專利名稱：電子元件自動移載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在托盤與檢查裝置之間移動電子元件的電子元件自動移載裝置。
背景技術(shù)：
作為以往的電子元件自動移載裝置，例如有專利文獻(xiàn)1(日本專利公開公報特開平11-333775號圖3)和專利文獻(xiàn)2(日本專利公開公報特開平2003-262658號圖1)所示的電子元件自動移載裝置。該專利文獻(xiàn)1所示的電子元件自動移載裝置上，電子元件檢查裝置所處的檢查區(qū)域被設(shè)置在基座的一側(cè)部。該檢查領(lǐng)域上，設(shè)置有從上方裝填電子元件的檢查用插座和連接于該檢查用插座的上述電子元件檢查裝置。
上述電子元件，在收容于托盤上的狀態(tài)下供給到基座上并由多個電子元件移動裝置裝填于上述檢查用插座。托盤，使用多個未檢查電子元件用托盤、合格品用托盤、不合格品用托盤等多個托盤，并從電子元件檢查裝置向基座的另一方側(cè)排成兩列進(jìn)行設(shè)置。電子元件，通過多個電子元件移動裝置在這些托盤與電子元件檢查裝置之間移動。
上述多個電子元件移動裝置是指，多個托盤所處的元件區(qū)域與上述檢查區(qū)域之間的滑動式移動裝置、在該滑動式移動裝置與各托盤之間移動電子元件的第一吸附式移動裝置、和在上述滑動式移動裝置與檢查用插座之間移動電子元件的第二吸附式移動裝置。
另外，專利文獻(xiàn)2所示的電子元件自動移載裝置，具備不放開托盤上所吸附的電子元件而裝填于檢查用插座上，并將檢查之后的電子元件移動到合格品托盤或者不合格品托盤上的電子元件移動裝置。
該專利文獻(xiàn)2所示的電子元件自動移載裝置的多個托盤，從電子元件檢查裝置向基座的另一側(cè)排成兩列進(jìn)行設(shè)置。
上述電子元件移動裝置，具備平行于這些托盤地延伸的導(dǎo)軌和隨著該導(dǎo)軌可平行移動并且與導(dǎo)軌的延伸方向正交的方向可平行移動的頭部單元。該頭部單元上，下端部上可向上下方向移動地設(shè)置有具有吸嘴的吸附頭部。
專利文獻(xiàn)1或者專利文獻(xiàn)2所記載的以往的電子元件自動移載裝置，在與電子元件檢查裝置分離的方向上排列有托盤。為此，從處于遠(yuǎn)離電子元件檢查位置的位置上的托盤上取出電子元件時，或者將檢查后的電子元件載置到處于這些位置上的托盤上時，存在電子元件的移動距離變長，或者生產(chǎn)節(jié)拍時間變長的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于，在電子元件檢查裝置與多個托盤之間移動電子元件時，提供可縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間的電子元件自動移載裝置。
為了達(dá)到此目的，本發(fā)明的包括，具有對收容多個電子元件的托盤進(jìn)行定位的元件區(qū)域，以及可設(shè)置裝填上述電子元件的檢查用插座的檢查區(qū)域；使電子元件在上述基座的檢查區(qū)域和元件區(qū)域之間移動的電子元件移動裝置；上述元件區(qū)域，從俯視方向看沿著與離開上述檢查區(qū)域的方向正交的方向并列設(shè)置有多個，上述電子元件移動裝置，具有吸附電子元件同時使該電子元件在位于上述基座的元件區(qū)域的托盤與位于上述基座的檢查區(qū)域的檢查用插座之間移動的吸嘴。
根據(jù)此構(gòu)成，在上述以往的電子元件自動移載裝置中，在與位置最接近檢查用插座的托盤處于同等距離的位置上可以裝配全部的托盤，因此較之以往的電子元件自動移載裝置可縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案2所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案1所涉及的電子元件自動移載裝置中，元件區(qū)域，設(shè)置有保持托盤并限制托盤移動的多個托盤支撐裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括，相對于上述托盤支撐裝置，在與檢查區(qū)域相反的一側(cè)，沿著與托盤支撐裝置排列方向平行的方向予以設(shè)置的多個儲料器(stocker)，該些儲料器可收容在上下方向上予以重疊的多個托盤；使托盤在上述儲料器和上述托盤支撐裝置之間移動的托盤移載裝置。
技術(shù)方案2所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案2所涉及的電子元件自動移載裝置中，上述儲料器，包括位于最下部的托盤進(jìn)出口；在位于托盤進(jìn)出口附近的保持托盤的保持位置，和使托盤向下方移動的出入位置之間移動可能的托盤保持裝置，上述托盤移載裝置，包括升降儲料器中的托盤的升降裝置；在儲料器的下方支撐托盤的傳送帶。
根據(jù)技術(shù)方案2或者3所涉及的發(fā)明，在托盤支撐裝置中，對于托盤進(jìn)行電子元件的吸附或者裝載時，可相對于儲料器取放并非該操作對象的托盤。為此，為了替換托盤而不需停止進(jìn)行電子元件的吸附、裝載的動作，因此為能縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案4所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案1至3中任一項的電子元件自動移載裝置中，具備有多個電子元件移動裝置，在基座的兩側(cè)對稱設(shè)置，并將電子元件交替裝填至上述檢查用插座。
如此一來，檢查電子元件時根據(jù)另一方的電子元件移動裝置可預(yù)先準(zhǔn)備下一個電子元件，因此能進(jìn)一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案5所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案1至3中任一項的電子元件自動移載裝置中，電子元件移動裝置，包括，升降吸嘴的同時使其轉(zhuǎn)動的吸附頭部、支撐上述多個吸嘴的頭部單元、使該頭部單元沿水平方向移動的頭部單元用移動裝置。
如此一來，通過對應(yīng)于吸嘴配備多個檢查用插座，可一次將多個電子元件裝填到多個檢查用插座上。根據(jù)此發(fā)明，與將電子元件逐個裝填到檢查用插座的電子元件自動移載裝置上的構(gòu)成相比，提高了檢查效率，并且能進(jìn)一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案6所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案1所涉及的電子元件自動移載裝置中，元件區(qū)域，設(shè)置有多個可收容在上下方向上予以重疊的多個托盤的儲料器，上述儲料器，其最上部設(shè)置有開口，并且具有使上述托盤升降的升降裝置，以及可從上述開口取出上述托盤并移載到其他儲料器的托盤移載裝置如此一來，在托盤支撐裝置上，對于托盤進(jìn)行電子元件的吸附或者裝載時，可相對于托盤取放并非該操作對象的托盤。為此，為了更換托盤而不需要停止進(jìn)行電子元件的吸附、裝載的動作，因此能進(jìn)一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案7所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案1所涉及的電子元件自動移載裝置中，上述檢查區(qū)域，可設(shè)置多個檢查用插座，上述電子元件移動裝置，包括吸附多個被檢查用電子元件的多個吸嘴、使上述吸嘴所吸附的多個電子元件在吸附狀態(tài)下沿水平方向移動并裝填至多個檢查用插座的頭部單元、為了使上述多個吸嘴的間隔與上述多個檢查用插座的間隔相一致而使上述吸嘴予以移動的吸嘴移動裝置，上述多個吸嘴中的至少一個，沿水平方向移動自如地支撐在頭部單元上。
技術(shù)方案8所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，包括，支撐裝填有被檢查用電子元件的多個檢查用插座的基座；吸附多個被檢查用電子元件的多個吸嘴；使上述吸嘴所吸附的多個電子元件在吸附狀態(tài)下相對于上述基座沿水平方向移動并裝填至多個檢查用插座的頭部單元；為了使上述多個吸嘴的間隔與上述多個檢查用插座的間隔相一致而使上述吸嘴予以移動的吸嘴移動裝置，上述多個吸嘴中至少一個，沿水平方向移動自如地支撐在上述頭部單元上。
根據(jù)技術(shù)方案7或8所涉及的發(fā)明，由于可利用吸嘴移動裝置將吸嘴相對于其他吸嘴移動到水平方向上，因此，不更換頭部單元，即可使吸嘴之間的間隔與插座之間的間隔簡單而準(zhǔn)確地一致。
技術(shù)方案9所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案8所涉及的電子元件自動移載裝置中，頭部單元，包括從上方拍攝多個檢查用插座的插座用拍攝裝置，以及根據(jù)該插座用拍攝裝置所拍攝的圖像檢測出檢查用插座的間隔的插座間隔檢查裝置。
這樣一來，因改變需檢查的電子元件種類等而更換檢查用插座時，移動頭部單元并利用插座用拍攝裝置從上方拍攝檢查用插座來檢測出新的檢查用插座間的間隔，可容易地進(jìn)行設(shè)定。
技術(shù)方案10所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案9所涉及的電子元件自動移載裝置中，各吸嘴，分別圍繞上下方向的軸線轉(zhuǎn)動自如地支撐在頭部單元上，頭部單元，具有變更多個吸嘴的轉(zhuǎn)動方向的角度的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括根據(jù)插座用拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出檢查用插座圍繞上下方向的軸線的角度，并控制轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置的動作量使吸嘴圍繞軸線的角度與檢查用插座的角度相一致的轉(zhuǎn)動方向定位裝置。
如此一來，可使檢查用插座的上下方向的軸線角度與吸嘴的上下方向的軸線角度一致，因此可以將多個電子元件更為準(zhǔn)確地裝填到檢查用插座上。
技術(shù)方案11所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案8所涉及的電子元件自動移載裝置中，還包括，從下方拍攝吸嘴所吸附的電子元件的電子元件拍攝裝置；根據(jù)電子元件拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出電子元件的間隔的電子元件間隔檢查裝置；為了使電子元件間隔檢查裝置所檢測的吸附后的電子元件的間隔與檢查用插座的間隔相一致而使吸嘴移動裝置動作的吸嘴移動裝置。
如此一來，利用吸嘴吸附電子元件時，即使是電子元件的位置與目標(biāo)位置偏離，也會利用吸嘴移動裝置修改該位置偏差。因此，根據(jù)本發(fā)明的電子元件自動移載裝置，即使在吸附電子元件時電子元件相對于吸嘴產(chǎn)生位置偏差，也可以將該電子元件準(zhǔn)確地裝填到檢查用插座上。
技術(shù)方案12所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案11所涉及的電子元件自動移載裝置中，還包括，對頭部單元移動至位于檢查用插座上方的可裝填電子元件的部位的移動方向和移動距離所涉及的數(shù)據(jù)進(jìn)行補正，使頭部單元的上述移動方向和移動距離對應(yīng)于通過上述吸嘴移動裝置的驅(qū)動而予以移動的吸嘴的移動量的補正裝置如此一來，為了修正吸附電子元件時電子元件相對于吸嘴的位置偏差，即使是吸嘴的位置從初期的位置發(fā)生變化，也可通過補正裝置修正頭部單元的移動方向與距離的數(shù)據(jù)，因此，頭部單元動作，反映出該吸嘴的位置變化。因此，根據(jù)本發(fā)明，可以將電子元件更為準(zhǔn)確地裝填到檢查用插座上。
技術(shù)方案13所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案11至12中任一項所涉及的電子元件自動移載裝置中，各吸嘴，分別圍繞上下方向的軸線轉(zhuǎn)動自如地支撐在頭部單元上，頭部單元，具有變更多個吸嘴的轉(zhuǎn)動方向的角度的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括根據(jù)電子元件拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出電子元件圍繞上下方向的軸線的角度，并控制轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置的動作量使吸嘴圍繞軸線的角度與電子元件的角度相一致的轉(zhuǎn)動方向定位裝置。
如此一來，可使吸附在吸嘴的電子元件5的上下方向的軸線角度與檢查用插座的上下方向的軸線角度一致，因此可以將電子元件更為準(zhǔn)確地裝填到檢查用插座上。
技術(shù)方案14所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案8所涉及的電子元件自動移載裝置中，頭部單元，在基座的上方沿著水平的且相互正交的2個方向進(jìn)行移動，吸嘴移動裝置，通過兩個電動機使上述吸嘴沿著平行于頭部單元的移動方向的2個方向獨立地進(jìn)行移動。電動機。
如此一來，即使多個檢查用插座排成多列時，也可使多個檢查用插座之間的間隔與電子元件的間隔一致，因此，能夠以高精度來定位電子元件并裝填到檢查用插座上。
技術(shù)方案15所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案8所涉及的電子元件自動移載裝置中，還包括，搭載有多個檢查用插座，且裝卸可能地安裝在基座上的測試頭部。
如此一來，由于在基座上可裝卸地安裝有與電子元件自動移載裝置分體形成的測試頭部，如果將測試頭部安裝到電子元件自動移載裝置的基座上并進(jìn)行電子元件檢查，與在載置基座的底板上脫離于基座地載置測試頭部的電子元件自動移載裝置相比，即使外部環(huán)境的震動被傳遞到底板上，也可準(zhǔn)確地對檢查用插座的吸嘴進(jìn)行對位。
技術(shù)方案16所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案15所涉及的電子元件自動移載裝置中，還包括，對裝填于檢查用插座的多個電子元件，經(jīng)測試頭部輸入檢測電流，以此檢查上述電子元件的檢查裝置主體。
如此一來，可簡單地相互關(guān)聯(lián)地利用檢查裝置主體移載電子元件檢查與電子元件的檢查用插座。
技術(shù)方案17所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案16所涉及的電子元件自動移載裝置中，檢查裝置主體，支撐在基座上，檢查用插座與檢查裝置主體之間的可流過檢測電流的路徑的途中，設(shè)置有拆裝可能的連接器，檢查裝置主體，相對于檢查用插座可進(jìn)行電分離或者機械分離。
如此一來，無需改變檢查裝置主體即可更換測試頭部，因此可以檢查多種電子元件。并且，作為電子元件自動移載裝置的一部分構(gòu)件的檢查裝置主體的傳送變得容易。
技術(shù)方案18所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案8所涉及的電子元件自動移載裝置中，頭部單元，使多個吸嘴吸附位于未檢查電子元件用托盤中的電子元件，并裝填至多個檢查用插座，在檢查之后將電子元件移動至已檢查電子元件用托盤，吸嘴移動裝置，在頭部單元從未檢查電子元件用托盤移動至多個檢查用插座的途中，使移動可能的吸嘴進(jìn)行移動，以此將所吸附的電子元件的間隔，從由未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔所決定的間隔，變更為多個檢查用插座的間隔。未檢查電子元件用托盤已檢查電子元件用托盤未檢查電子元件用托盤未檢查電子元件用托盤如此一來，未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部之間的間隔與多個檢查用插座的間隔不同時，可以通過移動可移動吸嘴來消除上述兩者間隔的不同。因此，載本發(fā)明涉及的電子元件自動移載裝置中，由于可以利用多個吸嘴一次吸附多個未檢查元件用托盤或加熱板上的多個電子元件，途中不必放開即可裝填到檢查用插座上，所以可以提高檢查的效率。
技術(shù)方案19所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案18所涉及的電子元件自動移載裝置中，吸嘴移動裝置，在頭部單元從檢查用插座移動至已檢查電子元件用托盤的途中，使移動可能的吸嘴進(jìn)行移動，以此將所吸附的電子元件的間隔，從由多個檢查用插座的間隔所決定的間隔，變更為已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔。已檢查電子元件用托盤已檢查電子元件用托盤如此一來，當(dāng)多個檢查用插座的間隔與已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔不同時，可以通過移動可移動吸嘴來消除上述兩者間隔的不同。因此，在本發(fā)明的電子元件自動移載裝置中，由于可以利用多個吸嘴將檢查后的多個電子元件一次移載到已檢查完畢的電子元件托盤上，因此可以進(jìn)一步提高檢查效率。
技術(shù)方案20所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案18所涉及的電子元件自動移載裝置中，吸嘴移動裝置，在頭部單元從已檢查電子元件用托盤移動至未檢查電子元件用托盤的途中，使移動可能的吸嘴進(jìn)行移動，以此將吸附電子元件時的電子元件的間隔，從由已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔所決定的間隔，變更為由未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔所決定的間隔。已檢查電子元件用托盤未檢查電子元件用托盤已檢查電子元件用托盤未檢查電子元件用托盤如此一來，當(dāng)已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部之間的間隔與未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔不同時，可以通過移動可移動吸嘴來消除上述兩者間隔的不同。因此，本發(fā)明所涉及的電子元件自動移載裝置，將檢查后的電子元件返回到已檢查電子元件用托盤上之后，在未檢查電子元件用托盤上可以重新用多個吸嘴一次吸附電子元件，因此檢查效率進(jìn)一步提高。
技術(shù)方案21所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案18至20中的任一項所涉及的電子元件自動移載裝置中，頭部單元，包括從上方拍攝由上述多個檢查用插座、上述未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部、上述已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部所構(gòu)成的載置部中的至少一部分的載置部用拍攝裝置；根據(jù)上述載置部用拍攝裝置所拍攝的圖像來檢測上述載置部的間隔的載置部間隔檢查裝置。
如此一來，在隨著電子元件種類的變化而改變托盤的種類或改變托盤的電子元件收容用凹陷部之間的間隔時，或者因改變需檢查的電子元件種類等而更換檢查用插座時，移動頭部單元并利用載置部用拍攝裝置從上方拍攝托盤與檢查用插座，從而可以容易地檢測并設(shè)定新的托盤的電子元件收容用凹陷部之間的間隔或者檢查用插座的間隔。
技術(shù)方案22所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案21所涉及的電子元件自動移載裝置中，各吸嘴，分別圍繞上下方向的軸線轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述頭部單元上，頭部單元，具有變更上述多個吸嘴的轉(zhuǎn)動方向的角度的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括根據(jù)上述載置部用拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出載置部在上下方向軸線周圍的角度，并控制上述轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置的動作量使上述吸嘴在上述軸線周圍的角度與上述載置部的角度相一致的轉(zhuǎn)動方向定位裝置。
如此一來，由于可使托盤的多個電子元件收容用凹陷部的上下方向的軸線角度、檢查用插座的上下方向的軸線角度與吸嘴的上下方向的軸線角度一致，因此可以將多個電子元件更準(zhǔn)確地裝填到檢查用插座上的同時，可移載到已檢查電子元件用托盤上。
技術(shù)方案23所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案11所涉及的電子元件自動移載裝置中，電子元件拍攝裝置，設(shè)置于裝載有檢查用插座的基座上。
如此一來，在從吸嘴吸附電子元件的吸附位置移動到檢查用插座的途中，可以從下方拍攝電子元件。因此，不必為了拍攝電子元件而將頭部單元移動到與檢查用插座所處方向不同的方向，即可使頭部大致以直線狀移動，因此可縮短頭部的移動時間，并可縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案24所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，包括，多個收容電子元件托盤的托盤收容用儲料器；與儲料器之間進(jìn)行托盤的取放，同時使托盤在儲料器和在水平方向上與儲料器相距一定距離的支撐位置之間進(jìn)行移動的托盤移載支撐裝置；具有吸附托盤所收容的電子元件，并相對于位于支撐位置的托盤進(jìn)行電子元件取放的電子元件移動裝置；位于托盤的下方并使托盤升降的升降裝置；通過升降裝置的驅(qū)動從下方按壓上述托盤的上下方向定位部件；上下方向定位部件，設(shè)置在托盤移載支撐裝置中的與托盤一起沿水平方向移動的部位。
如此一來，由于上下方向定位部件隨托盤一起移動，所以不會因支撐該上下方向定位部件的部件而限制托盤的移動。由此，根據(jù)本發(fā)明，采用可牢固地支撐上下方向定位部件的結(jié)構(gòu)的同時，可提供容易傳送托盤的電子元件自動移載裝置。
技術(shù)方案25所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案24所涉及的電子元件自動移載裝置中，托盤移載支撐裝置，包括具有與儲料器之間進(jìn)行托盤取放的第一托盤保持部，并使該第一托盤保持部沿著與儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第一支撐裝置；具有在支撐位置與儲料器平行排列的多個第二托盤保持部，并使該些第二托盤保持部沿著與儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第二支撐裝置；分別設(shè)置于第一托盤保持部與第二托盤保持部，并在第一托盤保持部，第二托盤保持部，處于在與儲料器的排列方向正交的水平方向上予以并列的狀態(tài)下，在兩個托盤保持部之間傳送托盤的移送裝置；上下方向定位部件，設(shè)置在第二托盤保持部上。
如此一來，托盤，在第二支撐裝置上向儲料器排列的方向和與該方向正交的水平方向移動，因此，設(shè)計傳送路徑時的自由度進(jìn)一步提高。并且，根據(jù)此發(fā)明，可同時進(jìn)行第一支撐裝置的向儲料器的托盤的取放動作和在第二支撐裝置的托盤上元件移動裝置對電子元件的吸附、載置動作。
由此，在第二支撐裝置上，對于托盤進(jìn)行電子元件的吸附或者裝載時，可相對于托盤取放并非該操作對象的托盤。因此，根據(jù)本發(fā)明，為了更換托盤而不需要停止進(jìn)行電子元件的吸附、裝載的動作，因此可以利用電子元件移動裝置高效地進(jìn)行電子元件的取放。
技術(shù)方案26所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案24至25中的任一的項所涉及的電子元件自動移載裝置中，升降裝置，通過上述上下方向定位部件所設(shè)置的部件而予以支撐。。
如此一來，將托盤擠壓在上下方向定位部件上并在上下方向定位的狀態(tài)下，可移動到水平方向，因此，電子元件移動裝置，隨著上述移動可將改變相對于托盤取放電子元件的位置。因此，例如，可以在吸嘴移動距離最短的最佳位置上進(jìn)行元件移動裝置的電子元件的取放動作，因此可以更為有效進(jìn)行上述電子元件的取放動作。并且，本發(fā)明所涉及的電子元件自動移載裝置，在移動托盤時可以通過升降裝置的驅(qū)動而預(yù)先擠壓在上下方向定位部件上，因此，不會發(fā)生托盤從托盤支撐裝置脫落，并高速移動托盤的現(xiàn)象。
技術(shù)方案27所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案24至25中任一項所涉及的電子元件自動移載裝置中，升降裝置設(shè)置于支撐位置的基座上。
如此一來，可以利用基座牢固地支撐升降裝置，以相對較大的力將托盤擠壓在上下方向定位部件上，因此更可穩(wěn)定地支撐托盤的同時，可更可靠地修正偏斜及傾斜。
技術(shù)方案28所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，包括，一側(cè)端部支撐有裝填了被檢查用電子元件的多個檢查用插座的基座；沿著與離開檢查用插座的方向正交的水平方向并列設(shè)置在基座上的多個托盤用儲料器；與儲料器之間進(jìn)行托盤的取放，同時使托盤在與儲料器并列的方向和與此方向正交的水平方向上進(jìn)行移動，且平行于儲料器而并列支撐多個托盤的托盤移載支撐裝置；從托盤移載支撐裝置所支撐的未檢查電子元件用托盤中吸附未檢查的電子元件并裝填至檢查用插座，并將經(jīng)過檢查的電子元件移載至托盤移載支撐裝置所支撐的已檢查電子元件用托盤的電子元件移動裝置；托盤移載支撐裝置，設(shè)置在檢查用插座與儲料器之間，即電子元件移動裝置的動作可能范圍內(nèi)。
本發(fā)明的電子元件自動移載裝置，電子元件移動裝置吸附、裝載電子元件的多個托盤，在檢查用插座與儲料器之間，在與儲料器平行的狀態(tài)下進(jìn)行設(shè)置，因此可以使這些所有托盤與檢查用插座之間的距離大致相同。由此，根據(jù)本發(fā)明，與為了進(jìn)行上述吸附、裝載，電子元件移動裝置的吸附部分越過托盤向與檢查用托盤相反一側(cè)移動的以往電子元件自動移載裝置相比，可縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
技術(shù)方案29所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案28所涉及的電子元件自動移載裝置中，托盤移載支撐裝置，包括具有與儲料器之間進(jìn)行托盤取放的第一托盤保持部，并使該第一托盤保持部沿著與儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第一支撐裝置；具有與儲料器平行排列的多個第二托盤保持部，并使該些第二托盤保持部沿著與儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第二支撐裝置；分別設(shè)置于第一托盤保持部與第二托盤保持部，并在第一托盤保持部，第二托盤保持部，處于在與儲料器的排列方向正交的水平方向上予以并列的狀態(tài)下，在兩個托盤保持部之間傳送托盤的移送裝置。
技術(shù)方案30所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案29所涉及的電子元件自動移載裝置中，移送裝置為傳送帶。
技術(shù)方案31所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案29所涉及的電子元件自動移載裝置中，第一支撐裝置的第一托盤保持部，具有在兩個傳送帶的內(nèi)側(cè)，使托盤在位于傳送帶上方的與儲料器之間進(jìn)行托盤取放的上升位置，和通過傳送帶予以支撐時的下降位置之間進(jìn)行升降的第一升降裝置。技術(shù)方案32所涉及的發(fā)明的電子元件自動移載裝置，在技術(shù)方案29所涉及的電子元件自動移載裝置中，第二支撐裝置的第二托盤保持部，具有在兩個傳送帶的內(nèi)側(cè)，使托盤在位于傳送帶上方的與電子元件移動裝置之間進(jìn)行電子元件取放的上升位置，和通過傳送帶予以支撐的下降位置之間進(jìn)行升降的第二升降裝置。
根據(jù)技術(shù)方案29至32所涉及的發(fā)明，可同時進(jìn)行向第一支撐裝置的儲料器的托盤的取放動作和在第二支撐裝置的托盤上的電子元件移動裝置的電子元件的吸收、裝載動作。由此，為了更換托盤而不需要停止進(jìn)行電子元件的吸附及裝載的動作，因此可進(jìn)一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
根據(jù)本發(fā)明，電子元件移動裝置不必越過托盤向遠(yuǎn)離檢查用插座側(cè)的方向移動，即可利用該電子元件移動裝置將全部的電子元件移動到托盤與檢查用插座之間。因此，本發(fā)明所涉及的電子元件自動移載裝置，在上述以往電子元件自動移載裝置中，可以將所有托盤配置到與位置最接近檢查用插座的托盤距離相等的位置上。因此，根據(jù)本發(fā)明，可提供生產(chǎn)節(jié)拍時間比以往的電子元件自動移載裝置縮短的電子元件自動移載裝置。
圖1是本發(fā)明的電子元件自動移載裝置的平面圖。
圖2是圖1的II-II線剖面圖。
圖3是為了說明電子元件移動裝置結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是頭部單元的立體圖。
圖5是為了說明單位單元的動作方向的立體圖。
圖6是單位單元的側(cè)面圖。
圖7是表示托盤支撐裝置結(jié)構(gòu)的圖。
圖8是為了說明托盤移載裝置與托盤支撐裝置的動作的平面圖。
圖9是為了說明托盤移載裝置與儲料器的動作的正面圖。
圖10是為了說明托盤移載裝置與儲料器的動作的正面圖。
圖11是為了說明托盤移載裝置與儲料器的動作的正面圖。
圖12是為了說明托盤移載裝置與儲料器的動作的正面圖。
圖13是表示電子元件自動移載裝置的簡略結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖14是表示本發(fā)明的電子元件自動移載裝置的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖15是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖16是圖15的XVI-XVI線剖面圖。
圖17是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖18是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖19是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖20是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖21是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖22是具有加熱板的電子元件自動移載裝置的平面圖。
圖23是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖24是表示排列檢查用插座的示例的平面圖。
圖25是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
圖26是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。
具體實施例方式
以下，根據(jù)圖1至圖13詳細(xì)說明本發(fā)明的電子元件自動移載裝置的實施方式。
圖1是本發(fā)明的電子元件自動移載裝置的平面圖。在該圖中描述了托盤支撐裝置和儲料器上方未放置托盤時的狀態(tài)。圖2是圖1的II-II線剖面圖、圖3是為了說明電子元件移動裝置結(jié)構(gòu)的立體圖、圖4是頭部單元的立體圖、圖5是為了說明單位單元的動作方向的立體圖，該圖僅描述了兩個單位單元。圖6是單位單元的側(cè)面圖，在該圖中，斷開構(gòu)成部件的連接部分來表示。圖1中的VI-VI線表示該斷開位置。
圖7是表示托盤支撐裝置結(jié)構(gòu)的圖，該圖(a)是側(cè)面圖，該圖(b)是正面圖。圖8是為了說明托盤移載裝置與托盤支撐裝置的動作的平面圖。圖9至圖12是為了說明托盤移載裝置與儲料器的動作的正面圖。圖13是表示電子元件自動移載裝置的簡略結(jié)構(gòu)的立體圖。
在這些圖中，附圖標(biāo)記1表示該實施方式中的電子元件自動移載裝置。
如圖1及圖2所示，該電子元件自動移載裝置1，是通過后述電子元件移動裝置3和4使電子元件5(參照圖2及圖6)在位于基座2的后端部(圖1中是上端部，圖2中是右側(cè)的端部)的檢查區(qū)域A與位于上述基座2的前后方向的大致中央部的元件區(qū)域B之間移動。另外，在本說明書中，將圖1中的上下方向作為裝置的前后方向，稱為Y方向，將圖1中的左右方向作為裝置的左右方向，稱為X方向，并將與紙面正交相交的方向稱為Z方向。
在上述基座2的檢查區(qū)域A設(shè)置有開口2a，在該開口2a的下方將設(shè)有多個載置有被檢查用的電子元件5的檢查用插座6的測試頭部8可裝卸地固定在基座2上。上述檢查用插座6，通過測試頭部8或者直接通過圖中未顯示的檢查用電纜，在基座2內(nèi)與電子元件自動移載裝置1獨立地載置在地面上的檢查裝載主體7(參照圖2)連接。而且，該檢查用插座6，采用從上方裝填電子元件5(參照圖2及圖6)的結(jié)構(gòu)，并設(shè)置在基座2的X方向的大體中央部。在本實施方式中，設(shè)置有4個檢查用插座6。這些檢查用插座6設(shè)置成在X方向上排列的2個檢查用插座6、6在Y方向上排列有兩組。電子元件5的檢查，是在檢查用插座6上載置有電子元件5的狀態(tài)下，在電子元件5和檢查裝置主體7之間輸入、輸出檢測電流來實施的。在上述檢查用電纜的任一端或中間部上裝配有可裝卸的接線器。
在上述基座2上設(shè)置有位于該基座2的前端部的多個儲料器11、11……；位于這些儲料器11與上述檢查用插座6之間的托盤支撐裝置12；在上述儲料器11和托盤支撐裝置12之間移動后述托盤T(參照圖2)的托盤移載裝置13；由位于基座2的X方向的兩端部的固定導(dǎo)軌14支撐的第一電子元件移動裝置3及第二電子元件移動裝置4；以及為了從下方拍攝由上述電子元件移動裝置3和4吸附著進(jìn)行移動的電子元件5的多個基座側(cè)拍攝裝置15。
以下，詳細(xì)說明上述基座2上的各裝置。
上述儲料器11，如圖2所示，是以上下方向重疊的狀態(tài)收容多個托盤T的結(jié)構(gòu)，并且如圖1所示，以排列在X方向上的狀態(tài)設(shè)置有多個。如圖8所示，上述托盤T，由塑料形成從俯視方向看在Y方向上較長的長方形盤狀。在該托盤T上形成有多個為了收容電子元件5的凹陷部(圖中未示)，并且該凹陷部開口朝上。
如圖1、圖2及圖13所示，上述儲料器11，具備位于最下部，從俯視看呈四邊形的框體21；立設(shè)在該框體21的后端部上并且剖面呈L字形的后側(cè)支柱22；立設(shè)在該框體21的前端部并斷面呈L字形的前側(cè)支柱23；設(shè)置在上述框體21上的托盤支撐用的鉤部鉤部24(參照圖9至圖12)。圖13中僅描述了多個儲料器中位于X方向的兩端部的儲料器。
如圖2所示，該儲料器11，搭載在設(shè)置于上述基座2的前端部上的儲料器用框架25上。圖1中未表示該儲料器用框架25。在該儲料器用框架25上的上述儲料器11的框體21的下方部位上，形成有托盤進(jìn)出口26(參照圖2)。
儲料器11的上述框體21形成下述結(jié)構(gòu)可以在上下方向上將處于水平狀態(tài)的托盤T裝填到內(nèi)部的開口部分。
對上述后側(cè)支柱22與前側(cè)支柱23進(jìn)行定位，以便以嵌合狀態(tài)保持長方形托盤T的4個角部。如圖2所示，前側(cè)支柱23低于后側(cè)支柱22。
上述鉤部鉤部24，是用來支撐儲料器11內(nèi)的托盤T，從俯視看，可以在其前端部臨近上述框體21的開口部分內(nèi)的前進(jìn)位置和該前端部向開口部分外露出的后退位置之間往復(fù)移動地支撐在框體21上。在本實施方式中，通過該鉤部鉤部24來構(gòu)成記載在技術(shù)方案3中的發(fā)明所述的托盤保持裝置。在本實施方式中，上述前進(jìn)位置構(gòu)成技術(shù)方案3中所述的保持位置，后退位置構(gòu)成技術(shù)方案3中所述的出入位置。
另外，在各鉤部鉤部24上，連接有向前進(jìn)位置和后退位置的任一方移動鉤部鉤部24的致動器27(參照圖14)。該致動器27的動作，由設(shè)置在控制裝置200上的基本動作控制裝置201進(jìn)行控制。
該鉤部鉤部24的上述前端部(未圖示)如下形成，將其插入到在托盤T側(cè)部上朝向側(cè)面開口的凹陷部內(nèi)。另外，在圖9至圖12中所示的鉤部鉤部24，描述成由上述前端部支撐托盤T的下端的結(jié)構(gòu)，以便能夠容易地判斷出支撐有托盤T的狀態(tài)和放開托盤T之后的狀態(tài)。另外，該鉤部鉤部24除了如上所述的平行移動的結(jié)構(gòu)外，還可以采用下述結(jié)構(gòu)從俯視看，在前端部面對上述開口部分內(nèi)的橫向狀態(tài)和鉤部鉤部整體轉(zhuǎn)動約90°使得前端部朝下并且前端部向上述開口部分之外露出的縱向狀態(tài)之間轉(zhuǎn)動的結(jié)構(gòu)。
托盤移載支撐裝置由上述托盤支撐裝置12等構(gòu)成。如圖1、圖2及圖8所示，該托盤移載支撐裝置由以下部分構(gòu)成位于上述儲料器11的下方的托盤移載裝置13(第一支撐裝置)；位于上述元件區(qū)域B的托盤支撐裝置12(第二支撐裝置)；以及具有位于這些第一、第二支撐裝置之間的轉(zhuǎn)接用傳送帶56，并在兩裝置之間傳送托盤的傳送裝置。
上述托盤支撐裝置12，是本發(fā)明中所說的元件區(qū)域B的組成部分，如圖1所示，在X方向上3臺排成一列。即，從俯視看，在與遠(yuǎn)離檢查區(qū)域A的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上并列設(shè)置有多個元件區(qū)域B。如圖8所示，這些托盤支撐裝置12上支撐有收容未檢查的電子元件5的未檢查電子元件用托盤T1；收容檢查后被判定為合格品的電子元件5的合格品用托盤T2；以及收容檢查后被判定為不合格品的電子元件5的不合格品用托盤T3。
這些托盤支撐裝置12，在由后述的元件區(qū)域移動裝置31支撐的狀態(tài)下沿X方向移動。而且，該托盤支撐裝置12的臺數(shù)并不限定在3臺，根據(jù)需要可進(jìn)行增減。這些托盤支撐裝置12和元件區(qū)域移動裝置31的動作，由圖14中表示的控制裝置200的基本動作控制裝置201來控制。
如圖1、圖2、圖7及圖8所示，各托盤支撐裝置12由以下部分構(gòu)成設(shè)置在后述元件區(qū)域移動裝置31的板狀支撐臺32上的托盤升降用氣缸33；在X方向上相隔間隔而相對地立設(shè)在上述板狀支撐臺32上的一對縱向板34；分別設(shè)置在這些縱向板34的內(nèi)側(cè)的傳送帶35；橫架在上述兩張縱向板34、34的上部之間的前側(cè)受壓板36及后側(cè)受壓板37；設(shè)置在上述縱向板34的Y方向的途中部位的一對側(cè)部導(dǎo)向部件38、38；以及設(shè)置在裝置后側(cè)的端部的托盤用擋塊39等(參照圖7(a))。
上述托盤升降用氣缸33，固定在板狀支撐臺32的上，使得活塞桿33a向上下方向移動，通過活塞桿33a使后述托盤升降用平板40進(jìn)行升降。而且，在圖7中，省略了支撐氣缸33的部件。
上述托盤升降用平板40，用來支撐托盤T的下表面，從俯視看，形成在Y方向上較長的長方形，并通過升降導(dǎo)軌41升降自如地支撐在上述板狀支撐臺32上。并且該托盤升降用平板40插入到上述一對傳送帶35、35之間，而不會與這些傳送帶35接觸。
如此形成的托盤升降用平板40，通過上述氣缸33的驅(qū)動，在低于傳送帶35的傳送面的待機位置(參照圖2)與高于上述傳送面且托盤T受到后述的前側(cè)受壓板36和后側(cè)受壓板37擠壓的上升位置之間進(jìn)行升降。在本實施方式中，由上述托盤升降用氣缸33和上述托盤升降用平板40構(gòu)成使托盤升降的升降裝置。
上述縱向板34，形成從側(cè)方將傳送帶35從前端部到后端部包圍的長度。
上述傳送帶35，一邊支撐著托盤T的兩側(cè)部一邊向Y方向傳送托盤T，并將托盤T搬入到托盤支撐裝置12內(nèi)和從托盤支撐裝置12搬出托盤T。該傳送帶35的驅(qū)動軸42，在X方向上貫穿3臺托盤支撐裝置12，并同時驅(qū)動這些托盤支撐裝置12的所有傳送帶35。
上述前側(cè)受壓板36和后側(cè)受壓板37，用來確定托盤T的上下方向的位置并矯正托盤T的偏斜。這些前側(cè)受壓板36和后側(cè)受壓板37的下表面形成平面，以使通過上述氣缸33和托盤升降用平板40升高的托盤T地上表面從下方與其抵接。如圖7(a)所示，上述前側(cè)受壓板36上設(shè)置用于檢測由傳送帶35搬入的托盤T的端部的光學(xué)式傳感器43。
上述側(cè)部導(dǎo)向部件38，用來確定托盤T的X方向的位置，如圖1所示，從俯視看，形成從縱向板34的上端部向傳送帶35的上方延伸的形狀。雖然圖中未示，但該側(cè)部導(dǎo)向部件38的延伸部分的下表面，隨著向上方延伸而逐漸向側(cè)部導(dǎo)向部件38的前端傾斜。也就是說，由傳送帶35搬入到托盤支撐裝置12內(nèi)的托盤T，通過上述氣缸33和托盤升降用平板40升高，從而使該托盤T的兩側(cè)部從下方與側(cè)部導(dǎo)向部件38的上述下表面抵接，并通過一對側(cè)部導(dǎo)向部件38定位在X方向上。在本實施方式中，本發(fā)明中所說的上下方向定位部件是由該側(cè)部導(dǎo)向部件38和上述前側(cè)受壓板36及后側(cè)受壓板37構(gòu)成的。該上下方向定位部件，都安裝在縱向板34的上端部上，通過后述元件區(qū)域移動裝置31的驅(qū)動而與托盤支撐裝置12一起在X方向上移動。
上述托盤用擋塊39，用來確定由傳送帶35搬入到托盤支撐裝置12內(nèi)的托盤T的傳送方向的位置，如圖7(a)所示，形成與托盤T的后端面(搬入到托盤支撐裝置12內(nèi)的托盤T的前進(jìn)方向前側(cè)的端面)抵接的縱向面。該托盤用擋塊39，通過托架支撐在上述板狀支撐臺32或者縱向板34(圖中未示)上。
如圖1、圖2及圖7(b)所示，上述元件區(qū)域移動裝置31由以下部分構(gòu)成在基座2上沿X方向延伸的一對固定導(dǎo)軌44；可在X方向上移動自如地支撐在上述固定導(dǎo)軌44上的滑塊45；支撐在該滑塊45上的上述板狀支撐臺32；使該板狀支撐臺32以及上述滑塊45在X方向上移動的滾珠絲杠式驅(qū)動裝置46(參照圖8)。如圖1及圖2所示，該滾珠絲杠式驅(qū)動裝置46，在上述兩個固定導(dǎo)軌44和44之間，轉(zhuǎn)動沿X方向延伸的滾珠絲杠軸47，并與該滾珠絲杠軸47螺合的同時，使一體設(shè)置在板狀支撐臺32上的螺母部件48移動。
如圖1、圖2及圖8至圖12所示，上述托盤移載裝置13由以下部分構(gòu)成在基座2上沿X方向延伸的固定導(dǎo)軌51；可在X方向上移動自如地支撐在上述固定導(dǎo)軌51上的滑塊52；使上述滑塊52在X方向上僅移動規(guī)定量的滾珠絲杠式驅(qū)動裝置53；固定在上述滑塊52上的支撐板54；設(shè)置在上述支撐板54上的2組移載裝置主體55、55；以及位于上述固定導(dǎo)軌51和上述托盤支撐裝置12之間的轉(zhuǎn)接用傳送帶56等。該托盤移載裝置13的動作，由圖14所示的控制裝置200的基本動作控制裝置201進(jìn)行控制。
上述2組移載裝置主體55，用來進(jìn)行從下方將托盤T搬入到上述儲料器11上或者從儲料器11的下端部將托盤T搬出的動作，在X方向上排列的間距與并排設(shè)置多個儲料器11的間距相同。
這些移載裝置主體55由以下部分構(gòu)成在Y方向上并排固定到上述支撐板54上的第一氣缸61和第二氣缸62；在上述氣缸61、62的X方向的兩側(cè)立設(shè)在上述支撐板54上的一對縱向板63、63；以及分別設(shè)置在上述縱向板63的內(nèi)側(cè)的一對傳送帶64、64。
上述第一氣缸61和第二氣缸62，固定在上述支撐板54上，使得活塞桿61a和62a向上下方向移動，通過活塞桿61a、62a使后述的托盤支撐部件65進(jìn)行升降。在這些第一氣缸61和第二氣缸62中位于裝置后側(cè)(圖2中是右側(cè))的第一氣缸61的活塞桿61a的移動沖程，比第二氣缸62的活塞桿62a的移動沖程長。如上所述，配備移動沖程不同的兩種氣缸61、62，是為了如下文所述地在相對較高的位置和相對較低的位置這兩個階段對托盤支撐部件65的上升位置進(jìn)行切換。
上述托盤支撐部件65，用來支撐托盤T的下表面，從俯視看形成在X方向上較長的長方形，并由設(shè)置在上述支撐板54或者縱向板63上的升降導(dǎo)軌(未圖示)升降自如地進(jìn)行支撐。而且，如圖9至圖12所示，該托盤支撐部件65插入于后述一對傳送帶64和64之間，而不與這些傳送帶64接觸。另外，在圖9至圖12中，為了便于理解托盤移載裝置13的動作，示意性地描述了托盤支撐部件65。
而且，從俯視看，如圖9所示，從俯視看，該托盤支撐部件65的大小為在移載裝置55定位在上述儲料器11的正下方的狀態(tài)下，通過托盤支撐部件65的上升，可以使該托盤支撐部件65進(jìn)入到儲料器用框架25的托盤出入口26內(nèi)。
這樣形成的托盤支撐部件65，通過第一氣缸61和第二氣缸62的驅(qū)動，在低于傳送帶64的傳送面的待機位置(參照圖2)和高于上述傳送面的、儲料器11的下端部附近的后述上升位置之間進(jìn)行升降。
如圖12(a)所示，通過第一氣缸61使托盤支撐部件65上升時，將托盤支撐部件65的上升位置設(shè)定為位于儲料器11內(nèi)的最下方的托盤T可以被托盤支撐部件65頂?shù)缴鲜鲢^部鉤部24上方的位置。另一方面，如圖10(a)所示，通過第二氣缸62使托盤支撐部件65上升時，將托盤支撐部件65的上升位置設(shè)定在放置在托盤支撐部件65上的托盤T從下方與位于支撐在鉤部鉤部24上的儲料器11內(nèi)的最下方的托盤T重疊的位置。
上述托盤移載裝置13的傳送帶64，用來一邊支撐托盤T的兩側(cè)部一邊向Y方向傳送托盤T，如圖2所示，使傳送面呈水平地安裝縱向板63。上述傳送面的高度設(shè)置成與上述托盤支撐裝置12的傳送帶35的傳送面的高度大致相同。
如圖1及圖2所示，上述轉(zhuǎn)接傳送帶56由以下部分構(gòu)成具有支撐在基座2上的一對縱向板68、68的框架69；和設(shè)置在上述縱向板68的內(nèi)側(cè)的一對傳送帶66、66。該傳送帶66，一邊支撐托盤T的兩側(cè)部一邊向Y方向傳送托盤T。該轉(zhuǎn)接傳送帶56，用于在上述的托盤支撐裝置12的傳送帶35和托盤移載裝置13的傳送帶64之間進(jìn)行托盤T的取放。而且，該轉(zhuǎn)接傳送帶56的傳送帶66工作時，托盤支撐裝置12的傳送帶35及托盤移載裝置13的傳送帶64與托盤T的傳送方向一致。
上述第一電子元件移動裝置3和第二電子元件移動裝置4相對于基座2的沿Y方向延伸的中心線呈線對稱。因此，在圖1中，對位于左側(cè)的第一電子元件移動裝置3進(jìn)行說明，對第二電子元件移動裝置4標(biāo)注與第一電子元件移動裝置3相同的附圖標(biāo)記、省略詳細(xì)說明。
如圖1至圖6所示，第一電子元件移動裝置3由以下部分構(gòu)成在基座2的X方向的端部上向Y方向延伸的一對固定導(dǎo)軌14、14；向Y方向移動自如地支撐在上述固定導(dǎo)軌14上的Y方向移動部件71；使該Y方向移動部件71向Y方向移動的滾珠絲杠式第一Y方向驅(qū)動裝置72；在X方向上移動自如地支撐在上述Y方向移動部件71上的支撐部件73(參照圖3)；使上述支撐部件73相對于上述Y方向移動部件71在X方向上移動的滾珠絲杠式第一X方向驅(qū)動裝置74(參照圖3)；以及設(shè)置在上述支撐部件73上的頭部單元75等。該第一電子元件移動裝置3和第二電子元件移動裝置4的上述驅(qū)動裝置72、74及后述頭部單元75內(nèi)的各裝置的動作由后述的控制裝置200進(jìn)行控制。
如圖1所示，上述固定導(dǎo)軌14，與設(shè)置在基座2上的多個儲料器11中處于最外側(cè)的儲料器11處于X方向的相同位置上，而且設(shè)置在從上述位于最外側(cè)的儲料器11向裝置后方分離的位置上。
如圖3所示，上述Y方向移動部件71具備通過滑動部件(未圖示)連接在上述固定導(dǎo)軌14、14上的基部71a和從上述基部71a的上端部向側(cè)方(在圖3中是右方)突出的一對腕部。這些腕部71b，設(shè)置成在Y方向上相隔間隔排列，并且通過導(dǎo)向部件71c在X方向上移動自如地支撐上述支撐部件73。上述導(dǎo)向部件71c采用從上方支撐設(shè)置在支撐部件73上的導(dǎo)軌73a的結(jié)構(gòu)。
如圖1所示，在Y方向上驅(qū)動上述Y方向移動部件71的第一Y方向驅(qū)動裝置72由以下部分構(gòu)成在沿Y方向延伸的狀態(tài)下，轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述固定導(dǎo)軌14上的滾珠絲杠軸76；與上述滾珠絲杠軸76的途中螺合并且固定在Y方向移動部件71上的螺母部件(未圖示)；以及連接在上述滾珠絲杠軸76的裝置后側(cè)的端部的電動機79等。
如圖3所示，從俯視看，上述支撐部件73形成具有開口73b的長方形的板狀，并且Y方向上的兩端部通過上述導(dǎo)軌73a支撐在上述Y方向移動部件71上。
如圖3所示，在X方向上驅(qū)動該支撐部件73的第一X方向驅(qū)動裝置74由以下部分構(gòu)成設(shè)置在Y方向移動部件71的上部的電動滑車81；轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述電動滑車81上的滾珠絲杠軸82；與上述滾珠絲杠軸82螺合并且固定在支撐部件73上的螺母部件82a；連接在上述滾珠絲杠軸82的一端部(在第一電子元件移動裝置3中是左側(cè)端部)的電動機83等。上述螺母部件82a設(shè)置在支撐部件73的具有開口73b的框狀部84的相反一側(cè)的端部。
如圖1及圖4所示，上述頭部單元75由安裝在上述框狀部84的X方向延伸部分84a上的4個單位單元85構(gòu)成。
如圖1所示，這4個單位單元85，從俯視看，與上述4個檢查用插座6同樣排列在X方向和Y方向上。本實施方式的頭部單元75上設(shè)置用來從上方拍攝上述檢查用插座6的頭部側(cè)拍攝裝置86、87。頭部側(cè)拍攝裝置86用來拍攝檢查用插座6，頭部側(cè)拍攝裝置87用來拍攝由托盤支撐裝置12傳送的托盤T。根據(jù)在規(guī)定時間拍攝到的托盤T的規(guī)定的凹陷部或者基準(zhǔn)標(biāo)志的位置，計算出傳送帶35的傳送誤差、滾珠絲杠式驅(qū)動裝置46的驅(qū)動量的補正量。考慮這些補正量，在吸附、載置電子元件5時將元件區(qū)域移動裝置31上的各托盤T配置在正確的位置上。
這些頭部側(cè)拍攝裝置86、87設(shè)置在上述框狀部84的Y方向的兩端部。
如圖6所示，上述各單位單元85由以下部分構(gòu)成安裝在上述框狀部84的上述X方向延伸部分84a上的X方向支撐部件91；可在X方向上移動自如地安裝在上述X方向支撐部件91的下部的X方向滑塊92；在X方向上驅(qū)動上述X方向滑塊92的滾珠絲杠式第二X方向驅(qū)動裝置93；在上述X方向滑塊92的下部一體形成的Y方向支撐部件94；可在Y方向上移動自如地安裝在上述Y方向支撐部件94的下部的Y方向滑塊95；在Y方向上驅(qū)動上述Y方向滑塊95的滾珠絲杠式第二Y方向驅(qū)動裝置96；通過托盤97安裝在上述Y方向滑塊95的下部的Z方向支撐部件98；可在Z方向上移動地支撐在上述Z方向支撐部件98上的吸附頭部99；以及使該吸附頭部99升降的Z方向驅(qū)動裝置100。本發(fā)明中所說的吸嘴移動裝置由該單位單元85構(gòu)成。
在上述X方向支撐部件91和X方向滑塊92之間及Y方向支撐部件94和Y方向滑塊95之間，安裝有所謂交叉滾子導(dǎo)軌等直動式導(dǎo)向用部件101。上述第二X方向驅(qū)動裝置93由以下部分構(gòu)成以向X方向延伸的狀態(tài)轉(zhuǎn)動自如地支撐在X方向支撐部件91的滾珠絲杠軸102；連接在該滾珠絲杠軸102的一端部上的電動機103(參照圖4-圖6)；以及與滾珠絲杠軸102的途中螺合并固定在X方向滑塊92上的螺母部件104。電動機如圖4所示，沿著上述框狀部84的X方向延伸部分84a配置該第二X方向驅(qū)動裝置93的電動機103。
如圖6所示，上述第二Y方向驅(qū)動裝置96由以下部分構(gòu)成以向Y方向延伸的狀態(tài)轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述Y方向支撐部件73上的滾珠絲杠軸110；連接在上述滾珠絲杠軸110的一端部上的電動機111；以及與滾珠絲杠軸110的途中螺合并且固定在Y方向滑塊95上的螺母部件112。電動機如圖4所示，從上述框狀部84向Y方向的兩側(cè)突出地配置該第二Y方向驅(qū)動裝置96的電動機111。
該第二Y方向驅(qū)動裝置96和上述第二X方向驅(qū)動裝置93如下構(gòu)成與上述第一Y方向驅(qū)動裝置72和第一X方向驅(qū)動裝置74相比，螺母部件104、112的移動量減少，而且決定螺母部件104、112的位置(從動側(cè)的部件的位置)時的分解能力提高。
如圖6所示，上述Z方向支撐部件98形成在Z方向上延伸的筒狀，在內(nèi)部收容有后述的Z方向驅(qū)動裝置100的滾珠絲杠軸113和升降自如地支撐后述吸附頭部99的導(dǎo)向部件(圖中未示)等。
如圖6所示，Z方向驅(qū)動裝置100由以下部分構(gòu)成以向Z方向延伸的狀態(tài)轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述Z方向支撐部件98上的上述滾珠絲杠軸113；支撐在Z方向支撐部件98的上端部并且連接在上述滾珠絲杠軸113的上端部上的電動機114；以及與上述滾珠絲杠軸113的途中螺合并且結(jié)合在后述吸附頭部99上的螺母部件115。
如圖6所示，上述吸附頭部99具備嵌入上述Z方向支撐部件98的導(dǎo)向部件的同時，結(jié)合在Z方向驅(qū)動裝置100的螺母部件115上的外殼121；以沿Z方向延伸的狀態(tài)轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述外殼121的內(nèi)部的軸122；以及可裝卸地安裝在上述軸122的下端部上的吸嘴125。上述軸122，呈中空狀，并連接在空氣吸引裝置(未圖示)上。
上述吸嘴125，下端形成有吸附面，并且可相對于上述軸122和上述外殼121繞著Z方向的軸線轉(zhuǎn)動。
即，如圖5所示，該單位單元85，使吸嘴125相對于支撐部件73在X方向、Y方向、Z方向上移動的同時，使吸嘴125繞Z方向的軸線轉(zhuǎn)動。
如圖14所示，上述控制裝置200具備上述基本動作控制裝置201；部件間隔檢測裝置202；插座間隔檢測裝置203；吸嘴移動裝置204；轉(zhuǎn)動方向定位裝置205；以及補正裝置206。
上述基本動作控制裝置201控制以下各裝置等的動作上述托盤支撐裝置12；托盤移載裝置13；電子元件用拍攝裝置15；元件區(qū)域移動裝置31；鉤部鉤部用致動器27；第一Y方向驅(qū)動裝置72；第一X方向驅(qū)動裝置74；頭部側(cè)拍攝裝置86；頭部側(cè)拍攝裝置87；以及Z方向驅(qū)動裝置100等。
上述部件間隔檢測裝置202，是利用由上述電子元件拍攝裝置15拍攝到的吸附后的電子元件5的圖像數(shù)據(jù)，并通過圖像處理在所有單位單元85上檢測電子元件5的位置的結(jié)構(gòu)。進(jìn)行該檢測時，檢測出吸附在4個單位單元85上的4個電子元件5中排列在X方向上的2個電子元件5、5之間的間隔、排列在Y方向上的2個電子元件5、5之間的間隔、各電子元件5圍繞在Z方向上延伸的軸線的角度(轉(zhuǎn)動位置)。
電子元件5的上述X方向的間隔，檢測4個電子元件5中在裝置前側(cè)沿X方向排列的2個電子元件5、5之間的間隔和在裝置后側(cè)沿X方向排列的2個電子元件5、5之間的間隔。另外，上述Y方向的間隔，檢測4個電子元件5中在裝置右側(cè)沿Y方向排列的2個電子元件5、5之間的間隔和在裝置左側(cè)沿Y方向排列的2個電子元件5、5之間的間隔。而且，電子元件拍攝裝置15所拍攝的電子元件5的圖像數(shù)據(jù)和顯示電子元件5的位置的數(shù)據(jù)儲存在連接在控制裝置200上的內(nèi)存207中。
上述載置部間隔檢測裝置203，利用通過設(shè)置在上述頭部單元75上的頭部側(cè)拍攝裝置86和頭部側(cè)拍攝裝置87拍攝到的檢查用插座6和托盤支撐裝置12上的托盤T1～T3的圖像數(shù)據(jù)，通過圖像處理檢測出多個檢查用插座6之間及托盤T1～T3的多個部件收容用凹陷部之間在X方向和Y方向上的間隔。另外，此處所說的多個檢查用插座6之間的在X方向上的間隔是指，4個查用插座6中在裝置前側(cè)沿X方向排列的2個電子元件檢查用插座6、6之間的間隔和在裝置后側(cè)沿X方向排列的2個檢查用插座6、6之間的間隔。
另外，所謂多個檢查用插座6、6的在Y方向上的間隔是指，4個檢查用插座6中在裝置右側(cè)沿Y方向排列的2個電子元件檢查用插座6、6之間的間隔和在裝置左側(cè)沿Y方向排列的2個檢查用插座6、6之間的間隔。此時，檢測間隔的上述電子元件收容用凹陷部是指，設(shè)在托盤上的多個電子元件收容用凹陷部中、在X方向上相鄰的兩處凹陷部和相對于這些凹陷部在Y方向上相鄰的兩處凹陷部。以下，將這4處電子元件收容用凹陷部的在X方向和Y方向上的間隔簡稱為“多個電子元件收容用凹陷部之間的間隔”。
而且，進(jìn)行該檢測時，載置部間隔檢測裝置203，檢測出各檢查用插座6圍繞在Z方向上延伸的軸線的角度和合格品用托盤T1及不合格品用托盤T2圍繞在Z方向上延伸的軸線的角度等。而且，頭部側(cè)拍攝裝置86和頭部側(cè)拍攝裝置87拍攝的檢查用插座6及托盤T1～T3的圖像數(shù)據(jù)和顯示檢查用插座6及托盤T1～T3的位置的數(shù)據(jù)儲存在連接于控制裝置200上的內(nèi)存207中。
上述吸嘴移動裝置204，用來控制分別設(shè)置在4個單位單元85上的第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96的動作。
本實施方式的吸嘴移動裝置204，在吸嘴125將電子元件5吸附到未檢查電子元件用托盤T1上時、將電子元件5裝填到檢查用插座6上時、將檢查完的電子元件5移載到合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3上時、從這些已檢查電子元件用托盤T2、T3上返回到上述未檢查電子元件用托盤T1上時，根據(jù)需要使各單位單元85的第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96工作。
即，該吸嘴移動裝置204，在吸嘴125將電子元件5吸附到未檢查電子元件用托盤T1上時，控制第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96的動作，使4個吸嘴125在X方向和Y方向上的間隔與未檢查電子元件用托盤T1的多個電子元件收容用凹陷部之間的在X方向和Y方向上的間隔相一致，并移動吸嘴125。而且，吸嘴125在X方向和Y方向上的間隔，既可以在電子元件自動移載裝置1開始動作時預(yù)先設(shè)定，也可以根據(jù)由電子元件拍攝裝置15拍攝處于未吸附電子元件的初期狀態(tài)的吸嘴125的圖像進(jìn)行圖像處理的方法進(jìn)行檢測。
吸嘴移動裝置204，將電子元件5裝填到檢查用插座6上時，控制第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96的動作，使多個電子元件5在X方向和Y方向上的間隔與多個檢查用插座6在X方向和Y方向上的間隔一致，并移動吸嘴125。多個電子元件5在X方向和Y方向上的間隔，使用通過上述電子元件間隔檢測裝置202檢測出的數(shù)據(jù)。多個檢查用插座6在X方向和Y方向上的間隔，使用插座間隔檢測裝置203檢測出的數(shù)據(jù)。
電子元件自動移載裝置1的控制裝置200，是由檢查裝置主體7內(nèi)的控制裝置與連接用電纜(圖中未示)連接，并由吸嘴125將各電子元件5安裝到多個檢查用插座6上的信息傳遞到檢查裝置主體7的控制裝置上，且檢查裝置主體7內(nèi)的控制裝置將已檢查完的信息與檢查結(jié)果的信息傳遞給控制裝置200。
電子元件自動移載裝置1的控制裝置200，接到已檢查完的信息和檢查結(jié)果的信息之后，控制吸嘴移動裝置204，將檢查完畢的電子元件5，如果是合格品則移載到合格品用托盤T2上，如果是不合格品則移載到不合格品用托盤T3上。
吸嘴移動裝置204，將檢查完的電子元件5移載到合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3上時，控制第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96的動作，使電子元件5在X方向和Y方向上的間隔與上述合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3的多個電子元件收容用凹陷部之間的在X方向和Y方向上的間隔一致，并移動吸嘴125。合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3的多個電子元件收容用凹陷部之間的在X方向和Y方向上的間隔，使用上述插座間隔檢測裝置203檢測出的值。
吸嘴移動裝置204，在吸嘴125從這些已檢查電子元件用托盤T2、T3上返回到上述未檢查電子元件用托盤T1上時，控制第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96的動作，使托盤T2或者托盤T3的多個電子元件收容用凹陷部之間的在X方向和Y方向上的間隔與托盤T1的多個電子元件收容用凹陷部之間的在X方向和Y方向上的間隔一致，并移動吸嘴125。托盤T1在X方向和Y方向上的間隔，使用上述插座間隔檢測裝置203檢測出的值。
上述轉(zhuǎn)動方向定位裝置205，用來控制分別設(shè)置在4個單位單元85上的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124的動作。該轉(zhuǎn)動方向定位裝置205，控制轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124的動作，使上述電子元件間隔檢測裝置202檢測的電子元件5圍繞Z方向軸線的角度與上述插座間隔檢測裝置203檢測的檢查用插座6圍繞Z方向軸線的角度一致。
本實施方式的轉(zhuǎn)動方向定位裝置205，在將電子元件5裝填到檢查用插座6上時、將檢查完的電子元件5移載到合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3時，根據(jù)需要使各單位單元85的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124工作。即，該轉(zhuǎn)動方向定位裝置205，使4個電子元件5的上述轉(zhuǎn)動方向角度與上述托盤T2和托盤T3各自的多個電子元件收容凹陷部的上述轉(zhuǎn)動方向的角度一致，使各單位單元85的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124動作，并轉(zhuǎn)動吸嘴125(電子元件5)。
上述補正裝置206采用下述結(jié)構(gòu)對應(yīng)于在第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96的驅(qū)動下進(jìn)行移動的吸嘴125的移動量來補正，頭部單元75在檢查用插座6的上方為了將電子元件5移動到可裝填位置所移動的方向和距離數(shù)據(jù)。
下面，對上述結(jié)構(gòu)的電子元件自動移載裝置1的動作進(jìn)行說明。為了通過該電子元件自動移載裝置1將電子元件5裝填到檢查用插座6上，首先要通過托盤移載裝置13將未檢查電子元件用托盤T1從儲料器11傳送到托盤支撐裝置12上，然后通過第一或者第二電子元件移動裝置3、4使上述托盤T1上的電子元件5移動到檢查用插座6上。
為了通過托盤移載裝置13將未檢查電子元件用托盤T1從儲料器11傳送到托盤支撐裝置12上，首先，如圖9(a)所示，使移載裝置主體55移動到所希望的儲料器11的下方，通過第一氣缸61使托盤支撐部件65上升至上升位置，同時使第二氣缸62處于伸長狀態(tài)。這時，上述托盤支撐部件65與位于儲料器11內(nèi)的最下方的托盤T1接觸。然后，如圖9(b)所示，使儲料器11的鉤部鉤部24后退，如圖9(c)所示，使第一氣缸61的活塞桿6a下降。
由于該活塞桿6a的下降，托盤支撐部件65和儲料器11內(nèi)的多個托盤T也隨著下降，并由第二氣缸62的活塞桿62a支撐。然后，如圖10(a)所示，使上述鉤部鉤部24前進(jìn)，如同圖(b)所示，使第二氣缸62的活塞桿62a下降。這樣，由于活塞桿62a的下降，托盤支撐部件65和托盤T1也隨著下降，托盤T1支撐在傳送帶64上。
然后，使該傳送帶64、轉(zhuǎn)接傳送帶56的傳送帶66、托盤支撐裝置12的傳送帶35向同一方向動作。通過這些傳送帶的動作，使上述托盤T1通過轉(zhuǎn)接傳送帶56從儲料器11的下方被傳送到托盤支撐裝置12內(nèi)。而且，這時，將托盤支撐裝置12的托盤升降用平板40定位在待機位置上。
通過與上述動作相同的動作，將合格品用托盤T2和不合格品用托盤T3傳送到3臺托盤支撐裝置12中的另外2臺托盤支撐裝置12上。這時，通過元件區(qū)域移動裝置31，使支撐裝置12在X方向上移動，將傳送合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3的支撐裝置12定位在轉(zhuǎn)接傳送帶56的傳送方向的下游側(cè)。
將托盤T1搬入到托盤支撐裝置12內(nèi)，并由傳感器43檢測出托盤T1的傳送方向后側(cè)的端部，由此使上述傳送帶停止。而且，此時，通過使托盤T1的傳送方向后側(cè)的端部抵接在擋塊39上，將托盤T1定位在傳送方向(Y方向)上。這樣，傳送帶35停止之后，通過托盤支撐裝置12的氣缸33使托盤T1與托盤升降用平板40一起上升。
當(dāng)托盤T1上升時，通過一對側(cè)部導(dǎo)向部件38、38使該托盤T1在X方向上定位，并通過前側(cè)受壓板36及后側(cè)受壓板37和托盤升降用平板40的夾壓來矯正偏斜。因此，托盤T1，以在X方向和Y方向上定位的狀態(tài)保持在托盤支撐裝置12上。此時，與未檢查品用托盤T1同樣地，也使合格品用托盤T2和不合格品用托盤T3分別在托盤支撐裝置12內(nèi)上升，并通過前側(cè)受壓板36及后側(cè)受壓板37和托盤升降用平板40預(yù)先在上下方向上定位。
托盤T1保持在托盤支撐裝置12上之后，通過第一電子元件移動裝置3或者第二電子元件移動裝置4的第一X方向驅(qū)動裝置74和第一Y方向驅(qū)動裝置72的驅(qū)動，使頭部單元75向托盤T1的上方移動。其后，通過Z方向驅(qū)動裝置100的驅(qū)動使各吸附頭部99下降，并由四個吸嘴125來吸附托盤T1上的四個電子元件5。此時，頭部單元75使第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96動作，使吸嘴125的位置(X方向和Y方向的間距)與托盤T1的電子元件收容用凹陷部的位置(X方向和Y方向的間距)一致。然后，使為了使作為任一基準(zhǔn)的吸嘴125移動到與該吸嘴125對應(yīng)的作為基準(zhǔn)的電子元件收容用凹陷部的正上方，使第一Y軸方向驅(qū)動裝置72以及第一X軸方向驅(qū)動裝置74動作，控制頭部單元75的移動。
在吸嘴125吸附電子元件5之后，通過第一X方向驅(qū)動裝置74和第一Y方向驅(qū)動裝置72的驅(qū)動，使頭部單元75經(jīng)過電子元件拍攝裝置15的上方之后向檢查用插座6的上方移動。
使頭部單元75經(jīng)過電子元件拍攝裝置15的上方，從而利用該電子元件拍攝裝置15從下方拍攝電子元件5，并通過上述電子元件間隙檢測裝置202檢測出多個電子元件5在X方向和Y方向上的間隔。
這樣檢測出電子元件5的位置之后，吸嘴移動裝置204對上述電子元件5的X方向及Y方向的間距和檢查用插座6的X方向及Y方向的間距進(jìn)行比較，判斷出這兩者的間隔是否一致。此判斷是通過圖像處理來進(jìn)行的。如果兩者的間距不一致，則吸嘴移動裝置204通過使第二X方向驅(qū)動裝置93和Y方向驅(qū)動裝置在X方向和Y方向移動吸嘴125來使上述兩者的間距一致。
并且，此時轉(zhuǎn)動方向定位裝置205判斷出上述電子元件圍繞Z軸方向軸線的角度和檢查用插座6圍繞Z軸方向軸線的角度是否一致。此判斷也是通過圖像處理來進(jìn)行的。如果上述兩者的角度不一致，則轉(zhuǎn)動方向定位裝置205通過使轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124轉(zhuǎn)動吸嘴125而使上述兩者的角度一致。
這樣，通過吸嘴125的位置補正來補正吸附后的電子元件5的位置(補正相對的位置偏移)之后，利用補正裝置206來補正作為頭部單元75的任一基準(zhǔn)的部件5，移動至作為此部件的安裝對象的檢查用插座6的上方為止的、頭部單元75的移動方向和移動間距的數(shù)據(jù)，并根據(jù)此數(shù)據(jù)使頭部單元75向檢查用插座6的上方移動。
上述吸嘴125的位置補正，在頭部單元75移動至檢查用插座6的上方的期間內(nèi)實施。
在頭部單元75移動到檢查用插座6的上方之后，頭部單元75使吸附頭部99下降，并在檢查用插座6上同時裝填四個電子元件5。這樣，通過在檢查用插座6上裝填電子元件5，由電子元件檢查裝置7對電子元件進(jìn)行規(guī)定檢查。在檢查過程中待機，直至另一方的電子元件移動裝置4與上述相同地吸附上述吸附托盤T1上的電子元件5，并移動到檢查用插座6的附近檢查完畢。
檢查結(jié)束之后，頭部單元75使電子元件5從檢查用插座6上升，移動到三個托盤支撐裝置12中合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3所處的托盤支撐裝置12的上方，并將電子元件5移載到這些托盤T2、T3上。在上述移動過程中，頭部單元75，如果上述托盤T2或者托盤T3的電子元件收容用凹陷部之間的X方向以及Y方向的間距、圍繞Z方向軸線地角度和電子元件5的X方向以及Y方向的間距、圍繞Z方向軸線的角度不一致，則使第二X方向驅(qū)動裝置93、第二Y方向驅(qū)動裝置96以及轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124動作，使其一致，并修正電子元件5的位置。然后，為了使作為任一基準(zhǔn)的吸嘴125移動到與該吸嘴125對應(yīng)的作為基準(zhǔn)的電子元件收容用凹陷部的正上方，使第一Y軸方向驅(qū)動裝置72以及第一X軸方向驅(qū)動裝置74動作，并控制頭部單元75的移動。
將電子元件5載置到合格品用托盤T2或者不合格品用托盤T3上之后，頭部單元75為了吸附下一個的檢查電子元件5，向未檢查電子元件用托盤T1的上方移動。在此移動過程中，頭部單元75使第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96動作，使得多個吸嘴125的X方向以及Y方向的間距與未檢查電子元件用托盤T1的多個電子元件收容用凹陷部之間的X方向以及Y方向的間距一致，并移動吸嘴125。
當(dāng)將保持在托盤支撐裝置12上的未檢查電子元件用托盤T1上的電子元件5全部取出，而使該托盤T1變空時，或者合格品用托盤T2或不合格品用托盤T3被檢查后的電子元件5填滿時，通過元件區(qū)域移動裝置31向X方向移動三組托盤支撐裝置12，并使這些部件的返回用托盤T4與轉(zhuǎn)接用傳送帶56在Y方向上排列地對托盤支撐裝置12進(jìn)行定位。此時，裝填在另一托盤支撐裝置12上的托盤T，保持從下方擠壓在前側(cè)受壓板36、后側(cè)受壓板37以及側(cè)部導(dǎo)向部件38上的狀態(tài)。即，此時這些托盤T，在相對于托盤支撐裝置12進(jìn)行定位的狀態(tài)下向X方向移動。
具有返回用托盤T4的托盤支撐裝置12相對于轉(zhuǎn)接用傳送帶32進(jìn)行定位之后，如圖8(a)所示，通過轉(zhuǎn)接用傳送帶56將返回用托盤T4從托盤支撐裝置逐個移動到二組移載裝置主體55中的一方。另外，即使在這樣為了搬出返回用托盤T4而向X方向移動三組托盤支撐裝置12的狀態(tài)下，也可以通過第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4繼續(xù)取放對其他托盤T的電子元件5。
其次，如同圖(b)所示，使托盤移載裝置13動作，并向X方向移動二組移載裝置主體55，使另一移載裝置主體55與轉(zhuǎn)接傳送帶56相對。然后，如同圖(c)所示，將預(yù)先放在上述另一移載裝置主體55上的新托盤T5經(jīng)過上述轉(zhuǎn)送傳送帶56傳送到上述托盤支撐裝置12上。這樣從上述另一移載裝置主體55上搬出上述新托盤T5之后，向規(guī)定的儲料器11的下方移動上述另一移載裝置主體55，并將返回用托盤T4收容到儲料器11內(nèi)。
如圖11及圖12所示，將返回用托盤T4收容到儲料器11中。首先，如圖11(a)、(b)所示，通過托盤移載裝置13的第二氣缸62使返回用托盤T4從下方與位于儲料器11最下端的其他托盤T接觸，并使儲料器11的鉤部鉤部24后退。之后，如同圖(c)所示，通過第一氣缸61，將包括返回用托盤T4和上述其他托盤T的儲料器11內(nèi)的所有托盤T上推一個托盤的程度，如圖12(a)所示，使鉤部鉤部24前進(jìn)。這樣一來，在鉤部鉤部24前進(jìn)之后，使第一以及第二氣缸61、62的活塞桿61a、62a下降。
如上述構(gòu)成的電子元件自動移載裝置1，以沿X方向排列的狀態(tài)設(shè)置有作為元件區(qū)域B的多個托盤支撐裝置12，并在與這些托盤支撐裝置12Y方向上分離的位置上設(shè)有檢查用插座6。因此，該實施方式的電子元件自動移載裝置1，可以在元件區(qū)域排列在與檢查用插座分離的方向上的現(xiàn)有電子元件自動移載裝置中、與位置最接近檢查用插座的托盤間距相等的位置上配置所有托盤T。
所以，該實施方式的電子元件自動移載裝置1，在托盤支撐裝置12和檢查用插座6之間移動電子元件5時，第一電子元件或者第二電子元件移動裝置3、4不需越過托盤支撐裝置12即可向與檢查用插座6相反的方向移動，因此與以往的電子元件自動移載裝置相比，可縮短進(jìn)行電子元件5的吸附→移動→檢查→載置等一連串檢查動作的生產(chǎn)節(jié)拍時間。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，相對于托盤支撐裝置12在與檢查用插座6相反的一側(cè)設(shè)有與托盤支撐裝置12的排列方向平行地排列的多個儲料器11，并且具有在這些儲料器11與上述托盤支撐裝置12之間移動托盤T的托盤移動裝置13。因此，對于這種電子元件自動移載裝置1，在托盤支撐裝置12上將電子元件5吸附或者載置到托盤T上時，可以相對于儲料器11取放并非操作對象的托盤T。因此，無需為了更換托盤T而停止進(jìn)行電子元件5的吸附、載置的動作。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，具備第一電子元件移動裝置3和第二電子元件移動裝置4，并且這些第一電子元件移動裝置3、第二電子元件移動裝置4對稱設(shè)置，以便將電子元件5交替裝填到檢查用插座6上。因此，根據(jù)該實施方式的電子元件自動移載裝置1，可以在由一個電子元件移動裝置將電子元件5裝填并保持在檢查用插座6上的期間(檢查期間)，由另一個電子元件移動裝置預(yù)先準(zhǔn)備下一個電子元件5。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4，具備使吸嘴125升降的同時進(jìn)行轉(zhuǎn)動的吸附頭部99、支撐多個該吸附頭部99的頭部單元75、以及使該頭部單元75在水平方向上移動的頭部單元75用移動裝置(第一X方向驅(qū)動裝置74和第一Y方向驅(qū)動裝置72等)。因此，該實施方式的電子元件自動移載裝置1，可以將多個電子元件5一次裝填到多個檢查用插座6上，因此與逐個將電子元件5裝填到檢查用插座上的電子元件自動移載裝置，提高了檢查效率。
同時，該實施方式的電子元件自動移載裝置1，由于可以通過由第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置94構(gòu)成的吸嘴移動裝置，使吸嘴125相對于其他吸嘴125在水平方向上移動，因此不必更換頭部單元75，即可簡單且準(zhǔn)確地使吸嘴間的間隔與插座間的間隔一致。
根據(jù)該實施方式的電子元件自動移載裝置1，由吸嘴125吸附電子元件5時，即使電子元件5的位置偏離目標(biāo)位置，也可以通過吸嘴移動裝置(第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置94)補正該位置偏差。因此，該實施方式的電子元件自動移載裝置1，即使吸附電子元件5時，電子元件5相對于吸嘴125發(fā)生位置偏差，也可以將電子元件5準(zhǔn)確地裝填到檢查用插座上。
其結(jié)果是，采用該電子元件自動移載裝置1，能夠隨時補正無法利用改變吸嘴之間的間隔的手動式聯(lián)桿機構(gòu)進(jìn)行補正的上述吸附位置偏差。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，由吸嘴移動裝置修正吸附時的電子元件5的位置偏差之后，利用補正裝置補正頭部單元75移動至檢查用插座6上方的移動方向和距離數(shù)據(jù)。因此，根據(jù)該實施方式的電子元件自動移載裝置1使頭部單元75動作，使其反映吸嘴125的位置變化，因此可以更準(zhǔn)確地將電子元件5裝填到檢查用插座6上。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，吸嘴125從吸附電子元件5的吸附位置移動到檢查用插座6的途中，可利用電子元件用拍攝裝置15從下方拍攝電子元件5。因此，為了拍攝電子元件5，不需要向不同于檢查用插座6所處的方向移動頭部單元75，即可大致呈直線狀地移動頭部單元75。因此，根據(jù)該電子元件自動移載裝置1，可縮短頭部單元75的移動時間，并可縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，因改變需檢查的電子元件5的種類等而更換檢查用插座6時，則使頭部單元75移動并利用頭部側(cè)拍攝裝置86從上方拍攝檢查用插座6，從而檢測出新檢查用插座6的插座間的間隔，可容易地進(jìn)行設(shè)定。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，通過轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124使吸嘴125轉(zhuǎn)動，使得利用由電子元件用拍攝裝置15所拍攝的電子元件5的圖像檢測出的各電子元件5的圍繞Z方向的角度與利用由頭部側(cè)拍攝裝置86所拍攝的檢查用插座6的圖像檢測出的Z方向的軸線角度一致。因此，根據(jù)該電子元件自動移載裝置1，可準(zhǔn)確地將電子元件5定位在檢查用插座6上，并且更可準(zhǔn)確地將多個電子元件5裝填到檢查用插座6上。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，通過吸嘴移動裝置使吸嘴125向X方向和Y方向移動，因此如該實施方式所示，即使多個檢查用插座排列成兩列，也可使檢查用插座6、6之間的間隔與電子元件5、5之間的間隔一致。
在該實施方式中雖然表示了根據(jù)頭部側(cè)拍攝裝置86所拍攝的圖像數(shù)據(jù)檢測多個檢查用插座6之間的間隔的示例，但是如果已知多個檢查用插座6、6之間的間隔，則可替代通過圖像處理檢測間隔，而由操作員輸入間隔數(shù)據(jù)。此時，吸嘴移動裝置，調(diào)整多個吸嘴125的間隔，使其與已輸入的上述數(shù)據(jù)一致。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，測試頭部8可拆卸地固定在基座2上。因此，根據(jù)該電子元件自動移載裝置1，通過將檢測頭部8安裝到基座2上來檢查電子元件，較之在載置有基座的地板上與基座脫離地載置測試頭部的電子元件自動移載裝置，即使外部環(huán)境的振動傳遞到地板上，也可準(zhǔn)確地實施吸嘴125對檢查用插座6的對位。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，具備可拆卸地安裝在基座2上的測試頭部8；和在將電子元件5安裝到檢查用插座6上的過程中，通過測試頭部8在多個電子元件5之間輸入輸出檢查用電流來檢查電子元件5的檢查裝置主體7，因此可簡單地聯(lián)系利用檢查裝置主體7的電子元件檢查和電子元件5向檢查用插座的移載。
根據(jù)該實施方式，檢查裝置主體7支撐在基座2上，并在檢查用插座6與檢查裝置主體7之間的、用于流通檢測電流的路徑途中配置有可拆卸的連接器，檢查裝置主體7可與檢查用插座6進(jìn)行電分離及機械分離，因此不改變檢查裝置主體7即可更換檢測頭部8，并可檢查多種電子元件。同時，作為電子元件自動移載裝置1的一部分構(gòu)件的檢查裝置主體7的傳送變得容易。
而且，該實施方式的電子元件自動移載裝置1，在托盤支撐裝置12(第二托盤保持部)上設(shè)置有由前側(cè)受壓板36和后側(cè)受壓板37以及側(cè)部導(dǎo)向部件38等構(gòu)成的上下方向定位部件，并與托盤一起向X方向移動。因此，在該電子元件自動移載裝置1上，盡管支撐上述上下方向定位部件的部件(豎向板35)形成得能夠獲得充分剛性的結(jié)構(gòu)，但是托盤T向X方向的移動不會因該部件而受到限制。
因此，根據(jù)該電子元件自動移載裝置1，通過縱向板35牢固地支撐上述上下方向定位部件的同時，可容易地在支撐位置上向X方向傳送托盤T。
同時，在該實施方式的電子元件自動移載裝置1中，托盤T，在元件區(qū)域移動裝置31的驅(qū)動和傳送帶35的驅(qū)動下，在托盤支撐裝置12上向X方向和Y方向移動。因此，對于該電子元件自動移載裝置1，在多個托盤支撐裝置12與儲料器11之間移動托盤T時，可以用一臺轉(zhuǎn)接用傳送帶56來進(jìn)行。該轉(zhuǎn)接用傳送帶56在X方向上的位置，可以在三組托盤支撐裝置12的移動范圍內(nèi)適當(dāng)變更。因此，設(shè)計托盤T的支撐裝置(元件區(qū)域B)與儲料器11之間的托盤T的傳送路徑時的自由度提高。
在該實施方式的電子元件自動移載裝置1中，可以同時進(jìn)行托盤移動裝置13的托盤T向儲料器11的取放動作和在托盤支撐裝置12的托盤T上由第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4吸附、載置電子元件5的動作。
所以，在托盤支撐裝置12上，對托盤T進(jìn)行電子元件的吸附或者裝載時，可以相對于托盤T取放并非操作對象的儲料器11。因此，根據(jù)該電子元件自動移載裝置1，不必為了更換托盤T而停止進(jìn)行吸附、移載電子元件5的動作，因此通過第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4能夠高效地進(jìn)行部件的取放動作。
在該實施方式的電子元件自動移載裝置1中，將托盤T擠壓在由前側(cè)受壓板36、后側(cè)受壓板37以及側(cè)部導(dǎo)向部件38等構(gòu)成的上下方向定位部件上，并以在上下方向定位的狀態(tài)通過元件區(qū)域移動裝置31的驅(qū)動使托盤T向X方向移動。因此，隨著上述移動可以改變第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4相對于托盤T取放電子元件5的位置。
因此，在三組托盤支撐裝置12中的一個托盤支撐裝置12上搬出、搬入托盤T時，可以在其他托盤支撐裝置12上通過第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4進(jìn)行電子元件5的取放，并且可高效地進(jìn)行該取放動作。同時，這樣一來，由于可以使托盤T在定位于托盤支撐裝置12上的狀態(tài)下沿X方向移動，因此可以在吸嘴125的移動間距最短的最佳位置上，利用第一電子元件移動裝置3以及第二電子元件移動裝置4相對于該托盤T進(jìn)行電子元件5的取放動作。
并且，在該實施方式的電子元件自動移載裝置1中，當(dāng)使托盤T與托盤支撐裝置12一起向X方向移動時，由于可以在托盤升降用氣缸33的驅(qū)動下擠壓在上述上下方向定位部件上，因此向X方向移動時，托盤T不會從傳送帶上脫落，因而能夠快速移動托盤T。
本發(fā)明的電子元件自動移載裝置，可以形成如圖15至圖26所示的結(jié)構(gòu)。圖15是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖，圖16是圖15的XV-XV線剖面圖，圖17至圖23是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖，圖26以及圖27是表示電子元件自動移載裝置的其他實施方式的平面圖。在這些圖中，對與上述圖1至圖13說明的部件相同或者等同的部件標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并適當(dāng)?shù)厥÷栽敿?xì)說明。
圖15和圖16所示的電子元件自動移載裝置，只有基座側(cè)拍攝裝置15的結(jié)構(gòu)不同，而其他部件采用與圖1至圖13所示的電子元件自動移載裝置等同的結(jié)構(gòu)。圖15和圖16表示的電子元件自動移載裝置，僅設(shè)有一臺基座側(cè)拍攝裝置15。該基座側(cè)拍攝裝置15，通過滾珠絲杠驅(qū)動裝置201向X方向移動。
通過采用該結(jié)構(gòu)，可以使基座側(cè)拍攝裝置15向接近頭部單元75的方向移動，因此可以使頭部單元75在吸附電子元件之后向檢查用插座6以一直線狀移動。因此，根據(jù)該電子元件自動移載裝置1，可進(jìn)一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍時間。
圖17至圖20所示的電子元件自動移載裝置1，只設(shè)有一臺電子元件移動裝置。圖17表示的電子元件移動裝置202，與圖1至圖13表示的電子元件自動移載裝置1所采用的第一電子元件移動裝置3結(jié)構(gòu)相同。
圖18所示的電子元件移動裝置203，在基座2的X方向上的兩端設(shè)置有固定導(dǎo)軌204，并橫架在這些固定導(dǎo)軌204上而設(shè)置支撐部件205。該支撐部件205，在Y方向上移動自如地支撐在固定導(dǎo)軌204上的同時，通過滾珠絲杠式的第一Y方向驅(qū)動裝置206的驅(qū)動在Y方向上移動。該支撐部件205，具有向X方向延伸的導(dǎo)軌207，并由該導(dǎo)軌207在X方向上移動自如地支撐頭部單元75。
該頭部單元75，通過設(shè)置在支撐部件205上的滾珠絲杠式的第一X方向驅(qū)動裝置在X方向上移動。該實施方式的頭部單元75，在X方向上移動自如地支撐在導(dǎo)軌207上且支撐在從支撐部件205向裝置前方伸出的移動部件209上，并通過使支撐部件205在Y方向上移動而向Y方向移動，通過使移動部件209在X方向上移動而向X方向移動。因此，在該實施方式中，并未使用采用圖1至圖17表示的實施方式時所使用的支撐部件73，并且單位單元85直接安裝到移動部件209上。
圖19和圖20所示的電子元件自動移載裝置1，使托盤T在托盤移動裝置13和托盤支撐裝置12之間直接移動。圖19所示的電子元件自動移載裝置1的電子元件移動裝置210，在儲料器11與托盤支撐裝置12之間和基座2的后端設(shè)置有固定導(dǎo)軌211，支撐部件212在X方向上移動自如地支撐在該固定導(dǎo)軌211上。該支撐部件212，通過滾珠絲杠式的第一X方向驅(qū)動裝置213向X方向移動。
并且，該支撐部件212具有向Y方向延伸的導(dǎo)軌214，由該導(dǎo)軌214在Y方向上移動自如地支撐頭部單元75。頭部單元75，通過設(shè)置在上述支撐部件212上的第一Y方向驅(qū)動裝置215向Y方向移動。該實施方式的頭部單元75，在Y方向上移動自如地支撐在導(dǎo)軌214上且支撐在從支撐部件212向裝置左側(cè)伸出的移動部件216上，并通過使支撐部件212向X方向移動而向X方向移動，通過使移動部件216向Y方向移動而在支撐部件212的上方朝Y方向移動。因此，在該實施方式中，并未使用采用圖1至圖18所示的實施方式時使用的支撐部件73，并且將單位單元85直接安裝到移動部件216上。
圖20所示的電子元件自動移載裝置1的電子元件移動裝置220，除了頭部單元75的延伸方向的不同，其余采用與圖18所示的電子元件移動裝置203同等的結(jié)構(gòu)。因此，在這里標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記且省略詳細(xì)的說明。圖20所示的頭部單元75，形成從支撐部件205向裝置前方伸出的結(jié)構(gòu)。
圖21所示的電子元件自動移載裝置1，表示技術(shù)方案6所述的自動傳送裝置的實施方式，由多個儲料器11構(gòu)成元件區(qū)域B。即，該電子元件自動移載裝置1上未設(shè)置圖1至圖20所示的電子元件自動移載裝置1中所說的托盤支撐裝置12。
該實施方式的儲料器11，與本申請的申請人已申請的特2002-303649號中所記載的儲料器具有同等結(jié)構(gòu)。即，該實施方式的儲料器11，是將多個托盤以上下重疊的狀態(tài)進(jìn)行收容的結(jié)構(gòu)，并具有使托盤升降的升降裝置230。
該升降裝置230是滾珠絲杠式，由以下部分構(gòu)成位于儲料器11的最下部的電動機231；電動機231的轉(zhuǎn)動驅(qū)動軸，即嵌合貫通上下方向被限制的滾珠螺母(未圖示)，并且被限制轉(zhuǎn)動的滾珠絲杠軸(未圖示)；以及固定該滾珠絲杠軸的上端部，并支撐托盤T的工作臺232等。
在該儲料器11的最上部設(shè)有開口，其開口作為從上方取出或者放回電子元件5或托盤T的移載部233。
同樣地，在該實施方式中，在與遠(yuǎn)離檢查用插座6的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上排列設(shè)置多個儲料器11。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1，配備有與上述圖20所示的電子元件移動裝置220同等結(jié)構(gòu)的電子元件移動裝置240，并采用下述結(jié)構(gòu)通過該移動裝置240，在儲料器11上的托盤T與檢查用插座6之間，一次也不必放開電子元件地使其移動。該電子元件移動裝置240的各部件，標(biāo)注圖20所示的附圖標(biāo)記，并省略說明。
同時，圖21所示的電子元件自動移載裝置1，為了搬出取出全部被檢查用電子元件5而變空的托盤，或者被檢查完的電子元件5裝滿的托盤，具有吸附式的托盤移載裝置241。該托盤移載裝置241，具有從上方吸附托盤的吸附部件242和使該吸附部件242升降的同時向X方向移動的X方向移動裝置243。
圖21所示的電子元件自動移載裝置1，也具有與圖1至圖20所示的電子元件自動移載裝置1同等的效果。尤其，在圖21所示的電子元件自動移載裝置1中，未設(shè)置圖1至圖20所示的電子元件自動移載裝置1中所說的托盤支撐裝置12，因此與這些電子元件自動移載裝置相比，可以小型化。
并且，本發(fā)明也可適用于配備有如圖22所示的加熱板的電子元件自動移載裝置。
圖22是具有加熱板的電子元件自動移載裝置的平面圖，在該圖中，對于與上述圖1至圖1說明的部件相同或者同等的部件標(biāo)注相同附圖標(biāo)記，并適當(dāng)省略詳細(xì)說明。
圖22所示的電子元件自動移載裝置1的托盤支撐裝置12配備有加熱板131。該加熱板131設(shè)置在三臺托盤支撐裝置12中的兩側(cè)托盤支撐裝置12的外側(cè)，并通過元件區(qū)域移動裝置31的驅(qū)動與托盤支撐裝置12一起向X方向移動。
這些加熱板131內(nèi)置有加熱器(未圖示)，并在上端部上在X方向和Y方向上排列設(shè)置有多個電子元件收容用凹陷部132。
該實施方式的電子元件自動移載裝置1中，電子元件5從托盤支撐裝置12上的未檢查電子元件用托盤T1被移載到加熱板131上，在此處加熱到規(guī)定溫度之后從加熱板131中取出，并裝填到檢查用插座6上。該實施方式的電子元件自動移載裝置1，當(dāng)將電子元件5從未檢查電子元件用托盤T1移載到加熱板131上時，對多個電子元件收容用凹陷部之間的在X方向以及Y方向上的間隔和圍繞Z方向軸線的角度進(jìn)行比較，并通過第二X方向驅(qū)動裝置93和第二Y方向驅(qū)動裝置96以及轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124使吸嘴125移動，使其一致。
同時，該電子元件自動移載裝置1，當(dāng)使電子元件5從加熱板131移動到檢查用插座6上時，對加熱板131的多個電子元件收容用凹陷部132的在X方向和Y方向上的間距以及圍繞Z方向軸線的角度和檢查用插座6的在X方向和Y方向上的間距以及圍繞Z方向軸線的角度進(jìn)行比較，通過第二X方向驅(qū)動裝置93、第二Y方向驅(qū)動裝置96以及轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置124使吸嘴125移動，以使其一致。
在該電子元件自動移載裝置1的各單元單元85上設(shè)置有用于將吸嘴125加熱至規(guī)定溫度的加熱器133，支撐檢查用插座6的測試頭部8設(shè)置有用于將檢查用插座6加熱至規(guī)定溫度的加熱器134。
這樣一來，由于在配備加熱板131的情況下，也可以一次吸附多個電子元件5并裝填到檢查用插座6上，因此具有與圖1至圖14所示實施方式的電子元件自動移載裝置1同等的效果。
圖23和圖24所示的電子元件自動移載裝置400采用下述結(jié)構(gòu)通過電子元件移載裝置403使電子元件5(未檢查的電子元件5和已檢查的電子元件5)在設(shè)置于基座2的后端部(圖23中為上側(cè)的端部)的電子元件檢查裝置401和與該電子元件檢查裝置401相鄰設(shè)置的電子元件收容用托盤402之間移動。
上述電子元件檢查裝置401，具有從上方裝填電子元件的電子元件插座(未圖示)。
上述托盤402，在其上表面形成有多個收容電子元件的凹部402a，并且在遠(yuǎn)離上述電子元件檢查裝置401的方向上排列有多個。這些托盤402，是通過托盤移動裝置405從設(shè)置在裝置右側(cè)的多個儲料器404中被向左抽出，并且根據(jù)需求通過該托盤移動裝置405返回到儲料器404中。
上述電子元件移載裝置403，由以下部分構(gòu)成在基座2上向Y方向延伸的一對固定導(dǎo)軌406、在Y方向移動自如地支撐在這些固定導(dǎo)軌406上并在固定導(dǎo)軌之間延伸的主體407、以及設(shè)置在該主體407的前端并向X方向移動的多個單位單元85等。這些單位單元85，在Y方向上排列設(shè)置。
采用此結(jié)構(gòu)時，檢查用插座6，除了如圖23所示在X方向上排設(shè)兩個的同時在Y方向排列設(shè)置兩個之外，如圖24(a)所示，可在Y方向排列設(shè)置兩個，或如24圖(b)所示在X方向上排列設(shè)置兩個。
圖25所示的電子元件自動移載裝置500，除了傳送用頭部的結(jié)構(gòu)不同之外，其他采用與本申請人已申請的特開2002-303649號中所記載的電子元件自動移載裝置同等的結(jié)構(gòu)。該實施方式的電子元件自動移載裝置500，在基座2的后端部上沿X方向排列設(shè)置有兩個檢查用插座6，同時在基座2的前端部上設(shè)置有多個儲料器11，并為了使電子元件5在這些部件之間移動，設(shè)置有第一至第三電子元件移動裝置501至503。
第一電子元件移動裝置501，具備在儲料器11的兩側(cè)向Y方向延伸的一對固定導(dǎo)軌504、在這些固定導(dǎo)軌504上向X方向延伸并沿著固定導(dǎo)軌504向Y方向移動的支撐部件505以及沿著該支撐部件505向X方向移動的吸附頭部506。該第一電子元件移動裝置501，在使電子元件5在儲料器11的托盤T和下述第二電子元件移動裝置502之間移動的同時，在儲料器11之間移載托盤T。
第二電子元件移動裝置502設(shè)置在X方向的一側(cè)與另一側(cè)。這些第二電子元件移動裝置502，具備向Y方向延伸的固定導(dǎo)軌507和沿著該固定導(dǎo)軌507向Y方向移動的托盤508。在該托盤508中，載置有未檢查的電子元件5和已檢查的電子元件5。
第三電子元件移動裝置503，具備向X方向延伸的兩條固定導(dǎo)軌511和沿著固定導(dǎo)軌511向X方向移動的兩組傳送用頭部512。傳送用頭部512具備從上述固定導(dǎo)軌511向裝置后側(cè)延伸的頭部主體513。該頭部主體513，通過傳送用頭部512向X方向的移動，使前端部定位在檢查用插座6的上方，并且在該前端部上沿X方向排列設(shè)置有圖1至圖14所示的電子元件自動移載裝置1的多個單位單元85。
圖23至圖25所示的電子元件自動移載裝置1、300、400、500，也具有與圖1至圖14所示的電子元件自動移載裝置1同等的效果。
圖26所示的電子元件自動移載裝置600，具備使托盤T在基座2的元件區(qū)域B和儲料器11之間移動的托盤支撐裝置601。
該實施方式的托盤支撐裝置601，相對于上述第一實施方式所示的三組托盤支撐裝置602，做了以下改變替代傳送帶35而將托盤載置臺700固定配置在縱向板上；未采用氣缸33以及托盤升降用平板40；前側(cè)受壓板36以及后側(cè)受壓板37可在X方向上移動；中央的托盤保持部602的一對側(cè)部導(dǎo)向部件38相對于其他側(cè)部導(dǎo)向部件38在X方向上偏離；為了調(diào)整三組托盤支撐裝置602的各對側(cè)部導(dǎo)向部件38之間的間隔大小，可在Y方向移動等。
托盤移載支撐裝置601由以下部分構(gòu)成使這些托盤支撐裝置602一體地向Y方向移動的支撐部件603；和沿著在基座2上向X方向延伸的一對固定導(dǎo)軌604，使上述支撐部件603向X方向移動的X方向驅(qū)動裝置605。
上述托盤移載裝置601，使托盤支撐裝置602在圖26所示儲料器11的下方位置與雙點劃線Y所示的位置之間向X方向和Y方向移動。
該實施方式的多個儲料器11，在基座2的X方向的一側(cè)部上，沿Y方向排列設(shè)置。在這些儲料器11的各下方部上，相當(dāng)于上述第一實施方式所示的第一氣缸61的氣缸載置并固定在基座2上，相當(dāng)于該第一氣缸61的活塞桿前端連接有相當(dāng)于托盤支撐部件65的部件。
該實施方式的電子元件移動裝置，分別由兩組第一及第二移載裝置3A、3B、4A、4B構(gòu)成。各第一移載裝置3A、3B由以下部分構(gòu)成獨立地向Y方向移動自如地支撐在固定導(dǎo)軌210上，并向基座2中央方向延伸的主體611，該固定導(dǎo)軌210在基座2上向Y方向延伸；和分別設(shè)置在該主體611的前端部上，并可向X方向移動的單位單元85等。第二移載裝置4A、4B，在第一移載裝置3A、3B的與X方向相反的一側(cè)，形成與第一移載裝置3A、3B相同的結(jié)構(gòu)。這些第一及第二移載裝置3A、3B、4A、4B在雙點劃線Y所示的支撐位置上，根據(jù)與分別載置在基座2上的相當(dāng)于氣缸33的氣缸的活塞桿前端相連的相當(dāng)于托盤升降用平板40的托盤升降用平板，以上下方向定位的狀態(tài)保持在托盤支撐裝置602上。
即使如該實施方式所示地構(gòu)成了托盤支撐裝置，也可以與采用第一實施方式時發(fā)揮同等的效果。
第二實施方式的托盤支撐裝置602，從俯視看，以位于儲料器下方的狀態(tài)對儲料器11進(jìn)行取放。此時，前側(cè)受壓板36以及后側(cè)受壓板37向X方向移動，上述側(cè)部導(dǎo)向部件38向Y方向移動，載置托盤T的托盤載置臺700的上方敞開。通過配置在基座2上的相當(dāng)于第一氣缸61的氣缸的工作，相當(dāng)于托盤支撐部件65的托盤支撐部件升降，并對儲料器11進(jìn)行托盤的取放。而且，該取放之后的托盤支撐裝置605，在向雙點劃線Y所示的支撐位置移動過程中，前側(cè)受壓板36以及后側(cè)受壓板37移動到X方向上的原來位置，上述側(cè)部導(dǎo)向部件38移動到Y(jié)方向上的原來位置，載置托盤T的托盤載置臺700的上方托盤的四周關(guān)閉。在托盤支撐裝置602移動到雙點劃線Y所示的支撐位置并停止的狀態(tài)下，通過基座2上的升降裝置(由相當(dāng)于第一氣缸61的氣缸以及相當(dāng)于托盤支撐部件65的托盤支撐部件組成)的工作，將托盤T在上下方向上定位。即，可移動的托盤支撐裝置602的前側(cè)受壓板36以及后側(cè)受壓板37成為上下方向定位部件。
在第一實施方式中，托盤支撐裝置602向水平方向移動時，由上下方向定位部件夾緊托盤T，并在傳送過程中可靠地保持托盤T，但在第二實施方式中，在載置臺上形成用于防止在傳送過程中托盤T向Y方向移動的凹部。從儲料器11接收托盤T時，托盤T被收容到凹部內(nèi)。并且，在第二實施方式中，雖然在與托盤支撐裝置602之間直接從儲料器11取放托盤T，但也可在儲料器11的下方配置相當(dāng)于第一實施方式所示的托盤移載裝置13的托盤移載裝置。此時，托盤支撐裝置602，例如在雙點劃線X所示的位置上，從相當(dāng)于托盤移載裝置13的托盤移載裝置取放托盤T，相當(dāng)于托盤移載裝置13的托盤移載裝置與第一實施方式相同地從儲料器11上取放托盤T。
在上述各實施方式中，雖然表示了在儲料器11的下方進(jìn)行托盤取放的實例，但是作為儲料器11也可以使用將托盤從上方取出并進(jìn)行收容的儲料器。此時，配備使托盤在具有上下方向定位部件的托盤保持部與托盤之間移動的托盤移載裝置。該托盤移載裝置，可考慮使用在X方向、Y方向以及Z方向上可移動托盤吸附用吸嘴的裝置。
上述各實施方式所示的托盤支撐裝置12、602，當(dāng)托盤壓在上下方向定位部件上時，采用了托盤向上方與傳送帶35或托盤載置臺700分離的結(jié)構(gòu)，但通過托盤升降平板40，可使托盤與傳送帶35的傳送帶或托盤載置臺700一起升降。采用此結(jié)構(gòu)時，在三組托盤支撐裝置12、602中，為了可以使傳送帶35單獨停止，在帶式傳送帶35的驅(qū)動系統(tǒng)上對每個托盤支撐裝置12、602設(shè)置離合器。
對于上述各個實施方式，電子元件自動移載裝置的測試頭部8可拆卸地固定在基座2上。因此，如果將測試頭部8安裝到基座2上進(jìn)行電子元件檢查，則與在載置有基座的地板上脫離基座地載置測試頭部8的電子元件自動移載裝置相比，即使外部環(huán)境的振動傳遞到地板上，也可以準(zhǔn)確地實施吸嘴125對檢查用插座6的對位。
電子元件自動移載裝置1內(nèi)的控制裝置和檢查裝置主體7，通過未圖示的信號線連接，電子元件自動移載裝置1在檢查電子元件5時，與檢查裝置主體7聯(lián)動，因此檢查裝置主體7可以作為電子元件自動移載裝置1的一部分。此時，對于構(gòu)成一個動作程序或統(tǒng)一控制裝置很有效。同時，也可以不在地板上載置檢查裝置主體7，而在基座2的未圖示的下部結(jié)構(gòu)部件上載置檢查裝置主體7。由此，也可以通過改進(jìn)電子元件自動移載裝置1的生產(chǎn)來實施電子元件檢查裝置的動作檢查。同時，也可以一體進(jìn)行傳送。
測試頭部8可拆卸地固定在基座2上，并且連接檢查用插座6和檢查裝置主體7的未圖示的檢查用電纜的任意一端或者中部配置有未圖示的連接器，因此對應(yīng)被檢查對象的電子元件5的改變，除了檢查用程序的改變，不會影響到檢查裝置主體7的更換而簡單地更換測試頭部8，即可實施電子元件檢查。電子元件自動移載裝置1內(nèi)的控制裝置和檢查裝置主體7的控制裝置，可以通過未圖示的信號線進(jìn)行信息收發(fā)，各電子元件移載程序和電子元件檢查程序相互關(guān)聯(lián)且并列實施，但也可由電子元件自動移載裝置1內(nèi)的控制裝置同時實施電子元件移載控制和電子元件檢查控制。
權(quán)利要求
1.一種電子元件自動移載裝置，其特征在于包括，具有對收容多個電子元件的托盤進(jìn)行定位的元件區(qū)域，以及可設(shè)置裝填上述電子元件的檢查用插座的檢查區(qū)域；使電子元件在上述基座的檢查區(qū)域和元件區(qū)域之間移動的電子元件移動裝置；上述元件區(qū)域，從俯視方向看沿著與離開上述檢查區(qū)域的方向正交的方向并列設(shè)置有多個，上述電子元件移動裝置，具有吸附電子元件同時使該電子元件在位于上述基座的元件區(qū)域的托盤與位于上述基座的檢查區(qū)域的檢查用插座之間移動的吸嘴。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述元件區(qū)域，設(shè)置有保持托盤并限制托盤移動的多個托盤支撐裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括，相對于上述托盤支撐裝置，在與檢查區(qū)域相反的一側(cè)，沿著與托盤支撐裝置排列方向平行的方向予以設(shè)置的多個儲料器，該些儲料器可收容在上下方向上予以重疊的多個托盤；使托盤在上述儲料器和上述托盤支撐裝置之間移動的托盤移載裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述儲料器，包括位于最下部的托盤進(jìn)出口；在位于托盤進(jìn)出口附近的保持托盤的保持位置，和使托盤向下方移動的出入位置之間移動可能的托盤保持裝置，上述托盤移載裝置，包括升降儲料器中的托盤的升降裝置；在儲料器的下方支撐托盤的傳送帶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述電子元件移動裝置為多個，在上述基座的兩側(cè)成對設(shè)置，并將電子元件交替裝填至上述檢查用插座。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述電子元件移動裝置，包括，升降吸嘴的同時使其轉(zhuǎn)動的吸附頭部、支撐上述多個吸嘴的頭部單元、使該頭部單元沿水平方向移動的頭部單元用移動裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述元件區(qū)域，設(shè)置有多個可收容在上下方向上予以重疊的多個托盤的儲料器，上述儲料器，其最上部設(shè)置有開口，并且具有使上述托盤升降的升降裝置，以及可從上述開口取出上述托盤并移載到其他儲料器的托盤移載裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述檢查區(qū)域，可設(shè)置多個檢查用插座，上述電子元件移動裝置，包括吸附多個被檢查用電子元件的多個吸嘴、使上述吸嘴所吸附的多個電子元件在吸附狀態(tài)下沿水平方向移動并裝填至多個檢查用插座的頭部單元、為了使上述多個吸嘴的間隔與上述多個檢查用插座的間隔相一致而使上述吸嘴予以移動的吸嘴移動裝置，上述多個吸嘴中的至少一個，沿水平方向移動自如地支撐在頭部單元上。
8.一種電子元件自動移載裝置，其特征在于包括，支撐裝填有被檢查用電子元件的多個檢查用插座的基座；吸附多個被檢查用電子元件的多個吸嘴；使上述吸嘴所吸附的多個電子元件在吸附狀態(tài)下相對于上述基座沿水平方向移動并裝填至多個檢查用插座的頭部單元；為了使上述多個吸嘴的間隔與上述多個檢查用插座的間隔相一致而使上述吸嘴予以移動的吸嘴移動裝置，上述多個吸嘴中至少一個，沿水平方向移動自如地支撐在上述頭部單元上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述頭部單元，包括從上方拍攝多個檢查用插座的插座用拍攝裝置，以及根據(jù)該插座用拍攝裝置所拍攝的圖像檢測出檢查用插座的間隔的插座間隔檢查裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述各吸嘴，分別圍繞上下方向的軸線轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述頭部單元上，上述頭部單元，具有變更上述多個吸嘴的轉(zhuǎn)動方向的角度的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括根據(jù)上述插座用拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出檢查用插座圍繞上下方向的軸線的角度，并控制上述轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置的動作量使上述吸嘴圍繞上述軸線的角度與上述檢查用插座的角度相一致的轉(zhuǎn)動方向定位裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于還包括，從下方拍攝上述吸嘴所吸附的電子元件的電子元件拍攝裝置；根據(jù)上述電子元件拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出上述電子元件的間隔的電子元件間隔檢查裝置；為了使上述電子元件間隔檢查裝置所檢測的吸附后的電子元件的間隔與上述檢查用插座的間隔相一致而使吸嘴移動裝置動作的吸嘴移動裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于還包括，對頭部單元移動至位于檢查用插座上方的可裝填電子元件的部位的移動方向和移動距離所涉及的數(shù)據(jù)進(jìn)行補正，使頭部單元的上述移動方向和移動距離對應(yīng)于通過上述吸嘴移動裝置的驅(qū)動而予以移動的吸嘴的移動量的補正裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求11至12中任一項所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述各吸嘴，分別圍繞上下方向的軸線轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述頭部單元上，上述頭部單元，具有變更上述多個吸嘴的轉(zhuǎn)動方向的角度的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括根據(jù)上述電子元件拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出電子元件圍繞上下方向的軸線的角度，并控制上述轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置的動作量使上述吸嘴圍繞上述軸線的角度與上述電子元件的角度相一致的轉(zhuǎn)動方向定位裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述頭部單元，在基座的上方沿著水平的且相互正交的2個方向進(jìn)行移動，上述吸嘴移動裝置，通過兩個電動機使上述吸嘴沿著平行于上述頭部單元的移動方向的2個方向獨立地進(jìn)行移動。
15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于還包括，搭載有多個檢查用插座，且裝卸可能地安裝在上述基座上的測試頭部。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于還包括，對裝填于檢查用插座的多個電子元件，經(jīng)測試頭部輸入檢測電流，以此檢查上述電子元件的檢查裝置主體。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述檢查裝置主體，支撐在上述基座上，上述檢查用插座與上述檢查裝置主體之間的可流過檢測電流的路徑的途中，設(shè)置有拆裝可能的連接器，上述檢查裝置主體，相對于上述檢查用插座可進(jìn)行電分離或者機械分離。
18.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述頭部單元，使多個吸嘴吸附位于未檢查電子元件用托盤中的電子元件，并裝填至上述多個檢查用插座，在檢查之后將上述電子元件移動至已檢查電子元件用托盤，上述吸嘴移動裝置，在上述頭部單元從上述未檢查電子元件用托盤移動至上述多個檢查用插座的途中，使上述移動可能的吸嘴進(jìn)行移動，以此將所吸附的電子元件的間隔，從由未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔所決定的間隔，變更為上述多個檢查用插座的間隔。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述吸嘴移動裝置，在上述頭部單元從上述檢查用插座移動至上述已檢查電子元件用托盤的途中，使上述移動可能的吸嘴進(jìn)行移動，以此將所吸附的電子元件的間隔，從由上述多個檢查用插座的間隔所決定的間隔，變更為上述已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述吸嘴移動裝置，在上述頭部單元從已檢查電子元件用托盤移動至未檢查電子元件用托盤的途中，使上述移動可能的吸嘴進(jìn)行移動，以此將吸附電子元件時的電子元件的間隔，從由上述已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔所決定的間隔，變更為由上述未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部的間隔所決定的間隔。
21.根據(jù)權(quán)利要求18至20中任一項所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述頭部單元，包括從上方拍攝由上述多個檢查用插座、上述未檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部、上述已檢查電子元件用托盤的多個電子元件收容用凹陷部所構(gòu)成的載置部中的至少一部分的載置部用拍攝裝置；根據(jù)上述載置部用拍攝裝置所拍攝的圖像來檢測上述載置部的間隔的載置部間隔檢查裝置。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述各吸嘴，分別圍繞上下方向的軸線轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述頭部單元上，上述頭部單元，具有變更上述多個吸嘴的轉(zhuǎn)動方向的角度的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，該電子元件自動移載裝置，還包括根據(jù)上述載置部用拍攝裝置所拍攝的圖像，檢測出載置部在上下方向軸線周圍的角度，并控制上述轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置的動作量使上述吸嘴在上述軸線周圍的角度與上述載置部的角度相一致的轉(zhuǎn)動方向定位裝置。
23.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述電子元件拍攝裝置，設(shè)置在搭載有上述檢查用插座的基座上。
24.一種電子元件自動移載裝置，其特征在于包括，多個收容電子元件托盤的托盤收容用儲料器；與上述儲料器之間進(jìn)行托盤的取放，同時使托盤在儲料器和在水平方向上與儲料器相距一定距離的支撐位置之間進(jìn)行移動的托盤移載支撐裝置；具有吸附上述托盤所收容的電子元件，并相對于位于上述支撐位置的托盤進(jìn)行電子元件取放的電子元件移動裝置；位于上述托盤的下方并使托盤升降的升降裝置；通過上述升降裝置的驅(qū)動從下方按壓上述托盤的上下方向定位部件；上述上下方向定位部件，設(shè)置在上述托盤移載支撐裝置中的與托盤一起沿水平方向移動的部位。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述托盤移載支撐裝置，包括具有與上述儲料器之間進(jìn)行托盤取放的第一托盤保持部，并使該第一托盤保持部沿著與上述儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第一支撐裝置；具有在上述支撐位置與上述儲料器平行排列的多個第二托盤保持部，并使該些第二托盤保持部沿著與上述儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第二支撐裝置；分別設(shè)置于上述第一托盤保持部與第二托盤保持部，并在上述第一托盤保持部，上述第二托盤保持部，處于在與上述儲料器的排列方向正交的水平方向上予以并列的狀態(tài)下，在兩個托盤保持部之間傳送托盤的移送裝置；上述上下方向定位部件，設(shè)置在上述第二托盤保持部上。
26.根據(jù)權(quán)利要求24或者25所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述升降裝置，通過上述上下方向定位部件所設(shè)置的部件而予以支撐。
27.根據(jù)權(quán)利要求24或者25所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述升降裝置，設(shè)置在上述基座位于上述支撐位置的部位。
28.一種電子元件自動移載裝置，其特征在于包括，一側(cè)端部支撐有裝填了被檢查用電子元件的多個檢查用插座的基座；沿著與離開上述檢查用插座的方向正交的水平方向并列設(shè)置在上述基座上的多個托盤用儲料器；與上述儲料器之間進(jìn)行托盤的取放，同時使托盤在與儲料器并列的方向和與此方向正交的水平方向上進(jìn)行移動，且平行于儲料器而并列支撐多個托盤的托盤移載支撐裝置；從上述托盤移載支撐裝置所支撐的未檢查電子元件用托盤中吸附未檢查的電子元件并裝填至上述檢查用插座，并將經(jīng)過檢查的電子元件移載至上述托盤移載支撐裝置所支撐的已檢查電子元件用托盤的電子元件移動裝置；上述托盤移載支撐裝置，設(shè)置在上述檢查用插座與上述儲料器之間，即上述電子元件移動裝置的動作可能范圍內(nèi)。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述托盤移載支撐裝置，包括具有與上述儲料器之間進(jìn)行托盤取放的第一托盤保持部，并使該第一托盤保持部沿著與上述儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第一支撐裝置；具有與上述儲料器平行排列的多個第二托盤保持部，并使該些第二托盤保持部沿著與上述儲料器并列的方向進(jìn)行移動的第二支撐裝置；分別設(shè)置于上述第一托盤保持部與第二托盤保持部，并在上述第一托盤保持部，上述第二托盤保持部，處于在與上述儲料器的排列方向正交的水平方向上予以并列的狀態(tài)下，在兩個托盤保持部之間傳送托盤的移送裝置。
30.根據(jù)權(quán)利要求29所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述移送裝置為傳送帶。
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述第一支撐裝置的第一托盤保持部，具有在上述兩個傳送帶的內(nèi)側(cè)，使托盤在位于上述傳送帶上方的與儲料器之間進(jìn)行托盤取放的上升位置，和通過傳送帶予以支撐時的下降位置之間進(jìn)行升降的第一升降裝置。
32.根據(jù)權(quán)利要求29所述的電子元件自動移載裝置，其特征在于上述第二支撐裝置的第二托盤保持部，具有在上述兩個傳送帶的內(nèi)側(cè)，使托盤在位于上述傳送帶上方的與電子元件移動裝置之間進(jìn)行電子元件取放的上升位置，和通過傳送帶予以支撐的下降位置之間進(jìn)行升降的第二升降裝置。
全文摘要
本發(fā)明的電子元件自動移載裝置，包括，使收容多個電子元件的托盤(T)進(jìn)行定位的托盤支撐裝置；裝填有電子元件的檢查用插座；在該檢查用插座與上述托盤支撐裝置之間移動電子元件的第一移動裝置以及第二電子元件移動裝置。上述托盤支撐裝置，從俯視方向看沿著與離開上述檢查用插座的方向正交的方向(X方向)并列設(shè)置有多個。上述第一移動裝置和第二電子元件移動裝置，包括吸附電子元件同時使該電子元件在上述托盤支撐裝置的托盤(T)與檢查用插座之間移動的吸嘴。采用本發(fā)明，可縮短電子元件自動移載裝置在電子元件檢查裝置和多個托盤之間移動電子元件時的生產(chǎn)節(jié)拍時間。
文檔編號G01R31/00GK1873423SQ20061008769
公開日2006年12月6日 申請日期2006年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月31日
發(fā)明者福川義章, 菅野幸男, 山形博敏, 岸田晃 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社