組裝式探針卡的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明是一種組裝式探針卡，該探針卡包括一基板、多個懸臂、多支探針及多個壓蓋板，其中該基板呈片狀；各該懸臂的后端可拆卸地被組裝至該基板上，以使所述懸臂能被組裝至該基板的一側(cè)，各該懸臂的前端分別開設(shè)有一針槽；各該探針的后端可拆卸地被安裝至各該針槽中，其前端則朝向遠(yuǎn)離該基板的一側(cè)彎曲；各該壓蓋板可拆卸地被安裝至鄰近各該懸臂前端的位置，且能覆蓋位于該針槽中的該探針，以使各該探針能被穩(wěn)固地定位于各該針槽中。如此，由于該探針卡的各該組成元件間皆可拆卸地相互連接，故，當(dāng)部分元件損壞時，能便利地更換該探針卡的個別元件，有效節(jié)省人力及時間等成本。
【專利說明】組裝式探針卡
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是一種組裝式探針卡，尤指一種具有可拆卸的懸臂，且懸臂上安裝有可拆卸的探針，而能夠便利地進(jìn)行元件更換及維修的一種探針卡。
【背景技術(shù)】
[0002]一般半導(dǎo)體晶圓上，晶片供以電性連接的電路接點(diǎn)往往依照晶片內(nèi)的電路元件特性而有多種不同的設(shè)置分布，故執(zhí)行晶圓級測試工程時，晶圓上不同位置所設(shè)置的電路元件即有不同的測試條件需求；因此測試用探針卡亦需有對應(yīng)的電路布設(shè)以及對應(yīng)的探針分布結(jié)構(gòu)，以將不同電路元件所需的測試訊號藉由特定電性傳輸線路傳送至電路元件以進(jìn)行測試。實(shí)際應(yīng)用上，探針卡供應(yīng)商除了將探針卡電路板的電路走線專門布設(shè)為與晶片電路特定對應(yīng)的專板結(jié)構(gòu)，普遍更預(yù)先制作公板結(jié)構(gòu)的電路板；亦即電路板平面上由外至內(nèi)設(shè)置有多個焊點(diǎn)，依徑向分布而區(qū)分有測試區(qū)、轉(zhuǎn)接區(qū)及探針區(qū)的焊點(diǎn)，且探針區(qū)的焊點(diǎn)直接縱向?qū)ㄅc電路板下方所設(shè)置的探針電性連接，測試區(qū)與轉(zhuǎn)接區(qū)的焊點(diǎn)之間為簡單的徑向走線設(shè)計，用以將測試區(qū)上供測試機(jī)臺點(diǎn)觸的焊點(diǎn)導(dǎo)通至轉(zhuǎn)接區(qū)以作其他電性連接用；然后再依晶圓廠所提供晶片電路布設(shè)，于轉(zhuǎn)接區(qū)與探針區(qū)的焊點(diǎn)之間另行配置導(dǎo)線結(jié)構(gòu)，利用導(dǎo)線以跳線方式使轉(zhuǎn)接區(qū)的焊點(diǎn)導(dǎo)通至探針區(qū)與探針電性連接。
[0003]請參閱圖1所示,是常用的一探針卡I,該探針卡I包括一電路板10及一探針組11，其中電路板10上布設(shè)有電子電路，且其上設(shè)有多個焊點(diǎn)101，所述焊點(diǎn)101能與電子電路電性導(dǎo)通；該探針組11包括多支探針111及一固定座112，所述探針111與電路板10的組裝方式，是將所有探針111的身部粘著于該固定座112上，以形成該探針組11，再將各該探針111的針尾焊接于該電路板10上的各該焊點(diǎn)101。因此，一旦將所述探針111的身部粘著于該固定座112后，若有需要供不同電路間距的晶片測試用，或者探針卡I使用過后需對各該探針111維修時，必須將所有探針111的針尾與其各自電性連接的焊點(diǎn)101進(jìn)行回焊的工程，才得以將該探針111及該固定座112 —同自該電路板10上移除，以進(jìn)行后續(xù)的維修或更換。此種回焊的維修方式不但耗費(fèi)工時，且容易因回焊過程的作業(yè)疏失反而造成所述探針111的損毀，徒增維修工程的負(fù)擔(dān)，且會造成探針卡I制作成本上不必要的支出。
[0004]由以上說明可知，由于公知探針卡I無法自由拆裝調(diào)整，以至于在維修或更換上，造成人力及時間成本極大的負(fù)擔(dān)，且很可能不慎使探針卡I受損，非常不理想。因此，如何設(shè)計出一種便于拆裝調(diào)整的探針卡，即成為相關(guān)業(yè)者亟思解決的一重要問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于公知探針卡因無法自由拆裝調(diào)整而衍生的諸多問題，發(fā)明人乃根據(jù)其長年服務(wù)于相關(guān)產(chǎn)業(yè)的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)，加之以不斷研究、測試及調(diào)整改良后，終于開發(fā)設(shè)計出一種組裝式探針卡，期能藉由本發(fā)明，以舉改善公知探針卡的諸多問題，并提升探針卡在使用上的便利性。
[0006]本發(fā)明的一目的，是提供一種組裝式探針卡，該探針卡包括一基板、多個懸臂、多支探針及多個壓蓋板，其中該基板呈片狀，且其中央開設(shè)有一貫穿孔；各該懸臂的后端能拆卸地組裝至該基板的底側(cè)，以使所述懸臂能分別組裝至該基板的底側(cè)，各該懸臂的前端朝向?qū)?yīng)于該貫穿孔的方向延伸，且分別開設(shè)有一針槽；各該探針的后端能拆卸地安裝至各該針槽中，各該探針的前端則朝向?qū)?yīng)于該貫穿孔的方向延伸，且朝向遠(yuǎn)離該基板的一側(cè)彎曲；各該壓蓋板能拆卸地安裝至鄰近各該懸臂前端的位置，且能覆蓋位于該針槽中的該探針，以使各該探針能穩(wěn)固地定位于各該針槽中。由于該探針卡的各該組成元件間皆是能拆卸地相互連接，故，當(dāng)部分元件損壞時，能便利地更換該探針卡的個別元件，有效節(jié)省人力及時間等成本。
[0007]為便貴審查委員能對本發(fā)明的技術(shù)、結(jié)構(gòu)特征及其目的有更進(jìn)一步的認(rèn)識與理解，現(xiàn)舉實(shí)施例配合圖式，詳細(xì)說明如下:
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]以下附圖僅旨在于對本發(fā)明做示意性說明和解釋，并不限定本發(fā)明的范圍。其中，
[0009]圖1是公知探針卡的示意圖；
[0010]圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例的探針卡立體示意圖；及
[0011]圖3是本發(fā)明較佳實(shí)施例的探針卡剖面示意圖。
[0012]主要元件標(biāo)號說明:
[0013]2探針卡
[0014]20基板
[0015]201貫穿孔
[0016]21懸臂
[0017]211第一座體
[0018]212第二座體
[0019]22探針
[0020]23壓蓋板
[0021]24組裝件
[0022]241組裝部
[0023]242頂靠部
[0024]25左右調(diào)整件
[0025]26前后調(diào)整件
[0026]251、261 本體
[0027]252、262 調(diào)整桿
[0028]27高度調(diào)整件
[0029]T針槽
[0030]A組裝孔
[0031]B左右調(diào)整孔
[0032]C前后調(diào) 整孔
[0033]X左右調(diào)整件容置槽
[0034]Y前后調(diào)整件容置槽[0035]Z高低調(diào)整件容置槽【具體實(shí)施方式】
[0036]為了對本發(fā)明的技術(shù)特征、目的和效果有更加清楚的理解，現(xiàn)對照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】。
[0037]本發(fā)明是一種組裝式探針卡，請參閱圖2所示，在本發(fā)明的一較佳實(shí)施例中，該探針卡2包括一基板20、多個懸臂21、多支探針22及多個壓蓋板23。其中，該基板20呈片狀，且其中央開設(shè)有一貫穿孔201 ;各該懸臂21的后端可拆卸地被組裝至該基板20的底側(cè)，以使所述懸臂21能被組裝至該基板20的底側(cè)。請參閱圖2及圖3所示，在此一較佳實(shí)施例中，該探針卡2還包括一組裝件24，且該懸臂21上開設(shè)有一組裝孔A，該組裝件24能穿過該組裝孔A而被固定至該基板20，進(jìn)而使該懸臂21與該基板20被相互組裝為一體。更進(jìn)一步言，在本實(shí)施例中，該組裝件24包括一組裝部241及一頂靠部242，該組裝部241穿過該組裝孔A而被固定至該基板20，且當(dāng)該組裝部241被組裝并固定至該基板20上時，該頂靠部242能抵靠至該懸臂21的一側(cè)，以使該懸臂21的另一側(cè)能抵靠至該基板20的底側(cè)。此外，在此一較佳實(shí)施例中，該組裝孔A的孔徑大于該組裝部241的直徑，且小于該頂靠部242的直徑，以在該懸臂21被該組裝件24組裝至該基板20時，使該懸臂21能相對該基板20移動(該組裝部241定位于該組裝孔A內(nèi)的不同位置)。在此特別一提，前述實(shí)施例僅是該懸臂21與該基板20相互組裝的一種方式，但是，本發(fā)明并不以此為限，該懸臂21與該基板20亦可通過其他方式相互組裝成一體，合先陳明。
[0038]承前所述，各該懸臂21的前端是朝向?qū)?yīng)于該貫穿孔201的方向延伸，且分別開設(shè)有一針槽T，以使各該探針22的后端能夠可拆卸地被安裝至各該針槽T中。各該探針22的前端則朝向?qū)?yīng)于該貫穿孔201的方向延伸，且朝向遠(yuǎn)離該基板20的一側(cè)彎曲，進(jìn)而能用于執(zhí)行晶元檢測。各該壓蓋板23可拆卸地被安裝至鄰近各該懸臂21前端的位置，且能覆蓋位于該針槽T中的該探針22，以使各該探針22能被穩(wěn)固地定位于各該針槽T中。在本實(shí)施例中，該懸臂21由一第一座體`211及一第二座體212相互組裝結(jié)合而成，該第一座體211位于該懸臂21的后端，該第二座體212則位于該懸臂21的前端。該組裝孔A開設(shè)于該第一座體211，該針槽T則開設(shè)于該第二座體212的前端，此外，該壓蓋板23同樣地能組裝至該第二座體212上，但是，該懸臂21的結(jié)構(gòu)并不以此為限，業(yè)者在生產(chǎn)該探針卡2時，亦可將該懸臂21設(shè)計成一體成形的結(jié)構(gòu)，合先敘明。
[0039]由以上說明可知，由于該探針卡2的各該組成元件間皆是可拆卸地相互連接，故，當(dāng)部份元件損壞(如:各該探針22)時，能便利地更換該探針卡2的個別元件，有效節(jié)省人力及時間等成本，且能避免在操作的過程中，不慎毀損該探針卡2。
[0040]復(fù)請參閱圖2及圖3所示，在此一較佳實(shí)施例中，各該懸臂21還開設(shè)有一左右調(diào)整孔B及一前后調(diào)整孔C，該基板20則開設(shè)有一左右調(diào)整件容置槽X、一前后調(diào)整件容置槽Y及一高低調(diào)整件容置槽Z。其中，該左右調(diào)整孔B沿該懸臂21的縱向開設(shè)于該懸臂21上，而該左右調(diào)整件容置槽X則開設(shè)在該基板20上對應(yīng)于該左右調(diào)整孔B的位置，且該左右調(diào)整件容置槽X的直徑大于該左右調(diào)整孔B的寬度。該左右調(diào)整件容置槽X能供一左右調(diào)整件25容置于其中。該左右調(diào)整件25包括一本體251及一調(diào)整桿252，該本體251能于該左右調(diào)整件容置槽X中旋轉(zhuǎn)；該調(diào)整桿252沿該本體251的軸向延伸而成，且位于偏離該本體251的軸心的位置，當(dāng)該本體251被容置于該左右調(diào)整件容置槽X中時，該調(diào)整桿252能伸入至該左右調(diào)整孔B中，且當(dāng)該本體251于該左右調(diào)整件容置槽X中旋轉(zhuǎn)時，該調(diào)整桿252會推抵該懸臂21上對應(yīng)于該左右調(diào)整孔B的內(nèi)壁，以在該本體251被轉(zhuǎn)動至不同角度時，能將該懸臂21朝左右推動至不同的角度。再者，該前后調(diào)整孔C沿該懸臂21的橫向開設(shè)于該懸臂21上，該前后調(diào)整件容置槽Y開設(shè)在該基板20上對應(yīng)于該前后調(diào)整孔C的位置，該前后調(diào)整件容置槽Y的直徑大于該前后調(diào)整孔C的寬度，在本實(shí)施例中，該探針卡2還包括一前后調(diào)整件26,該前后調(diào)整件26同樣地包括一本體261及一調(diào)整桿262,其在該前后調(diào)整孔C及該前后調(diào)整件容置槽Y中的具體作動方式大致與該左右調(diào)整件25同，在此不再贅述。此外，在本實(shí)施例中，該探針卡2還包括一高低調(diào)整件27，該高低調(diào)整件容置槽Z對應(yīng)于該懸臂21上較該組裝孔A鄰近前端的位置，該高低調(diào)整件27容置于該高低調(diào)整件容置槽Z中，且能沿該高低調(diào)整件容置槽Z的軸向移動，以使該高低調(diào)整件27的一端能推抵該懸臂21的該另一側(cè)(即，抵靠于該基板20底側(cè)的一側(cè))，進(jìn)而使該懸臂21的前端及該探針22能被調(diào)整為不同高度。在通過前述各該左右調(diào)整件25、前后調(diào)整件26或高低調(diào)整件27調(diào)整該探針22的角度時，操作者可由該貫穿孔201檢視該探針的角度及位置。
[0041]綜上所述，通過前述的結(jié)構(gòu)設(shè)計，使用者僅需調(diào)整該左右調(diào)整件25、前后調(diào)整件26及高低調(diào)整件27，便能輕易地調(diào)整該探針22的角度，大大地提升了該探針卡2在使用上的便利性。
[0042]按，以上所述，僅為本發(fā)明的若干較佳實(shí)施例，但是，本發(fā)明的技術(shù)特征并不局限于此，凡相關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的人士，在參酌本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容后所能輕易思及的等效變化，均應(yīng)不脫離本發(fā)明的保護(hù)范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種組裝式探針卡，其特征在于，所述組裝式探針卡包括: 一基板，呈片狀，且其中央開設(shè)有一貫穿孔； 多個懸臂，各所述懸臂的后端能拆卸地組裝至所述基板的底側(cè)，以使所述懸臂能分別組裝至所述基板的底側(cè)，各所述懸臂的前端朝向?qū)?yīng)于所述貫穿孔的方向延伸，且分別開設(shè)有一針槽； 多支探針，各所述探針的后端能拆卸地安裝至各所述針槽中，各所述探針的前端則朝向?qū)?yīng)于所述貫穿孔的方向延伸，且朝向遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)彎曲；及 多個壓蓋板，能拆卸地安裝至鄰近各所述懸臂前端的位置，且能覆蓋位于所述針槽中的所述探針，以使各所述探針能穩(wěn)固地定位于各所述針槽中。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡還包括: 一組裝件，所述組裝件包括一組裝部及一頂靠部，當(dāng)所述組裝部組裝并固定至所述基板的底側(cè)上時，所述頂靠部能抵靠至所述懸臂的一側(cè)，以使所述懸臂的另一側(cè)能抵靠至所述基板的底側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的探針卡，其特征在于，所述懸臂還開設(shè)有一組裝孔，所述組裝件的所述組裝部穿過所述組裝孔而固定至所述基板的底側(cè)，所述組裝孔的孔徑大于所述組裝部的直徑，且小于所 述頂靠部的直徑，以在所述懸臂被所述組裝件組裝至所述基板的底側(cè)時，所述懸臂能相對所述基板移動。
4.如權(quán)利要求3所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡還包括: 一左右調(diào)整孔，沿所述懸臂的縱向開設(shè)于所述懸臂上； 一左右調(diào)整件容置槽，開設(shè)在所述基板上對應(yīng)于所述左右調(diào)整孔的位置，所述左右調(diào)整件容置槽的直徑大于所述左右調(diào)整孔的寬度；及 一左右調(diào)整件，包括一本體及一調(diào)整桿，所述本體能容置于所述左右調(diào)整件容置槽中，且能于所述左右調(diào)整件容置槽中旋轉(zhuǎn)，所述調(diào)整桿沿所述本體的軸向延伸而成，且位于偏離所述本體的軸心的位置，當(dāng)所述本體容置于所述左右調(diào)整件容置槽中時，所述調(diào)整桿能伸入至所述左右調(diào)整孔中，且當(dāng)所述本體于所述左右調(diào)整件容置槽中旋轉(zhuǎn)時，所述調(diào)整桿會推抵所述懸臂上對應(yīng)于所述左右調(diào)整孔的內(nèi)壁，以在所述本體轉(zhuǎn)動至不同角度時，所述調(diào)整桿能將所述懸臂朝左右推動至不同的角度。
5.如權(quán)利要求3所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡還包括: 一前后調(diào)整孔，沿所述懸臂的橫向開設(shè)于所述懸臂上； 一前后調(diào)整件容置槽，開設(shè)在所述基板上對應(yīng)于所述前后調(diào)整孔的位置，所述前后調(diào)整件容置槽的直徑大于所述前后調(diào)整孔的寬度；及 一前后調(diào)整件，包括一本體及一調(diào)整桿，所述本體能容置于所述前后調(diào)整件容置槽中，且能于所述前后調(diào)整件容置槽中旋轉(zhuǎn)，所述調(diào)整桿沿所述本體的軸向延伸而成，且位于偏離所述本體的軸心的位置，當(dāng)所述本體容置于所述前后調(diào)整件容置槽中時，所述調(diào)整桿能伸入至所述前后調(diào)整孔中，且當(dāng)所述本體于所述前后調(diào)整件容置槽中旋轉(zhuǎn)時，所述調(diào)整桿會推抵所述懸臂上對應(yīng)于所述前后調(diào)整孔的內(nèi)壁，以在所述本體轉(zhuǎn)動至不同角度時，所述調(diào)整桿能將所述懸臂朝前后推動至不同的角度。
6.如權(quán)利要求3所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡還包括: 一高低調(diào)整件容置槽，開設(shè)在所述基板上，且對應(yīng)于所述懸臂上較所述組裝孔鄰近前端的位置?’及 一高低調(diào)整件，容置于所述高低調(diào)整件容置槽中，且能沿所述高低調(diào)整件容置槽的軸向移動，以使其一端能推抵所述懸臂的所述另一側(cè)，進(jìn)而使所述懸臂的前端及所述探針能被調(diào)整為不同高度。
7.如權(quán)利要求3、4、5或6所述的探針卡，其特征在于，所述懸臂還包括: 一第一座體，位于所述懸臂的后端，且所述組裝孔開設(shè)于所述第一座體；及一第二座體，位于所述懸臂的前端，且能與所述第一座體相互組裝成一體，所述針槽開設(shè)于所述第二座體的前端，且所述壓蓋板能組裝至所述第二座體。
【文檔編號】G01R1/073GK103777045SQ201410051772
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年2月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月30日
【發(fā)明者】陳正泰, 李志宏, 陳志偉 申請人:豪勉科技股份有限公司