專利名稱：預(yù)燒裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于對各種電子部件進行預(yù)燒試驗的預(yù)燒裝置，尤其 涉及能夠同時對多個電子部件進行預(yù)燒試驗的預(yù)燒裝置。
背景技術(shù)：
作為預(yù)燒(Burn-in)試驗，其為篩選試驗的一種，即為這樣的試 驗長時間對半導(dǎo)體集成電路等電子部件施加高溫的熱應(yīng)力而檢測電 子部件的初期不良，進行初期故障品的除去。并且，作為進行這樣試 驗的預(yù)燒裝置已知的有這樣的裝置，即，其具有預(yù)燒腔，該預(yù)燒腔收 納安裝了多個被試驗電子部件的預(yù)燒板而維持高溫狀態(tài)，在該預(yù)燒腔 內(nèi)進行試驗。并且，最近作為預(yù)燒裝置提出了這樣的裝置，即，在預(yù)燒腔內(nèi)的 規(guī)定位置收納安裝有多個被試驗電子部件的預(yù)燒板后，施加熱應(yīng)力并 且使溫度調(diào)整陣列與各被試驗電子部件接觸而進行各個被試驗電子部 件的溫度調(diào)節(jié)，同時進行被試驗電子部件的預(yù)燒試驗(日本特愿 2004-79623 )。上述預(yù)燒裝置在預(yù)燒腔內(nèi)具備可以一對一地與被試驗電子部件接 觸程度的數(shù)量的溫度調(diào)整陣列。該溫度調(diào)整陣列安裝在溫度調(diào)整板上， 該溫度調(diào)整板自由升降地設(shè)置在預(yù)燒腔內(nèi)。并且，在預(yù)燒試驗中，使 多個溫度調(diào)整板同時升降移動，使溫度調(diào)整陣列同時與各被試驗電子 部件接觸。在所述預(yù)燒裝置中，作為使多個溫度調(diào)整板同時升降的方法，例 如有這樣的考慮如圖11中示出的那樣，在預(yù)燒腔102的兩側(cè)設(shè)置氣 缸101，該氣缸101具有在上下方向移動的可動桿101a，用該氣缸101 使溫度調(diào)整板103升降。 但是，如果同時升降的溫度調(diào)整板的數(shù)量多的話，則需要以數(shù)千N (kg . m/s2)的驅(qū)動力一起升降驅(qū)動整個移動部。因此，有使用大 型氣缸的必要，產(chǎn)生了維持高溫狀態(tài)的預(yù)燒腔大型化的難點。另外，在預(yù)燒裝置中，優(yōu)選的是將預(yù)燒板可靠地插入連接器中， 以定位在正確的位置上。預(yù)燒板向連接器的插入不充分的話，電連接 會變得不良。另外，如果預(yù)燒板的定位不充分的話，溫度調(diào)整陣列和 被試驗電子部件的定位的導(dǎo)向產(chǎn)生不良，產(chǎn)生與周圍的插口抵碰那樣 的不良狀況。這點在可以收納的預(yù)燒板的數(shù)量增多時也同樣。如圖12中示出的那樣，在現(xiàn)有的具備可收納多個預(yù)燒板111的預(yù) 燒腔102的預(yù)燒裝置中，對于全部的預(yù)燒板111 一起進行位置檢測。 例如，預(yù)燒腔102具有傳感器，該傳感器由在預(yù)燒腔最上部安裝的激 光照射部112和在最下部安裝的激光受光部113構(gòu)成。另外，在被收 納于預(yù)燒腔102的各預(yù)燒板111的規(guī)定部位上形成有位置檢測用的狹 縫llla。并且，在收納全部的預(yù)燒板111，使預(yù)燒板111側(cè)的連接器 與預(yù)燒裝置側(cè)的連接器嵌合后，從激光照射部112照射激光，由受光 部113接收到通過全部的預(yù)燒板111的狹縫llla的激光時，檢測出全 部的預(yù)燒板111的位置正確。像這樣，在現(xiàn)有的檢測機構(gòu)中，將激光 通過多個檢測用狹縫llla。但是，如果在各預(yù)燒板的收納部的形狀等或連接器的組裝中存在 制造誤差的話，則在使各預(yù)燒板與連接器嵌合時，在各預(yù)燒板的狹縫 相互之間產(chǎn)生因該誤差引起的位置偏差。因為該位置偏差不能補正， 所以在使激光通過多個檢測用狹縫的現(xiàn)有的檢測機構(gòu)中，存在激光照 射部112或激光受光部113的位置調(diào)整或者角度調(diào)整的應(yīng)對困難的狀 況。在這樣的狀況下，難于進一步提高預(yù)燒板111的位置檢測精度， 尤其是可收納的預(yù)燒板111的數(shù)量越多，越難于提高檢測精度。當(dāng)預(yù)燒板lll的位置偏移時，所嵌合的連接器的連接電阻增加而 出現(xiàn)電源用接頭發(fā)熱或惡化等問題，另外，在使溫度調(diào)整陣列與在預(yù) 燒板111上安裝的被試驗電子部件接觸時，由于溫度調(diào)整陣列與插口 抵碰，或以偏置的狀態(tài)接觸，所以有在加熱/冷卻被試驗電子部件的溫
度控制方面產(chǎn)生偏差的可能性，有不能維持試驗品質(zhì)的危險。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于這樣的問題點而做出的發(fā)明，其目的在于提供可小 型化的預(yù)燒裝置，以及提供這樣一種預(yù)燒裝置，即進一步提高了收納 在預(yù)燒腔內(nèi)的預(yù)燒板的定位精度。為達成所述目的，第1，本發(fā)明提供這樣一種預(yù)燒裝置，具有 預(yù)燒腔，該預(yù)燒腔收納安裝多個被試驗電子部件的預(yù)燒板；溫度調(diào)整 板，該溫度調(diào)整板具有多個與所述各被試驗電子部件推壓接觸而加熱/ 冷卻所述各被試驗電子部件的溫度調(diào)整陣列；以及升降裝置，該升降 裝置在所述預(yù)燒腔內(nèi)使所述溫度調(diào)整板升降移動；在所述預(yù)燒腔內(nèi)收 納所述預(yù)燒板后，使所述溫度調(diào)整板向所述預(yù)燒板方向移動而使所述 溫度調(diào)整陣列與被試驗電子部件推壓接觸，進行預(yù)燒試驗；其特征在 于，所述升降裝置具有推拉裝置和凸輪機構(gòu)，該推拉裝置具有在水平 方向上進退移動的移動體，該凸輪機構(gòu)將所述移動體的進退移動變換 為升降移動而使所述溫度調(diào)整板升降，由傾斜凸輪以及凸輪隨動件構(gòu) 成(發(fā)明1)。在所述發(fā)明(發(fā)明1)中，因為采用由凸輪隨動件和傾斜凸輪構(gòu) 成的凸輪機構(gòu)，所以可以減小溫度調(diào)整板的升降距離相對于移動體的 移動距離的比例，可以減小對升降動作所需的力。因此，如果采用傾 斜凸輪、尤其是傾斜角度小的傾斜凸輪的話，則與設(shè)置在垂直方向上 運動的推拉裝置的場合相比較，可以以更加小型的推拉裝置升降同樣重量的部件。即，根據(jù)本發(fā)明，可以謀求推拉裝置的小型化，謀求預(yù) 燒裝置的小型化。在所述發(fā)明(發(fā)明1)中，優(yōu)選的是所述凸輪機構(gòu)的傾斜凸輪 為這樣的凸輪，其具有通過與所述凸輪隨動件的協(xié)同動作將進退移動 變換為升降移動的槽凸輪傾斜部，在所述槽凸輪傾斜部的兩端中、在 升降移動的凸輪機構(gòu)的從動側(cè)部件位于上限位置時所述凸輪隨動件所 處側(cè)的一端上，形成與該槽凸輪傾斜部的一端連接在水平方向延伸
的第1水平部。根據(jù)所述發(fā)明(發(fā)明2)，從凸輪隨動件位于槽凸輪傾斜部的另一 端的狀態(tài)起，進一步使凸輪機構(gòu)的主動側(cè)部件移動，由此可以保持溫 度調(diào)整板在上限位置，同時使凸輪隨動件位于與槽凸輪傾斜部的另一 端連接的第l水平部。如果使凸輪隨動件位于第1水平部的話，則在 凸輪機構(gòu)的結(jié)構(gòu)上，即使不由推拉裝置對凸輪機構(gòu)施加任何力，也可 以在上限位置機械地保持溫度調(diào)整板。所說的溫度調(diào)整板位于上限位置的狀態(tài)，即為溫度調(diào)整板的溫度 調(diào)整陣列與預(yù)燒板上的被試驗電子部件隔離的狀態(tài)，例如，在其間可 以進行預(yù)燒板的插拔。在非試驗時或者預(yù)燒板的插拔時，有將溫度調(diào) 整陣列從被試驗電子部件隔離的必要，如果在凸輪機構(gòu)的結(jié)構(gòu)上可以 在上限位置機械地保持溫度調(diào)整板的話，即使推拉裝置停止也可以保 持隔離狀態(tài)。另外，因為可以與推拉裝置的動作狀態(tài)無關(guān)地在上限位 置支承溫度調(diào)整板，所以無需另外考慮停電對策，較為理想。在所述發(fā)明(發(fā)明1)中，優(yōu)選的是所述凸輪機構(gòu)的傾斜凸輪 為這樣的凸輪，其具有通過與所述凸輪從動輪的協(xié)同動作將進退移動 變換為升降移動的槽凸輪傾斜部，在所述槽凸輪傾斜部的兩端中、在 升降移動的凸輪機構(gòu)的從動側(cè)部件位于下限位置時所述凸輪隨動件所 處側(cè)的一端上，形成與該槽凸輪傾斜部的一端連接并在水平方向上延 伸的第2水平部。根據(jù)所述發(fā)明(發(fā)明3)，從凸輪隨動件位于槽凸輪傾斜的一端的 狀態(tài)起，進一步使凸輪機構(gòu)的主動側(cè)部件移動，由此可以保持溫度調(diào) 整板在下限位置，同時使凸輪隨動件位于與槽凸輪傾斜部的一端連接 的第2水平部。如果使凸輪隨動件位于第2水平部的話，則在凸輪機 構(gòu)的結(jié)構(gòu)上即使不由推拉裝置對凸輪機構(gòu)施加任何力，也可以在下限 位置機械地保持溫度調(diào)整板。所說的溫度調(diào)整板位于下限位置的狀態(tài)，即是這樣的狀態(tài)將溫 度調(diào)整板的溫度調(diào)整陣列向預(yù)燒板上的被試驗電子部件推壓而使之接 觸，進行預(yù)燒試驗。在預(yù)燒試驗中，有使溫度調(diào)整陣列與被試驗電子
部件接觸一定時間的必要，如果在凸輪機構(gòu)的結(jié)構(gòu)上可以在下限位置 機械地保持溫度調(diào)整板的話，則即使推拉裝置停止，也可以保持將溫 度調(diào)整陣列推壓在被試驗電子部件上的狀態(tài)，能夠繼續(xù)進行試驗。另 外，可以與推拉裝置的動作狀態(tài)無關(guān)地在下限位置支承溫度調(diào)整板。因此，不會產(chǎn)生這樣的問題推壓冷卻被試驗電子部件的溫度調(diào)整陣 列由于意外停電而從被試驗電子部件上脫離，導(dǎo)致被試驗電子部件溫 度的急劇上升。因此，無需另外考慮停電等的對策，較為理想。在所述發(fā)明(發(fā)明1)中，優(yōu)選的是所述推拉裝置以及所述凸 輪機構(gòu)分別設(shè)置在所述預(yù)燒腔的兩側(cè)，在所述推拉裝置的移動體上分 別安裝1個以上的在水平方向上進退移動的所述凸輪機構(gòu)的主動側(cè)部 件，與一側(cè)的移動體連接的主動側(cè)部件和與另一側(cè)的移動體連接的主 動側(cè)部件，由在水平方向上可進退移動地設(shè)置的連結(jié)部件相互連結(jié)(發(fā) 明4)。在本發(fā)明(發(fā)明4)中，由連結(jié)部件相互連結(jié)主動側(cè)部件，該主 動側(cè)部件位于預(yù)燒腔的兩側(cè)，位于從兩側(cè)夾持溫度調(diào)整板的位置。因 此，溫度調(diào)整板兩側(cè)的主動側(cè)部件可以同步移動。如果可以使溫度調(diào) 整板兩側(cè)的主動側(cè)部件同步移動的話，則可以以穩(wěn)定的狀態(tài)升降溫度 調(diào)整板。另外，預(yù)燒腔通常是在水平方向插拔預(yù)燒板的結(jié)構(gòu)，在預(yù)燒 腔中，易于確保設(shè)置可在水平方向移動的連結(jié)部件的空間。因此，如 果像本發(fā)明(發(fā)明4)那樣以移動體在水平方向移動的狀態(tài)設(shè)置推拉 裝置，則可以設(shè)置在水平方向移動的連結(jié)部件，使凸輪機構(gòu)的主動側(cè) 部件相互連結(jié)而同步。在所述發(fā)明(發(fā)明1)中，優(yōu)選的是作為凸輪機構(gòu)的凸輪隨動 件與傾斜凸輪的槽凸輪的表面滾轉(zhuǎn)接觸(發(fā)明5)。根據(jù)該發(fā)明，因為 由凸輪機構(gòu)將進退移動變換為升降移動時的摩擦減小，所以溫度調(diào)整 板的升降動作穩(wěn)定。另外，如果摩擦變小的話，則可以高效地向溫度 調(diào)整板側(cè)傳遞驅(qū)動機構(gòu)的輸出，所以可以謀求驅(qū)動機構(gòu)的小型化。第2，本發(fā)明提供一種預(yù)燒裝置，該預(yù)燒裝置具有預(yù)燒腔，該 預(yù)燒腔收納若干個安裝有多個被試驗電子部件的預(yù)燒板；檢測器，該
檢測器進行所述預(yù)燒板的位置檢測；溫度調(diào)整板，該溫度調(diào)整板在上 下方向上自由升降；以及多個溫度調(diào)整陣列，該多個溫度調(diào)整陣列安 裝在所述溫度調(diào)整板上；在所述預(yù)燒腔內(nèi)收納所述預(yù)燒板后，以所述 檢測器檢測所述預(yù)燒腔在規(guī)定位置定位，之后，使所述溫度調(diào)整板移 動而使所述溫度調(diào)整陣列與被試驗電子部件接觸，其特征在于，與在 所述預(yù)燒腔中收納的各預(yù)燒板以l對l的方式對應(yīng)地設(shè)置所述檢測器， 對于各預(yù)燒板，分別以單獨的檢測器進行位置檢測(發(fā)明6)。在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，因為對于各預(yù)燒板，分別以單獨的檢 測器進行位置檢測，所以各檢測器僅檢測所對應(yīng)的預(yù)燒板的插入位置 就可以。如果檢測對象為l個，則可以僅與該對象一致而設(shè)定檢測器 的位置等，進行更高精度的位置檢測。例如，如果以更高精度進行預(yù) 燒板的位置檢測，有考慮到各切槽的尺寸或預(yù)燒腔側(cè)的連接器和預(yù)燒 板的連接器的嵌合量等的細微差別的必要，其中，該預(yù)燒板插入預(yù)燒 腔的切槽，插入連接器。這點，如果在每個切槽都設(shè)置檢測器的話， 則可以對每個切槽個別考慮這些偏差，同時進行檢測器的位置調(diào)整， 可以以更高精度進行所插入的預(yù)燒板的位置檢測。由此，在將溫度調(diào) 整陣列推壓向被試驗電子部件時，防止溫度調(diào)整陣列與在DUT周圍的插口發(fā)生干涉那樣的狀況等，可以以穩(wěn)定的狀態(tài)可靠地進行接觸動 作。在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，優(yōu)選的是檢測所述預(yù)燒板的插入位 置的檢測器是具有投光部以及受光部的光微傳感器(發(fā)明7)。因為光 微傳感器廉價，所以即使設(shè)置數(shù)量多也能夠以低成本設(shè)置檢測器。在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，優(yōu)選的是所述光微傳感器是在入光 時接通類型的傳感器(發(fā)明8)。預(yù)燒裝置可以對規(guī)定數(shù)量的被試驗電 子部件進行預(yù)燒試驗，在該預(yù)燒裝置中，有對數(shù)量比規(guī)定數(shù)量少的被 試驗電子部件進行預(yù)燒試驗的場合，有不必在全部的切槽中插入預(yù)燒 板的場合。在該場合中，如果采用遮光時接通類型的光微傳感器的話， 則有必要在全部的空切槽中插入隔板而形成遮光狀態(tài)，使檢測器進行 位置檢測。在該點上，如果采用入光時接通類型的光微傳感器的話，
則因為即使空的切槽也是接通的狀態(tài)，所以對于不使用的切槽直接保 持空著的狀態(tài)即可，預(yù)燒試驗時的作業(yè)效率得到提高。另外，在采用 入光時接通類型的光微傳感器的場合，在預(yù)燒板的規(guī)定位置上形成狹 縫等的貫通部。當(dāng)預(yù)燒板正常插入時，來自光微傳感器投光部的光通 過該貫通部到達受光部，光微傳感器變成接通狀態(tài)，即使在預(yù)燒板沒 有插入的場合，如上所說明的那樣，光微傳感器還是會變成接通狀態(tài)。
在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，優(yōu)選的是所述光微傳感器檢測在預(yù) 燒板上形成的切口的位置(發(fā)明9)。根據(jù)該發(fā)明(發(fā)明9),可以以簡 單的構(gòu)成適用光微傳感器。
在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，作為檢測器的位置，優(yōu)選的是預(yù)燒腔 所具有的預(yù)燒板用切槽的開口附近(發(fā)明10)。
根據(jù)所述發(fā)明(發(fā)明10)，在預(yù)燒板為所謂的半插的狀態(tài)時，可 以可靠地檢測半插。即，可以以高精度進行預(yù)燒板的位置檢測。在為 入光時接通類型的光微傳感器的場合，如果檢測器的位置為預(yù)燒板的 插入方向的深處附近位置，在插入狀態(tài)不完全時激光受光部為接通。 檢測器的安裝位置越深，則產(chǎn)生這樣錯誤的可能性就越高。因此，檢 測器的位置最好盡量在預(yù)燒腔的切槽的開口附近。另外，如果檢測器 在開口附近的話，則有這樣的優(yōu)點檢測器的裝卸或位置調(diào)整容易， 維護性優(yōu)良。
在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，優(yōu)選的是所述檢測器的位置可調(diào)整 (發(fā)明11)。如果檢測器的位置可調(diào)整，可對應(yīng)于預(yù)燒裝置或插入的預(yù)燒板的 狀態(tài)，在更為恰當(dāng)?shù)奈恢枚ㄎ粰z測器的位置，提高了預(yù)燒板的定位精 度。
在所述發(fā)明(發(fā)明6)中，優(yōu)選的是，具備位置調(diào)整機構(gòu)，該位 置調(diào)整機構(gòu)具有滑塊，該滑塊在所述檢測組件安裝；導(dǎo)向部件，該 導(dǎo)向部件在進退方向上移動所述滑塊地進行引導(dǎo)；定位用夾具，該定狀態(tài)得到固定，與所述檢測組件抵接；以及施力機構(gòu)，該施力機構(gòu)朝
向所述夾具對檢測組件施力；當(dāng)調(diào)整與所述檢測組件抵接的所述夾具 相對于導(dǎo)向部件的相對位置時，調(diào)整所述檢測組件的進退方向的位置 (發(fā)明12)。雖然也考慮以使用具有基準(zhǔn)面的定位用夾具而將檢測器推壓到該 基準(zhǔn)面上從而定位檢測器，但是按照該方法，夾具的加工誤差或相對 光微傳感器的外形誤差有所影響，不能高精度地進行定位。這點，所 述發(fā)明(發(fā)明12)的位置調(diào)整機構(gòu)是以定位用夾具和施力機構(gòu)夾持檢 測組件的結(jié)構(gòu)，可以通過調(diào)整夾具相對導(dǎo)向部件的相對位置來簡單地 定位檢測組件。另外，作為施力機構(gòu)，可以采用彈簧或橡膠等。在所述發(fā)明(發(fā)明12)中，優(yōu)選的是所述定位用夾具是與所述 導(dǎo)向部件螺紋接合、前端與所述檢測組件抵接的進給絲桿，當(dāng)調(diào)整所 述進給絲桿相對導(dǎo)向部件的螺紋接合位置時，所述檢測組件的進退方 向的位置得到調(diào)整(發(fā)明13)。螺紋機構(gòu)為適于位置微調(diào)整的機構(gòu)， 作為定位用的夾具，如果采用進給絲桿，可以以更高精度定位檢測組 件。如果可以以高精度定位檢測組件，就可以以更高精度定位收納在 預(yù)燒腔內(nèi)的預(yù)燒板。第3，本發(fā)明提供這樣一種預(yù)燒裝置，該預(yù)燒裝置在預(yù)燒腔內(nèi)收 納有多個預(yù)燒板，該多個預(yù)燒板可以安裝多個被試驗電子部件；溫 度調(diào)整板，該溫度調(diào)整板具有與所述各被試驗電子部件推壓接觸而加 熱/冷卻所述各被試驗電子部件；以及升降裝置，該升降裝置使所述溫 度調(diào)整板升降移動；進行預(yù)燒試驗；其特征在于，所述溫度調(diào)整陣列 以能夠單獨地加熱/冷卻所述各被試驗電子部件的方式，按與所述各被 試驗電子部件的排列對應(yīng)的排列，與所述各被試驗電子部件相向而配 設(shè)在所述溫度調(diào)整板上，所述升降裝置具有推拉裝置和凸輪機構(gòu)，該 推拉裝置具有由驅(qū)動源進退移動的移動體，該凸輪機構(gòu)變換所述移動 體的進退移動方向的驅(qū)動力，通過由所述凸輪機構(gòu)變換的驅(qū)動力，使 所述溫度調(diào)整板向所述預(yù)燒板方向移動，從而使所述溫度調(diào)整陣列與 所述各被試驗電子部件推壓接觸(發(fā)明14)。在所述發(fā)明(發(fā)明14)中，因為采用了凸輪機構(gòu)，所以可以減小
溫度調(diào)整板的升降距離相對移動體的移動距離的比例，升降動作所需 的力較小即可。因此，如果在凸輪機構(gòu)中采用傾斜凸輪、特別是傾斜 角度小的傾斜凸輪的話，則與設(shè)置在垂直方向運動的推拉裝置的場合 比較，可以以更小型的推拉裝置升降同樣重量的部件。在升降的溫度 調(diào)整板上，與各被試驗電子部件對應(yīng)地配設(shè)多個溫度調(diào)整陣列，并且 因為溫度調(diào)整板通常實裝有多個，所以 一起升降多個溫度調(diào)整板的驅(qū)動力也要為數(shù)千N (kg' m/s2),但是另一方面希望推拉裝置小型化。 根據(jù)所述發(fā)明(發(fā)明14),即可以謀求推拉裝置的小型化以及預(yù)燒裝 置的小型化。在所述發(fā)明(發(fā)明14)中，優(yōu)選的是所述凸輪機構(gòu)是這樣的機 構(gòu)將所述移動體的進退移動方向的驅(qū)動力變換為與該進退移動方向 正交的方向，由變換得到的驅(qū)動力驅(qū)動升降板，所述升降板使所述溫 度調(diào)整板相對于所述預(yù)燒板進退(發(fā)明15)。如果變換前的驅(qū)動力的方向與變換后的驅(qū)動力的方向正交的話， 則有這樣的優(yōu)點，通過改變凸輪形狀(例如如果是槽凸輪的話即為槽 的傾斜角度)的條件，變換后得到的驅(qū)動力可以達到希望的力，另外 可以容易改變升降板的升降速度。在所述發(fā)明(發(fā)明14)中，優(yōu)選的是為了將所述溫度調(diào)整板和 所述預(yù)燒板相互定位，在所述溫度調(diào)整板上設(shè)置定位銷，在所述預(yù)燒 板上設(shè)置將所述定位銷導(dǎo)向并嵌入的導(dǎo)向孔(發(fā)明16)。根據(jù)該發(fā)明， 可以更可靠地進行溫度調(diào)整陣列和被試驗電子部件的定位。在所述發(fā)明(發(fā)明14)中，優(yōu)選的是以在所述溫度調(diào)整板接近 所述預(yù)燒板時、所述溫度調(diào)整陣列彈性地推壓被試驗電子部件的方式， 在所述溫度調(diào)整板和所述溫度調(diào)整陣列之間設(shè)置彈性體(發(fā)明17)。 作為彈性體可以列舉如螺旋彈簧或橡膠等。通過設(shè)置這樣的彈性體， 可以謀求各溫度調(diào)整陣列相對各被試驗電子部件的推壓力的均一化。在所述發(fā)明(發(fā)明14)中，優(yōu)選的是所述預(yù)燒腔具備導(dǎo)向槽和 嵌合連接器，該導(dǎo)向槽用于將所述預(yù)燒板引導(dǎo)至規(guī)定的收納位置，該 嵌合連接器可以電連接所收納的所述預(yù)燒板，所述預(yù)燒板具備凸緣部
和連接器，該凸緣部在預(yù)燒板的兩邊由所述導(dǎo)向槽引導(dǎo)，該連接器與 所述嵌合連接器嵌合，在所述凸緣部中形成有狹縫，具備檢測器，該 檢測器通過檢測在所述預(yù)燒腔收納的所述預(yù)燒板的所述狹縫，從而檢 測所述預(yù)燒板的所述連接器可靠地與所述預(yù)燒腔的所述嵌合連接器嵌合(發(fā)明18)。根據(jù)所述發(fā)明(發(fā)明18)，可以對每個預(yù)燒板可靠地檢測預(yù)燒板 的連接器與預(yù)燒腔的嵌合連接器嵌合的情況。在所述發(fā)明(發(fā)明18)中，優(yōu)選的是所述檢測器可與所述狹縫 的位置對應(yīng)而調(diào)整所述狹縫的檢測位置(發(fā)明19)。根據(jù)該發(fā)明，即 使在各預(yù)燒板的收納部的形狀等或連接器的組裝中有制造誤差，或者 在預(yù)燒板的狹縫形成位置有偏差，也可以將檢測位置設(shè)定在恰當(dāng)?shù)奈?置，可以使狹縫位置的檢測精度提高。在所述發(fā)明(發(fā)明14)中，優(yōu)選的是所述溫度調(diào)整陣列具備由 來自外部的制冷劑的流通冷卻該溫度調(diào)整陣列的結(jié)構(gòu)、和由內(nèi)裝的加 熱器加熱該溫度調(diào)整陣列的結(jié)構(gòu)(發(fā)明20)。根據(jù)該發(fā)明，溫度調(diào)整 陣列、以及被試驗電子部件的大幅度的溫度控制變?yōu)榭赡堋２⑶遥谒霭l(fā)明(發(fā)明20)中，優(yōu)選的是所述溫度調(diào)整陣列 還具備溫度傳感器，基于所述溫度傳感器控制所述加熱器以及所述制 冷劑的流量的一方或兩方，將該溫度調(diào)整陣列與被試驗電子部件接觸 的部位的溫度冷卻或加熱成規(guī)定的溫度(發(fā)明21)。根據(jù)該發(fā)明，溫 度調(diào)整陣列、甚至被試驗電子部件的適當(dāng)?shù)臏囟瓤刂瞥蔀榭赡?，可?進行多種溫度條件的預(yù)燒試驗。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的預(yù)燒裝置，因為可以小型化用于使溫度調(diào)整板升降 的推拉裝置，所以可以提供更為緊湊的預(yù)燒裝置。另外，對于在預(yù)燒 腔中收納的各預(yù)燒板，因為各個單獨的檢測器可以在最佳的位置進行 位置檢測，所以可以實現(xiàn)收納在預(yù)燒腔內(nèi)的預(yù)燒板的穩(wěn)定定位。


圖l是表示實施方式的預(yù)燒裝置整體的正視圖。圖2是表示圖1的預(yù)燒裝置整體的側(cè)視圖。圖3是表示安裝有DUT的預(yù)燒板的俯視圖。圖4是放大表示圖1的預(yù)燒裝置的一部分的正視圖。圖5是放大表示在預(yù)燒腔內(nèi)設(shè)置的溫度調(diào)整板的主要部分的正視圖。圖6是表示使在圖1的預(yù)燒裝置的預(yù)燒腔內(nèi)設(shè)置的溫度調(diào)整板升 降的機構(gòu)的側(cè)視圖。圖7是表示使溫度調(diào)整板升降的機構(gòu)的分解立體圖。圖8是放大表示設(shè)置有圖l的預(yù)燒裝置的檢測器的部分的正視圖。圖9是表示圖1的預(yù)燒裝置的檢測器的分解立體圖。圖IO是表示預(yù)燒裝置的系統(tǒng)構(gòu)成的概略的概念圖。圖ll是表示現(xiàn)有的溫度調(diào)整板的升降機構(gòu)的概略構(gòu)成的概念圖。圖12是表示現(xiàn)有的檢測器的概略構(gòu)成的概念圖。附圖標(biāo)記說明I 預(yù)燒裝置 10 預(yù)燒腔II 切槽17 氣缸(推拉裝置) 17a 桿(移動體)19 連結(jié)部件20 預(yù)燒板30 溫度調(diào)整板 40 溫度調(diào)整陣列50 凸輪隨動件(凸輪機構(gòu)的主動側(cè)部件)60 傾斜凸輪(凸輪機構(gòu)的從動側(cè)部件)61a槽凸輪傾斜部61b第1水平部(第1個水平部)61c第2水平部(第2個水平部)70 檢測器71 檢測組件(光微傳感器)80 位置調(diào)整機構(gòu)81 滑塊82 導(dǎo)向部件83 進給絲桿(定位用夾具) 85 螺旋彈簧(施力機構(gòu)) DUT ,皮試驗電子部件具體實施方式
下面，基于附圖對本發(fā)明的實施方式進行詳細說明。 如圖l及圖2所示那樣，本實施方式的預(yù)燒裝置1具備預(yù)燒腔10， 該預(yù)燒腔IO在前面具有能夠開閉的門(未圖示)。通過開閉預(yù)燒腔IO 的門而能夠取出放入預(yù)燒板20 (參照圖3)。另外，預(yù)燒板20是安裝 多個DUT (Device Under Test,被試驗電子部件)的裝置，該DUT 由作為預(yù)燒試驗對象的IC器件等所代表。如圖3所示那樣，在預(yù)燒腔IO中插入的預(yù)燒板20設(shè)有由具有耐 熱性的材料構(gòu)成的四邊形的板主體21。在板主體21上具備例如20個 (4行x5歹ij )的作為DUT安裝位置的插口 22。在板主體21的里側(cè) 外緣，設(shè)置有用于與外部電源連接或控制信號的輸入輸出的邊緣連接 器23。并且，在板主體21中，設(shè)置有電連接插口 22和邊緣連接器23 的信號配線/電源配線(未圖示)。另外，預(yù)燒板20在其兩側(cè)緣具有堅 固的凸緣部24，該凸緣部24保持板主體21而支承數(shù)十kg的推壓。 并且，在一側(cè)的凸緣部24中，形成有用于在預(yù)燒腔IO內(nèi)的位置檢測 的狹縫24a。狹縫24a的位置為靠近與設(shè)有邊緣連接器23的里側(cè)的側(cè) 緣相反的前側(cè)的側(cè)緣的位置，即，為預(yù)燒腔10的開口附近。另外， DUT向插口 22的安裝或交換作業(yè)采用未圖示的插拔機、置入移除器、 自動裝卸機等。如圖1以及圖4所示那樣，預(yù)燒腔10具有多個切槽11，在該切
槽11中自由拔出插入地插入預(yù)燒板20 (圖4為在切槽中插入有預(yù)燒 板的狀態(tài))。在與預(yù)燒腔10的兩側(cè)板12的各切槽11對應(yīng)的位置，形 成有導(dǎo)向槽13，該導(dǎo)向槽13支承插入切槽11的預(yù)燒板20的側(cè)緣部 (凸緣部24)。導(dǎo)向槽13在水平方向上延伸，堅固地支承從預(yù)燒腔10 的前面?zhèn)炔迦氲念A(yù)燒板20。另外，如圖l的具體例所示那樣，切槽ll 設(shè)置為16段x2列，可以收納合計32個預(yù)燒板20。并且，預(yù)燒腔IO 構(gòu)成這樣使控制在規(guī)定溫度的空氣在腔內(nèi)循環(huán)。另外，在可以僅以 溫度調(diào)整板30進行DUT的溫度控制的場合，省略由空氣循環(huán)進行的 腔內(nèi)的溫度控制也可以。另外，在與預(yù)燒腔10的背板的各切槽11對應(yīng)的位置，設(shè)有連接 器14 (參照圖2以及圖10)，該連接器14連接插入切槽11中的預(yù)燒 板20的邊緣連接器23。因為該連接器14與DUT用電源90以及預(yù)燒 控制器91電連接，所以如果將預(yù)燒板20的邊緣連接器23與連接器 14連接，則可以對在預(yù)燒板10上安裝的DUT進行電力供給，可以進 行預(yù)燒試驗的控制信號等的輸入輸出。另外，對于電連接，由于對全 部的預(yù)燒板20都是同樣的，所以在圖10中僅示出一個，其他的省略。如圖4所示那樣，在預(yù)燒腔10中，位于切槽11的上側(cè)而設(shè)置溫 度調(diào)整板30。如圖5所示那樣，在溫度調(diào)整板30中，通過彈簧31安 裝溫度調(diào)整陣列40,溫度調(diào)整陣列40相對于溫度調(diào)整板30可接近'離 開。溫度調(diào)整陣列40為在預(yù)燒試驗中用于DUT的溫度調(diào)整的裝置， 具備加熱部件、流通制冷劑的冷卻部件以及溫度傳感器部件(均未圖 示)。另外，溫度調(diào)整陣列40配置成位于在所插入的預(yù)燒板20上安裝 的DUT的正上方(參照圖5)。并且，預(yù)燒試驗時，溫度調(diào)整陣列40 以用規(guī)定的推壓力被推壓而與DUT接觸的狀態(tài)進行DUT的加熱或者 冷卻的溫度控制。在溫度調(diào)整板30的兩端，設(shè)有定位用的銷32，該銷32被引導(dǎo)并 插入在預(yù)燒板20上所形成的孔，由此進行溫度調(diào)整板30和預(yù)燒板20 的定位。如圖IO所示那樣，溫度調(diào)整陣列40與加熱器用電源92以及預(yù)燒
控制器91電連接。另外，對于溫度調(diào)整陣列40的各部件的支承結(jié)構(gòu) 或冷卻部件和冷卻器93之間的制冷劑供給路徑等省略說明。并且，因 為電連接的狀態(tài)對于全部的溫度調(diào)整板40都是同樣的，所以在圖10 中僅示出一個，其他的省略。如圖4所示那樣，溫度調(diào)整板30在其兩側(cè)緣受到自由升降設(shè)置的 升降板15的支承。兩升降板15為由在預(yù)燒腔10兩側(cè)設(shè)置的氣缸17 升降移動的裝置，由升降導(dǎo)向件16導(dǎo)向而可相對于預(yù)燒腔IO升降移 動。如圖6中所示那樣，氣缸17以這樣的狀態(tài)設(shè)置，即，以空氣驅(qū)動 的桿17a(移動體)向預(yù)燒腔10的前面的開口側(cè)(圖6中右側(cè))突出， 桿17a可以在前后方向上進退移動。并且，如圖7所示那樣，桿17a 與可進退移動而設(shè)置的進退板18連接。通過由凸輪隨動件50和傾斜 凸輪60構(gòu)成的凸輪機構(gòu)將該進退板18的進退移動變換為升降移動， 可以使升降板15升降。另外，因為兩氣缸17的設(shè)置狀態(tài)是同樣的， 所以省略對另一個的說明。這里，還可根據(jù)要求應(yīng)用氣缸以外的其他 驅(qū)動源，例如油缸或致動器等。如圖7所示那樣，2個凸輪隨動件50內(nèi)裝滾珠軸承，安裝在進退 板18上。另外，傾斜凸輪60安裝在升降板15上。在本實施方式中， 因為由氣缸17使凸輪隨動件50進退移動，由升降移動的傾斜凸輪60 使升降板15升降，所以凸輪隨動件50為凸輪機構(gòu)的主動側(cè)部件，傾 斜凸輪60為凸輪機構(gòu)的從動側(cè)部件。傾斜凸輪60具有槽凸輪61。槽凸輪61具有傾斜部(槽凸輪傾 斜部)61a,該傾斜部61a為傾斜的狀態(tài)；笫1水平部(第1個水平部) 62b，該第1水平部62b與傾斜部61a的下側(cè)的端部連接；第2水平 部(第2個水平部)62c,該第2水平部62c與上側(cè)的端部連接。其中， 傾斜部61a朝前方(預(yù)燒腔的前面開口側(cè))向上傾斜而構(gòu)成。傾斜部 61a的傾斜角度形成這樣的角度，即，該角度使得氣缸17的驅(qū)動力成 為希望的驅(qū)動倍率、例如5-10倍以上。在本實施方式中，因為可以4象 這樣增大驅(qū)動力，所以可以采用小型的氣缸17。
另一方面，在槽凸輪61內(nèi)移動的凸輪隨動件50為圓筒形狀并自 由旋轉(zhuǎn)地安裝在進退板18上，在槽凸輪61內(nèi)旋轉(zhuǎn)并移動。如果采用 該凸輪隨動件50，可以將凸輪隨動件50的進退移動高效且順暢地變 換為傾斜凸輪60的升降移動。因此，作為推拉裝置的氣缸17可以采 用更小型的裝置。因為通過采用小型的氣缸，可以謀求含有氣缸17 的預(yù)燒腔10的空間節(jié)儉化，所以可以謀求預(yù)燒裝置的小型化。另夕卜， 因為傾斜凸輪的升降移動順暢，所以升降板順暢地升降。像這樣，在凸輪機構(gòu)中，傾斜凸輪60的傾斜部61a朝前方向上傾 斜而構(gòu)成，當(dāng)凸輪隨動件50前進移動(向前方移動)時，傾斜凸輪 60下降移動，升降板15以及由其支承的多個溫度調(diào)整板30—起下降 移動。因此，在凸輪隨動件50位于第l水平部61b時，升降板15以 及溫度調(diào)整板30位于上限位置。并且，在凸輪隨動件50位于第2水 平部61c時，升降板15以及溫度調(diào)整板30位于下限位置。但是，如圖4所示那樣，由氣缸17、凸輪隨動件50和傾斜凸輪 60構(gòu)成的凸輪機構(gòu)以及進退板18分別設(shè)置在預(yù)燒腔10的兩側(cè)。其中 兩側(cè)的進退板18由在預(yù)燒腔10的底部配置的連結(jié)部件19相互連結(jié)。 因此，即使在兩氣缸17的桿17a的動作產(chǎn)生偏差，兩進退板18的兩 凸輪隨動件50也同步進退移動。如果兩凸輪隨動件50同步移動的話， 則傾斜凸輪60以及升降板15以穩(wěn)定的狀態(tài)升降，可以使溫度調(diào)整板 30以更加穩(wěn)定的狀態(tài)升降。如圖6以及圖8所示那樣，在預(yù)燒腔10的各導(dǎo)向槽13中埋設(shè)有 檢測器70，該檢測器70進行插入在切槽11中的預(yù)燒板20的位置檢 測。即，在本實施方式的預(yù)燒裝置1中，檢測器70設(shè)置在每個插入的 預(yù)燒板20上。并且，如圖6所示那樣，檢測器70設(shè)置在預(yù)燒板20 的靠前面的位置，以檢測在預(yù)燒板20的凸緣部24形成的狹縫24a(參 照圖3)而檢測預(yù)燒板20的位置。如圖8以及圖9所示那樣，檢測器70具有前端部劃分為兩股的檢 測組件71。該檢測組件71為具備投光部以及受光部的、入光時接通 類型的光微傳感器。因此，在預(yù)燒板20插入在預(yù)燒腔10的切槽11
中的狀態(tài)下，預(yù)燒板20的狹縫24a的位置與從投光部的光路位置一致， 在光通過狹縫24a而到達受光部時，光微傳感器變?yōu)榻油顟B(tài)。另外， 在預(yù)燒板20沒有插入的狀態(tài)下，通常光微傳感器為接通狀態(tài)。如圖9所示那樣，檢測器70具有檢測組件71的位置調(diào)整機構(gòu)80。 該位置調(diào)整機構(gòu)80是在預(yù)燒板20的插入方向即進退移動方向上用于 檢測組件71的位置調(diào)整的機構(gòu)，具有一對滑塊81和導(dǎo)向部件82，該 滑塊81安裝在檢測組件71上，該導(dǎo)向部件82在進退移動方向上可移 動地引導(dǎo)滑塊81?；瑝K81為安裝在檢測組件71的進退移動方向的前 面?zhèn)纫约昂竺鎮(zhèn)冗@兩側(cè)的平面看呈L字形的部件。該滑塊81具有縱 向配置的滑板81a，滑板81a的上緣以及下緣在進退移動方向上延伸。 并且，導(dǎo)向部件82具有與滑板81a的上下端可滑動接觸的導(dǎo)向部82a。 這樣，檢測組件71由該滑塊81以及導(dǎo)向部件82以在進退移動方向自 由移動的狀態(tài)支承。導(dǎo)向部件82具有從前后夾持檢測組件71而配置的前板82b以及 后板82c。并且，在前板82b形成有螺紋孔82d。在該螺紋孔82d中， 螺紋接合有與檢測組件71抵接的進給絲桿(定位用的夾具)83。另外 在進給絲桿83上安裝有固定位置用的螺母84，可以將進給絲桿83固 定在任意的位置上。另外，進給絲桿83的前端構(gòu)成為尖頭狀。另一方 面，在后板82c上形成有導(dǎo)向孔82e。在該導(dǎo)向孔82e中自由滑動地 插入軸81b，該軸81b固定在檢測組件71的后側(cè)的滑塊81上，在軸 81b上外插有螺旋彈簧85。螺旋彈簧85由檢測組件71的后側(cè)的滑塊 81和導(dǎo)向部件82的后板82c以壓縮的狀態(tài)夾持，對檢測組件71向前 方施力。像這樣，檢測組件71由前側(cè)的進給絲桿83和后側(cè)的螺旋彈簧85 夾持，在進給絲桿83的設(shè)定位置得到定位。并且，通過調(diào)整進給絲桿 83的檸入位置，可以調(diào)整檢測組件71的進退移動方向的位置。另夕卜， 如前面說明的那樣，因為光微傳感器71為投光部和受光部一體地構(gòu)成 的傳感器，所以沒有調(diào)整光的投光方向和受光部的位置關(guān)系的必要。其次，對使溫度調(diào)整陣列40與DUT接觸時的預(yù)燒裝置1的動作
進行說明。另外，省略對以使溫度調(diào)整陣列40與DUT接觸的狀態(tài)而 進行預(yù)燒試驗的說明。首先，將氣缸17設(shè)成溫度調(diào)整板30不推壓預(yù)燒板20的狀態(tài)，打 開預(yù)燒腔10 (參照圖1)的門，將安裝有DUT的預(yù)燒板20插入預(yù)燒 腔10的切槽11。另外，即使在DUT的數(shù)量少、不使用全部的切槽11 的場合，因為本實施方式的檢測器70為入光時接通類型的光微傳感 器，所以不需在不使用的切槽11中插入阻隔的預(yù)燒板。當(dāng)插入預(yù)燒板20而關(guān)閉預(yù)燒腔10的門時，由檢測器70進行預(yù)燒 板20的位置檢測。檢測器70是檢測預(yù)燒板20的狹縫24a的位置的裝 置。另外，檢測器70為入光時接通類型的光微傳感器。因此，檢測器 70在以受光部接受來自投光部的通過狹縫24a的光時發(fā)送接通信號。 在存在沒有發(fā)送接通信號的檢測器70的場合，有可能是對應(yīng)的預(yù)燒板 20為所謂的半插狀態(tài)。因此，在該場合，確認對應(yīng)的預(yù)燒板20的插 入狀態(tài)，將其確實地插入。另外，在本實施方式的預(yù)燒裝置中，僅在檢測來自各檢測器70 的信號而發(fā)送了來自全部檢測器70的接通信號的場合，能夠進行氣缸 17的驅(qū)動，因此，檢測器70有作為安全裝置的作用。如果從全部檢 測器70發(fā)送接通信號而可進行氣缸17的驅(qū)動的話，則由操作開關(guān)的 閉合，通過氣缸17使位于上限位置的全部溫度調(diào)整板30下降移動。 結(jié)果，在溫度調(diào)整板30上安裝的全部溫度調(diào)整陣列40，通過彈簧31 與相向的全部DUT推壓接觸。這里，對溫度調(diào)整板30的升降動作進行具體地說明。在預(yù)燒板 20的插入結(jié)束的狀態(tài)下，溫度調(diào)整板30位于非推壓狀態(tài)的上限位置 (參照圖5)。并且，在該狀態(tài)下，兩氣缸17的桿17a為向預(yù)燒腔10 的背面方向后退的狀態(tài)。從該狀態(tài)起使兩氣缸17的兩桿17a前進移動而4吏兩進退板18的 兩凸輪隨動件50前進移動。兩進退板18以連結(jié)板19一體地連結(jié)，兩 凸輪隨動件50以同步的狀態(tài)順暢地前進移動。于是，凸輪隨動件50 在傾斜凸輪60的表面滾動，同時在水平方向上前進移動，傾斜凸輪 60下降移動。因為凸輪隨動件50和傾斜凸輪60滾動接觸，摩擦較小，所以氣 缸17的輸出高效地傳遞至升降板15側(cè)。另外，傾斜凸輪60的上升移 動距離相比凸輪隨動件50的前進移動距離變短。這樣，如果采用凸輪 機構(gòu)減速變換并傳遞凸輪隨動件50的運動的話，可以以更穩(wěn)定的狀態(tài) 使升降板15以及溫度調(diào)整板30升降。另外，如果采用減速的凸輪機 構(gòu)的話，因為可以使小驅(qū)動力變換為大力而升降，所以可以使用小型 的氣缸，結(jié)果，可以小型化預(yù)燒裝置。當(dāng)傾斜凸輪60下降移動時，在傾斜凸輪60上固定的升降板15 一體地下降移動，溫度調(diào)整板30下降移動。并且，在凸輪隨動件50 到達槽凸輪傾斜部61a的前端稍稍之前，溫度調(diào)整陣列40與DUT接 觸。溫度調(diào)整陣列40通過彈簧31由溫度調(diào)整板30支承，沒有單側(cè)抵 碰地與DUT接觸。由該狀態(tài)，使凸輪隨動件50進一步前進移動，使 凸輪隨動件50移動到第2水平部61c的位置。如果使凸輪隨動件50 移動至第2水平部61c,則溫度調(diào)整陣列40變成被推壓在DUT上的 狀態(tài)。預(yù)燒試驗以像這樣將溫度調(diào)整陣列40推壓至DUT的狀態(tài)而進 行。這里，如果使凸輪隨動件50位于第2水平部61c，則在水平狀態(tài) 的凸輪機構(gòu)的結(jié)構(gòu)上，可以機械地保持將溫度調(diào)整陣列40推壓至DUT 的狀態(tài)。因此，即使發(fā)生向氣缸17供給的空氣壓變?yōu)榱愕牟涣记闆r， 也可以像所述那樣維持DUT的推壓狀態(tài)，確保高的可靠性。如果使凸輪隨動件50移動至第2水平部61c,則DUT向上方推 返溫度調(diào)整陣列40的力，在凸輪機構(gòu)處，作為傾斜凸輪60向上推凸 輪隨動件50的力全部施加于凸輪隨動件50。即，使凸輪隨動件50在 進退移動方向移動的力沒有施加給凸輪隨動件50，沒有從氣缸17對 凸輪隨動件50經(jīng)常施加力的必要。這樣，若在保持溫度調(diào)整板30的 位置時不需要氣缸17的力的話，則
試驗結(jié)果，預(yù)燒裝置1的可靠性得到提高。另外，雖然預(yù)燒試驗通常從數(shù)小時到數(shù)十小時連續(xù)進行，但是這期間，即使停止氣缸17的驅(qū)動， 也不會給試驗帶來障礙。長時間的預(yù)燒試驗結(jié)束后，操作氣缸17的開關(guān)，使氣缸17動作 而使凸輪隨動件50后退移動。由此，傾斜凸輪60上升移動，溫度調(diào) 整板30上升移動。于是，溫度調(diào)整陣列40上升移動而與DUT分離。 從該狀態(tài)起使凸輪隨動件50進一步后退，使凸輪隨動件50移動到第 1水平部61b的位置。于是，升降板15以及溫度調(diào)整陣列40位于上 限位置。并且斷開氣缸17的開關(guān)。如果使凸輪隨動件50移動到第1 水平部61b，則在凸輪機構(gòu)的結(jié)構(gòu)上，即使不由氣缸17向凸輪隨動件 50施加力，升降板15也可以機械地被保持在上限位置，安全性得到 確保。像所述那樣，因為在槽凸輪傾斜部61a的兩端部設(shè)有水平部61b、 61c，所以通過使凸輪隨動件50定位于此，即使斷開氣缸17的開關(guān)而 使空氣壓力變?yōu)榱悖部梢苑謩e維持將溫度調(diào)整陣列40推壓至DUT 的狀態(tài)或者保持在上限位置的狀態(tài)。其次，對預(yù)燒裝置中的檢測器的檢測組件的位置調(diào)整進行說明。在進行檢測器70的檢測組件71的位置調(diào)整的場合，將在預(yù)燒試 驗中采用的預(yù)燒板20可靠地插入預(yù)燒腔10的切槽11中，該預(yù)燒腔 IO安裝有要進行位置調(diào)整的檢測組件71。在該狀態(tài)，首先松開用于相 對導(dǎo)向部件82固定進給絲桿83的螺母84。其次，在狹縫24a的槽的 中央位置或者希望的位置，以檢測器70發(fā)送接通信號的方式，調(diào)整進 給絲桿83的擰入位置。因為檢測組件71受到來自螺旋彈簧85的作用力，所以檢測組件 71維持與進給絲桿83的前端接觸的狀態(tài)，同時向進退移動方向移動。 這樣，因為在本實施方式中可以微調(diào)整檢測組件71的位置，所以可以 按每個切槽將檢測組件71定位最適當(dāng)?shù)奈恢?。另外，像該實施方式?樣，如果進給絲桿的前端構(gòu)成尖頭，以在檢測組件側(cè)形成的凹部中收 納的狀態(tài)使該尖頭與檢測組件側(cè)接觸，則更易于微調(diào)整。通過這些方法，在調(diào)整了作為光微傳感器的檢測組件71的位置之后，以螺母84 將進給絲桿83擰緊在導(dǎo)向部件82上，從而固定檢測組件71的位置。通過像所述那樣進行檢測組件71的定位，對每個切槽來講都可將 檢測組件71配置在希望的位置上，所以能夠可靠地進行預(yù)燒板20的 位置檢測。工業(yè)實用性本發(fā)明在使多個溫度調(diào)整板一起升降的預(yù)燒裝置中是極其有用的。
權(quán)利要求
1.一種預(yù)燒裝置，所述預(yù)燒裝置具備預(yù)燒腔，該預(yù)燒腔對安裝有多個被試驗電子部件的預(yù)燒板進行收納；溫度調(diào)整板，該溫度調(diào)整板具有多個溫度調(diào)整陣列，使該多個溫度調(diào)整陣列與所述各被試驗電子部件推壓接觸而對所述各被試驗電子部件進行加熱/冷卻；以及升降裝置，該升降裝置在所述預(yù)燒腔內(nèi)使所述溫度調(diào)整板升降移動；在所述預(yù)燒板被收納在所述預(yù)燒腔內(nèi)后，使所述溫度調(diào)整板向所述預(yù)燒板方向移動而使所述溫度調(diào)整陣列與被試驗電子部件推壓接觸，進行預(yù)燒試驗；其特征在于，所述升降裝置具備推拉裝置，該推拉裝置具有在水平方向上進退移動的移動體；以及凸輪機構(gòu)，該凸輪機構(gòu)由傾斜凸輪以及凸輪隨動件構(gòu)成，將所述移動體的進退移動變換為升降移動而使所述溫度調(diào)整板升降。
2. 如權(quán)利要求l所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述凸輪機構(gòu)的升降移動的槽凸輪:斜部，在所述槽凸輪;斜部的兩端中的 在升降 移動的凸輪機構(gòu)的從動側(cè)部件位于上限位置時所述凸輪隨動件所處一 側(cè)的一端上，形成有與該槽凸輪傾斜部的一端相連而在水平方向上延 伸的第1水平部。
3. 如權(quán)利要求l所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述凸輪機構(gòu)的升降移動的槽凸輪傾斜部，在所述槽凸輪傾斜部的兩端中的、在升降 移動的凸輪機構(gòu)的從動側(cè)部件位于下限位置時所述凸輪隨動件所處一 側(cè)的一端上，形成有與該槽凸輪傾斜部的一端相連而在水平方向上延 伸的第2水平部。
4.如權(quán)利要求l所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述推拉裝置以 及所述凸輪機構(gòu)分別設(shè)置在預(yù)燒腔的兩側(cè)，在所述推拉裝置的移動體 上，分別安裝1個以上的在水平方向上進退移動的所述凸輪機構(gòu)的主 動側(cè)部件，與一側(cè)的移動體連接的主動側(cè)部件和與另一側(cè)的移動體連 接的主動側(cè)部件通過能夠在水平方向上進退移動地設(shè)置的連結(jié)部件而 相互連結(jié)。
5. 如權(quán)利要求1所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述凸輪機構(gòu)的
6.—種預(yù)一燒裝置，所述預(yù)燒裝置具備預(yù)燒腔，該預(yù)^腔收納有 若干個安裝了多個被試驗電子部件的預(yù)燒板；檢測器，該檢測器進行 所述預(yù)燒板的位置檢測；溫度調(diào)整板，該溫度調(diào)整板在上下方向上自 由升降；以及多個溫度調(diào)整陣列，該多個溫度調(diào)整陣列安裝在所述溫 度調(diào)整板上；在所述預(yù)燒腔內(nèi)收納所述預(yù)燒板之后，利用所述檢測器 檢測所述預(yù)燒腔位于規(guī)定位置，之后，使所述溫度調(diào)整板移動而^f吏所 述溫度調(diào)整陣列與被試驗電子部件接觸；其特征在于，以與被收納在所述預(yù)燒腔中的各預(yù)燒板——對應(yīng)的方式設(shè)置所述 檢測器，對于各預(yù)燒板，分別以單獨的檢測器進行位置檢測。
7. 如權(quán)利要求6所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，檢測所述預(yù)燒板 的插入位置的檢測器是具備投光部以及受光部的光微傳感器。
8. 如權(quán)利要求7所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述光微傳感器 是入光時接通類型的光微傳感器。
9. 如權(quán)利要求7所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述光微傳感器 檢測形成在預(yù)燒板上的切口的位置。
10. 如權(quán)利要求6所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述檢測器的 設(shè)置位置是所述預(yù)燒腔所具有的預(yù)燒板用切槽的開口附近。
11. 如權(quán)利要求6所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，能夠進行所述 檢測器的位置調(diào)整。
12. 如權(quán)利要求6所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，具備位置調(diào)整 機構(gòu)，該位置調(diào)整機構(gòu)具有滑塊，該滑塊安裝在所述檢測組件上； 導(dǎo)向部件，該導(dǎo)向部件對所述滑塊進行導(dǎo)向而使其在進退方向上移動； 定位用夾具，該定位用夾具能夠以可在進退移動方向上相對移動的狀 態(tài)被固定于所述導(dǎo)向部件，與所述檢測組件抵接；以及施力機構(gòu)，該 施力機構(gòu)朝向所述夾具對檢測組件施力；當(dāng)調(diào)整與所述檢測組件抵接的所述夾具相對導(dǎo)向部件的相對位置 時，所述檢測組件的進退方向的位置得到調(diào)整。
13. 如權(quán)利要求6所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述定位用夾 具是與所述導(dǎo)向部件螺紋接合、且前端與所述檢測組件抵接的進給絲 桿，當(dāng)調(diào)整所述進給絲桿相對導(dǎo)向部件的螺紋接合位置時，所述檢測 組件的進退方向的位置得到調(diào)整。
14. 一種預(yù)燒裝置，所述預(yù)燒裝置在預(yù)燒腔內(nèi)收納多個預(yù)燒板、 溫度調(diào)整板以及升降裝置，進行預(yù)燒試驗；所述多個預(yù)燒板能夠安裝 多個被試驗電子部件；所述溫度調(diào)整板具有多個溫度調(diào)整陣列，該多 個溫度調(diào)整陣列與所述各被試驗電子部件推壓接觸而加熱/冷卻所述 各被試驗電子部件；所述升降裝置使所述溫度調(diào)整板升降移動；其特 征在于，所述溫度調(diào)整陣列以能夠單獨地加熱/冷卻所述各被試驗電子部 件的方式，按與所述各被試驗電子部件的排列對應(yīng)的排列，與所述各 被試驗電子部件相向地配設(shè)在所述溫度調(diào)整板上；所述升降裝置具備推拉裝置，該推拉裝置具有由驅(qū)動源進退移 動的移動體；以及凸輪機構(gòu)，該凸輪機構(gòu)變換所述移動體的進退移動 方向的驅(qū)動力；通過由所述凸輪機構(gòu)變換的驅(qū)動力使所述溫度調(diào)整板 向所述預(yù)燒板方向移動，從而使所述溫度調(diào)整陣列與所述各被試驗電 子部件推壓接觸。
15. 如權(quán)利要求14所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述凸輪機構(gòu) 將所述移動體的進退移動方向的驅(qū)動力變換為與該進退移動方向正交 的方向，由所變換的驅(qū)動力驅(qū)動升降板；所述升降板使所述溫度調(diào)整板相對于所述預(yù)燒板進退。
16. 如權(quán)利要求14所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，為了相互定位 所述溫度調(diào)整板和所述預(yù)燒板，在所述溫度調(diào)整板上設(shè)置有定位銷， 在所述預(yù)燒板上設(shè)有51導(dǎo)并嵌入所述定位銷的導(dǎo)向孔。
17. 如權(quán)利要求14所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，以在所述溫度調(diào)整板接近于所述預(yù)燒板時、所述溫度調(diào)整陣列彈性地推壓被試驗電 子部件的方式，在所述溫度調(diào)整板和所述溫度調(diào)整陣列之間設(shè)有彈性 體。
18. 如權(quán)利要求14所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述預(yù)燒腔具 備導(dǎo)向槽，該導(dǎo)向槽用于將所述預(yù)燒板引導(dǎo)至規(guī)定的收納位置；以 及嵌合連接器，該嵌合連接器能夠電連接所收納的所述預(yù)燒板；所述預(yù)燒板具備在其兩邊由所述導(dǎo)向槽引導(dǎo)的凸緣部、以及與所 述嵌合連接器嵌合的連接器，在所述凸緣部上形成有狹縫；具備檢測器，該檢測器通過對收納在所述預(yù)燒腔中的所述預(yù)燒板 的所述狹縫進行檢測，從而檢測所述預(yù)燒板的所述連接器與所述預(yù)燒 腔的所述嵌合連接器確實地嵌合。
19. 如權(quán)利要求18所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述檢測器能 夠與所述狹縫的位置對應(yīng)地進行所述狹縫的檢測位置的調(diào)整。
20. 如權(quán)利要求14所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述溫度調(diào)整 陣列具備利用來自外部的制冷劑的流通來冷卻該溫度調(diào)整陣列的結(jié) 構(gòu)、以及由內(nèi)裝的加熱器加熱該溫度調(diào)整陣列的結(jié)構(gòu)。
21. 如權(quán)利要求20所述的預(yù)燒裝置，其特征在于，所述溫度調(diào)整 陣列還具備溫度傳感器，基于所述溫度傳感器控制所述加熱器以及所 述制冷劑的流量的一方或兩方，該溫度調(diào)整陣列將與被試驗電子部件 接觸的部位的溫度冷卻或加熱成為規(guī)定溫度。
全文摘要
作為本發(fā)明的預(yù)燒裝置，在安裝有多個DUT的預(yù)燒板被收納在預(yù)燒腔內(nèi)后，使溫度調(diào)整板下降移動，使被安裝在該溫度調(diào)整板上的溫度調(diào)整陣列與對應(yīng)的DUT接觸而進行預(yù)燒試驗；其中，具備推拉裝置，具有在預(yù)燒板的板面水平方向上進退移動的移動體；凸輪機構(gòu)，由傾斜凸輪以及凸輪隨動件構(gòu)成，將該移動體的進退移動變換為升降移動而使升降板升降。根據(jù)該預(yù)燒裝置，由于能夠?qū)⒂糜谑箿囟日{(diào)整板升降的推拉裝置小型化，故而能夠提供更小型的預(yù)燒裝置。
文檔編號G01R31/26GK101120260SQ20058004810
公開日2008年2月6日 申請日期2005年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月15日
發(fā)明者內(nèi)藤隆, 土井敦之 申請人:株式會社愛德萬測試