專(zhuān)利名稱(chēng)：電連接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將作為被檢查體的集成電路與其檢查裝置的電路進(jìn)行電連接的探針卡(probe card)那樣的電連接裝置。
在以下的說(shuō)明中，設(shè)各基板的厚度方向?yàn)樯舷路较颍O(shè)對(duì)著各基板的觸頭的針尖一側(cè)(半導(dǎo)體晶片一例)為下方，設(shè)與各基板平行的直角坐標(biāo)的2個(gè)方向?yàn)閄方向及Y方向。但是，實(shí)際使用電連接裝置時(shí)，既可設(shè)各基板的厚度方向?yàn)樾毕蚧驒M向，也可以使上下方向相反而使用。
背景技術(shù)：
作為這種電連接裝置之一，有如下的電連接裝置具有陶瓷制的所謂的陶瓷基板、和配置在陶瓷基板一面?zhèn)鹊臉?shù)脂層，并將多個(gè)觸頭形成在樹(shù)脂層上(專(zhuān)利文獻(xiàn)1及2)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)平6-140484號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特開(kāi)平11-160356號(hào)公報(bào)在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的發(fā)明中，樹(shù)脂層為利用光刻技術(shù)將布線(xiàn)、觸頭等形成在陶瓷基板上的多層布線(xiàn)層，因此，樹(shù)脂層粘接在陶瓷基板上。
在專(zhuān)利文獻(xiàn)2所記載的發(fā)明中，陶瓷基板為具有許多布線(xiàn)的多層布線(xiàn)基板；通過(guò)在層疊了樹(shù)脂薄膜和銅薄膜而成的薄膜上開(kāi)設(shè)多個(gè)孔，在這些孔中利用電解電鍍來(lái)埋入金屬材料作為觸頭，并由蝕刻除去不需要銅薄膜的部位，由此制作樹(shù)脂層。樹(shù)脂層通過(guò)各向異性導(dǎo)電性橡膠片粘接在陶瓷基板上。
另一方面，作為被檢查體的集成電路，其電極的位置、功能、大小、配置間距等根據(jù)集成電路的種類(lèi)而不同。
但是，上述任何以往的技術(shù)，都必須按集成電路的每個(gè)種類(lèi)制造并準(zhǔn)備制造比較難的陶瓷基板，陶瓷基板本身價(jià)格高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于可使陶瓷基板標(biāo)準(zhǔn)化，提供廉價(jià)的陶瓷基板。
與本發(fā)明有關(guān)的電連接裝置，包括陶瓷基板，其在一個(gè)表面上具有多個(gè)第1導(dǎo)電性部，并且在另一個(gè)表面上具有與上述第1導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)第2導(dǎo)電性部，該陶瓷基板還具有與上述第2導(dǎo)電性部電連接、從上述另一個(gè)表面突出的多個(gè)銷(xiāo)；樹(shù)脂基板，其是配置在上述陶瓷基板的一個(gè)表面上的電絕緣性的樹(shù)脂基板，其在上述陶瓷基板的一側(cè)的表面具有與上述第1導(dǎo)電性部接觸的多個(gè)第3導(dǎo)電性部，并且在與上述陶瓷基板的一側(cè)相反側(cè)的表面具有與上述第3導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)第4導(dǎo)電性部；多個(gè)觸頭，安裝在上述第4導(dǎo)電性部上，使得與被檢查體的電極接觸；插座裝置，其是配置在上述陶瓷基板的上述另一個(gè)表面上的板狀的插座裝置，具有為了分別收容上述銷(xiāo)而在上述陶瓷基板側(cè)的表面開(kāi)口的多個(gè)凹部，并且具有分別配置在上述凹部中而可解除地夾持被收容在對(duì)應(yīng)的凹部中的上述銷(xiāo)的多對(duì)夾持構(gòu)件；以及布線(xiàn)基板，其是配置在上述插座裝置的另一個(gè)表面上的布線(xiàn)基板，具有與一個(gè)上述夾持構(gòu)件分別電連接的多個(gè)第5導(dǎo)電性部。
在上述電連接裝置中，可以解除利用插座裝置的陶瓷基板的銷(xiāo)的夾持，使陶瓷基板與樹(shù)脂基板一起從插座裝置分離、進(jìn)而從布線(xiàn)基板分離；通過(guò)將陶瓷基板的銷(xiāo)插入插座裝置的凹部，使插座裝置夾持這些銷(xiāo)，由此使陶瓷基板與樹(shù)脂基板一起與插座裝置結(jié)合、進(jìn)而與布線(xiàn)基板結(jié)合。
為此，事先使陶瓷基板的第1及第2導(dǎo)電性部的排列圖案和連接圖案共用化，制作與集成電路的種類(lèi)相應(yīng)的樹(shù)脂基板，由此可將陶瓷基板標(biāo)準(zhǔn)化。
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化的陶瓷基板，通過(guò)大量生產(chǎn)陶瓷基板，可使陶瓷基板的價(jià)格便宜，通過(guò)在庫(kù)存的陶瓷基板上形成與集成電路種類(lèi)相應(yīng)的樹(shù)脂基板，可縮短電連接裝置的生產(chǎn)期間。
上述各銷(xiāo)具有安裝在上述第2導(dǎo)電性部的凸緣部、和從上述凸緣部延伸以便收容在上述凹部中的銷(xiāo)狀的主體部。如果這樣，可利用焊錫那樣的導(dǎo)電性粘接材料將銷(xiāo)在其凸緣部粘接到第2導(dǎo)電性部，所以可容易進(jìn)行銷(xiāo)對(duì)第2導(dǎo)電性部的連接作業(yè)。另外，與不具有凸緣部的情況相比，銷(xiāo)對(duì)第2導(dǎo)電性部的粘接面積變大，所以銷(xiāo)牢固地連接在第2導(dǎo)電性部上。
上述第1及第2導(dǎo)電性部也可以通過(guò)形成在上述陶瓷基板上的布線(xiàn)或?qū)щ娦缘呢炌?、即其兩端用作上述?及第2導(dǎo)電性部的貫通孔而被電連接。
上述樹(shù)脂基板還可具有配置成多層的多個(gè)布線(xiàn)、即電連接上述第3及第4導(dǎo)電性部的多個(gè)布線(xiàn)。如果這樣，也可以減少形成在陶瓷基板上的布線(xiàn)數(shù)、或不在陶瓷基板形成布線(xiàn)，因此可容易地制造陶瓷基板，可使陶瓷基板價(jià)格便宜。
上述各觸頭能也可以以懸臂梁狀安裝于上述第4導(dǎo)電性部。如果這樣，當(dāng)超速傳動(dòng)(overdrive)作用時(shí)，觸頭彎曲，所以針尖的高度位置的偏差被吸收，可確實(shí)使所有的觸頭都接觸到集成電路的電極。
上述各觸頭可形成為板狀的觸頭，該板狀的觸頭包括以從上述第4導(dǎo)電性部向上述陶瓷基板的厚度方向延伸的狀態(tài)安裝在上述第4導(dǎo)電性部的安裝部、從該安裝部向與上述厚度方向交叉的方向延伸的臂部、從該臂部的前端側(cè)向與上述安裝部相反側(cè)的方向延伸的針尖部。如果這樣，可通過(guò)電解電鍍那樣的電鑄法容易且廉價(jià)地制造觸頭。
上述臂部可具有在上述厚度方向上隔有間隔的第1及第2臂、和在該第1及第2臂的前端部及基端部分別連結(jié)該第1及第2臂的第1及第2連結(jié)部，還在上述基端部被上述安裝部支承，并且在上述前端部支承上述針尖部。
也可以是上述插座裝置包括位于上述布線(xiàn)基板一側(cè)的插座基板；可相對(duì)于該插座基板向與上述厚度方向交叉的一個(gè)方向移動(dòng)的可動(dòng)基板、即相對(duì)于上述插座基板位于上述陶瓷基板一側(cè)的可動(dòng)基板；對(duì)上述可動(dòng)基板作用使該可動(dòng)基板向其移動(dòng)方向的一側(cè)的作用力的彈性體；抗拒上述彈性體的力向另一側(cè)可解除地推壓上述可動(dòng)基板的凸輪；以及使該凸輪以一定角度旋轉(zhuǎn)的操作構(gòu)件，上述插座基板及上述可動(dòng)基板共同形成上述凹部，各對(duì)的一方夾持構(gòu)件安裝在上述插座基板上，各對(duì)的另一方夾持構(gòu)件安裝在上述可動(dòng)基板上。如果這樣，與使陶瓷基板的銷(xiāo)配合插座裝置的凹部的情況相比，陶瓷基板對(duì)插座裝置裝卸所需要的力顯著少，因此可容易進(jìn)行陶瓷基板對(duì)插座裝置的裝卸。
上述插座裝置還具有多個(gè)第2銷(xiāo)，該多個(gè)第2銷(xiāo)與上述各一方夾持構(gòu)件連接，從上述插座基板向上述布線(xiàn)基板突出；上述布線(xiàn)基板還具有分別配合上述第2銷(xiāo)的多個(gè)孔、即分別用作上述第5導(dǎo)電性部的具有導(dǎo)電性?xún)?nèi)表面的多個(gè)孔。
上述插座裝置還具有在上述布線(xiàn)基板和上述樹(shù)脂基板之間為了阻止上述插座基板的移動(dòng)及為了可移動(dòng)地支承上述可動(dòng)基板而配置在上述插座基板及上述可動(dòng)基板的周?chē)目蚣?。如果這樣，容易向布線(xiàn)基板安裝插座基板及可動(dòng)基板。
也可以是上述框架及上述可動(dòng)基板中的一個(gè)，在與矩形的相對(duì)的一對(duì)邊對(duì)應(yīng)的部位具有一對(duì)槽，該一對(duì)槽在上述可動(dòng)基板的緣部將上述可動(dòng)基板可移動(dòng)地支承于上述框架；上述框架及上述可動(dòng)基板中的另一個(gè)，在與上述矩形的相對(duì)的一對(duì)邊對(duì)應(yīng)的部位具有可移動(dòng)地收容到上述槽內(nèi)的凸部。如果這樣，則不使用像球、輥那樣的部件，就能夠可移動(dòng)地支承可動(dòng)基板。
上述陶瓷基板和上述插座裝置可利用貫通上述陶瓷基板而螺紋結(jié)合到上述插座裝置的多個(gè)螺絲構(gòu)件結(jié)合。如果這樣，則陶瓷基板相對(duì)于插座裝置穩(wěn)定、進(jìn)而相對(duì)于布線(xiàn)基板穩(wěn)定。
電連接裝置可還包括配置在與上述布線(xiàn)基板的上述插座裝置一側(cè)相反的一側(cè)的加強(qiáng)構(gòu)件，上述加強(qiáng)構(gòu)件利用貫通該加強(qiáng)構(gòu)件及上述布線(xiàn)基板而螺紋結(jié)合到上述插座裝置的多個(gè)螺絲構(gòu)件，組裝在上述布線(xiàn)基板及上述插座裝置上，上述陶瓷基板和上述插座裝置利用貫通上述陶瓷基板而螺紋結(jié)合到插座裝置的多個(gè)螺絲構(gòu)件結(jié)合。如果這樣，則較高的維持布線(xiàn)基板、插座裝置、陶瓷基板及樹(shù)脂基板的平行度。
電連接裝置還可具有配置在與上述布線(xiàn)基板的上述插座裝置相反側(cè)的多個(gè)電子部件、即分別與上述第5導(dǎo)電性部電連接的電子部件；以及位于該電子部件周?chē)募訌?qiáng)構(gòu)件。
上述加強(qiáng)構(gòu)件可具有位于上述電子部件周?chē)目虿?、和從該框部向假想圓的半徑方向延伸的多個(gè)臂部，還通過(guò)多個(gè)螺絲構(gòu)件在上述框部組裝在上述布線(xiàn)基板及上述插座裝置，并且在上述臂部通過(guò)多個(gè)其他的螺絲構(gòu)件，安裝在上述布線(xiàn)基板上。如果這樣，則不僅加強(qiáng)了布線(xiàn)基板，還可有效利用布線(xiàn)基板的上側(cè)區(qū)域。
電連接裝置還可包括配置在上述布線(xiàn)基板上的多個(gè)連接器、即具有分別與上述第5導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)連接部的連接器。


圖1是表示與本發(fā)明有關(guān)的電連接裝置的一實(shí)施例的俯視圖。
圖2是圖1所示的電連接裝置的主視圖。
圖3是圖1所示的電連接裝置的仰視圖。
圖4是從下方觀(guān)看圖1所示的電連接裝置的分解立體圖。
圖5是從上方觀(guān)看圖1所示的電連接裝置的分解立體圖。
圖6是放大表示圖1所示的電連接裝置局部的縱截面圖，省略布線(xiàn)基板的上部而表示。
圖7是放大表示探針基板局部的縱截面圖。
圖8是表示樹(shù)脂基板的下表面局部的立體圖。
圖9是表示觸頭的一實(shí)施例的圖，(A)是主視圖，(B)是右視圖。
圖10是表示插座裝置的一實(shí)施例的立體圖。
圖11是表示可動(dòng)基板對(duì)框架的支承狀態(tài)的截面圖。
圖12是用于說(shuō)明插座基板的作用的縱截面圖，(A)是表示對(duì)夾持銷(xiāo)進(jìn)行解除的狀態(tài)的圖，(B)是表示正在夾持銷(xiāo)的狀態(tài)的圖。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D1～圖12，電連接裝置10將如形成在半導(dǎo)體晶片上的未切斷的集成電路或被切斷成芯片狀的集成電路那樣，具有電源用、接地用及信號(hào)用的多個(gè)電極的集成電路作為被檢查體。
電連接裝置10包括安裝在檢查裝置上的布線(xiàn)基板12；具有后面說(shuō)明的多個(gè)觸頭32的探針基板14；可拆卸地將探針基板14安裝在布線(xiàn)基板12下側(cè)的平板狀插座裝置16；配置在布線(xiàn)基板12上側(cè)的加強(qiáng)構(gòu)件18。
布線(xiàn)基板12被做成具有多個(gè)導(dǎo)電性部20、并且具有多層與這些導(dǎo)電性部20電連接的多個(gè)布線(xiàn)22的圓形多層布線(xiàn)基板。集成電路的電極和導(dǎo)電性部20、以及導(dǎo)電性部20和布線(xiàn)22分別以至少一個(gè)對(duì)至少一個(gè)的形式，最好是一對(duì)一的形式相對(duì)應(yīng)。這樣的布線(xiàn)基板12可使用玻璃環(huán)氧制作。
各導(dǎo)電性部20被做成從布線(xiàn)基板12的下表面起在布線(xiàn)基板12內(nèi)延伸直到布線(xiàn)基板12厚度方向中途的、由導(dǎo)電性筒狀構(gòu)件形成的所謂的導(dǎo)電性通孔。
在布線(xiàn)基板12的上表面中央，配置有繼電器、電阻器之類(lèi)的多個(gè)電子部件24，由俯視觀(guān)看配置成大致矩形區(qū)域。各電子部件24對(duì)應(yīng)于電源用或信號(hào)用的電極，利用焊錫之類(lèi)的導(dǎo)電性粘接材料而粘接在連接用連接盤(pán)(未圖示)上，與布線(xiàn)22電連接。
在布線(xiàn)基板12的上表面上還配置有與檢查裝置的電路連接的多個(gè)連接器26。各連接器26分別通過(guò)布線(xiàn)基板12的布線(xiàn)22與導(dǎo)電性部20電連接。
探針基板14在大致矩形的陶瓷基板28的下表面形成矩形的樹(shù)脂基板，將分別與集成電路的電極對(duì)應(yīng)的多個(gè)觸頭32和電容器之類(lèi)的電子部件34安裝在樹(shù)脂基板30的下表面。電子部件34的下端的高度位置，位于觸頭32的下端(針尖)的上方。
陶瓷基板28在其兩表面具有多個(gè)導(dǎo)電性部36和38，通過(guò)導(dǎo)電性的布線(xiàn)40及筒狀構(gòu)件42使導(dǎo)電性部36及38分別以至少一個(gè)對(duì)至少一個(gè)的形式、最好以一對(duì)一的形式電連接。導(dǎo)電性部36及38分別為筒狀構(gòu)件42的一端及另一端。
筒狀構(gòu)件42被表示為沿厚度方向貫通陶瓷基板28，但實(shí)際上分為上下兩個(gè)構(gòu)件，某一筒狀構(gòu)件的上側(cè)構(gòu)件和另一筒狀構(gòu)件42的下側(cè)構(gòu)件通過(guò)布線(xiàn)40被電連接。
但是，也可以不在陶瓷基板28設(shè)置布線(xiàn)40，而設(shè)為單一的筒狀構(gòu)件40。該情況下，可將布線(xiàn)40用作加強(qiáng)材料。
在陶瓷基板28的上表面以向上方延伸的狀態(tài)配置多個(gè)銷(xiāo)44。各銷(xiāo)44具有凸緣部46、從凸緣部46延伸的銷(xiāo)狀的主體部48，另外，利用焊錫之類(lèi)的導(dǎo)電性粘接材料在凸緣部46處與上側(cè)的導(dǎo)電性部36粘接而進(jìn)行電連接。
上述的結(jié)果，使得銷(xiāo)44對(duì)導(dǎo)電性部36的連接作業(yè)變得容易。另外，與不具有凸緣部的情況相比，由于銷(xiāo)44對(duì)導(dǎo)電性部36的粘接面積增大，所以銷(xiāo)44與導(dǎo)電性部36牢固地連接。
樹(shù)脂基板30是使用聚酰亞胺之類(lèi)的電絕緣性樹(shù)脂在陶瓷基板28的一個(gè)面上直接形成的。樹(shù)脂基板30具有在其兩表面用作連接用焊盤(pán)的多個(gè)導(dǎo)電性部50及52，將導(dǎo)電性部50及52分別利用導(dǎo)電性布線(xiàn)54以至少一個(gè)對(duì)至少一個(gè)的形式電連接、最好以一對(duì)一的形式電連接。
電源用或接地用的布線(xiàn)56在樹(shù)脂基板30的下表面露出，與電容器之類(lèi)的電子部件34連接。連接在布線(xiàn)56上的導(dǎo)電性部52用作電源用或接地用的焊盤(pán)部。其他導(dǎo)電性部52用作信號(hào)用焊盤(pán)部。
各觸頭24形成為包含安裝部58、臂部60、以及針尖部62的板狀的觸頭(探針)，其中安裝部58安裝在樹(shù)脂基板30的導(dǎo)電性部52上，臂部60從安裝部58向下方延伸，針尖部62從臂部60的前端側(cè)向與安裝部58相反側(cè)的方向(下方)延伸。
安裝部58具有矩形的板狀區(qū)域58a、和從板狀區(qū)域58a向下方延伸到達(dá)臂部60的延長(zhǎng)部58b。
臂部60具有在上下方向隔有間隔的第1臂60a及第2臂60b、和在這些第1臂60a及第2臂60b的前端部及基端部分別連結(jié)第1臂60a及第2臂60b的第1連結(jié)部60c及第2連結(jié)部60d。臂部60在基端部被安裝部58的延長(zhǎng)部58b支承，并且在前端部支承針尖部62。
針尖部62具有沿臂部60的前端側(cè)下端連續(xù)的板狀的臺(tái)座部62a、和設(shè)置在臺(tái)座部62a下端的突起狀的針尖62b。
各觸頭24以從樹(shù)脂基板30向下方延伸的狀態(tài)，在安裝部58的板狀區(qū)域58中利用焊錫之類(lèi)的導(dǎo)電性粘接材料粘接在導(dǎo)電性部52上。
觸頭24即使如上所述具有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，也可以利用電解電鍍那樣的電鑄法容易和廉價(jià)地制造。
插座裝置16由位于布線(xiàn)基板12一側(cè)的插座基板64、可相對(duì)插座基板64在水平面內(nèi)的一個(gè)方向上移動(dòng)的可動(dòng)基板66、以及配置在插座基板64和可動(dòng)基板66周?chē)目蚣?8，形成整體上大致矩形的板的形狀。
插座裝置16還包括向可動(dòng)基板66作用使可動(dòng)基板66向移動(dòng)方向的一側(cè)移動(dòng)的作用力的彈性體70；對(duì)抗像片簧那樣的彈性體70的力，向另一側(cè)可解除地推壓可動(dòng)基板66的一對(duì)凸輪72；不能相對(duì)移動(dòng)地安裝有凸輪72的支承軸74；為使凸輪72以一定角度旋轉(zhuǎn)而安裝在支承軸74的各端部上的操作構(gòu)件76。
插座基板64及可動(dòng)基板66共同形成向陶瓷基板28一側(cè)的面開(kāi)口的多個(gè)凹部78，以便分別收容陶瓷基板28的銷(xiāo)44。
凹部78分別對(duì)應(yīng)于布線(xiàn)基板12的筒狀導(dǎo)電性部20。凹部78中的插座基板64的部位是有底的所謂的有底孔，可動(dòng)基板66的部位是與有底孔連接的貫通孔。
各凹部78配置有一對(duì)夾持構(gòu)件80、82，使得隨著可動(dòng)基板66的移動(dòng)而可解除地夾持收容在凹部78中的銷(xiāo)44。各對(duì)的一個(gè)夾持構(gòu)件80不能相對(duì)移動(dòng)地安裝在插座基板64上，各對(duì)的另一個(gè)夾持構(gòu)件82不能相對(duì)移動(dòng)地安裝在可動(dòng)基板66上。
在插座基板64上還以從夾持構(gòu)件80向插座基板64的上方突出的狀態(tài)配置有多個(gè)銷(xiāo)84。各銷(xiāo)84與夾持構(gòu)件80電連接，并插入布線(xiàn)基板12的筒狀的導(dǎo)電性部20。由此，插座基板64阻止相對(duì)于布線(xiàn)基板12的移動(dòng)。
可動(dòng)基板66在矩形的相對(duì)的緣部具有向可動(dòng)基板66的移動(dòng)方向延伸的一對(duì)槽86，框架68在與矩形的相對(duì)的邊對(duì)應(yīng)的部位具有可移動(dòng)地被收容在槽86的凸部88中。但是，也可以在框架68上形成槽86、在可動(dòng)基板66上形成凸部88。
根據(jù)上述任一例，可移動(dòng)到形成為了收容銷(xiāo)44而開(kāi)口的凹部78的位置、和由夾持構(gòu)件80、82夾持被收容的銷(xiāo)44的位置。插座基板64載置在可動(dòng)基板66上。這樣，使用槽86及凸部88支承可動(dòng)基板66時(shí)，可不必使用像球、輥那樣的部件，而使可動(dòng)基板66可移動(dòng)地支承在框架68上。
支承軸74與可動(dòng)基板66的移動(dòng)方向交叉而向水平方向延伸地可旋轉(zhuǎn)地支承在框架68上。
凸輪72在支承軸74的長(zhǎng)度方向上有間隔地安裝在支承軸74上，可在包含可動(dòng)基板66的移動(dòng)方向的垂直面內(nèi)以一定角度旋轉(zhuǎn)。在凸輪72的外周面具有曲率半徑大的第1凸輪面、和曲率半徑小的第2凸輪面。
操作構(gòu)件76安裝在支承軸的端部，可使支承軸74旋轉(zhuǎn)到第1凸輪面抵接于可動(dòng)基板66側(cè)面的位置、和第2凸輪面抵接于可動(dòng)基板66側(cè)面的位置上。
如上所述的插座裝置16，與將陶瓷基板28的銷(xiāo)44以緊固嵌入的狀態(tài)配合凹部78的情況相比，可用極小的力使陶瓷基板28相對(duì)于插座裝置16進(jìn)行裝卸，所以可容易進(jìn)行陶瓷基板28對(duì)插座裝置16的裝卸。
另外，插座裝置16利用框架68阻止插座基板64的移動(dòng)，并且可移動(dòng)地支承可動(dòng)基板66，因此使插座基板64及可動(dòng)基板66對(duì)布線(xiàn)基板12的安裝變得容易。
加強(qiáng)構(gòu)件18具有位于電子部件24周?chē)拇笾戮匦蔚目虿?0、和從框部90向假想圓的半徑方向延伸的多個(gè)臂部92。由此，不僅布線(xiàn)基板12被加強(qiáng)，還可有效利用布線(xiàn)基板12的上側(cè)區(qū)域。
加強(qiáng)構(gòu)件18利用貫通加強(qiáng)構(gòu)件18及布線(xiàn)基板12而螺紋結(jié)合到框架68上的多個(gè)螺絲構(gòu)件94，在框部90處組裝在布線(xiàn)基板12及插座裝置16上，并且，利用貫通加強(qiáng)構(gòu)件18而螺紋結(jié)合到布線(xiàn)基板12上的多個(gè)螺絲構(gòu)件96，在臂部92處組裝在布線(xiàn)基板12上。
探針基板14利用貫通陶瓷基板28而螺紋結(jié)合到框架68上的多個(gè)螺絲構(gòu)件98，組裝在插座裝置16上。
利用從布線(xiàn)基板12貫通框架68而延伸、插入陶瓷基板28的多個(gè)定位銷(xiāo)100，進(jìn)行布線(xiàn)基板12、探針基板14及插座裝置16的相對(duì)定位。
進(jìn)行檢查時(shí)，電連接裝置10將觸頭24的針尖62b按壓到集成電路的電極上。這時(shí)，懸臂梁狀的觸頭24通過(guò)對(duì)其進(jìn)行作用的超速傳動(dòng)，在臂60a、60b處彎曲。由此，針尖62b的高度位置的偏差被吸收，所有的觸頭24確實(shí)地接觸在集成電路的電極上。
在電連接裝置10中，從圖12的(A)所示的狀態(tài)起，由操作構(gòu)件76旋轉(zhuǎn)凸輪72以使第1凸輪面抵接可動(dòng)基板66的側(cè)面時(shí)，可動(dòng)基板66抗拒彈性體70的力而被壓下。由此，如圖12的(B)所示，夾持構(gòu)件80、82夾持陶瓷基板28的銷(xiāo)44，探針基板14被安裝到插座裝置16上，進(jìn)而被安裝到布線(xiàn)基板12上。
與此相對(duì)，從圖12的(B)所示的狀態(tài)起，由操作構(gòu)件76旋轉(zhuǎn)凸輪72以使第2凸輪面抵接可動(dòng)基板66的側(cè)面時(shí)，可動(dòng)基板66通過(guò)彈性體70的力而被推回。由此，如圖12的(A)所示，夾持構(gòu)件80、82解除銷(xiāo)44的夾持。在該狀態(tài)下，可進(jìn)行探針基板44對(duì)插座裝置16的裝卸。
根據(jù)電連接裝置10，如上所述，可解除利用夾持構(gòu)件80、82對(duì)陶瓷基板28的銷(xiāo)44的夾持，使陶瓷基板28與樹(shù)脂基板30一起從插座基板64分離，進(jìn)而從布線(xiàn)基板12分離，并可通過(guò)將陶瓷基板28的銷(xiāo)44插入插座裝置16的凹部78，使夾持構(gòu)件80、82夾持這些銷(xiāo)44，由此使陶瓷基板28和樹(shù)脂基板30一起與插座裝置16結(jié)合，進(jìn)而與布線(xiàn)基板12結(jié)合。
為此，事先使陶瓷基板28的導(dǎo)電性部36、38的排列圖案及連接圖案共用化，制作具有與集成電路的種類(lèi)相應(yīng)的圖案的樹(shù)脂基板30，由此可使陶瓷基板28標(biāo)準(zhǔn)化。
被標(biāo)準(zhǔn)化的陶瓷基板28可通過(guò)大量生產(chǎn)使得價(jià)格便宜，并可通過(guò)將與集成電路的種類(lèi)相應(yīng)的樹(shù)脂基板30形成在存貨的陶瓷基板28上，縮短電連接裝置10的生產(chǎn)期間。
使用陶瓷基板28和樹(shù)脂基板30作為探針基板14時(shí)，可以減少形成在陶瓷基板28上的布線(xiàn)數(shù)量，極端的情況下也可以在陶瓷基板28上不形成布線(xiàn)，因此，可容易地制造陶瓷基板28，使陶瓷基板28的價(jià)格便宜。
根據(jù)電連接裝置10，還通過(guò)貫通加強(qiáng)構(gòu)件18及布線(xiàn)基板12而螺紋結(jié)合于插座裝置16的多個(gè)螺絲構(gòu)件96，將該加強(qiáng)構(gòu)件18組裝在布線(xiàn)基板12及插座裝置16上，并且通過(guò)貫通陶瓷基板28而螺紋結(jié)合于插座裝置16的多個(gè)螺絲構(gòu)件98，將陶瓷基板28和插座裝置16結(jié)合，因此布線(xiàn)基板12、插座裝置16、陶瓷基板28及樹(shù)脂基板30的平行度被較高地維持。
但是，也可以不具有加強(qiáng)構(gòu)件18。該情況下，只要利用多個(gè)螺絲構(gòu)件結(jié)合布線(xiàn)基板12和框架68即可。
本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，只要不脫離其主旨，可以進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種電連接裝置，包括陶瓷基板，其在一個(gè)表面上具有多個(gè)第1導(dǎo)電性部，并且在另一個(gè)表面上具有與上述第1導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)第2導(dǎo)電性部，該陶瓷基板還具有與上述第2導(dǎo)電性部電連接、從上述另一個(gè)表面突出的多個(gè)銷(xiāo)；樹(shù)脂基板，其是配置在上述陶瓷基板的一個(gè)表面上的電絕緣性的樹(shù)脂基板，其在上述陶瓷基板的一側(cè)的表面具有與上述第1導(dǎo)電性部接觸的多個(gè)第3導(dǎo)電性部，并且在與上述陶瓷基板的一側(cè)相反側(cè)的表面具有與上述第3導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)第4導(dǎo)電性部；多個(gè)觸頭，安裝在上述第4導(dǎo)電性部上，使得與被檢查體的電極接觸；插座裝置，其是配置在上述陶瓷基板的上述另一個(gè)表面上的板狀的插座裝置，具有為了分別收容上述銷(xiāo)而在上述陶瓷基板側(cè)的表面開(kāi)口的多個(gè)凹部，并且具有分別配置在上述凹部中而可解除地夾持被收容在對(duì)應(yīng)的凹部中的上述銷(xiāo)的多對(duì)夾持構(gòu)件；以及布線(xiàn)基板，其是配置在上述插座裝置的另一個(gè)表面上的布線(xiàn)基板，具有與一方上述夾持構(gòu)件電連接的多個(gè)第5導(dǎo)電性部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電連接裝置，其特征在于，上述各銷(xiāo)具有安裝在上述第2導(dǎo)電性部的凸緣部、和從上述凸緣部延伸以便收容在上述凹部中的銷(xiāo)狀的主體部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電連接裝置，其特征在于，上述第1及第2導(dǎo)電性部通過(guò)形成在上述陶瓷基板上的布線(xiàn)或?qū)щ娦缘呢炌?、即其兩端用作上述?及第2導(dǎo)電性部的貫通孔而被電連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，上述樹(shù)脂基板還具有配置成多層的多個(gè)布線(xiàn)、即將上述第3及第4導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)布線(xiàn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，上述各觸頭以懸臂梁狀安裝于上述第4導(dǎo)電性部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電連接裝置，其特征在于，上述各觸頭形成為板狀的觸頭，該板狀的觸頭具有以從上述第4導(dǎo)電性部向上述陶瓷基板的厚度方向延伸的狀態(tài)安裝在上述第4導(dǎo)電性部的安裝部、從該安裝部的一個(gè)端部向與上述厚度方向交叉的方向延伸的臂部、以及從該臂部的前端側(cè)向與上述安裝部相反側(cè)的方向延伸的針尖部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電連接裝置，其特征在于，上述臂部具有在上述厚度方向上隔有間隔的第1及第2臂、和在該第1及第2臂的前端部及基端部分別連結(jié)該第1及第2臂的第1及第2連結(jié)部，還在上述基端部被上述安裝部支承，并且在上述前端部支承上述針尖部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，上述插座裝置包括位于上述布線(xiàn)基板一側(cè)的插座基板；可相對(duì)于該插座基板向與上述厚度方向交叉的一個(gè)方向移動(dòng)的可動(dòng)基板、即相對(duì)于上述插座基板位于上述陶瓷基板一側(cè)的可動(dòng)基板；對(duì)上述可動(dòng)基板作用使該可動(dòng)基板向其移動(dòng)方向的一側(cè)的作用力的彈性體；抗拒上述彈性體的力向另一側(cè)可解除地推壓上述可動(dòng)體的凸輪；以及使該凸輪以一定角度旋轉(zhuǎn)的操作構(gòu)件，上述插座基板及上述可動(dòng)基板共同形成上述凹部，各對(duì)的一方夾持構(gòu)件安裝在上述插座基板上，各對(duì)的另一方夾持構(gòu)件安裝在上述可動(dòng)基板上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電連接裝置，其特征在于，上述插座裝置還具有多個(gè)第2銷(xiāo)，該多個(gè)第2銷(xiāo)與上述各一方夾持構(gòu)件連接，從上述插座基板向上述布線(xiàn)基板突出，上述布線(xiàn)基板還具有分別配合上述第2銷(xiāo)的多個(gè)孔、即分別用作上述第5導(dǎo)電性部的具有導(dǎo)電性?xún)?nèi)表面的多個(gè)孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的電連接裝置，其特征在于，上述插座裝置還具有在上述布線(xiàn)基板和上述樹(shù)脂基板之間為了阻止上述插座基板的移動(dòng)及為了可移動(dòng)地支承上述可動(dòng)基板而配置在上述插座基板及上述可動(dòng)基板的周?chē)目蚣堋?br> 11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電連接裝置，其特征在于，上述框架及上述可動(dòng)基板中的一個(gè)，在與矩形的相對(duì)的一對(duì)邊對(duì)應(yīng)的部位具有一對(duì)槽，該一對(duì)槽在上述可動(dòng)基板的緣部將上述可動(dòng)基板可移動(dòng)地支承于上述框架；上述框架及上述可動(dòng)基板中的另一個(gè)，在與上述矩形的相對(duì)的一對(duì)邊對(duì)應(yīng)的部位具有可移動(dòng)地收容到上述槽內(nèi)的凸部。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，上述陶瓷基板和上述插座裝置利用貫通上述陶瓷基板而螺紋結(jié)合到上述插座裝置的多個(gè)螺絲構(gòu)件結(jié)合。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，還包括配置在與上述布線(xiàn)基板的上述插座裝置一側(cè)相反的一側(cè)的加強(qiáng)構(gòu)件，上述加強(qiáng)構(gòu)件利用貫通該加強(qiáng)構(gòu)件及上述布線(xiàn)基板而螺紋結(jié)合到上述插座裝置的多個(gè)螺絲構(gòu)件，組裝在上述布線(xiàn)基板及上述插座裝置上，上述陶瓷基板和上述插座裝置利用貫通上述陶瓷基板而螺紋結(jié)合到插座裝置的多個(gè)螺絲構(gòu)件結(jié)合。
14.根據(jù)權(quán)利要求1～12中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，還具有配置在與上述布線(xiàn)基板的上述插座裝置相反側(cè)的多個(gè)電子部件、即分別與上述第5導(dǎo)電性部電連接的電子部件；以及位于該電子部件周?chē)募訌?qiáng)構(gòu)件。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的電連接裝置，其特征在于，上述加強(qiáng)構(gòu)件具有位于上述電子部件周?chē)目虿俊⒑蛷脑摽虿肯蚣傧雸A的半徑方向延伸的多個(gè)臂部，還通過(guò)多個(gè)螺絲構(gòu)件在上述框部組裝在上述布線(xiàn)基板及上述插座裝置上，并且在上述臂部通過(guò)多個(gè)其他的螺絲構(gòu)件，安裝在上述布線(xiàn)基板上。
16.根據(jù)權(quán)利要求1～15中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，其特征在于，還包括配置在上述布線(xiàn)基板上的多個(gè)連接器、即具有分別與上述第5導(dǎo)電性部電連接的多個(gè)連接部的連接器。
全文摘要
一種電連接裝置。在陶瓷基板上以從它的一個(gè)表面突出的狀態(tài)配置多個(gè)銷(xiāo)，將具有與這些銷(xiāo)電連接的多個(gè)導(dǎo)電性部的樹(shù)脂基板配置在陶瓷基板的另一個(gè)表面上，為了分別收容銷(xiāo)在插座裝置上設(shè)置在陶瓷基板側(cè)的面開(kāi)口的多個(gè)凹部，并且在插座裝置上設(shè)置可解除地夾持被分別收容在凹部中的銷(xiāo)的多對(duì)夾持構(gòu)件，使陶瓷基板與插座裝置結(jié)合，使插座裝置與布線(xiàn)基板結(jié)合。
文檔編號(hào)G01R31/26GK1922495SQ200480042028
公開(kāi)日2007年2月28日 申請(qǐng)日期2004年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月27日
發(fā)明者長(zhǎng)谷川義榮 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司