專利名稱：Tcp處理裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉^于對作為IC糾的^t的、TCP (Tape Carrier Package, 帶載封裝)、COF (ChipOnFUm、芯片^ji^Ji)進行測試的TCP處S^置， 下面，^Pit過TCP、 COF、其它TAB (Tape Automated Bonding,帶栽自動 鍵合)安裝狄制造的IW^為"TCP",
背景絲
在IC M等的電，降的制造#中，必須有對位于最^"j造的IC H# 和位于中間階段的^ff等的性能、功倉feii行測試的電"Wf測^^置，在TCP 的情況下，i^TCP用的測試裝置。
TCP用的測試裝置J由測試^i體、測試頭、TCP處SL^置(下面有時 稱為"TCP處理器")構(gòu)成。該TCP處理器通iiitill在帶(還包括膜的概念， 下同。)上形成多個TCP的載帶，將載帶按壓于與測試頭電連接的柳，J卡的探 測器上，使TCP的夕MP端子與御'JII^觸，由jtkjym^l"多個TCP進fr測 試的功能。
另外，如絲測試中確認了 TCP所必需的性能、功能，則判斷為通過(判 斷為合格品)，另一方面，在未確認時則判斷為失敗(判斷為不合格)。但是， 判斷為5U&， ^S^" TCP本身為不合格品的情況，^伴隨TCP相對i^l寸 卡的定位不,而it^的不良',，另夕卜，^伴隨^^狀態(tài)下的^^電阻大 的不良情形。由于因定位不良等而被判斷為^J&的TCP中具有令格品，如M 行再測試，能夠發(fā)S /^^ n，則可提高TCP的成品率。
^LiiE，在載帶中，4t"5^各TCP,在一個或多^NMiiMX位用的^i己(對 ^f封己)，以該對J^i己為差J^ii行定位。即，；5MI照相機等以對準才射己為基 準確認TCP相對于鄉(xiāng)'J卡的位置，并JL^4t需要對位置絲進"m務正，但是， 即使如此，仍有因定位不良判斷為^Jt的情況。
W卜，i經(jīng)于糊，J卡上的多個探針，通過數(shù)十萬次的測試，與TCP的夕MP端子接觸的前端部的位置相對于最初的狀態(tài)^ji變化，產(chǎn)生波動。有由*致
的判斷為^ia的情況。而且，還有因灰塵附著于探針的前端或探針的前端的接 觸電l!EJt加，接觸狀態(tài)為不穩(wěn)定的狀態(tài)，由此而判斷為^jt的情況。另夕卜，還 有由于載帶的種類、載帶面的反射條Hs而通it^f目機無法清楚itk^測對準標 記的輪廓的情況。
在TCP被判斷為^t時，#^者暫時停止測^^置，確認被判斷為^Jt的
TCP的夕MP端^^!'J器的位置關系，在該位置關系;p^適時，輛過手動操 作進^J"位使得兩者確實接觸之后，進行再測試。通過再測試而判斷為通過的
TCP為合^ 。。雖然通itii樣的辦者的確認辦，TCP的成品率可提高，但
是，由于測試裝置的停止時間增長，所以具有測試的生產(chǎn)4^氐的難題。
為此，有可同時進行兩個以上的TCP的測試的、W^P!，hf^測試頭的 TCP用的測試<^置。這樣，通過同時ii行兩個以上的TCP的測試，可提高測 試的生產(chǎn)率
發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的問題)
但是，如果同時進行測試的TCP的數(shù)量為多個，則-^^觸的區(qū)域加寬。 特別是，^i一步M多插腳4沐窄間距化的TCP的測試中，不容易JE^, 行同時測試的4^TCP的定位。如果同時測試多個TCP,則因定位不良而把 合格品的TCP判斷為M的頻率增加。如果判斷為失敗的頻^t加，則暫時停 止測試裝置，IMt者確iU^通過手動，進^^位的頻率增加，由此，測試的 生產(chǎn)率降低。即，即^^增加同時測試的TCP的數(shù)量來提高生產(chǎn)率的情況下， 與W目伴隨，測^^置的暫時停止頻^it加，由此，測^^置的工作時間減 少，未必^^得充賴提高生產(chǎn)率的絲。
本發(fā)明正是#5^這樣的實際情況而提出的，其目的在于提供對于在每次測 試中可同時對兩個以上的TCP進行測試的TCP處^^置，可進一步提高測試 的生產(chǎn)率的TCP處^^置。
(解決問 的^^方案)
為了實5Uiii目的，第一，本發(fā)明提^^TCP處ig^置，通it^Ml與同 時測試的多個TCP相對應的糊iJ卡，將載帶上的多個TCP的夕Np端子與^i51'J卡的接觸端子電接觸，負&夠同時對多個TCP進fr測試，^#棘于在最初的 測試中，同時對多個TCP進行測試，在上述同時測試中被判斷為不合格的判斷 ^^格TCP移到不同于該判斷不合格TCP所"^觸的^^觸端子的另一接觸端子 的位置之后，再次進行測試(發(fā)明1)。
按照Jiit^明(發(fā)明l)，可在不停止TCP處3S^置的情況下，自動斷 被判斷為;^^糾TCP進行再測試。即，雖然TCP實際上為合^ -，仍因各 種原因而被判斷為;^"格，但是，按照JiifJL明(發(fā)明l)，仍可通過再測試而 判斷為合^T 。，提高IW^造的成品率。另外，按照Jii^明(發(fā)明l)，可在 不停止TCP處S^置的情況下，自動iikii行再測試，由oW高測試的生產(chǎn)率。
另夕卜，^1￡所說的再測試不僅指最初測*^進#^第>^測試，只要 能夠弟^不同的接觸端子組，還包括第三次以后的測試。例如，"^觸端子組為3 個時，可it行兩次再測試。
在Jiii^明(發(fā)明l)中，也可以，晰目對于栽帶的i^ll^向串行氺剛的多 個TCP、或晰目對于載帶的iti^T向并行氺剛的多個TCP、或晰目對于載帶的 itilUr向串行朝^'J的TCP輛目對^J^r向并行氺剛的TCP,同時iifr測試 (發(fā)明2)。
在JJ^1明(發(fā)明1)中，也可以，在載帶上iU有4t^各TCP確定各TCP 的位置的定位用的對^1M^i6，與同時進fr測試的多個TCP的夕Np端子相對應的 接觸端子的定^^于至少一個Ji^^f示記而進行(發(fā)明3) o ^mJJiTCP 處S^置，可^^時間進^帶的定位，而J^^發(fā)明的^4JiilTCP處理
處狄明(發(fā)明l)中，也可以，樹Ji^判斷^^格TCP進行再次測 試時，同時對與上述判斷不合格TCP "-^按壓的未檢查的TCP進行測試(發(fā) 明4)。
例如，在進行測試時有一個TCP被判斷為:f^格的情況下，在下一次測試 中進行再測試的TCP為一個。因此，如^E接觸部中可與TCP接觸的位置為 例如兩個，那么除了進行再測試的TCP以夕卜，不是再測試對象的TCP也與接 觸"#|5#觸。此時，未進^it一次測試的TCP與接觸^#觸，但是，如^Ji行再 測試時對該TCP進"ff^L初的測試，則可^ii^t再測試的同時^ii^:初的測 試，測試的生產(chǎn)率進一步提高。缺，"狄明(發(fā)明i)中，樹上述判斷;^^格TCP進行再次測試
時，在測試的實施中除去與iJi判斷;r^"格TCP """^按壓的檢查完的TCP(發(fā) 明5)。
M， ^JJ^明(發(fā)明1)中，對^Lhil同時測試中被判斷為不合格的判 斷不合格TCP，通過該判斷不合格TCP所接觸的接觸端子進行至少一次的再 測試(發(fā)明6)。通iUiit再測試，簡單ilkii行合^ 。判斷，^EjH^合，無須進 行TCP的位置^^IMt就可進一步提高測試的生產(chǎn)率。
也可以，在Ji^L明(發(fā)明l)中，歧JJi判斷;^^格TCP的夕MP端子 和與該夕n5端子接觸的接觸端子的按壓條件，進行JJi再測試(發(fā)明7)。通過 Jiii再測試，簡單ilk^行合^ P判斷，^W合，無須進行TCP的位置變更操 作就可進一步提高測試的生產(chǎn)率。
也可以，在上狄明(發(fā)明7)中，測^hii判斷;f^^格TCP的夕陶端子 和與該夕I^P端子接觸的接觸端子的接觸電阻，^r測到超過可允許的接觸電阻 值的值時，^Jiii按壓糾，進行Jiit再測試(發(fā)明8)。通itiJi再測試， 簡單ilkii^""^^^判斷，4W合，無須進行TCP的位置^動作就可進一步 提高測試的生產(chǎn)率。
也可以，在J^L明(發(fā)明l)中，利用檢測TCP的夕NP端子和與該夕NP 端子接觸的接觸端子的電接觸狀態(tài)的接)li^查功能， 一直到檢測到某個接觸端 子的接觸不U止，沿X軸方向和/或Y軸方向使移動糊，卡的糊，J卡臺微動， 找出可移動區(qū)域，確^i可移動區(qū)域的中央位置，才條Jiil確定的中央位置， 進行TCP的定位(發(fā)明9)。按照該發(fā)明，由于可進^^觸端子的最佳定位， 所以判斷為不合格的M頻率減小，提高了成品率^^測試的生產(chǎn)率。
也可以，在Ji^明(發(fā)明l)中，Ji^TCP處3g^置^同H^及附多個 TCP、將^fe壓于Ji^接觸端子上的吸附按壓部件，上述吸附按壓^pfr對應于 同時測試的TCP的氺^'J而分割成至少兩個，Jiil已分割的吸附按壓部件的相互 的間距能夠調(diào)整成與同時測試的TCP的間多財目對應(發(fā)明10)。按照JJiJL
第二，本發(fā)明提^^t可同時使多個TCP進行測試的TCP處S^置，其 特征在于在最初的測試中同時對多個TCP進行測試，釆用與判斷不合格TCP 所接觸的探測卡的接觸端子不同的另一接觸端子，對在上述同時測試中被判斷為不合格的判斷不合格TCP進行再測試(發(fā)明11)。
按照Jiii發(fā)明(發(fā)明11)，可在不停止TCP處錄置的情況下，自動地 X^皮判斷為不合格的TCP進行測試。由此，^fH，造的成品^:高，并且無須 停止TCP處S^，測試的生產(chǎn)，高。 (發(fā)明的^)
按照本發(fā)明的TCP處3S^置，可同時對兩個以上的TCP進行測試，可提 高^f^，j造的成品率、測試的生產(chǎn)率。


圖1為包^^it本發(fā)明的一個實施方式的TCP處理器的TCP用的測M
圖2為JiitTCP用的測試裝置的#^卡臺的#^圖； 圖3為^^fpL^;^發(fā)明的一個實^式的TCP處理器的動作的琉-呈圖； 圖4為扇^示^i^^發(fā)明的一個實^式的TCP處理器的再測試時的動作的 絲圖5為表甜Nt本發(fā)明的一個實施方式的TCP處理器的再測試時的另 一方 式的動作的琉程圖。
1表示TCP用的測"i^X;
2表示TGP處理器；
3表示推動單元j
5表示載帶；
7表7 ^測卡臺；
8表^M卡；
IO表示測試頭；
21表示巻出盤；
22表示棘盤；
81表示探測器("^觸端子)。下面根據(jù)附圖，對本發(fā)明的實^^^fi^^i兌明.
圖1為包樹Mt;^發(fā)明的一個實施方式的TCP處理器的TCP用的測*
置的整^y^現(xiàn)圖，圖2為^a，j卡臺的餘現(xiàn)圖，圖3為扇^^Mt^"發(fā)明的一個實
^式的TCP處理器的動作-旅圖，圖4為表示儲本發(fā)明的一個實^式的 TCP處理器的再測試時的動作的流程圖，圖5為表^#^本發(fā)明的一個實# 式的TCP處理器的再測試時的另一方式的動作的流程圖。
首先，對M本發(fā)明的實施方式的處理器的TCP用的測試裝置的^結(jié)構(gòu) 進械明。
象圖l所示的那樣，TCP用的測試裝置1由圖中未示出的測試431A體、與 測試^Ri體電連接的測試頭10、 ftri殳置于測試頭10的上側(cè)的TCP處理器2構(gòu) 成。
TCP處理器2通iW栽帶5進"ff^ili，對在栽帶5上沿其縱向#>"#^列 形成的各TCP^ii行測試。另外，作為栽帶5，還^"沿其縱向按照兩排或 多排的氺剛形成TCP的類型。例如，在同時測試的TCP為4個時，有1排4 個的#^、 2排2個單^g'J的朝g'J。
象圖2所示的那樣，4W載帶5中的每個TCP,在TCP附近的M^位置
另夕卜，本實施方式的TCP處理器2，每次兩^N^TCP進，寸試，但是， ;ML明并不限于每次兩個財TCP進行測試的裝置，還^N"在栽帶5上沿串 行方向和/或并行方向朝一，J的3個以上的TCP同時i^ff測試的處理器。
TCP處理器2包括巻出盤21和4^盤22。在巻出盤21 JiiU^測試前的 栽帶5，該載帶5按照M出盤21巻出，^i^行測^4^于4^盤22上的方
在巻出盤21和4^盤22之間，i5^有將錢帶5剝離的獄帶52錄出 盤21紹!]絲盤22上的3個間隔輥23a、 23b、 23c。各間隔輥23a、 23b、 23c 按照可調(diào)0護帶52的張力的方式，分別上下運動。
在巻出盤21的下倆jiM有帶導向件24a、巻出限制輥2Sa、內(nèi)側(cè)副^25b 和內(nèi)側(cè)導向輥25c， ^出盤21巻出的栽帶5通過帶導向件24a而導向，同時 經(jīng)由巻出限制輥2Sa、內(nèi)側(cè)副^25b和內(nèi)側(cè)導向輥25c， itiH^推動單元3。
在4^盤22的下側(cè)，iU帶導向件24b、 iW艮制輥25f、夕H^副靴25e夕卜側(cè)副賺25e和4W艮制輥25f，通過帶導向件24b而進行導向，同時絲于 棘盤22上。
在內(nèi)倆浮向輥25c和外側(cè)導向輥25d之間i^^推動單元3。另夕卜，在推動單 元3的前段側(cè)(圖1中的左側(cè))設置第1照湘機6a,在推動單元3的下側(cè)(后 迷的^!'j卡臺7的內(nèi)側(cè))iS^第2照^目機6b，在推動單元3的后段側(cè)(圖1中 的右側(cè)HU第3照相機6c。另外，在推動單元3和第3照^目機6c之間i^X標 記沖壓器26a和等外品沖壓器(rejectpunch) 26b。
才封己沖壓器26a根據(jù)測試的結(jié)果，，該TCP在M^位置^H殳一個或多個 孔，等外品沖壓器26b對判斷為測微果為;f^^ 口的TCP進行沖壓。另夕卜， 才封己沖壓器26a、等外品沖壓器26b也可按照不動作的方式分別進#制。
各照^目機6a、 6b、 6c與圖中未示出的圖IMtS^置連接。第l照^目機6a 和第3照4財幾6c用于判^#帶5上的TCP的有無、才科己沖壓器26a的孔的 位置、數(shù)量。jH^卜，第2照湘機6b獲得載帶5上的對準標記的位置信息、TCP g測器的位置偏移的信息，對已4財聶的圖象進行監(jiān)視，HMt者可:fc&接觸狀 況。本實M式的第2照湘機6b可獲4f4WW內(nèi)的多個對象的位置偏^ft息。
由于it^iik^得TCP的測試墊(test pad)械測器81 (也稱為探針)的 位置關系的必要性，第2照j目機6b為較窄的拍攝視野。由此，第2照^庫機6b 裝栽于照湘機臺61上，可通ii^Nl機臺61所具有的致動器，在平面視圖上沿 ii^r向(X ^-Y軸方向)和上下方向(Z軸方向)移動。由此，可在栽帶 的測試區(qū)域的全部區(qū)^Ji^動，可清楚iW TCP的所需的測試M^測器81 的位置關系、對^^i己51的位置進行才嫩。
^it里，就第2照湘機6b來說，也可在^#所需的^ 率的狀態(tài)下，將可 4*的高^f率的照^EP^應用到與用于圖M理的圖^t理區(qū)樹目比寬例如幾 倍以上的4^bW。 ^W合，由于可^f^ 、相機臺61移動的頻率，所以與照 相機臺61的移動有關的處理時間變短。另夕卜，伴lt^湘機臺61的移動次數(shù)的 減少，移動*^的誘因可減少，于是，對于更細微的間距的TCP，可以to 的精度進行定位。另外，由于可在維持所需的緒率的狀態(tài)下進行數(shù)字變焦， 所以可容易把握而確定所需的測試墊、探測器81和對)jM射己51的相對的位置 關系，可對多個測試t^^器81的位置^^多進^f務正。另夕卜，由于可容易檢測多個對^f封己51,所以可才緣多^l^的對)^i己51進行定位。另夕卜，在過 去，在#^者為了確認接觸狀況，滾屏移動顯示于監(jiān)視器中的畫面時，會將目 標的位Mr漏，但是，由于可通過數(shù)字變焦，適當^i^械勿縮小顯示，所以 可進^IMt者容易利用的監(jiān)視器顯示。
可使圓頭螺栓32旋轉(zhuǎn)的伺服馬達31經(jīng)由托架361安^^推動單元3的支 架(推動支架)36上。另外，圓頭螺換32所齡的推動主體部33通過沿Z軸 方向延伸的兩個直錄動導向件(在下面稱為"LM導向件"。)37而安t在 驅(qū)動祠月艮馬達31時，該推動主體部33由LM導向件37導向，并沿上下方向(Z 軸方向)移動。
在推動主體部33的下端部，iM可通過與負壓源(圖示省略)連接而吸引 TCP^M及附^^帶5，使其處于固定狀態(tài)的吸附板34。
在推動主體部33的前段側(cè)(圖1中的左側(cè))設置張緊鏈洽35a,在推動主 體部33的后段側(cè)(圖1中的右側(cè))i5tUL鉍洽35b。
另夕卜，在推動單元3的下側(cè)即測試頭10的上部，象圖2所示的那樣， 絲具有可與兩個TCP的夕Hp端子(在下面稱為"測試蟄，)接觸的多個糊'J器 ("^觸端子)81的探測卡8的探測卡臺7。該探測卡臺7經(jīng)由多個圓頭螺栓與 伺服馬iii^接(圖示省略)，通過伺服馬達的驅(qū)動，可使探測卡8沿水平方向 (XY平面方向)移動，并且可使探測卡8圍繞垂直旋轉(zhuǎn)軸(圍繞Z軸)旋轉(zhuǎn)。
具有多個探測器81的探測卡8通過銷以可裝卸的方式安裝f"^測卡臺7的 卡環(huán)上(圖示省略)。本實施方式中的探測卡8具有兩個^iW器組(前側(cè)的位 置8a的^l，J器^/后側(cè)的位置8b的 3器組)以可同時對沿載帶5的itiH方向 串行朝剛的兩個TCP進fr測試。另外，在載帶5是其上朝剛有兩排TCP的載 帶5時，對應于此，；^^4個^^器組的^i!'卡。
前側(cè)的位置8a與后側(cè)的位置8b的間隔，相對于載帶5的itiil方向，該文 為TCP的一個間距大小的間隔。由于有時該TCP的一個間距大小的間隔隨測 ^象的器件的品質(zhì)、形狀、載帶的種類等而不同，所以最好具有可通過手動 方式或自動地 _前側(cè)的位置8a和后側(cè)的位置8b的間隔的間多Eit^機構(gòu)。
探測卡8中的每個探測器81經(jīng)由測試頭10與測試^^體電連接，第2照 相機6b位于^^卡8的下側(cè)即鄉(xiāng)'卡臺7的內(nèi)側(cè)。
^il樣的裝置中，推動單元3在吸附支^i^^探測卡臺7的載帶5的同時，將^fe壓于測試頭10上的探測卡8上。于是，載帶5上的兩個TCP處于 與^l/f探測卡8上的相應的位置8a、 8b處的探測器81接觸的狀態(tài)。在該狀 態(tài)，首先，將微小的直流電流^于各IC端子上，，^itTCP的內(nèi)部電路 (例如，保護用的^T^管)的電流的有無、電壓值的測定，進行接)li^r查，確 認全部的測試墊是否與探測器81接觸、鄰接的插腳之間的有無M。然后，將 來自測試^i體的測試信號;^p于TCP上，將從TCP讀出的應答信號通it^J
判;為通過(判斷為合格品)或;;;5U!t (判斷為不合格):'、'
下面對TCP處理器2的<^方法^^作進^i兌明。
在^M1 TCP處理器時，在使TCP處理器2工作之前，必須預^^t^刀始 設定，即，在紋TCP的種類、伴隨它而改變探測卡8時，必須確定^ie^ 動臺4 g測卡臺7的^i^位置(將該位置稱為"^i娘置")，以使TCP的測 試1#4目應的#^卡8的御'J器81接觸。
例如，通過手動辦，^ft人員選擇多^Mi(例如，3^HMi)的鄉(xiāng)'J器 81和與其相對應的測試墊，確定粗^置，接著，采用第2照^目機6b和圖象 處S^置，通過手動控制或自動控制，使推動臺4和/或探測卡臺7移動，確定 ^iej^位置，以使相應的探測器81盡可食l^于各測試墊的中央。另外， ##需要，對于Jii^Hsm置的確定，也可不通過手動操怍，而通過自動控制 進行。
此時，把第2照湘機6b的辦內(nèi)的艦的對象的位置坐標一并射己。林 實^Mr式中，射￡ 載帶5上的對>|1#記51的位置坐標。
下面參照圖3的流程圖，對TCP處理器2的工作時的動作ii^i兌明'M 里，同時對沿載帶5的縱向排成一列的兩個TCP進行測試。另外，進M帶5 的定位的對準才封己51，象圖2所示的那樣，相對于一個TCP位于上下(Y軸方 向)的兩^S^S位，由此，在同時測試的兩個TCP中，具有共計4個對^i己 51,但是，在本實施方式中，采用位于前側(cè)的位置8a處的一個對^^i己51，進 行TCP的定位。
TCP處理器2具有^制機構(gòu)，如果TCP處理器2處于可工作的狀態(tài)， 首先，推動臺4g測卡臺7移動到射e^i置(步驟SOl)。接著，巻出盤21 和ipt盤22按照規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)，使栽帶5移動，將第一個和第二個TCP it^L到吸附板34的下側(cè)的規(guī)定位置(步驟S02)。
如果將TCPitilU，J吸附板34的下側(cè)，則驅(qū)動推動單元3的伺服馬達31， 吸附板34沿Z軸向下方向移動。e^多動的吸附板34吸附載帶5，下降到才甜聶 位置(步驟S03) B
在該狀態(tài)下，第2照^目機6b進行才嫩(步驟S04)，將圖象信息送向圖象 處3i^置。圖象處ig^置條e^的圖象信息，獲得預先躬己的M^的對象 的位置坐標與實際4喊的對象的位置坐標的位置偏移的信息。例如，林實施 方式中，獲得與位置8a相對應的登記的對>|#記的位置坐標與和實際上#^的 位置8a相對應的對;^NH己51的位置的坐標的位置偏移的信息。
圖狄^^置#^已獲得的位置旨度息，對X軸方向、Y軸方向和圍繞 垂直軸的位置偏移量進^it算，判斷^i否具有4務正的必要(步驟S05)。作為 判斷的結(jié)果，在必須修正時，進行必要的修正動作(步驟S06)。
如果修正動作結(jié)束，則推動單元3的伺服馬達31工作，經(jīng)由推動主體部33， 吸附板34進一步沿Z軸方向移動。吸附了栽帶5的吸附板34下I^iJ接觸位置， 位于載^tili方向A (參照圖2)前側(cè)的第一個TCP按壓于在探測卡8上的相 應的前側(cè)的位置8a處設置的探測器81上，位于載fitiH方向A的后側(cè)的第二 個TCP按壓于在探測卡8上的相應的后側(cè)的位置8b處設置的探測器81上(步 驟S07)。
接著，如果各TCP的測試^^觸探測器81，則對各TCP進^^初的測試 (在下面稱為"初測試")(步驟S08)。在測試中，首先進行接li^r查，確認 全部的測試墊與探測器81電連接，在即^J^^及附板34的多^Lh下動作仍檢 測為接觸不良時，判斷為^JBL
在接li^r查正常時，^TCP上，助'J試"i5li^Mtii^試頭10施加測試 信號，從各TCP讀出的應答信號通ii^試頭10id^測試^i體。在測"i^i體 中，^^該應答信號進行各TCP是否狄的判斷、辨級等，4i^TCP進行 是通過(判斷為^"^ o) i^!Aja (判斷為不^"格品)的判斷(步驟S09)。
作為初測試的結(jié)果，^_判斷為通過的TCP時，^f5l僅4i^判斷為通過的TCP 驅(qū)動才科己沖壓器26a (步驟SIO)。另夕卜，^i己沖壓器26a還包括^Mc動作的控 制方式。
M里，參照前面的初測試的結(jié)果(步驟Sll)，在任意一個或兩個TCP^N皮判斷為組時，進行后述的再測試動作(步驟S21 步驟S36)。另外，在
判斷為組時，也可才緣需要，在該階^ii^wwi行一次再測試，看是否變
化成判斷為通過的控制動作。
另一方面，在兩個TCP都判斷為通過時，推動單元3的祠服馬達31驅(qū)動， 經(jīng)由推動主體部33,吸附板34沿Z軸的向上方向移動，并且推動臺4 器臺7移動到射雄置(步驟S12)。另外，吸附板34停止載帶5的吸附，釋 放載帶5，同時繼續(xù)沿Z軸的向上方向移動(步驟S13)。
接著，判斷進行了初測試的TCP是否為最后的M (步驟S14)，在判斷 為^的糾時，結(jié)紅動作，在判斷不;U^的II^時，返回到步驟S02, 對下兩個TCP進行測試。
下面對再測試動作進^i兌明。^jfc^里，作為Ji^，〗試的結(jié)果，在兩個TCP 被判斷為M的組合中，僅^5^1載fiiill方向A的前側(cè)的位置8a處的 TCP判斷為M的情形；僅僅后側(cè)的位置8b處的TCP判斷為^Jt的情形；以 及兩^Ni置8a、 8b處的TCP判斷為5UBt的情形，動作各自不同。
在再測試動作中，首先，進行與前面說明的步驟S12和步驟S13相同的動 作，停止吸附板34的栽帶5的吸附，#^載帶5 (步驟S21)。
接著，判斷位于載帶iti^r向A的前側(cè)的位置8a處的TCP (M里，為 第一個TCP)在最初的測試中是判斷為通過，還是判斷為3U!i (步驟S22)。 ^it里，在位于前側(cè)的位置8a處的TCP在最初的測試判斷為5Ult時，進行后 述的步驟S28。另一方面，在位于前側(cè)的位置8a處的TCP判斷為jU&時，將 主鄉(xiāng)35b與張緊條35a -^^按照TCP的一個間距大小反轉(zhuǎn)，沿相A^向使 載帶5移動(步驟S23 ) ， #^于探測卡8的前側(cè)的位置8a處的TCP移動到 后側(cè)的位置8b處。然后，進^ff與前面說明的從步驟S03到步驟S07相同的動作， 使該TCP的夕MP端子與后側(cè)的位置8b的鄉(xiāng)'J器81接觸(步驟S24)。
接著，對與后側(cè)的位置8b的探測器81接觸的TCP進行再測說步驟S25 )， ，該TCP，進行是通itii^Ji的判斷(步驟26) 。 ^E， ^it過再測試 的接^r查檢測為接觸不良時，有直接判斷為失敗的第1處理方式；和使載帶5 俯憤史動或使it^i卡臺7 ,'J^動，進4亍是否具有"^觸不良的位置的^ft^作的第2 處3g^T式，但是，；^d^ft第2處理方式。
作為再測試的結(jié)果，進行再測試的TCP第4判斷為失敗時，確^/^格品，驅(qū)動等外品沖壓器26b (步驟S27a)。另一方面，在第二次中判斷為通 過時，對該TCP確iM;合^ 口，驅(qū)動才封己沖壓器26a (步驟S27b)。
接著，在步驟S22或步驟S25，位于最初的前側(cè)的位置8a處的TCP被判 斷為通過，且位于后側(cè)的位置8b處的TCP ^!皮判斷為通過時，進"ff^驟S12 (步驟S28) D
另一方面，在位于后側(cè)的位置8b處的TCP被判斷為5U!t時，進行與前面 說明的步驟S12和步驟S13相同的動作，停止吸附板34對載帶5的吸附， 載帶5 (步驟S29)。接著，將主^35b與張'f^35a ^g^照TCP的一 個間距大小，使栽帶5前進，#^于后側(cè)的位置8b處的TCP移動到前側(cè)的位 置8a (步驟S30)。接著，進行與前面說明的從步驟S03到步驟S07相同的動 作，使該TCP的夕MP端子與前側(cè)的位置8a的糊'J器81接觸(步驟S31)。
然后,對與前側(cè)的位置8a的^iW器81接觸的TCP進行再測說步驟S32 )， 4W^TCP，進行是通iti^lAJ^的判斷(步驟S33)。
作為該再測試的結(jié)果，進行再測試的TCP第二^C^L判斷為jU!i時，確U 不合格品，驅(qū)動等外品沖壓器26b (步驟S34a)。另一方面，在第二次中判斷 為通過時，把該TCP確^7合格品，驅(qū)動^ii沖壓器26a(步驟S34b)。接著， 進樹驟S12。
fii樣，按照本實施方式的TCP處理器2，針對在最初的測試中被判斷為 ^Jt的TCP,可在不停止TCP處理器的情況下自動ilk^行再測試。另外，作 為判斷為5U&的原因，有一個位置上的探測器81 U的TCP的接觸不良、定 位不良，但是，^實財式的TCP處理器那樣，用與最初的測試中的糊，J卡 上的位置不同的另"H^置的探測器81進行再測試，由此，^WA^jytf接觸狀 態(tài)的可能性。由此，本來為合格品的TCP可通過再測試而判斷為合格品，結(jié)果 TCP的成品率可提高。另外，由于象前面說明的那樣，可在不停止測^^置的 情況下自動JW測試，所以測"^X的運轉(zhuǎn)械高，結(jié)果測試的生產(chǎn)械高。
特別是在^實施方式中，由于采用與其中一個位置8a相對應的對^MH己51 進行TCP的定位，所以位于另 一位置8b處的TCP容易形^目對的定位不良。 但是，即^/^ii樣的情況下，在將TCP移動到位置8a之后，采月該TCP的對 ^f射己51進行TCP的定位，則結(jié)果該TCP獲得ib^iE^的定位狀態(tài)，于是可 有^kA為判斷為通iL另夕卜，判斷為組的原因不僅包括TCP的定位不良的情況，而且包括在各 位置8a， 8b處設置的多個探測器81中的任意一個產(chǎn)生針尖劣化的情況、伴隨 按壓力不足而接觸電阻值增加的情況，但是，按照本實施方式的TCP處理器2， 在^f的位置側(cè)進行再測試，由此可有^k^為判斷為通達于是，消除了把 合;f^&的TCP作為;f^^^而處理的問題，獲得成品械高的絲。另外，操 作者不必暫時停止測試，可提高裝置的辦率。
^jfe^里，步驟S32的再測^對位i^測卡8上的前側(cè)的位置8a處的TCP 進行再測試的步驟，但是，此時，在糊'J卡8上的后側(cè)的位置8b，尚^ii行測 試的TCP(扭里，為第3個)^M皮接觸。于是，vjfeii械步驟S32的再測試 時，也可同時#(^于探測卡8上的后側(cè)的位置8b處的TCP進^f^初的測試。
4W合，替換步驟S32-S34即步驟E1，而進行在下面說明的步驟E2(步 驟S41 步驟S45，參照圖5)。即，不樹進行了再測試的TCP (/jfe^E，為 笫>),而且同時i^^"位于^!'H"iSi^r向A的后側(cè)且位于^l'J卡8上的后 側(cè)的位置8b處的TCP (在這.審，第3個)，進行測試(步驟S41)。
接著，首先，W進行了再測試的TCP進行判斷(步驟S42)。其結(jié)果是，
^ii行了再測試的TCP被判斷為^t時，確U;f^格品，驅(qū)動等外品沖壓器
26b (步驟S43a)。另一方面，在進行了再測試的TCP被判斷為通過時，確定 為合^^口，驅(qū)動才科i沖壓器26a (步驟S43b)。
然后，看進行了與再測試同時進^t^最初的測試的TCP (^jfcil里為第3個 TCP)是否被判斷為通過(步驟S44)。在該TCP被判斷為通過時，確定為合 ^t 口，驅(qū)動銜己沖壓器26a (步驟S45)，接著進^^驟S12。另一方面，在該 TCP被判斷為狄時，進妙驟S29。
如果象這樣，與再測試同時進^:初的測試，則可進一步提高測試的生產(chǎn)率。
以上說明的實^ri(A為了容易3W本發(fā)明而記載的，并不;l^了限狄 發(fā)明。于是，在上述實施方式中^5iHf的^"素還包括^^發(fā)明的^^范圍內(nèi) 的4^j5設計變更、等同物。
例如，在上鈔'J試動作中，同時進4沐測卡8上的兩個位置8a、 8b中的 TCP的判斷，在兩個位置8a、 8b處的TCP均判斷為失敗時，也可交#^替換 前后位置8a、 8b處的TCP，進行再測試動作。另夕卜，在兩個位置8a、 8b處的TCP辦'斷為5U!i的階段，^it行上述替換之前，4吏推動單元3多:^Ji 下動作，再次進行測試，由此成為判斷為通&
另夕卜，也可以，在修正位置偏移時，獲得與后側(cè)的位置8b相對應的射己的 對^#^的位置坐標與和實際上^敏的后側(cè)的位置8b相對應的對準標記51的 位置坐標之間的位置絲的信息。另外，也可iM與前側(cè)的位置8a相對應的對 JjM射己Sl的位置^l多J^r與后側(cè)的位置8b相對應的對^i己51的位置偏移量 的平均值。
W卜，^jliiii實;^r式中，由于利用與一*置8a相對應的對;^f朽己51 進行TCP的定位，所以位于另 一位置8b處的TCP容易相對地產(chǎn)生定位不良， 但是，在必要時也可利用與另一位置8b相對應的另一對^f射己51。例如，有 時，4^側(cè)的位置8b處的TCP被斷為^Jt時，也可以基于后側(cè)的對>^#^51 進行定位之后，在不移動TCP的狀態(tài)下進行再測試，由此而成為判斷為通i^ ^^照該方式，可大;k3W動照3目機臺61，大幅度減少到達兩^HP位的對JN^i己 51的位置的移動動作，#^隨第2照湘機6b的移動時間導致的生產(chǎn)率的降低 抑制到最小，所以是實用的。
另外，由于伴隨妙次的按壓應力，多個鄉(xiāng)，J器81變形，所以與TCP的 測試^^觸的全部的探測器81處于^M目應的各測試墊的中:fe^偏離的狀態(tài)。 ^it里，^itit^探測器81檢測到接觸不良之前，使探測卡臺7沿X軸方向和 Y軸方向^L^t動，尋找可移動的區(qū)域，確定5W的探測器81的最佳的中央位 置?；诖耍M行TCP的定位，由此，可進"fm^的探測器81的最佳定位。 另外，棘需要，##獲得的可移動區(qū)域信息和中央位置信息，在實施測試時， 利用這些信息進行位置修正，由此可:^#*佳的定位。由此，判斷為^Ji的發(fā) 生頻率減小，成品率和測試的生產(chǎn)^:高。
射卜，伴隨妙次的按壓應力、糊，〗器81的前端部的位置^f多、形狀變化、 舉14特性的變化、電接觸*的狀態(tài)等，各測試墊與和該測試t^觸的^^H 器81之間產(chǎn)生的接觸電阻值產(chǎn)生偏差或增大。于是，也可以，4^判斷為3Ult 的TCP的探測器81，在該探測器81的ybi午范圍內(nèi)，^t^推動單元3的吸附板 34的按壓方向的高度條降，進行再測試。^it過該再測試成為判斷為通過時， 可將該TCP確U合H
還有，財在實用中可通過接)lfc^查測定接觸電P且值的TCP，也可以，在判斷成^Jt^， ^#艦的按壓狀態(tài)，進行接)l^r查，測定各自的接觸電阻 值。然后，^^對TCP的各IC端子的種類(輸入插腳、輸出插腳、電源插腳) 不同的可允許的最大電阻值，進行接觸電P且^bi否^的判斷，第一，在檢測 到異常的接觸電阻值的鄉(xiāng)'J器81時，使推動單元3上下動作，再次測定該糊，J 器81的接觸電阻，在^^到正常狀態(tài)時，在該狀態(tài)下進行再測試。第二，在接 觸電阻值為正常時，由于該TCP為不合格品的可能性高，所以向另一探測器 81移動，進行再測試。再有，吸附板34也可以是對應于TCP的朝^ij方向(X軸方向、Y軸方向) 分割而成的結(jié)構(gòu)，而J還可以具有使已分割的吸附板食M目對移動的微動機構(gòu)(圖 示省略)。通itil樣的分割移動結(jié)構(gòu)，可進^f吏多個TCP之間的間距與相應的 糊i器組的間距一致的調(diào)整。另外，載帶5的薄J^t于由于間距調(diào)整而彎曲的 狀態(tài)，但是，由于該調(diào)^tl^幾十徵牝的私復，所以可以it行實際應用。然 而，泉盱，糊'J卡側(cè)的探測器81的TCP之間的間距以例如幾十M的^1較 窄地形成.如果形^Ji^樣的分割移動結(jié)構(gòu)，則在同時測試多個(2、 4、 8、 16個) TCP時，可確實地應對伴l熱膨脹的TCP的間距的變化、窄間多E^要求位置 精度的TCP、多插腳大型TCP的TCP之間的間多E^加的',、載帶5的膜的 伸縮變化等.其結(jié)果是，由于可進一步減小伴隨位置偏移造成的判斷為不合格 的^A頻率，所以可同時對更多個(4、 8、 16個)TCP進行測試，于是，可提 高測試的可靠'1^生產(chǎn)率。產(chǎn)業(yè)上應用的可能性本發(fā)明的TCP處^^t于提高器^^造的成品率和測試的生產(chǎn)率、有效 誠行TCP測狄有效的。
權利要求
1.一種TCP處理裝置，其通過采用與同時測試的多個TCP相對應的探測卡，將載帶上的多個TCP的外部端子與探測卡的接觸端子電接觸，能同時對多個TCP進行測試，其特征在于在最初的測試中同時對多個TCP進行測試，針對在上述同時測試中被判斷為不合格的判斷不合格TCP，在將其移到與該判斷不合格TCP所接觸的接觸端子不同的另一接觸端子的位置之后進行再次測試。
2. 才^5U，J^求1所述的tcp處3S^A, ^ft棘于晰目對于載帶的運 送方向串行排列的多個tcp、或?qū)ο鄬τ谳d帶的運送方向并行排列的多個tcp,同時進行測試。
3. 條妙漆求1所述的tcp處3S^，絲絲于 在載帶上^i:有41^各tcp確定各tcp的位置的定位用的對^i^ 與同時進#"測試的多個tcp的夕MP端子相對應的^^觸端子的定^:A^于至少一個JJ^t^f科iii，。
4 WW漆求1所述的tcp處3SW:，鰣棘于 ^ttii判斷^^格tcp ii^t再次測試時，對與Jiii判斷^^"格tcp —起被按壓的^^查的tcp同時ii^"測試。
5. 條妙漆求1所述的tcp處S^i，鰣絲于 ^j"Jiii判斷不合格tcp進行再次測試時，在測試的實施中除去與上述判斷;t^^格tcp ^"^被按壓的檢查結(jié)束了的tcp。
6. ##擬']^求1所述的tcp處^ ， ^#棘于W^Ji^同時測 試中被判斷為^"格的判斷^"格tcp，通過該判斷不合格tcp所接觸的接 觸端子，進"ft至少一次再測試。
7. 條W慎求6所述的tcp處錄置，膽絲于 上述判斷不合 格tcp的夕h^端伸與該夕NP端子接觸的接觸端子的按壓糾，進行-tii再測 試。
8. 才Mt^'J^求7所述的tcp處^^置，^W^于測^iJi判斷不合 格tcp的夕NP端子和與該夕MP端子接觸的接觸端子的接觸電阻，^"測到超過可允許的接觸電阻值的值時，按壓，進行上述再測試。
9. 條W怯求1所述的TCP處錄置，絲絲于利用對TCP的夕MP端子和與該夕MP端子接觸的接觸端子的電接觸狀態(tài)進 ^"測的接li^查功能，沿X軸方向和/或Y軸方向使移動^^卡的^il，J卡臺微 動，尋找可移動區(qū)域， 一直到檢測到某個接觸端子的接觸不U止；可移動區(qū)域的中央位置；基于JJi被確定的中央位置進行TCP的定位。
10. 條似慎求1所述的TCP處錄置，M減于上述TCP處3g置包括同時吸附多個TCP并將它們按壓于上述"^觸端子 的吸附按壓耕；吸附按壓fr對應于同時測試的TCP的名W而分割成至少兩個； 上述已分割的吸附按壓部件的相互間距能被調(diào)整，以能夠與同時測試的 TCP的間J 財目; t應。
11. "-TCP處3S^置，能同時對多個TCP進行測試，其特征在于 在最初的測試中同時對多個TCP進行測試，4H"在Ji^同時測試中被判斷為不格的判斷不^"格TCP,利用與該判斷不^^格TCP接觸的探測卡的接觸 端子不同的另 一接觸端子進行再次測試。
全文摘要
一種TCP處理器(2)，如果使在初次進行的測試中被判斷為不合格的TCP與不同于在被判斷為不合格時接觸外部端子的探測器(81)的另一探測器(81)接觸，再次進行測試，則可通過再測試而揀出合格品，提高TCP的成品率，且可在不停止TCP處理器(2)的情況下自動地進行再測試，由此提高測試的生產(chǎn)率。
文檔編號G01R31/26GK101292170SQ200580051390
公開日2008年10月22日 申請日期2005年8月25日 優(yōu)先權日2005年8月25日
發(fā)明者今泉勝博, 大西武士, 村野壽, 近藤雅史 申請人:株式會社愛德萬測試