技術(shù)編號：6126852
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)械電子技術(shù)，具體是一種三軸壓阻微加速度計。背景技術(shù) 微機(jī)械加速度計作為一種慣性器件在自控、車輛、振動測試和航空航天等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。目前已開發(fā)出了壓阻式、壓電式、電容式、隧道式等多種類型的硅微加速度計。其中壓阻式加速度計具有尺寸小、靈敏度高、無遲滯、動態(tài)響應(yīng)特性及輸出性好、頻率范圍寬、測量加速度范圍寬、直接輸出電壓信號、不需要復(fù)雜的接口電路、批量生產(chǎn)成本低、與硅集成電路平面工藝兼容性好、測量精度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，因而得到了廣泛應(yīng)用。壓阻...
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