下表1分別顯示重建待測物體之中特定平面的X光圖像時，X 方向與Y方向的位移與縮放參數(shù)，其中h代表相對于對焦平面的高度。
XY
位移參數(shù)L -h《 sx—L = ^ Sy H0-h
縮放參數(shù)1f L h I — 一 1 — Lj H0
表l
利用上述位移與縮放的參數(shù)，即可在待測物體的z軸向上，適 當?shù)刂氐黿光圖像，以重建待測物體的x光圖像。
依據(jù)本實用新型的內(nèi)容，對x光檢測系統(tǒng)進行其它設定，尚可 發(fā)現(xiàn)其它優(yōu)點。尤其，可以簡便地進行z軸方向上的彎曲補償計算。
參照圖2E，該圖揭示利用立體成像法(stereo imaging method),決定 待測物體在Z軸方向的彎曲補償。就特定區(qū)段W而言，利用立體成 像法時，探測器D2與D,分別取得兩個圖像l2與Ii，而區(qū)段W對應
于表面的相對高度則為H。假設Dn與Dh代表圖像12與I,的個別位
置，而r(O)為圖像分辨率，則區(qū)段W的實際高度H可表示為
—Hix(Dn-Dh)xr(0)
利用上述公式計算待測物體中的特定區(qū)段,即可在掃描后推知z
軸的對應位置數(shù)據(jù)，并憑借位移參數(shù)與縮放參數(shù)，加入彎曲補償， 以正確重建待測物體中特定區(qū)段p的圖像。由此，無須待測物體的
CAD數(shù)據(jù)，亦可計算彎曲補償。
請參見圖3與圖1A、圖1B、圖1C，以說明依據(jù)本實用新型的 一種實施例，進行分層攝影檢測的步驟。步驟302中，將待測物體 106放置在檢測系統(tǒng)100中。在X光圖像系統(tǒng)開始掃描待測物體之 前，會先在步驟304進行初步設定，利用調(diào)整X光源102、對象106 以及探測器108的相對位置，定義對焦平面以及適當?shù)膱D像分辨率。 步驟306進行掃描，其中X光源102發(fā)射錐形X光束，并與探測器 108同步移動，經(jīng)過平行的線型掃描，完整檢測待測物體106。由此， 即可由不同角度，取得多個待測物體106的X光圖像，藉以重建待 測物體106之中特定區(qū)段P的截面圖像。
就此目的而言，在步驟308中，檢測系統(tǒng)100會要求系統(tǒng)操作 者輸入特定區(qū)段P相對于對焦平面F的高度h。接著進入步驟310， 在產(chǎn)生特定區(qū)段P的截面圖像之前，計算裝置110會先行計算重建 區(qū)段P的截面圖像所需的彎曲補償。如圖2E所述，藉由待測物體在 Z軸方向上的X光圖像數(shù)據(jù)，即可計算待測物體的彎曲補償。在步 驟312中，利用輸入的高度h以及彎曲補償數(shù)據(jù)，計算裝置110可 以計算適當?shù)奈灰婆c縮放參數(shù)，并且利用這些參數(shù)重建選定區(qū)段P 的正確圖像。
舉例而言，圖4A、圖4B、圖4C、圖4D、與圖4E顯示依據(jù)本 實用新型的分層攝影檢測方法，所得的圖像范例之示意圖。圖4A顯 示待測物體的組態(tài)，其中包括焊接點分層410與420，其相互平行， 并上下重迭。分層410與420分別具有3x3陣列的焊接點。在本例 中，分層410與420之間的分隔"g"以及悍接點之間的間隔"p"
均為舉例所用的任意單位。舉例而言，對焦平面F設在Z = 0的坐
標點上，對應于中央平面，與分層410及420等距。待測物體包含 數(shù)個缺陷416、 418、 424、與428，這些缺陷會顯示在重建的X光圖 像示意圖之中，可見于下列圖4B、圖4C、圖4D、與圖4E。
圖4B與圖4C顯示焊接點分層410的X光重建圖像示意圖，其 對應于對焦平面F的坐標為Z = 15。圖4B顯示的X光重建圖像示 意圖402，位移參數(shù)為1^ = 7.5與1^ = 35.294。未施加縮放參數(shù)的 情況下，重建的X光圖像示意圖402在Y方向發(fā)生變形。圖4C顯 示重建的404，其經(jīng)過Y方向縮放參數(shù)f= 0.85/2的調(diào)整，如此即 可適當?shù)匦拚齓軸方向的變形。同時參照圖4A與圖4B、圖4C， 重建的X光圖像示意圖402與404正確地顯示了焊接點412與414 之間的缺陷418，以及焊接點412的中空缺陷416。
圖4D與圖4E顯示焊接點分層420的X光重建圖像示意圖，相 對于對焦平面F,其坐標系為Z-45。同樣地，圖4D中的X光圖像 406示意圖，利用位移參數(shù)1^ =-7.5 SLsy =-26.087進行重建，而 圖4E中的X光圖像示意圖408，則是由同樣的位移參數(shù)，加上縮放 參數(shù)f = 1.15/2,以校正Y方向上的變形。重建的X光圖像示意圖 406與408正確地顯示了與焊接點426連接的缺陷428,以及焊接點 422之的中空缺陷424。
如上所述系統(tǒng)與方法，可依據(jù)本實用新型的基本原理，有效地 利用X光探測器所取得的圖像，重建待測物體之中特定區(qū)段的截面 圖像。須藉由數(shù)個周期的并行線型掃描，取得數(shù)個不同視角的圖像， 即無須增加圖像探測器的數(shù)量。
本實用新型的詳細內(nèi)容已參照實施例說明如上，上述實施例僅
作為舉例說明之用，并非用以限制本實用新型的范圍。本實用新型
具有諸多變化、修改、以及改良的可能，可以利用此處所提供的單
一范例，衍生出其它多種應用范例。個別的結(jié)構(gòu)與應用可能與其它
結(jié)構(gòu)或組件結(jié)合。本領域的技術(shù)人員對此進行的修改、變更、與改 良均落入本實用新型權(quán)利要求所載的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種分層攝影檢測系統(tǒng)，包括輻射源；多個線型圖像探測器，其可定義圖像平面；固定桌面，其可將待測物體承載于一固定位置，該固定桌面位于該輻射源與該圖像探測器之間；以及計算裝置，其可處理該圖像探測器所取得的多個圖像；其中，該輻射源與該圖像探測器的設置，可利用一連串并行線型掃描，以不同的視角對該待測物體進行檢測，取得該多個圖像。
2、 如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中該計算裝置可組合不同視角 所取得的該多個圖像，以建立該待測物體中特定區(qū)段的截面圖像。
3、 如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中該待測物體中的該特定區(qū)段 平行于該圖像平面。
4、 如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中該計算裝置可計算多個位移 參數(shù)與多個縮放參數(shù)，藉以組合該多個圖像，以重建該待測物體中 該特定區(qū)段的該截面圖像。
5、 如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中該位移參數(shù)與該縮放參數(shù)由 平行于該圖像平面的二個坐標軸所決定。
6、 如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中該位移參數(shù)與該縮放參數(shù)由 多個因子決定，包括該待測物體中該選定區(qū)段到該對焦平面的高 度、該輻射源至該圖像平面的距離、該輻射源至該對焦平面的距離、 該圖像探測器之間的距離、以及兩個接續(xù)掃描路徑之間的間距。
7、 如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中與坐標軸相關(guān)的至少一該縮 放參數(shù)，平行于該線型掃描路徑，而該縮放參數(shù)為l。
8、 如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中該計算裝置可定義彎曲補償， 該彎曲補償可用以計算該位移參數(shù)與該縮放參數(shù)。
9、 如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中該輻射源可發(fā)射錐形X光束， 該X光束可穿過該待測物體，投射于該圖像探測器之上。
10、 如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中該圖像探測器包括至少一 中央線型探測器，該中央線型探測器垂直位于該輻射源之下，并位 于該固定桌面之上，另外包含二個側(cè)邊線型探測器，該側(cè)邊線型探 測器相對傾斜于該輻射源。
專利摘要一種分層攝影檢測系統(tǒng)，包括輻射源、多個線型圖像探測器、固定桌面、與計算裝置；其中多個圖像探測器可以定義圖像平面，固定桌面可以將待測物體固定于輻射源與圖像探測器之間，而計算裝置則可以處理探測器所獲得的多個對象圖像。輻射源與圖像探測器可在待測物體上進行多個平行的線型掃描，以經(jīng)由不同角度，取得待測物體的圖像。利用上述方法取得圖像數(shù)據(jù)之后，計算裝置可以定義彎曲補償，接著重建待測物體之中特定區(qū)段的截面圖像。該分層攝影檢測系統(tǒng)可利用便利的彎曲補償計算方法，獲得待測物體中特定平面的截面圖像。
文檔編號G01N23/04GK201199234SQ20072015719
公開日2009年2月25日 申請日期2007年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月31日
發(fā)明者李孟坤, 溫光溥, 陳世亮 申請人:德律科技股份有限公司