專利名稱：拉伸式折疊探針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及探針，更詳而言之是指一種拉伸式折疊探針。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工業(yè)中，當(dāng)制出一集成電路芯片但尚未進行封裝制程的 前，必須先經(jīng)過一檢測程序測試芯片的電路功能； 一般是利用一探針 卡設(shè)于測試機臺與待測芯片之間，探針卡則通過由各種型式的探針， 如垂直式、懸臂式、彈簧式探針…等作為與待測芯片間的接觸，以傳 送訊號于測試機臺與待測芯片。
但，以目前市場上絕大多數(shù)的探針而言，主要為單一懸臂梁結(jié)構(gòu)， 其優(yōu)點在于結(jié)構(gòu)單純，針尖可逼近至較小針距，且制造成本較低廉； 但因材質(zhì)強度與針距限制，為能提供足夠的彈性變形量與針重，往往 需具備一足夠的針長，而過長的針長將無法因應(yīng)布局越來越緊密的半 導(dǎo)體測試需求。
為避免上述的缺失，遂有業(yè)者研發(fā)一種多葉探針，如美國專利第 6672875號，如圖1所示，其具有一固定部1、多數(shù)的懸臂2及一針 尖3，而該等懸臂2是呈并列而以其一端連接于該固定部1一側(cè)，該 針尖3則連接至最上層的其一懸臂2鄰近自由端的頂面上；雖然此種 結(jié)構(gòu)可通過由降低各懸臂2的剛性進而降低最大應(yīng)力以提供較單一懸臂梁更高的整體彈性變形，但各懸臂2間易產(chǎn)生相互的摩擦而造成 損耗，使其可靠度較差，況且若欲提供足夠的針重則需增加懸臂2的
數(shù)量，使其復(fù)雜度更高；反之，在避免過多層懸臂數(shù)目并提供足夠的
懸臂剛性的考慮下，其懸臂針長將無法有效縮減，不能滿足高密度、
低針尖距的布針需求。簡而言之，美國專利第6672875號所揭露的多 葉探針無法同時兼顧降低結(jié)構(gòu)最大應(yīng)力以及提高布針密度的需要。
有鑒于此，此美國專利案第6672875號亦揭示有其它類型的多葉 壓縮探針可克服前述的多葉探針的缺點，如圖2所示，因此類多葉壓 縮探針的折疊彈性結(jié)構(gòu)其剛性等效于多組并聯(lián)的懸臂結(jié)構(gòu)，其整體剛 性相較于單一懸臂結(jié)構(gòu)降低，在此同時即可縮短該針長以提供足夠的 針體剛性；再此同時，經(jīng)由適當(dāng)?shù)脑O(shè)計，多折的結(jié)構(gòu)可將應(yīng)力均勻 分散在各水平梁件，即可同時兼顧降低最大應(yīng)力以及提高布針密度縮 短針長的需要。
然而此美國專利案第6672875號所揭示的多葉壓縮探針仍有以 下缺失-
1. 此類壓縮式彈性體設(shè)計受限于壓縮針寬高比的限制，當(dāng)壓縮式 彈性體的寬度與高度比過大時傳統(tǒng)彈簧設(shè)計參考限制為5，壓縮式彈 性體容易產(chǎn)生側(cè)向崩潰，造成結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性不佳的狀況。有鑒于此，面 對微小針距需求時，該多葉壓縮探針的針體寬度也必須隨的縮減，然 而因受限壓縮式彈性體寬高比設(shè)計原則，其針高較無法過高，即無法 有過多層的多葉結(jié)構(gòu)，加上各葉片4之間必須預(yù)留足夠的彈性壓縮變 形空間，將使進多葉結(jié)構(gòu)的數(shù)目更為受限，進而造成無法發(fā)揮降低最 大應(yīng)力的目的，使本設(shè)計效能受限。
2. 同時本前案強調(diào)所設(shè)計的針尖5與其固定部6位于同一垂直 軸上，其應(yīng)用主要針對垂直作動的測試探針?biāo)O(shè)計，然而卻無法滿足對于一些需要針尖具備小幅側(cè)向位移，通過此以該針尖畫出一針痕劃 破待測芯片表面氧化物以增進電性接觸的需求。
因此，本發(fā)明案將提出一拉伸式折疊探針，非但可兼顧降低最大 結(jié)構(gòu)應(yīng)力以及提高布針密度縮短針長的需求，同時也解決美國專利案
第6672875號所揭示的多葉壓縮探針的缺失。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種拉伸式折疊探針，是 可有效降低最大應(yīng)力以提供較大的彈性變形范圍。
本發(fā)明的另一目的乃在于提供一種拉伸式折疊探針，可有效縮減 針長的長度，以提高探針擺置密度。
本發(fā)明的另一 目的在于提供一種拉伸式折疊探針，是能有效對待 測物劃出針痕，改善測試質(zhì)量。
緣此，本發(fā)明提供一種拉伸式折疊探針，包含有一固定部、 一折 疊部及一針尖部；該折疊部，具有一自該固定部一側(cè)以水平方向延伸 一預(yù)定距離的第一水平段， 一自該第一水平段自由端垂直方向延伸一 預(yù)定距離的第一垂直段、 一自該第一垂直段自由端往固定部方向水平 延伸一預(yù)定距離的第二水平段、 一自該第二水平段自由端往固定部反 方向垂直延伸一預(yù)定距離的第二垂直段、及一自該第二垂直段自由端 往固定部反方向水平延伸一預(yù)定距離的第三水平段；該針尖部，是由 第三水平段的自由端往固定部方向垂直延伸一預(yù)定距離而成。
為能對本發(fā)明的特征與特點有更進一步的了解與認同，茲列舉以 下較佳實施例并配合圖式說明如下


ii圖1是現(xiàn)有一種探針的結(jié)構(gòu)示意圖2是現(xiàn)有另一種探針的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本發(fā)明一較佳實施例的結(jié)構(gòu)立體圖； 圖4是圖3所示較佳實施例的受力變形示意圖； 圖5至圖8是本發(fā)明一較佳實施例的制程示意圖； 圖9及圖IO是本發(fā)明另一較佳實施例的制程示意圖； 圖11至圖15是本發(fā)明再一較佳實施例的制程示意圖; 圖16及圖17是本發(fā)明其它的實施態(tài)樣。主要組件符號說明
「現(xiàn)有」
固定部1
葉片4 「本發(fā)明」
拉伸式折疊探針10
固定部11
針尖14
第一水平段121 第二水平段123 第三水平段125 絕緣凸塊18 介電層21
懸臂2 針尖5
針尖3 固定部6
折疊部12 衍梁15
第一垂直段122 第二垂直段124
待測物19 容槽211
針尖部13
連接槽212
基座22 第一犧牲層23 探針針體241
探針針體242 第二犧牲層25
基座31 犧牲層32 探針針體33
拉伸式折疊探針40基材42 針體金屬44 第一犧牲層41
第二犧牲層43電路基板49
具體實施例方式
請配合參閱圖3，是本發(fā)明一較佳實施例所提供一種拉伸式折疊 探針10，其包含有一體制成的一固定部11、 一折疊部12及一針尖部 13;該折疊部12具有一自該固定部11 一側(cè)水平方向延伸一預(yù)定距離 的第一水平段121， 一自該第一水平段自由端往垂直方向延伸一預(yù)定 距離的第一垂直段122、 一自該第一垂直段122自由端往固定部11 方向水平延伸一預(yù)定距離的第二水平段123、 一自該第二水平段123 自由端往固定部11反方向垂直延伸一預(yù)定距離的第二垂直段124、 及一自該第二垂直段124自由端往固定部反方水平延伸一預(yù)定距離 的第三水平段125，該針尖部13是由該第三水平段125的自由端往 固定部方向垂直延伸一預(yù)定距離而成；該針尖部13上延伸有一衍梁 15，并于該衍梁上設(shè)有一針尖14;該針尖部13與該固定部11是位 于不同軸在線。
由于針尖受壓所畫出的針痕長度和針尖14與該固定部ll之間的 距離有關(guān)，如同杠桿放大效應(yīng)，其距離越長則針尖14所畫出的針痕 長度越長，因此可經(jīng)由有限單元法仿真設(shè)計針尖14與該固定部11之 伺的適當(dāng)尺寸進而調(diào)整合適的針痕長度，以使測試效果更佳。當(dāng)固定部11固定于一基座(圖中未示)上，而由該針尖部13加 以抵觸于一待測物19上時，則可由該折疊部12提供較佳而適當(dāng)?shù)膹?性變形如圖4所示，且該折疊部12并可有效地將應(yīng)力分散至各水平 段121、 123、 125上，若維持相同的布針密度與同樣材料強度限制下，相較于其它非折疊式針體設(shè)計，折疊式針體可提供更大的彈性變形 量；或者，在相同的針重規(guī)格要求與使用相同針體材質(zhì)時，相較于其 它非折疊式針體設(shè)計，折疊式針體可將折疊部12的各水平段長度加 以縮減，而更適用于數(shù)組式的擺置。
與其它已揭露的壓縮式折疊針體最大不同點在于，本發(fā)明為拉伸 式彈性體結(jié)構(gòu)，可避免壓縮式彈性體寬高比過大時所造成結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性 不佳，容易側(cè)向崩潰的問題，更適用于微小針間距測試。
此外，實際運用本發(fā)明的拉伸式折疊探針10時，可于該針尖部 13上設(shè)置至少一絕緣凸塊18，以防止受到不正常外在干擾時，相鄰
的拉伸式折疊探針10有相互碰觸而短路的情形發(fā)生如圖16、圖17 所示；經(jīng)由有限單元法仿真結(jié)果證明，由于針尖部13所承受的應(yīng)力 較低，因此絕緣凸塊18的增置不會影響針體彈性變形表現(xiàn)或造成破 壞性的應(yīng)力集中等問題；此種絕緣凸塊18可于制程中與針體整體的 制作，相較涂布絕緣薄膜方式更容易實施，且不會因薄膜應(yīng)力影響針 體剛性，也更具耐磨性。
當(dāng)然該針尖亦可直接形成于該針尖部上。
請參閱圖5至圖8，是一種本發(fā)明拉伸式折疊探針的制造方法， 其包含有下列步驟
步驟a:如圖5所示，將一由高分子材質(zhì)所制成的介電層21布 設(shè)于一基座22的一表面上，且該介電層21并以微影制程形成出一容 槽211及若干的連接槽212;該容槽211與該連接槽212亦可以由激 光加工、熱壓成形、機械加工等其它加工方式實現(xiàn)。
步驟b:如圖6所示，于該容槽211中布設(shè)一第一犧牲層23，于 該連接槽212中布設(shè)部分的探針針體241;該第一犧牲層23可以現(xiàn) 有的半導(dǎo)體制程沉積犧牲材質(zhì)、電鑄、化學(xué)鍍、或填塞犧牲材質(zhì)成形;該探針針體241可以電鑄、化學(xué)鍍、填入導(dǎo)電材質(zhì)、濺鍍、蒸鍍等方 式成形。
步驟c:如圖7所示，連續(xù)地于預(yù)定位置定義出一第二犧牲層25、 及連續(xù)地于各第二犧牲層25中布設(shè)其余的探針針體242;該第二犧 牲層25可以微影制程、激光加工、熱壓成形、機械加工等加工方式 實現(xiàn)；該探針針體242可以電鑄、化學(xué)鍍、填塞導(dǎo)電材質(zhì)、濺鍍、 蒸鍍等方式成形；若有需要于制作各第二犧牲層25并布設(shè)部分的探 針針體242之后，可平坦化各第二犧牲層25與該探針針體242使兩 者其齊平，以便于后續(xù)堆疊制程控制或尺寸控制。
步驟d:如圖8所示，去除該第二犧牲層25及該第一犧牲層23; 即得本發(fā)明的拉伸式折疊探針與該基座22及該介電層21的結(jié)合體。
上述的該基座22的內(nèi)部或表面具備電路布線或接點，且與該拉 伸式折疊探針連接，且該基座更可進一步與另一探針卡組件組裝連 接。
上述的該介電層21的表面亦可以現(xiàn)有的半導(dǎo)體制程或印刷等方 式形成一導(dǎo)電層，該導(dǎo)電層與該該拉伸式折疊探針連接，并同時以一 連接線與該基座或另一外部組件電性連接。
如圖7所示，該拉伸式折疊探針部分探針針體241被該介電層 21包覆，對于低針距應(yīng)用而言可增進拉伸式折疊探針與基座之間的 接合性，對于反復(fù)作動的探針結(jié)構(gòu)而言，可避免針體與該基座22之 間的接點疲勞斷裂，以提升產(chǎn)品的可靠度。
請參閱圖9及圖10，是另一種本發(fā)明拉伸式折疊探針的制造方 法，其如圖9所示，直接于一基座31上連續(xù)定義出具有探針圖型的 多層犧牲層32，并于每層犧牲層32中布設(shè)部分的探針針體33，最后 再去除該犧牲層32，即得本發(fā)明拉伸式折疊探針與基座的結(jié)構(gòu)如圖IO所示。該犧牲層32可以微影制程、激光加工、熱壓成形、機械加
工等加工方式實現(xiàn)；該探針針體33可以電鑄、化學(xué)鍍、填入導(dǎo)電材 質(zhì)、濺鍍、蒸鍍等方式成形；若有需要于制作該犧牲層32并布設(shè)部 分的探針針體33之后，可平坦化該犧牲層32與該探針針體33使兩 者其齊平，以便于后續(xù)堆疊制程控制或針體尺寸控制。
如圖IO所示，該拉伸式折疊探針沒有如圖12所示使部分針體鑲 嵌于介電層中，制程相對簡單，但是探針與基座之間的接點需要具備 較強的結(jié)合力或接點面積不可過小，以避免接點疲勞斷裂。
請參閱圖11至圖15，是另一種本發(fā)明拉伸式折探針的制造方法， 其步驟包含有
步驟a:如圖11所示，取一表面鋪設(shè)有第一犧牲層41的基材42 上，于該第一犧牲層41上以一第二犧牲層43定義出具備拉伸式折疊 探針的一針體輪廓；該第一犧牲層41可以現(xiàn)有的半導(dǎo)體制程沉積制 程、涂布、印刷、電鍍、化鍍等方式制作一至多層薄膜結(jié)構(gòu)達成；該 第二犧牲層43可以微影制程、激光加工、熱壓成形、機械加工等加 工方式實現(xiàn)。
步驟b:如圖12所示，于該第二犧牲層43的該針體輪廓中以布 設(shè)一針體金屬44，該針體金屬44可以現(xiàn)有的半導(dǎo)體制程沉積導(dǎo)電材 質(zhì)、電鑄、化學(xué)鍍、填塞導(dǎo)電材質(zhì)、濺鍍、蒸鍍等方式形成。
上述該第二犧牲層43與該針體金屬44可重復(fù)堆疊直到達到目標(biāo) 尺寸，若有需要可于制作該第二犧牲層43并布設(shè)該針體金屬44之后， 平坦化該第二犧牲層43與該針體金屬44使兩者其齊平，以便于堆疊 制程控制或針體尺寸控制。
步驟c:如圖13及圖14所示，去除第二犧牲層43與第一犧牲 層41，即得本發(fā)明拉伸式折疊探針40。如圖15所示，該拉伸式折疊探針40可與一電路基板49連接， 連接方式可以現(xiàn)有的封裝接合達成，如焊接、覆晶接合、低溫工晶接 合、導(dǎo)電膠接合等；亦可以機構(gòu)插件方式將拉伸式折疊探針40與該 電路基板49組裝接合。
本發(fā)明的所有實施例的針體可由一種以上的導(dǎo)電材料組成，可依 需求，如針尖材質(zhì)可能需選擇耐磨性佳、低沾黏性的導(dǎo)電材質(zhì)；針 體結(jié)構(gòu)必須選用高降服強度(yield strength)的導(dǎo)電材質(zhì)或?qū)щ姀?fù) 合材質(zhì)。
另外，為降低該拉伸式折疊探針高度，可縮減或舍去該拉伸式折 疊探針的支柱部位，并在基座上對應(yīng)該拉伸式折疊探針下方的位置設(shè) 置一容槽，該容槽除以介電材料制作成形外如第一實施例描述，更可 在制作基版時即預(yù)先預(yù)留或直接在基版表面加工挖槽；該拉伸式折疊 探針可以直接在具備容槽的基板上以本案實施例所揭露的探針制作 方法直接整體的制作，或者將該拉伸式折疊探針以接合方式與該具備 容槽的基板組裝。
權(quán)利要求
1.一種拉伸式折疊探針，其特征在于包含有一固定部；一折疊部，具有一自該固定部一側(cè)以水平方向延伸一預(yù)定距離的第一水平段，一自該第一水平段自由端垂直方向延伸一預(yù)定距離的第一垂直段，一自該第一垂直段自由端往固定部方向水平延伸一預(yù)定距離的第二水平段，一自該第二水平段自由端往固定部反方向垂直延伸一預(yù)定距離的第二垂直段、及一自該第二垂直段自由端往固定部反方水平延伸一預(yù)定距離的第三水平段；一針尖部，是由第三水平段的自由端往固定部方向垂直延伸一預(yù)定距離而成；且該固定部與該針尖部位于不同軸在線。
2. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該水 平段與該垂直段可依需求重復(fù)增加數(shù)段，最末端的該水平段的自由端 再與該針尖部連接。
3. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的拉伸式折疊探針，其特征在于還包 含有一絕緣凸塊，是設(shè)置于該針尖部上。
4. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該針 尖部延伸一衍梁，該衍梁上設(shè)有一針尖。
5. 依據(jù)權(quán)利要求4所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該針 尖與該固定部兩者之間的距離可經(jīng)由設(shè)計不同衍梁長度加以調(diào)整，以 使該針尖得以產(chǎn)生適當(dāng)?shù)尼樅坶L度。
6. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該針 尖部上設(shè)有一針尖。
7. 依據(jù)權(quán)利要求6所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該針尖與該固定部兩者之間的距離可經(jīng)由設(shè)計調(diào)整，以使該針尖得以產(chǎn)生 適當(dāng)?shù)尼樅坶L度。
8. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的拉伸式折疊探針，其特征在于是直 接于一基座上整體批次制作。
9. 依據(jù)權(quán)利要求1所述的拉伸式折疊探針，其特征在于是與 一基座接合組裝。
10. 依據(jù)權(quán)利要求l所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該固 定部是與一基座連接，該基座表面具備一容槽作為該拉伸式折疊探針 的彈性變形空間。
11. 依據(jù)權(quán)利要求10所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該 容槽是以現(xiàn)有的半導(dǎo)體制程或直接于基座上加工成形所制作。
12. 依據(jù)權(quán)利要求l所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該固 定部與一基座連接，該基座具備多數(shù)電路，且至少部分電路與該固定 部連接。
13. 依據(jù)權(quán)利要求l所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該固 定部與一基座連接，該基座表面具備一介電層，該介電層部分包覆該 固定部。
14. 依據(jù)權(quán)利要求l所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該固 定部與一基座連接，且該基座的表面具備一插槽，以供該固定部插入 組裝使用。
15. —種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于包含有以下 步驟步驟a:備一基版；步驟b:于該基版上鋪設(shè)一第一犧牲層；步驟C:于該第一犧牲層上連續(xù)定義出具有一拉伸式折疊探針輪廓的一第二犧牲層；步驟d:于該拉伸式折疊探針輪廓內(nèi)布設(shè)一針體金屬層； 反復(fù)實施上述步驟b d —至數(shù)次直到達成目標(biāo)尺寸； 步驟e:去除該第一、二犧牲層即得該拉伸式折疊探針；該拉伸 式折疊探針，包含有一固定部、 一折疊部及一針尖部，該折疊部具有 自該固定部一側(cè)延伸而呈連續(xù)性反向彎折相接的若干水平段及垂直 段；該針尖部是由最末段的水平段自由端往固定部方向垂直延伸一預(yù) 定距離而成。
16. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其 特征在于在步驟d后加入平坦化該第二犧牲層與針體金屬層的步驟 使兩者齊平。
17. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其 特征在于該第一犧牲層為至少一層的薄膜結(jié)構(gòu)。
18. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該第一犧牲層是由半導(dǎo)體制程沉積導(dǎo)電薄膜制成。
19. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該第一犧牲層是由涂布、化學(xué)鍍、電鍍等其一方式制作。
20. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該第二犧牲層及該拉伸式折疊探針輪廓是以微影制程定 義。
21. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該拉伸式折疊探針輪廓是由激光加工、機械加工、模具熱 壓加其中之一的方式成形。
22. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于其中步驟d中的該針體金屬層是以半導(dǎo)體制程、電鍍、化學(xué)鍍等其中之的一方式制成。
23. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于其中步驟d中的該針體金屬層是以于該拉伸式折疊探針輪廓中填塞導(dǎo)電材料完成。
24. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于其中該針體金屬層是以一種以上的導(dǎo)電材質(zhì)取代。
25. 依據(jù)權(quán)利要求15所述一種拉伸式折疊探針的制造方法，其 特征在于其中該拉伸式折疊探針進一步與一基座接合。
26. —種直接在基座上制作的拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于包含有以下步驟 步驟a:制備一基座；步驟b:于該基座表面定義一第一犧牲層，使該第一犧牲層具備 部分拉伸式折疊探針的一針體輪廓；步驟C:于該針體輪廓內(nèi)布設(shè)一針體金屬層；重復(fù)施作上述步驟b c以多層該針體金屬層構(gòu)成一拉伸式折疊 探針；步驟d:去除所有犧牲層以釋放該拉伸式折疊探針；該拉伸式折 疊探針，包含有一固定部、 一折疊部及一針尖部，該折疊部具有自該 固定部一側(cè)延伸而呈連續(xù)性反向彎折相接的若干水平段及垂直段；該 針尖部是由最末段的水平段自由端往固定部方向垂直延伸一預(yù)定距 離而成。
27. 依據(jù)權(quán)利要求26所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征 在于該基座具備電路。
28. 依據(jù)權(quán)利要求26所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征 在于該第一犧牲層是以微影制程制作。
29. 依據(jù)權(quán)利要求26所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該針體輪廓是以模具熱壓成形、激光加工、機械加工其中之一 的方式制作。
30. 依據(jù)權(quán)利要求26所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該針體金屬層是以半導(dǎo)體技術(shù)沉積導(dǎo)電物質(zhì)、電鑄成形、化學(xué)鍍成形的其中之一的方式加以制作。
31. 依據(jù)權(quán)利要求26所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于各該針體金屬層是以一種以上的導(dǎo)電材質(zhì)取代。
32. 依據(jù)權(quán)利要求26所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征 在于該基座的制作方法包含步驟a:備一基版，該基版表面具備電路接點；步驟b:布設(shè)一介電層，該介電層具備一容槽及一連接槽；步驟C:于該容槽內(nèi)布置一犧牲層；步驟d:于該連接槽內(nèi)布置一金屬層；反復(fù)施作步驟b d—至數(shù)次直到該介電層達到目標(biāo)尺寸。
33. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于其中步驟C與步驟d順序可顛倒。
34. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于在步驟d后加入平坦化該介電層、犧牲層與金屬層的步驟使三者齊平。
35. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于在介電層表面鋪設(shè)一導(dǎo)電層。
36. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該介電層的該容槽與該連接槽是以微影制程、模具熱壓成形、激光加工、機械加工的其中之一的方式制作。
37. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該犧牲層是以半導(dǎo)體技術(shù)沉積犧牲材料、填塞犧牲材料、電鍍 成形、化學(xué)鍍成形的其中之一的方式制作。
38. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該金屬層以其它導(dǎo)電材料取代。
39. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該金屬層以半導(dǎo)體技術(shù)沉積導(dǎo)電材料、填塞導(dǎo)電材料、電鑄、化學(xué)鍍的其中之一的方式制作。
40. 依據(jù)權(quán)利要求32所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于進一步于該介電層表面設(shè)置一導(dǎo)電層。
41. 依據(jù)權(quán)利要求40所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該導(dǎo)電層接合一連接線與該基板表面的電路連接。
42. 依據(jù)權(quán)利要求40所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征 在于該導(dǎo)電層接合一連接線與另一外部電路連接。
43. 依據(jù)權(quán)利要求40所述拉伸式折疊探針的制造方法，其特征在于該導(dǎo)電層與該針體金屬層連接。
44. 一種拉伸式折疊探針，其特征在于包含有 一固定部；一折疊部，具有自該固定部一側(cè)延伸而呈連續(xù)性反向彎折相接的若干水平段及垂直段；一針尖部，是由最末段的水平段自由端往固定部方向垂直延伸一 預(yù)定距離而成；且該固定部與該針尖部位于不同的軸在線。
45. 依據(jù)權(quán)利要求44所述的拉伸式折疊探針，其特征在于自該針尖部延伸一衍梁，該衍梁上包含有一針尖。
46. 依據(jù)權(quán)利要求44所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該針尖部上包含有一針尖。
47. 依據(jù)權(quán)利要求44所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該固定部與一基座的電路連接。
48. 依據(jù)權(quán)利要求44所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該固定部與一基座連接，該基座表面具備一容槽。
49. 依據(jù)權(quán)利要求44所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該 固定部與一基座連接，該基座表面具備一介電層，該介電層局部包覆 該固定部。
50. 依據(jù)權(quán)利要求44所述的拉伸式折疊探針，其特征在于該 固定部與一基座連接，且該基座的表面具備一插槽，以供該固定部插 入組裝使用。
全文摘要
本發(fā)明一種拉伸式折疊探針，包含有一固定部、一折疊部及一針尖部；該折疊部，具有自該固定部一側(cè)延伸而呈連續(xù)性反向彎折相接的若干水平段及垂直段；該針尖部，是由該折疊部最末段的水平段自由端往固定部方向垂直延伸一預(yù)定距離而成，且該針尖部與該固定部位于不同的軸在線；當(dāng)針尖部接觸待測物時帶動使折疊部拉伸，以提供一拉伸彈性力使針尖與待測物保持電性接觸；該各水平段可分散應(yīng)力以增加彈性變形量；同時拉伸式折疊探針將提供較佳的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，以因應(yīng)微小針尖距的高密度布針需求。
文檔編號G01R1/067GK101315391SQ200710103089
公開日2008年12月3日 申請日期2007年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月28日
發(fā)明者陳志忠 申請人:旺矽科技股份有限公司