專利名稱：玻璃基板邊緣檢查裝置及玻璃基板邊緣檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃基板邊緣檢查裝置，尤其涉及檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷的玻璃基板邊緣檢查裝置及利用該裝置的玻璃基板邊緣檢查方法。
背景技術(shù)：
通常，玻璃基板(glass substrate)是用于制造平板顯示器(FPDflat paneldisplay)的一種被處理基板，經(jīng)熔化(melting)制造工藝進(jìn)行制造。
這種玻璃基板的制造過(guò)程包含各種加工過(guò)程及檢查過(guò)程，尤其包含檢查玻璃基板是否存在缺陷的檢查過(guò)程，以防止在制造過(guò)程中發(fā)生缺陷的玻璃基板被投入到后續(xù)工藝中，從而降低成本并提高產(chǎn)品合格率。
作為一例，在玻璃基板的加工過(guò)程中要將玻璃基板切割成符合平板顯示器規(guī)格的大小，并對(duì)因切割而變鋒利的玻璃基板邊緣(edge)進(jìn)行拋光。
在經(jīng)過(guò)這些加工過(guò)程時(shí)，玻璃基板邊緣上可能會(huì)發(fā)生各種缺陷，而這些缺陷會(huì)對(duì)平板顯示器品質(zhì)產(chǎn)生重大影響，因此需要檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷以防止判斷為發(fā)生缺陷的玻璃基板被投入到后續(xù)工藝中。
圖1為現(xiàn)有的一種玻璃基板邊緣檢查裝置的示意圖。
參照?qǐng)D1，現(xiàn)有的玻璃基板邊緣檢查裝置包含掃描模塊10，該掃描模塊10以移送方向?yàn)榛鶞?zhǔn)沿著玻璃基板S的前端邊緣FE、兩側(cè)邊緣SE和后端邊緣BE巡回進(jìn)行掃描。
所述掃描模塊10設(shè)置在玻璃基板S的移送路徑上，并對(duì)處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板S或由專門的工序區(qū)(zone)(例如，檢查區(qū)等)支撐的玻璃基板S沿其邊緣巡回而進(jìn)行掃描作業(yè)。
這種掃描模塊10包含攝像部件11和透過(guò)玻璃基板S向所述攝像部件11提供照明的照明部件12。掃描模塊10以線掃描(line scan)方式沿著玻璃基板S的各邊緣移動(dòng)，并將掃描的圖像(image)傳送給專門的控制部(未圖示)。
隨之，所述控制部收集掃描圖像，并根據(jù)已程序化的邏輯來(lái)判斷玻璃基板S邊緣是否存在缺陷。
但是，所述現(xiàn)有的玻璃基板邊緣檢查裝置由于是由單一掃描模塊通過(guò)巡回玻璃基板的所有邊緣來(lái)進(jìn)行掃描，因此掃描路徑變長(zhǎng)導(dǎo)致間歇時(shí)間(tacttime)增加。
尤其，隨著電子材料制造技術(shù)的進(jìn)步，玻璃基板的大小日益大型化，與之對(duì)應(yīng)處理這種大面積玻璃基板的各種處理裝置也日益大型化。因此，使用所述現(xiàn)有的玻璃基板邊緣檢查裝置檢查玻璃基板的缺陷所需的間歇時(shí)間進(jìn)一步增加。
圖2為現(xiàn)有的另一種玻璃基板邊緣檢查裝置的示意圖。
參照?qǐng)D2，現(xiàn)有的玻璃基板邊緣檢查裝置包含沿玻璃基板S的移送方向順序設(shè)置的第一掃描模塊20和第二掃描模塊30，所述第一掃描模塊20和第二掃描模塊30分別包含與上述掃描模塊10相同的攝像部件和照明部件。
所述第一掃描模塊20是在玻璃基板S被移送時(shí)以固定方式對(duì)玻璃基板S的兩側(cè)邊緣SE進(jìn)行線掃描的構(gòu)成部件。由所述第一掃描模塊20完成對(duì)玻璃基板S的掃描之后，玻璃基板S在移送路徑上旋轉(zhuǎn)90度繼續(xù)移送，并由所述第二掃描模塊30以固定方式對(duì)玻璃基板S的前端邊緣FE和后端邊緣BE進(jìn)行線掃描。
但是，所述現(xiàn)有的玻璃基板邊緣檢查裝置，由于還需設(shè)置多個(gè)掃描模塊和用于旋轉(zhuǎn)玻璃基板的裝置，因此導(dǎo)致裝置變復(fù)雜，而且會(huì)占用更多的設(shè)置空間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決如上所述的問(wèn)題而提出的，其目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單并能迅速、準(zhǔn)確地檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷的玻璃基板邊緣檢查裝置。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種在檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷時(shí)使掃描模塊的掃描路徑最小化的玻璃基板邊緣檢查方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置，包含移送部，以用于沿某一方向移送玻璃基板；設(shè)在玻璃基板一表面兩側(cè)與玻璃基板保持相當(dāng)于焦距的距離的固定式掃描模塊，以用于掃描處于移送狀態(tài)的玻璃基板的兩側(cè)邊緣；沿玻璃基板的在移送方向上的端部進(jìn)行直線往返移動(dòng)的移動(dòng)式掃描模塊，該移動(dòng)式掃描模塊在最初移動(dòng)時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板的前端邊緣進(jìn)行掃描，在返回時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板的后端邊緣進(jìn)行掃描；控制部，用于收集所述各掃描模塊所掃描的圖像并判斷玻璃基板邊緣是否存在缺陷。
并且，本發(fā)明所提供的玻璃基板邊緣檢查方法通過(guò)判斷對(duì)玻璃基板邊緣進(jìn)行線掃描而獲得的圖像來(lái)檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷，該方法包含步驟(a)移送玻璃基板使其前端邊緣與移動(dòng)式掃描模塊的移動(dòng)路徑相一致；(b)所述移動(dòng)式掃描模塊沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板前端邊緣移動(dòng)并進(jìn)行掃描；(c)完成對(duì)玻璃基板前端邊緣的掃描之后，移送玻璃基板使其后端邊緣與所述移動(dòng)式掃描模塊的移動(dòng)路徑相一致，同時(shí)通過(guò)固定式掃描模塊掃描移動(dòng)的玻璃基板兩側(cè)邊緣；(d)完成對(duì)玻璃基板兩側(cè)邊緣的掃描之后，所述移動(dòng)式掃描模塊沿玻璃基板后端邊緣返回并進(jìn)行掃描。


圖1為現(xiàn)有的一種玻璃基板邊緣檢查裝置的示意圖；圖2為現(xiàn)有的另一種玻璃基板邊緣檢查裝置的示意圖；圖3為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的示意圖；圖4為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的側(cè)面圖；圖5為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置構(gòu)成圖；圖6a至圖6d為用于說(shuō)明利用本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的邊緣檢查方法的工作狀態(tài)圖。
主要符號(hào)說(shuō)明100為移送部，110為支撐部件，200為固定式掃描模塊，201為攝像部件，202為照明部件，300為移動(dòng)式掃描模塊，301為攝像部件，302為照明部件，310為連接部件，320為移動(dòng)部件，330為旋轉(zhuǎn)部件，340為升降部件，400為控制部，500為卸載部。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。但是，以下實(shí)施例是為了使本領(lǐng)域具有公知常識(shí)的人員能夠充分理解本發(fā)明而提供的，可以將其變更為其他各種形態(tài)，即本發(fā)明的范圍并不限定于下面記載的實(shí)施例。附圖中的相同符號(hào)表示相同的構(gòu)成要素。
圖3為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的示意圖，圖4為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的側(cè)面圖。圖5為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置構(gòu)成圖。
參照?qǐng)D3至圖5，本發(fā)明所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的實(shí)施例包含移送部100，以用于沿某一方向移送玻璃基板S；設(shè)在玻璃基板S的一表面兩側(cè)與玻璃基板S保持相當(dāng)于焦距的距離的固定式掃描模塊200，以用于掃描處于移送狀態(tài)的玻璃基板S的兩側(cè)邊緣；沿玻璃基板S的在移送方向上的端部進(jìn)行直線往返移動(dòng)的移動(dòng)式掃描模塊300，該移動(dòng)式掃描模塊300在最初移動(dòng)時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板S的前端邊緣進(jìn)行掃描，而在返回時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板S的后端邊緣進(jìn)行掃描；控制部400，用于收集所述各掃描模塊所掃描的圖像，并判斷玻璃基板S邊緣是否存在缺陷。
本發(fā)明的實(shí)施例在玻璃基板S通過(guò)移送部100朝某一方向移動(dòng)的過(guò)程以及被置于卸載部500的過(guò)程中檢查邊緣是否存在缺陷。
即，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，無(wú)需將玻璃基板S投入到專門的檢查區(qū)等進(jìn)行是否存在缺陷的檢查過(guò)程之后再移出，而是在通常的玻璃基板S搬運(yùn)過(guò)程中即可檢查是否存在缺陷。
所述移送部100是利用支撐部件110上表面支撐玻璃基板S并沿某一方向水平移送玻璃基板S將其放置到卸載部500的構(gòu)成部件。
如此，玻璃基板S在被移送部100移送的過(guò)程中通過(guò)固定式掃描模塊200掃描兩側(cè)邊緣。
所述固定式掃描模塊200設(shè)在玻璃基板S的移送路徑上，并且設(shè)在玻璃基板S一表面兩側(cè)與玻璃基板S保持相當(dāng)于攝像部件201焦距的距離。
具體來(lái)講，固定式掃描模塊200包含設(shè)在玻璃基板S一面與玻璃基板S保持相當(dāng)于焦距的距離的攝像部件201和設(shè)在玻璃基板S另一面與玻璃基板S保持預(yù)定間距并與所述攝像部件201相對(duì)而設(shè)置的照明部件202。
作為一例，所述攝像部件201包含形成外部主體的鏡筒、設(shè)在所述鏡筒內(nèi)的透鏡、將通過(guò)所述透鏡入射的圖像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)而傳送到所述控制部400的CCD傳感器(charge coupled device，電荷耦合器件)。
作為一例，所述照明部件202可以使用熒光燈或水銀燈等，是當(dāng)所述攝像部件201掃描玻璃基板S邊緣時(shí)起照明光源作用的構(gòu)成部件。所述照明部件202位于連接攝像部件201的所述透鏡及所述CCD傳感器的直線上，使得透過(guò)玻璃基板S的光線入射到攝像部件201的所述透鏡。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，固定式掃描模塊200在玻璃基板S的移送過(guò)程中對(duì)玻璃基板S邊緣進(jìn)行掃描作業(yè)。
并且，玻璃基板S的移送速度可以根據(jù)固定式掃描模塊200的掃描速度進(jìn)行增減。
所述控制部400收集固定式掃描模塊200及移動(dòng)式掃描模塊300掃描玻璃基板S邊緣而獲得的掃描圖像，并根據(jù)已程序化的邏輯來(lái)判斷所獲得的掃描圖像而判斷玻璃基板S邊緣是否存在缺陷。
并且，控制部400還可以包含顯示所獲得的掃描圖像及判斷結(jié)果的輸出部410。
控制部400控制移送部100及移動(dòng)式掃描模塊300的驅(qū)動(dòng)，以順利進(jìn)行掃描作業(yè)。
即，控制部400控制將在后面描述的移動(dòng)式掃描模塊300的移動(dòng)部件320、旋轉(zhuǎn)部件330及升降部件340的驅(qū)動(dòng)，以通過(guò)移動(dòng)式掃描模塊300掃描玻璃基板S的前端邊緣及后端邊緣。
參照?qǐng)D4，所述移動(dòng)式掃描模塊300包含與所述固定式掃描模塊200相同的攝像部件301及照明部件302；連接所述攝像部件301和照明部件302的連接部件310；使所述連接部件310沿玻璃基板S的在移送方向上的端部邊緣進(jìn)行直線往返移動(dòng)的移動(dòng)部件320；與所述連接部件310結(jié)合的旋轉(zhuǎn)部件330，該旋轉(zhuǎn)部件330以直線連接所述攝像部件301和所述照明部件302的假想線X為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)所述連接部件310；設(shè)在所述移動(dòng)部件320與所述旋轉(zhuǎn)部件330之間使所述旋轉(zhuǎn)部件330沿所述假想線X進(jìn)行升降的升降部件340。
這種移動(dòng)式掃描模塊300不同于固定設(shè)置在玻璃基板S的移送路徑上對(duì)處于移送狀態(tài)的玻璃基板S進(jìn)行掃描的固定式掃描模塊200，是沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板S的在移送方向上的端部進(jìn)行直線往返移動(dòng)而進(jìn)行掃描的構(gòu)成部件。
所述連接部件310大致呈“ㄈ”形，在上部設(shè)置攝像部件301，在與其相對(duì)的下部設(shè)置照明部件302，為使所述攝像部件301和照明部件302與玻璃基板S表面保持預(yù)定間距，玻璃基板S的前端邊緣或后端邊緣由連接部件310的開口側(cè)進(jìn)入。
如此，移動(dòng)式掃描模塊300的攝像部件301和照明部件302通過(guò)連接部件310連接成一體，而連接部件310通過(guò)所述移動(dòng)部件320沿玻璃基板S前端邊緣和后端邊緣移動(dòng)，由此進(jìn)行掃描并將掃描的圖像傳送到所述控制部400。
所述移動(dòng)部件320包含與玻璃基板S移送方向垂直設(shè)置的導(dǎo)軌321和沿所述導(dǎo)軌321進(jìn)行直線往返移動(dòng)的滑塊322。
所述導(dǎo)軌321長(zhǎng)度最好大于玻璃基板S的寬度，以使移動(dòng)式掃描模塊300針對(duì)玻璃基板S的整個(gè)寬度移動(dòng)而進(jìn)行掃描。
所述滑塊322是根據(jù)驅(qū)動(dòng)源323的電源供應(yīng)及電流方向轉(zhuǎn)換由所述導(dǎo)軌321引導(dǎo)而進(jìn)行直線往返移動(dòng)的構(gòu)成部件。
所述旋轉(zhuǎn)部件330的旋轉(zhuǎn)軸332垂直結(jié)合于連接部件310上端部，并以直線連接攝像部件301和照明部件302的假想線X為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)連接部件310。
所述升降部件340包含與所述旋轉(zhuǎn)部件330的外殼331相結(jié)合而沿所述假想線X進(jìn)行升降的移動(dòng)體342和引導(dǎo)所述移動(dòng)體342升降并與所述移動(dòng)部件320的滑塊322相結(jié)合而進(jìn)行直線往返移動(dòng)的主體341。
如上所述，在移動(dòng)式掃描模塊300中，旋轉(zhuǎn)部件330結(jié)合到連接部件310上側(cè)，升降部件340結(jié)合到旋轉(zhuǎn)部件330的外殼331，移動(dòng)部件320結(jié)合到升降部件340的主體341，而且由于多個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置以最佳狀態(tài)有機(jī)地結(jié)合起來(lái)，因此簡(jiǎn)化了裝置結(jié)構(gòu)，同時(shí)能夠沿玻璃基板S前端邊緣和后端邊緣順利進(jìn)行掃描。
以下，說(shuō)明利用本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的邊緣檢查方法。
圖6a至圖6d為用于說(shuō)明利用本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例所提供的玻璃基板邊緣檢查裝置的邊緣檢查方法的工作狀態(tài)圖。
參照?qǐng)D6a，玻璃基板S在由移送部100移送到卸載部500的途中，當(dāng)其前端邊緣到達(dá)與移動(dòng)式掃描模塊300的移動(dòng)路徑相一致的位置時(shí)，停止移送。
此時(shí)，連接部件310應(yīng)保持其開口部位旋轉(zhuǎn)到玻璃基板S進(jìn)入方向的狀態(tài)，由此在玻璃基板S前端邊緣進(jìn)入開口部位的狀態(tài)下使玻璃基板S停止。
參照?qǐng)D6b，當(dāng)移動(dòng)部件320的滑塊322沿導(dǎo)軌321移動(dòng)時(shí)，移動(dòng)式掃描模塊300也一起移動(dòng)并掃描處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板S前端邊緣，此時(shí)攝像部件301所獲得的掃描圖像被傳送到控制部400。
此時(shí)，在完成對(duì)玻璃基板S前端邊緣的掃描之后，連接部件310最好停在玻璃基板S向前移動(dòng)時(shí)避免與玻璃基板S發(fā)生碰撞的位置。
參照?qǐng)D6c，玻璃基板S在由移送部100移送到卸載部500的途中，當(dāng)其后端邊緣到達(dá)與移動(dòng)式掃描模塊300的移動(dòng)路徑相一致的位置時(shí)，停止移送。
此時(shí)，固定設(shè)置在玻璃基板S的移送路徑上的固定式掃描模塊200掃描玻璃基板S兩側(cè)邊緣，此時(shí)攝像部件201所獲得的掃描圖像被傳送到控制部400。
參照?qǐng)D6d，當(dāng)移動(dòng)部件320的滑塊322沿導(dǎo)軌321返回時(shí)，移動(dòng)式掃描模塊300也一起返回并掃描處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板S后端邊緣，此時(shí)攝像部件301所獲得的掃描圖像傳送到控制部400。
此時(shí)，由于只有讓玻璃基板S的后端邊緣從連接部件310的開口側(cè)進(jìn)入才能避免碰撞，因此移動(dòng)式掃描模塊300在根據(jù)旋轉(zhuǎn)部件330的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)將連接部件310旋轉(zhuǎn)180度之后才沿著玻璃基板S的后端邊緣返回。
作為一例，當(dāng)玻璃基板S到達(dá)其后端邊緣與移動(dòng)式掃描模塊300的移動(dòng)路徑相一致的位置時(shí)，由從卸載部500向上突出的支持銷510支撐玻璃基板S，如圖4所示。
由此，玻璃基板S被支持銷510支撐，而移送部100的支撐部件110為了移送下一個(gè)玻璃基板S而撤回，接著支持銷510返回下方使得被支持銷510支撐的玻璃基板S被置于卸載部500平面上，因此其高度低于由移送部100移送時(shí)的高度。
在這種移送條件下，移動(dòng)式掃描模塊300只有根據(jù)升降部件340的驅(qū)動(dòng)使連接部件310下降的高度相當(dāng)于玻璃基板S的下降高度，才能無(wú)需改變焦點(diǎn)而正常掃描處于卸載狀態(tài)的玻璃基板S的后端邊緣。
即，移動(dòng)式掃描模塊300即使玻璃基板S被卸載到卸載部500而使得高度低于移送時(shí)高度，也能對(duì)應(yīng)焦距變化進(jìn)行掃描。
另外，移動(dòng)式掃描模塊300可以在攝像部件301上應(yīng)用可變焦調(diào)節(jié)的變焦透鏡(zoom lens)方式而省略升降部件340。
作為一例，移動(dòng)式掃描模塊300也可以在玻璃基板S到達(dá)后端邊緣與移動(dòng)式掃描模塊300移動(dòng)路徑相一致的位置但還未卸載到卸載部500時(shí)，例如在被支撐部件110支撐的狀態(tài)下對(duì)后端邊緣進(jìn)行掃描。即，支撐部件110可以折曲而形成連接部件310返回時(shí)通過(guò)的區(qū)間，以避免連接部件310返回時(shí)與其發(fā)生碰撞。
以上圖示并說(shuō)明了本發(fā)明的特定的優(yōu)選實(shí)施例，但本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明思想的范圍內(nèi)可以由本領(lǐng)域具有公知常識(shí)的人員進(jìn)行各種變形和修改。
綜上所述，本發(fā)明通過(guò)由單一的移動(dòng)式掃描模塊和一對(duì)固定式掃描模塊構(gòu)成的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的組合迅速、準(zhǔn)確地檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷，從而大幅提高檢查效率。
并且，由于本發(fā)明中用于使移動(dòng)式掃描模塊移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)及升降的各構(gòu)成部件相互有機(jī)的進(jìn)行連接而簡(jiǎn)化了裝置構(gòu)成，因此不僅經(jīng)濟(jì)，而且可以方便地適用于各種移送條件下的玻璃基板。
并且，本發(fā)明在玻璃基板的搬運(yùn)路徑上無(wú)需專門的結(jié)構(gòu)變形而設(shè)置模塊化的移動(dòng)式掃描模塊來(lái)檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷，因此非常經(jīng)濟(jì)。
并且，由于本發(fā)明中移動(dòng)式掃描模塊交替掃描玻璃基板前端邊緣和后端邊緣，因此不僅可以使掃描路徑最小，而且還使玻璃基板停止時(shí)間最短，所以大幅縮短了檢查所需的整個(gè)間歇時(shí)間。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板邊緣檢查裝置，包含移送部，以用于沿某一方向移送玻璃基板；設(shè)在玻璃基板一表面兩側(cè)與玻璃基板保持相當(dāng)于焦距的距離的固定式掃描模塊，以用于掃描處于移送狀態(tài)的玻璃基板的兩側(cè)邊緣；沿玻璃基板的在移送方向上的端部進(jìn)行直線往返移動(dòng)的移動(dòng)式掃描模塊，該移動(dòng)式掃描模塊在最初移動(dòng)時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板的前端邊緣進(jìn)行掃描，在返回時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板的后端邊緣進(jìn)行掃描；控制部，用于收集所述各掃描模塊所掃描的圖像并判斷玻璃基板邊緣是否存在缺陷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣檢查裝置，其特征在于所述移動(dòng)式掃描模塊包含連接部件，以用于連接設(shè)在玻璃基板一面與玻璃基板保持相當(dāng)于焦距的距離的攝像部件和設(shè)在玻璃基板另一面與玻璃基板保持預(yù)定間距并與所述攝像部件相對(duì)而設(shè)置的照明部件；移動(dòng)部件，用于使所述連接部件沿著玻璃基板的在移送方向上的端部邊緣進(jìn)行直線往返移動(dòng)；與所述連接部件結(jié)合的旋轉(zhuǎn)部件，該旋轉(zhuǎn)部件以直線連接所述攝像部件和所述照明部件的假想線為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)所述連接部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃基板邊緣檢查裝置，其特征在于所述移動(dòng)式掃描模塊還包含設(shè)在所述移動(dòng)部件與所述旋轉(zhuǎn)部件之間使所述旋轉(zhuǎn)部件沿所述假想線進(jìn)行升降的升降部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板邊緣檢查裝置，其特征在于所述升降部件包含與所述旋轉(zhuǎn)部件相結(jié)合而沿所述假想線進(jìn)行升降的移動(dòng)體及引導(dǎo)所述移動(dòng)體升降并與所述移動(dòng)部件相結(jié)合而沿著玻璃基板前后端邊緣進(jìn)行直線往返移動(dòng)的主體。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板邊緣檢查裝置，其特征在于所述移動(dòng)部件包含與玻璃基板移送方向垂直設(shè)置的導(dǎo)軌及與所述升降部件的主體相結(jié)合沿所述導(dǎo)軌進(jìn)行直線往返移動(dòng)的滑塊。
6.利用權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣檢查裝置的玻璃基板邊緣檢查方法，該方法通過(guò)判斷對(duì)玻璃基板邊緣進(jìn)行線掃描而獲得的圖像來(lái)檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷，包含步驟(a)移送玻璃基板使其前端邊緣與移動(dòng)式掃描模塊的移動(dòng)路徑相一致；(b)所述移動(dòng)式掃描模塊沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板前端邊緣移動(dòng)并進(jìn)行掃描；(c)完成對(duì)玻璃基板前端邊緣的掃描之后，移送玻璃基板使其后端邊緣與所述移動(dòng)式掃描模塊的移動(dòng)路徑相一致，同時(shí)通過(guò)固定式掃描模塊掃描移動(dòng)的玻璃基板兩側(cè)邊緣；(d)完成對(duì)玻璃基板兩側(cè)邊緣的掃描之后，所述移動(dòng)式掃描模塊沿玻璃基板后端邊緣返回并進(jìn)行掃描。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃基板邊緣檢查方法，其特征在于所述(d)步驟中，所述移動(dòng)式掃描模塊在旋轉(zhuǎn)180度之后再返回，以防止與玻璃基板后端邊緣發(fā)生碰撞。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的玻璃基板邊緣檢查方法，其特征在于所述(d)步驟中，所述移動(dòng)式掃描模塊在對(duì)應(yīng)所述玻璃基板卸載高度進(jìn)行升降之后再返回。
全文摘要
本發(fā)明涉及玻璃基板邊緣檢查裝置及利用該裝置的玻璃基板邊緣檢查方法。該玻璃基板邊緣檢查裝置包含移送部，以用于沿某一方向移送玻璃基板；設(shè)在玻璃基板一表面兩側(cè)與玻璃基板保持相當(dāng)于焦距的距離的固定式掃描模塊，以用于掃描處于移送狀態(tài)的玻璃基板的兩側(cè)邊緣；沿玻璃基板的在移送方向上的端部進(jìn)行直線往返移動(dòng)的移動(dòng)式掃描模塊，該移動(dòng)式掃描模塊在最初移動(dòng)時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板的前端邊緣進(jìn)行掃描，在返回時(shí)沿著處于停止?fàn)顟B(tài)的玻璃基板的后端邊緣進(jìn)行掃描；控制部，用于收集所述各掃描模塊所掃描的圖像并判斷玻璃基板邊緣是否存在缺陷。根據(jù)本發(fā)明可以迅速、準(zhǔn)確地檢查玻璃基板邊緣是否存在缺陷，從而大幅提高檢查效率。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101086444SQ20071010779
公開日2007年12月12日 申請(qǐng)日期2007年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月7日
發(fā)明者白云泳, 羅善福 申請(qǐng)人:K.C.科技股份有限公司