專利名稱：三軸壓阻微加速度計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微機(jī)械電子技術(shù)，具體是一種三軸壓阻微加速度計。
背景技術(shù)：
微機(jī)械加速度計作為一種慣性器件在自控、車輛、振動測試和航空航天等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。目前已開發(fā)出了壓阻式、壓電式、電容式、隧道式等多種類型的硅微加速度計。其中壓阻式加速度計具有尺寸小、靈敏度高、無遲滯、動態(tài)響應(yīng)特性及輸出性好、頻率范圍寬、測量加速度范圍寬、直接輸出電壓信號、不需要復(fù)雜的接口電路、批量生產(chǎn)成本低、與硅集成電路平面工藝兼容性好、測量精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，因而得到了廣泛應(yīng)用。
壓阻式加速度計包含框架和通過彈性梁支懸于框架中間的質(zhì)量塊，彈性梁上應(yīng)力最大且線性變化的區(qū)域設(shè)置(擴(kuò)散)有壓敏電阻，框架下底面通過靜電鍵合技術(shù)鍵合有對加速度計過載保護(hù)和自檢測的玻璃底蓋，壓敏電阻連接成測量電橋，在慣性力作用下質(zhì)量塊上下運動，彈性梁上壓敏電阻的阻值隨應(yīng)力的作用發(fā)生變化，引起測量電橋輸出電壓的變化，以此實現(xiàn)對加速度的測量。
但是，通常大多數(shù)單個加速度計只能檢測一個或兩個軸向的加速度，不能實現(xiàn)對三個軸向的加速度檢測；為了能檢測三個軸向的加速度，傳統(tǒng)的做法是將三個單軸的加速度計組裝在一起構(gòu)成三軸加速度計，以實現(xiàn)對三個軸向加速度的檢測。但是該做法組裝成的三軸加速度計的機(jī)械精度和微小化程度都有所降低，結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜、體積和質(zhì)量相對較大，制作工藝復(fù)雜。另外，現(xiàn)有壓阻式加速度計無法在一些較高溫度的場合使用由于在現(xiàn)有壓阻式加速度計中，采用傳統(tǒng)體硅工藝制作，一般采用P型硅擴(kuò)散壓敏電阻和N型硅基襯底，其兩者之間形成自然的PN結(jié)隔離，當(dāng)工作溫度超過120℃后，壓敏電阻與襯底間的PN結(jié)漏電流加劇，最終會導(dǎo)致加速度計的特性嚴(yán)重惡化以至失效。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決現(xiàn)有組裝成的三軸壓阻加速度計制作工藝復(fù)雜、結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜、體積和質(zhì)量相對較大，以及現(xiàn)有壓阻加速度計不易在高溫場合使用的問題，提供一種三軸壓阻微加速度計。
本發(fā)明是采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)的三軸壓阻微加速度計，包括支撐框體、彈性梁、通過彈性梁支懸于支撐框體中間的質(zhì)量塊，質(zhì)量塊四邊分別通過兩根平行彈性梁與支撐框體固定，支撐框體下底面通過靜電鍵合技術(shù)鍵合有玻璃底蓋，彈性梁與質(zhì)量塊、支撐框體的固定端部設(shè)置有阻值相等的應(yīng)變壓敏電阻，支撐框體上還設(shè)置有六個阻值相等的基準(zhǔn)壓敏電阻，基準(zhǔn)壓敏電阻的阻值為應(yīng)變壓敏電阻阻值的兩倍，壓敏電阻連接構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋，其中，六個基準(zhǔn)壓敏電阻分別作為三個惠斯通電橋的單邊基準(zhǔn)橋臂(由于六個基準(zhǔn)壓敏電阻的阻值相等，因此可以考慮布線需要任選)，應(yīng)變壓敏電阻每兩個串聯(lián)作為惠斯通電橋的單邊應(yīng)變橋臂；所述構(gòu)成惠斯通電橋應(yīng)變橋臂的應(yīng)變壓敏電阻的選定方法為(1)、利用有限元分析軟件ANSYS分析，三個軸向分別加載相同g值的慣性力，應(yīng)力分析得到每個應(yīng)變壓敏電阻的橫向應(yīng)力分量σt和縱向應(yīng)力分量σl，根據(jù)公式ΔR/R=12π44(σl-σt),]]>得到每個應(yīng)變壓敏電阻在不同方向慣性力作用下的變化量ΔR/R，其中π44為剪切向壓阻系數(shù)；
(2)、根據(jù)步驟1得到的各應(yīng)變壓敏電阻變化量ΔR/R的正負(fù)變化情況，將各慣性力加載方向(即X、Y、Z方向)得到的變化量ΔR/R按正負(fù)分列；(3)、根據(jù)上述變化量ΔR/R的正負(fù)和大小，以如下原則將應(yīng)變壓敏電阻分組當(dāng)在某一軸向加載慣性力時，其該軸向的惠斯通電橋的兩個應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、且方向相反，同時另兩個軸向的惠斯通電橋的兩應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、但方向同為正或同為負(fù)的；最終根據(jù)步驟(3)對應(yīng)變壓敏電阻的分組組合，構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋。
其中，以每兩個應(yīng)變壓敏電阻串聯(lián)作為惠斯通電橋的單邊應(yīng)變橋臂，是為了在構(gòu)成惠斯通電橋的兩相鄰應(yīng)變橋臂時，相鄰兩應(yīng)變橋臂的變化量盡可能地相近(畢竟由于工藝問題，無法完全相等)，使惠斯通電橋的輸出精確；如只以單個應(yīng)變壓敏電阻作為惠斯通電橋的單邊應(yīng)變橋臂，相鄰兩應(yīng)變橋臂的變化量的相近程度無法達(dá)到最佳，必然會影響到惠斯通電橋的輸出，進(jìn)而影響加速度計本身的輸出精確度。
所述支撐框體、彈性梁、以及通過彈性梁支懸于支撐框體中間的質(zhì)量塊是由SOI材料經(jīng)現(xiàn)有腐蝕、刻蝕工藝加工制成；設(shè)置于彈性梁和質(zhì)量塊、支撐框體的固定端部的應(yīng)變壓敏電阻以及支撐框體上的基準(zhǔn)壓敏電阻由SOI材料的上層硅經(jīng)離子注入、硼擴(kuò)散制成。所述SOI為中間設(shè)有埋層介質(zhì)SiO2的體硅，為現(xiàn)有公知材料。SOI材料的中間埋層介質(zhì)-SiO2使應(yīng)變壓敏電阻與襯底隔離開，應(yīng)變壓敏電阻與襯底之間不存在PN結(jié)，自然避免了溫度和漏電流的影響。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用SOI材料代替普通體硅制作加速度計，解決了溫度和漏電流對加速度計的影響；由彈性梁上的應(yīng)變壓敏電阻和支撐框體上的基準(zhǔn)壓敏電阻構(gòu)成三個軸向的惠斯通電橋，當(dāng)某一方向受到慣性力作用時，該方向的電橋輸出電壓信號，同時抑制其余兩個方向電橋的輸出以減小橫向效應(yīng)，使加速度計能分別檢測三個軸向的加速度，實現(xiàn)了單個加速度計測量三個軸向的加速度的目的。
本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理，體積微小，易于加工，可應(yīng)用于一些高溫場合，可測得三個軸向的加速度。


圖1為本發(fā)明對彈性梁上壓敏電阻阻值變化情況分析時的壓敏電阻分布設(shè)置圖；圖2為本發(fā)明的一具體平面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為按圖2設(shè)置應(yīng)變壓敏電阻時測量X軸向加速度的惠斯通電橋電路；圖4為按圖2設(shè)置應(yīng)變壓敏電阻時測量Y軸向加速度的惠斯通電橋電路；圖5為按圖2設(shè)置應(yīng)變壓敏電阻時測量Z軸向加速度的惠斯通電橋電路；圖中1-支撐框體；2-彈性梁；3-質(zhì)量塊；4-應(yīng)變壓敏電阻；5-基準(zhǔn)壓敏電阻。
具體實施方法三軸壓阻微加速度計，包括支撐框體(1)、彈性梁(2)、通過彈性梁(2)支懸于支撐框體(1)中間的質(zhì)量塊(3)，質(zhì)量塊(3)四邊分別通過兩根平行彈性梁(2)與支撐框體(1)固定，支撐框體(1)下底面通過靜電鍵合技術(shù)鍵合有玻璃底蓋，彈性梁(2)與質(zhì)量塊(3)、支撐框體(1)的固定端部(即應(yīng)力最大且線性變化的區(qū)域)設(shè)置有阻值相等的應(yīng)變壓敏電阻(4)R1-R16，支撐框體(1)上還設(shè)置有六個阻值相等的基準(zhǔn)壓敏電阻R17-R22，基準(zhǔn)壓敏電阻R17-R22的阻值為應(yīng)變壓敏電阻阻值R1-R16的兩倍，壓敏電阻R1-R22連接構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋，其中，六個基準(zhǔn)壓敏電阻(5)分別作為三個惠斯通電橋的單邊基準(zhǔn)橋臂，應(yīng)變壓敏電阻(4)每兩個串聯(lián)作為惠斯通電橋的單邊應(yīng)變橋臂；所述構(gòu)成惠斯通電橋應(yīng)變橋臂的應(yīng)變壓敏電阻的選定方法為1、利用有限元分析軟件ANSYS分析，三個軸向分別加載相同g值的慣性力(例如10g)，應(yīng)力分析得到每個應(yīng)變壓敏電阻的橫向應(yīng)力分量σt和縱向應(yīng)力分量σl，根據(jù)公式ΔR/R=12π44(σl-σt),]]>得到每個應(yīng)變壓敏電阻在不同方向慣性力作用下的變化量ΔR/R，其中π44為剪切向壓阻系數(shù)；為了便于分析彈性梁上應(yīng)變壓敏電阻的變化情況，將八個彈性梁的兩端皆設(shè)置應(yīng)變壓敏電阻，并利用有限元分析軟件ANSYS分析得變化量ΔR/R數(shù)值表如下所示表1

2、根據(jù)步驟1得到的各應(yīng)變壓敏電阻變化量ΔR/R的正負(fù)變化情況，將各慣性力加載方向(即X、Y、Z方向)得到的變化量ΔR/R按正負(fù)分列；X向+R1 R4 R6 R7 R10 R11 R14 R15-R2 R3 R5 R8 R9 R12 R13 R16Y向+R1 R4 R5 R8 R10 R11 R13 R16-R2 R3 R6 R7 R9 R12 R14 R15Z向+R1 R4 R5 R8 R9 R12 R14 R15-R2 R3 R6 R7 R10 R11 R13 R163、根據(jù)上述變化量ΔR/R的正負(fù)和大小，以如下原則將應(yīng)變壓敏電阻分組當(dāng)在某一軸向加載慣性力時，其該軸向的惠斯通電橋的兩個應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、且方向相反，同時另兩個軸向的惠斯通電橋的兩應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、但方向同為正或同為負(fù)的；即假設(shè)加載X向慣性力，X向的惠斯通電橋的兩個應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、且方向相反，同時Y向和Z向的惠斯通電橋的兩應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、但方向同為正或同為負(fù)的；如何確定各軸向的惠斯通電橋的應(yīng)變橋臂的應(yīng)變電阻呢？最為普通的方法首先，確定X向的惠斯通電橋，根據(jù)步驟(1)和(2)中X向加載慣性力時的變化量ΔR/R正負(fù)分列和數(shù)值大小，從阻值增加的應(yīng)變電阻R1、R4、R6、R7、R10、R11、R14、R15中選取兩項，從阻值減小的應(yīng)變電阻R2、R3、R5、R8、R9、R12、R13、R16中選取兩項，選取時，阻值增加的兩項的總變化量與阻值減小的兩項的總變化量相近或相等，(其相近程度決定了該加速度計的測量精度)，例如ΔR1/R1(4.00821933)+ΔR4/R4(2.39223670)與ΔR5/R5(-2.38721183)+ΔR8/R8(-4.00629843)，即確定應(yīng)變電阻R1、R4為一應(yīng)變橋臂，應(yīng)變電阻R5、R8為另一應(yīng)變橋臂(該組合僅是一種可能)；然后，從余下的應(yīng)變電阻中，從阻值增加的應(yīng)變電阻R6、R7、R10、R11、R14、R15中選取四項，或者從阻值減小的應(yīng)變電阻R2、R3、R9、R12、R13、R16中選取四項，并分組使其中兩項的阻值總變化量與另兩項的阻值總變化量相近或相等，例如ΔR6/R6(2.37609018)+ΔR7/R7(3.88215102)與ΔR10/R10(3.87949205)+ΔR11/R11(2.38235883)；同理，再從余下的阻值減小的應(yīng)變電阻R2、R3、R9、R12、R13、R16中選取四項，并分組使其中兩項的阻值總變化量與另兩項的阻值總變化量相近或相等，例如ΔR2/R2(-3.88854308)+ΔR3/R3(-2.38061668)與ΔR9/R9(-4.00706817)+ΔR12/R12(-2.38985009)；即得到一種組合XR1 R4 R8 R5YR7 R6 R11 R10ZR3 R2 R12 R9然后，將步驟(1)中Y向加載慣性力時的變化量ΔR/R數(shù)值大小及其正負(fù)帶入上述組合，得X向ΔR1/R1(2.38893293)+ΔR4/R4(4.01170669)、ΔR5/R5(4.00858497)+ΔR8/R8(2.38404748)；Y向
ΔR6/R6(-3.87483172)+ΔR7/R7(-2.37891564)、ΔR10/R10(2.37846868)+ΔR11/R11(3.88915686)；Z向ΔR2/R2(-2.38131442)+ΔR3/R3(-3.88588410)、ΔR9/R9(-2.38706946)+ΔR12/R12(-4.01022003)；即加載Y向慣性力時，Y向的惠斯通電橋的兩個應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、且方向相反，同時X向和Z向的惠斯通電橋的兩應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、但方向同為正或同為負(fù)的；繼續(xù)判斷該組合是否滿足當(dāng)Z向加載慣性力時，各向惠斯通電橋應(yīng)變橋臂的變化要求，將步驟(1)中Z向加載慣性力時的變化量ΔR/R數(shù)值大小及其正負(fù)帶入上述組合，得X向ΔR1/R1(18.96265020)+ΔR4/R4(18.98400747)、ΔR5/R5(18.95597098)+ΔR8/R8(18.93689235)；Y向ΔR6/R6(-18.91370032)+ΔR7/R7(-18.94060023)、ΔR10/R10(-18.93017368)+ΔR11/R11(-18.96332645)；Z向ΔR2/R2(-18.95366822)+ΔR3/R3(-18.94330304)、ΔR9/R9(18.94579980)+ΔR12/R12(18.97192482)；即加載Z向慣性力時，Z向的惠斯通電橋的兩個應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、且方向相反，同時X向和Y向的惠斯通電橋的兩應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、但方向同為正或同為負(fù)的；經(jīng)上述方法所得的該組合符合步驟(3)的分組原則。
按照以上方法，至少有下列8組組合(即構(gòu)成三個惠斯通電橋的的12個應(yīng)變壓敏電阻的排列方式可按照如下組合中應(yīng)變壓敏電阻在彈性梁2上的設(shè)置位置設(shè)置)組合1 組合2 組合3XR15 R9 R14 R12R1 R8 R4 R5 R13 R11 R16 R10YR7 R11 R6 R10R7 R11 R6 R10 R8 R9 R5 R12ZR8 R13 R5 R16R9 R2 R12 R3 R15 R7 R6 R14組合4 組合5 組合6R2 R7 R3 R6R9 R15 R14 R12 R1 R8 R4 R5R8 R9 R5 R12 R2 R13 R3 R16 R2 R3 R13 R16R1 R11 R4 R10 R1 R11 R4 R10 R6 R7 R14 R15組合7 組合8R13 R11 R16 R10 R2 R7 R3 R6R15 R1 R4 R14 R1 R15 R4 R14R2 R3 R9 R12 R8 R13 R5 R16最終根據(jù)步驟3對應(yīng)變壓敏電阻的分組組合，構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋?？筛鶕?jù)具體實施時的布線要求選擇構(gòu)成惠斯通電橋的應(yīng)變壓敏電阻的組合。
具體實施時，三個惠斯通電橋只需12個應(yīng)變壓敏電阻，從節(jié)省工藝步驟的角度考慮(即省略了4個壓敏電阻的設(shè)置步驟)，X向和Y向的彈性梁2上分別設(shè)六個應(yīng)變壓敏電阻，具體設(shè)置時一般皆對稱設(shè)置，能滿足步驟3所述的分組要求。如附圖2所示為其一種具體的設(shè)置方式，并根據(jù)該分布方式和表1中的實測數(shù)據(jù)，可以采用組合2和組合4組合2 組合4R1 R8 R4 R5 R2 R7 R3 R6R7 R11 R6 R10 R8 R9 R5 R12R9 R2 R12 R3 R1 R11 R4 R10以組合2和加載Z向慣性力為例，應(yīng)變壓敏電阻在彈性梁上的分布與其構(gòu)成的惠斯通電橋如圖3-5所示；Z向的惠斯通電橋，兩應(yīng)變橋臂分別由R2、R3串聯(lián)構(gòu)成和R9、R12串聯(lián)構(gòu)成，R2和R3的總變化量大小與R9和R12的總變化量大小相等或相近，且R2和R3的總變化量為負(fù)，R9和R12的總變化量為正。設(shè)輸入電壓為Ui，則Z向電橋的輸出為Uoz=(R12+ΔR12+R9+ΔR9R2+ΔR2+R3+ΔR3+R12+ΔR12+R9+ΔR9-R17R17+R18)Ui]]>X向的惠斯通電橋，兩應(yīng)變橋臂分別由R1、R4串聯(lián)構(gòu)成和R5、R8串聯(lián)構(gòu)成，R1和R4的總變化量大小與R5和R8的總變化量大小相等或相近，且R1和R4的總變化量與R5和R8的總變化量都為正，理想輸出應(yīng)為零，即橫向效應(yīng)為零。設(shè)輸入電壓為Ui，則X向輸出為Uox=(R5+ΔR5+R8+ΔR8R1+ΔR1+R4+ΔR4+R5+ΔR5+R8+ΔR8-R19R19+R20)Ui]]>同理，Y向的惠斯通電橋，兩應(yīng)變橋臂分別由R6、R7串聯(lián)構(gòu)成和R10、R11串聯(lián)構(gòu)成，R6和R7的總變化量大小與R10和R11的總變化量大小相等或相近，且R6和R7的總變化量與R10和R11的總變化量都為負(fù)，理想輸出應(yīng)為零，即橫向效應(yīng)為零。設(shè)輸入電壓為Ui，則Y向輸出為Uoy=(R10+ΔR10+R11+ΔR11R6+ΔR6+R7+ΔR7+R10+ΔR10+R11+ΔR11-R21R21+R22)Ui]]>當(dāng)受到X向和Y向的慣性力作用時，該受力方向的惠斯通電橋的輸出較大，而其余兩個方向的電橋輸出較小近似于零，即橫向效應(yīng)為零。
所述支撐框體1、彈性梁2、以及通過彈性梁2支懸于支撐框體1中間的質(zhì)量塊是由SOI材料經(jīng)現(xiàn)有腐蝕、刻蝕工藝加工制成；設(shè)置于彈性梁2和質(zhì)量塊、支撐框體1的固定端部的應(yīng)變壓敏電阻4以及支撐框體1上的基準(zhǔn)壓敏電阻5由SOI材料的上層硅經(jīng)離子注入、硼擴(kuò)散制成。
權(quán)利要求
1.一種三軸壓阻微加速度計，包括支撐框體(1)、彈性梁(2)、通過彈性梁(2)支懸于支撐框體(1)中間的質(zhì)量塊(3)，質(zhì)量塊(3)四邊分別通過兩根平行彈性梁(2)與支撐框體(1)固定，支撐框體(1)下底面通過靜電鍵合技術(shù)鍵合有玻璃底蓋，彈性梁(2)與質(zhì)量塊(3)、支撐框體(1)的固定端部設(shè)置有阻值相等的應(yīng)變壓敏電阻(4)，其特征在于支撐框體(1)上還設(shè)置有六個阻值相等的基準(zhǔn)壓敏電阻，基準(zhǔn)壓敏電阻的阻值為應(yīng)變壓敏電阻阻值的兩倍，壓敏電阻連接構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋，其中，六個基準(zhǔn)壓敏電阻(5)分別作為三個惠斯通電橋的單邊基準(zhǔn)橋臂，應(yīng)變壓敏電阻(4)每兩個串聯(lián)作為惠斯通電橋的單邊應(yīng)變橋臂；所述構(gòu)成惠斯通電橋應(yīng)變橋臂的應(yīng)變壓敏電阻的選定方法為(1)、利用有限元分析軟件ANSYS分析，三個軸向分別加載相同g值的慣性力，應(yīng)力分析得到每個應(yīng)變壓敏電阻的橫向應(yīng)力分量σt和縱向應(yīng)力分量σt，根據(jù)公式ΔR/R=12π44(σl-σt),]]>得到每個應(yīng)變壓敏電阻在不同方向慣性力作用下的變化量ΔR/R，其中π44為剪切向壓阻系數(shù)；(2)、根據(jù)步驟(1)得到的各應(yīng)變壓敏電阻變化量ΔR/R的正負(fù)變化情況，將各慣性力加載方向得到的變化量ΔR/R按正負(fù)分列；(3)、根據(jù)上述變化量ΔR/R的正負(fù)和大小，以如下原則將應(yīng)變壓敏電阻分組當(dāng)在某一軸向加載慣性力時，其該軸向的惠斯通電橋的兩個應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、且方向相反，同時另兩個軸向的惠斯通電橋的兩應(yīng)變橋臂的變化量大小相近或相等、但方向同為正或同為負(fù)的；最終根據(jù)步驟(3)對應(yīng)變壓敏電阻的分組組合，構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三軸壓阻微加速度計，其特征在于所述支撐框體(1)、彈性梁(2)、以及通過彈性梁(2)支懸于支撐框體(1)中間的質(zhì)量塊是由SOI材料經(jīng)現(xiàn)有腐蝕、刻蝕工藝加工制成；設(shè)置于彈性梁(2)和質(zhì)量塊、支撐框體(1)的固定端部的應(yīng)變壓敏電阻(4)以及支撐框體(1)上的基準(zhǔn)壓敏電阻(5)由SOI材料的上層硅經(jīng)離子注入、硼擴(kuò)散制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述三軸壓阻微加速度計，其特征在于X向和Y向的彈性梁(2)上分別設(shè)六個應(yīng)變壓敏電阻。
全文摘要
本發(fā)明涉及微機(jī)械電子技術(shù)，具體是一種三軸壓阻微加速度計。解決了現(xiàn)有三軸壓阻加速度計制作工藝、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積和質(zhì)量較大、不易在高溫場合使用的問題，包括支撐框體、彈性梁、通過彈性梁支懸于支撐框體中間的質(zhì)量塊，質(zhì)量塊四邊分別通過兩根平行彈性梁與支撐框體固定，支撐框體下底面通過靜電鍵合技術(shù)鍵合有玻璃底蓋，彈性梁與質(zhì)量塊、支撐框體的固定端部設(shè)置有阻值相等的應(yīng)變壓敏電阻，支撐框體上還設(shè)置有六個阻值相等的基準(zhǔn)壓敏電阻，壓敏電阻連接構(gòu)成三個分測三軸方向加速度的惠斯通電橋，結(jié)構(gòu)合理，體積微小，易于加工，可應(yīng)用于一些高溫場合，可測得三個軸向的加速度。
文檔編號G01P15/12GK101042411SQ200710061738
公開日2007年9月26日 申請日期2007年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月19日
發(fā)明者張文棟, 石云波, 劉俊, 崔永俊, 楊玉華, 孟美玉 申請人:中北大學(xué)