技術(shù)編號:6132244
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種將作為被檢查體的集成電路與其檢查裝置的電路進(jìn)行電連接的探針卡(probe card)那樣的電連接裝置。在以下的說明中,設(shè)各基板的厚度方向為上下方向,設(shè)對著各基板的觸頭的針尖一側(cè)(半導(dǎo)體晶片一例)為下方,設(shè)與各基板平行的直角坐標(biāo)的2個方向為X方向及Y方向。但是,實際使用電連接裝置時,既可設(shè)各基板的厚度方向為斜向或橫向,也可以使上下方向相反而使用。背景技術(shù) 作為這種電連接裝置之一,有如下的電連接裝置具有陶瓷制的所謂的陶瓷基板、和配置在陶瓷基板一面...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。