專(zhuān)利名稱(chēng)：玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置及方法，更具體地說(shuō)，涉及在玻璃基板移動(dòng)的狀態(tài)下，用最少量的光傳感器對(duì)移動(dòng)平面顯示裝置生產(chǎn)線上的玻璃基板邊緣部分易于發(fā)生的破損進(jìn)行檢測(cè)的裝置及方法。
背景技術(shù)：
玻璃基板是制造如液晶顯示裝置(LCD)、等離子體顯示器(PDP)之類(lèi)的平面顯示裝置所必不可少的組成部件。為了制造液晶顯示裝置等的平面顯示裝置，在玻璃基板上循環(huán)執(zhí)行洗凈工序，涂膜工序，顯影工序等處理工序，因此，為了進(jìn)行這樣的處理工序，液晶顯示裝置等的生產(chǎn)線都是由復(fù)雜的裝置形成的。最近，開(kāi)發(fā)使用了在玻璃基板上能夠自動(dòng)進(jìn)行這些處理的自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)，如流水線(in-line)生產(chǎn)系統(tǒng)和集群式(cluster)生產(chǎn)系統(tǒng)，在這些生產(chǎn)系統(tǒng)的各處理階段中，玻璃基板的移送和處理是極為重要的。
為了執(zhí)行上述那樣的各種循環(huán)處理工序，液晶顯示裝置或等離子體顯示器的生產(chǎn)系統(tǒng)是由復(fù)雜的多個(gè)裝置形成的。玻璃基板必須在這樣的多個(gè)裝置間移動(dòng)。由于在多個(gè)循環(huán)處理過(guò)程中露出，因而易發(fā)生破損，特別是玻璃基板的邊緣部分更容易破損。因此，在平面顯示裝置的生產(chǎn)線中，在一道工序結(jié)束之后，在將玻璃基板投入到下一道工序之前，必須檢測(cè)出由于工序失敗或是移送中發(fā)生的玻璃基板的破損，特別是四個(gè)邊緣部分的破損，確認(rèn)玻璃基板有無(wú)異常。如果沒(méi)有識(shí)別這類(lèi)玻璃基板的破損，將破損了的玻璃基板投入如集群式生產(chǎn)系統(tǒng)那樣的自動(dòng)化系統(tǒng)的工序模塊中時(shí)，不僅是工序缺陷，還會(huì)發(fā)生預(yù)測(cè)不到的系統(tǒng)誤操作和故障。
因此，本發(fā)明所屬的技術(shù)領(lǐng)域中，通常，為了達(dá)到平穩(wěn)的工序流程和使由于破損的玻璃基板的玻璃片導(dǎo)致的系統(tǒng)裝備的損失最小，在投入工序模塊之前，檢查玻璃基板有無(wú)破損。如果有異常，則采取報(bào)警等措施。即，在如平面顯示裝置的生產(chǎn)系統(tǒng)那樣進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的工序處理的裝備中，玻璃基板在移送過(guò)程或各種復(fù)雜的處理工序中有破損的可能。當(dāng)發(fā)生這樣的玻璃基板破損時(shí)，產(chǎn)生的微細(xì)玻璃粉末會(huì)造成工序缺陷和系統(tǒng)裝備的損失，因此在將玻璃基板投入各工序模塊前必須確認(rèn)玻璃基板有無(wú)破損。
但是，在以往的平面顯示裝置的生產(chǎn)系統(tǒng)中，檢測(cè)玻璃基板的破損的方法是在將玻璃基板投入各處理工序前使玻璃基板處于停止?fàn)顟B(tài)，來(lái)檢測(cè)有無(wú)破損，這樣就需要額外的檢測(cè)時(shí)間，因此產(chǎn)生各工序間的流程不暢的問(wèn)題。而且，在以往的方法中，除了必須在將玻璃基板投入各工序模塊前將其處于停止?fàn)顟B(tài)來(lái)檢測(cè)有無(wú)破損這個(gè)問(wèn)題之外，另一問(wèn)題是，還需要對(duì)應(yīng)玻璃基板的各邊緣的傳感器。因此需要多個(gè)傳感器，且僅能在有限的范圍進(jìn)行檢測(cè)。特別是，平面顯示裝置的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)是由承載玻璃基板的負(fù)荷固定裝置和具有能夠支持多個(gè)工序模塊(例如，從第1工序模塊到第6工序模塊)的平面(facet)的輸送室構(gòu)成。在這樣的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)中，在將玻璃基板投入各工序模塊之前，由在承載玻璃基板的支撐臺(tái)下部設(shè)置的光傳感器來(lái)檢測(cè)玻璃基板各邊緣有無(wú)破損。但是，如圖7所示，為了檢測(cè)玻璃基板的邊緣部分的破損，這種現(xiàn)有技術(shù)的檢測(cè)方式必須使玻璃基板停止于輸送室內(nèi)，用于檢測(cè)的光傳感器的數(shù)量與工序模塊的數(shù)量成比例增加(例如，在支持六個(gè)工序模塊的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)的情況下，需要14個(gè)傳感器)，存在需要較多的光傳感器的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題提出的，其目的在于提供使用最少量的光傳感器，在玻璃基板移動(dòng)的狀態(tài)下，檢測(cè)移動(dòng)平面顯示裝置的生產(chǎn)線的玻璃基板的邊緣部分中易于發(fā)生的破損的裝置及方法。
而且，本發(fā)明的另一目的是提供一種裝置及方法，使得玻璃基板在各工序模塊間移動(dòng)時(shí)，能夠檢測(cè)出玻璃基板有無(wú)破損，因此不需要另外的檢測(cè)時(shí)間，僅用2～3個(gè)傳感器就能夠檢測(cè)玻璃基板所有的邊緣破損。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置包括至少兩個(gè)傳感器，設(shè)置于玻璃基板要移動(dòng)的位置的下部或上部，在玻璃基板通過(guò)時(shí)，用于識(shí)別玻璃基板而發(fā)出信號(hào)；以及控制器，與所述至少兩個(gè)傳感器電連接，接收所述至少兩個(gè)傳感器的各自的信號(hào)，在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，從所述至少兩個(gè)傳感器分別讀出接收的信號(hào)，確定玻璃基板完全通過(guò)各傳感器所需的時(shí)間，或者是在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，對(duì)從所述至少兩個(gè)傳感器接收的信號(hào)各自的脈沖個(gè)數(shù)分別進(jìn)行計(jì)數(shù)，將這樣分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而判斷玻璃基板有無(wú)破損。
而且，其特征在于，所述控制器將上述分別確定的時(shí)間或計(jì)算的各脈沖數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，當(dāng)該時(shí)間或脈沖個(gè)數(shù)比預(yù)定的基準(zhǔn)值小的時(shí)候，則可以判定玻璃基板有破損，當(dāng)兩者相同時(shí)，可判定玻璃基板無(wú)破損。
而且，其特征在于，上述至少兩個(gè)傳感器中具有左右對(duì)稱(chēng)地設(shè)置于玻璃基板的左右邊緣部分要移動(dòng)的位置的下部或上部的邊緣傳感器，當(dāng)玻璃基板通過(guò)時(shí)，可識(shí)別玻璃基板而發(fā)出信號(hào)，和/或位于邊緣傳感器之間的基準(zhǔn)傳感器。這種基準(zhǔn)傳感器產(chǎn)生與各邊緣傳感器發(fā)生的信號(hào)對(duì)應(yīng)的同步信號(hào)。
所述傳感器是光傳感器，與反射型傳感器相比，優(yōu)選使用透過(guò)型傳感器。通常，反射型傳感器對(duì)于反射角度的反應(yīng)敏感，根據(jù)玻璃基板的彎曲的不同會(huì)產(chǎn)生很大的感度的差別。因此，鑒于周邊部有較大撓曲的玻璃基板的特性，優(yōu)選使用容易檢測(cè)的透過(guò)型傳感器。
所述光傳感器優(yōu)選使用響應(yīng)特性優(yōu)良的，特別是傳感器響應(yīng)時(shí)間低于200μs的產(chǎn)品。
而且，所述控制器使用專(zhuān)用的微處理器，為了檢測(cè)出移動(dòng)的玻璃基板的邊緣部分的破損，優(yōu)選使用掃描時(shí)間短的產(chǎn)品。
所述控制器如上所述，在邊緣傳感器或基準(zhǔn)傳感器那樣的光傳感器開(kāi)啟時(shí)，在確定開(kāi)啟時(shí)間或脈沖的個(gè)數(shù)之后，與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判定玻璃基板有無(wú)破損。
而且，檢測(cè)移動(dòng)的玻璃基板有無(wú)破損所需的分辨率由傳感器的響應(yīng)時(shí)間，控制器的掃描時(shí)間、玻璃基板的移動(dòng)速度來(lái)決定。如果玻璃基板的移動(dòng)速度為1000mm/sec，結(jié)合傳感器的響應(yīng)時(shí)間和控制器的演算時(shí)間考慮的控制采樣時(shí)間為500μs時(shí)，最小分辨率為0.5mm/脈沖。此時(shí)，來(lái)測(cè)定移動(dòng)的玻璃基板有無(wú)破損的精度是0.5mm。而且，即使最小檢測(cè)間隔很短也能檢測(cè)出小的破損部位，只要傳感器和器具構(gòu)造允許，最好使用小的配置。
而且，本發(fā)明的玻璃基板的邊緣部分破損檢測(cè)裝置還可具有通過(guò)輸入輸出接口與控制器電連接的主控制器(main controller)，該主控制器是用于控制平面顯示裝置的流水線生產(chǎn)系統(tǒng)或集群式生產(chǎn)系統(tǒng)的整體的裝置，在使用本發(fā)明的控制器判定玻璃基板的破損時(shí)，所述主控制器控制警報(bào)裝置發(fā)生報(bào)警信號(hào)，并控制移送玻璃基板的移送裝置，使玻璃基板停止移動(dòng)。
本發(fā)明的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法包括以下步驟使用設(shè)置于玻璃基板要移動(dòng)的位置的下部或上部的至少兩個(gè)傳感器，在玻璃基板通過(guò)時(shí)，識(shí)別玻璃基板而產(chǎn)生信號(hào)；通過(guò)與所述至少兩個(gè)傳感器電連接、并從所述至少兩個(gè)傳感器分別接收信號(hào)的控制器，在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，讀出從所述至少兩個(gè)傳感器分別接收的信號(hào)，從而確定玻璃基板完全通過(guò)各傳感器的時(shí)間，或是在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，對(duì)從所述至少兩個(gè)傳感器分別接收的信號(hào)的脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)；和通過(guò)所述控制器將所述分別確定的時(shí)間或計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判定玻璃基板有無(wú)破損。
其特征在于，上述判定玻璃基板有無(wú)破損的步驟將所述分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，該時(shí)間或脈沖個(gè)數(shù)小于預(yù)定的基準(zhǔn)值時(shí)，判定玻璃基板有破損；當(dāng)該時(shí)間或脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值相同時(shí)，判定玻璃基板沒(méi)有破損。
根據(jù)本發(fā)明，能夠在玻璃基板移動(dòng)的狀態(tài)下，使用最少量的光傳感器檢測(cè)出平面顯示裝置生產(chǎn)線上移動(dòng)的玻璃基板的邊緣部分中易發(fā)生的破損。特別是，當(dāng)玻璃基板在各工序間移動(dòng)時(shí)，能夠檢測(cè)出玻璃基板有無(wú)破損，從而不需要額外的測(cè)定時(shí)間，能夠僅用2至3個(gè)傳感器檢測(cè)出玻璃基板所有的邊緣破損。


圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置的概要構(gòu)成圖；圖2是顯示正常的玻璃基板通過(guò)根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)裝置時(shí)，光傳感器和正常的玻璃基板的位置關(guān)系的平面圖，以及從位于正常的玻璃基板下部的各光傳感器檢測(cè)出的對(duì)應(yīng)時(shí)間軸的信號(hào)波形的曲線；圖3顯示了破損的玻璃基板通過(guò)根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)裝置的光傳感器時(shí)，光傳感器和破損的玻璃基板的位置關(guān)系的平面圖，以及從位于破損的玻璃基板下部的各光傳感器檢測(cè)出的對(duì)應(yīng)時(shí)間軸的信號(hào)波形的曲線；圖4是詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板邊緣部分破損檢測(cè)方法的流程圖；圖5顯示了根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)裝置應(yīng)用于平面顯示裝置的流水線生產(chǎn)系統(tǒng)的實(shí)施方式的平面圖；圖6顯示了根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)裝置適用于平面顯示裝置的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)的實(shí)施方式的平面圖；圖7顯示了現(xiàn)有技術(shù)的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)中檢測(cè)玻璃基板邊緣部分的破損的光傳感器的配置方式。
符號(hào)說(shuō)明10 玻璃基板 10a～10e 第1玻璃基板～第5玻璃基板20 傳感器 22 反射板20a、20b 邊緣傳感器 20c 基準(zhǔn)傳感器30 控制器 40 主控制器50 輸送室(transport chamber)LL負(fù)載固定器PM1～PM6 第1工序模塊～第6工序模塊實(shí)施發(fā)明的最佳方式下面參考附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置的概要構(gòu)成圖。該裝置由傳感器20、反射板22和控制器30構(gòu)成，所述傳感器20設(shè)置于玻璃基板10的左右邊緣部分要移動(dòng)的位置的下部。當(dāng)玻璃基板通過(guò)時(shí)，識(shí)別玻璃基板而產(chǎn)生信號(hào)。反射板22將玻璃基板10夾在其間，并位于與上述傳感器20相對(duì)側(cè)?？刂破?0與傳感器20電連接，用于接收來(lái)自各傳感器20的信號(hào)。
控制器30在玻璃基板通過(guò)傳感器20的上部時(shí)，讀出從各傳感器20接收的信號(hào)，確定玻璃基板10完全通過(guò)各傳感器20所需要的各時(shí)間；或是在玻璃基板通過(guò)傳感器20的上部時(shí)，對(duì)從各傳感器20接收的信號(hào)的脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)。
通過(guò)控制器30將分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判定玻璃基板10有無(wú)破損。后面將參考圖2至圖4描述通過(guò)控制器30判定玻璃基板10的破損有無(wú)的具體的過(guò)程。
最后，所述檢測(cè)裝置還可以有通過(guò)外部裝置輸入輸出接口與控制器30電連接的主控制器40。該主控制器40在通過(guò)控制器30判定玻璃基板的破損時(shí)，控制報(bào)警裝置(未示出)發(fā)生報(bào)警信號(hào)，并控制移送玻璃基板10的移送裝置(未示出)，停止玻璃基板10的移動(dòng)。
圖2是顯示在所述檢測(cè)裝置中，正常的玻璃基板10通過(guò)位于下部的邊緣傳感器20a、20b和基準(zhǔn)傳感器20c時(shí)，正常的玻璃基板和這些傳感器的位置關(guān)系的平面圖。
圖2的(a)、(b)、(c)中顯示了正常的玻璃基板移動(dòng)時(shí)，從位于下部的邊緣傳感器20a、20b和基準(zhǔn)傳感器20c檢測(cè)出的相對(duì)于時(shí)間軸的信號(hào)的波形圖。從圖2中的曲線(a)看，從正常的玻璃基板10的前端部通過(guò)邊緣傳感器20a的時(shí)刻t0到玻璃基板10的后端部通過(guò)邊緣傳感器20a的時(shí)刻t3為止，邊緣傳感器20a識(shí)別玻璃基板10，產(chǎn)生一定大小的信號(hào)。該信號(hào)波形與位于兩個(gè)邊緣傳感器20a、20b之間的基準(zhǔn)傳感器20c所產(chǎn)生的示于圖2(c)的同步信號(hào)波形相同。而且，從圖2的(b)的曲線看，從正常的玻璃基板10的前端部通過(guò)邊緣傳感器20b的時(shí)刻t0到玻璃基板10的后端部通過(guò)邊緣傳感器20b的時(shí)刻t3為止，邊緣傳感器20b識(shí)別玻璃基板10，從而產(chǎn)生一定大小的信號(hào)。該信號(hào)波形與位于兩個(gè)邊緣傳感器20a、20b之間的基準(zhǔn)傳感器20c所發(fā)生的示于圖2的(c)的同步信號(hào)波形相同。在這種兩個(gè)傳感器20a、20b的信號(hào)波形與基準(zhǔn)傳感器20c產(chǎn)生的同步信號(hào)波形相同的情況下，當(dāng)玻璃基板10完全通過(guò)兩個(gè)邊緣傳感器時(shí)，所需時(shí)間或發(fā)生的脈沖的個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值相同，結(jié)果控制器可以判定玻璃基板沒(méi)有破損。
圖3顯示了所述檢測(cè)裝置中，破損的玻璃基板10通過(guò)位于下部的邊緣傳感器20a、20b和基準(zhǔn)傳感器20c時(shí)，破損的玻璃基板和這些傳感器的位置關(guān)系的平面圖。
而且，圖3的(a)、(b)、(c)中顯示了破損的玻璃基板移動(dòng)時(shí)，從位于下部的邊緣傳感器20a、20b和基準(zhǔn)傳感器20c各檢測(cè)出的相對(duì)于時(shí)間軸的信號(hào)的波形圖。從圖3(a)的曲線看，從破損的玻璃基板10的前端部通過(guò)邊緣傳感器20a的時(shí)t1到破損的玻璃基板10的后端部通過(guò)邊緣傳感器20a的時(shí)刻t3為止，邊緣傳感器20a識(shí)別玻璃基板10，從而產(chǎn)生一定大小的信號(hào)，該信號(hào)波形與位于兩個(gè)邊緣傳感器20a、20b之間的基準(zhǔn)傳感器20c所發(fā)生的示于圖3的(c)的同步信號(hào)波形不相同。在t0～t1區(qū)間沒(méi)有發(fā)生信號(hào)。這樣的t0～t1區(qū)間是檢測(cè)出通過(guò)邊緣傳感器20a的玻璃基板的前端部的邊緣破損的區(qū)間。當(dāng)破損的玻璃基板10完全通過(guò)邊緣傳感器20a時(shí)，所需時(shí)間或產(chǎn)生的脈沖個(gè)數(shù)小于預(yù)定基準(zhǔn)值，結(jié)果，控制器判定玻璃基板有破損。
而且，從圖3的(b)的曲線看，從破損的玻璃基板10的前端部通過(guò)邊緣傳感器20b的時(shí)刻t0到破損的玻璃基板10的后端部通過(guò)邊緣傳感器20b的時(shí)刻t2為止，邊緣傳感器20b識(shí)別玻璃基板10，從而產(chǎn)生一定大小的信號(hào)。該信號(hào)波形與位于兩個(gè)邊緣傳感器20a、20b之間的基準(zhǔn)傳感器20c所發(fā)生的示于圖3的(c)的同步信號(hào)波形不相同。在t2～t3區(qū)間沒(méi)有發(fā)生信號(hào)。這樣的t2～t3區(qū)間是檢測(cè)出通過(guò)邊緣傳感器20b的玻璃基板的后端部的邊緣破損的區(qū)間。當(dāng)破損的玻璃基板10完全通過(guò)邊緣傳感器20b時(shí)，所需時(shí)間或發(fā)生的脈沖個(gè)數(shù)小于預(yù)定的基準(zhǔn)值，結(jié)果，控制器判定玻璃基板有破損。
下面參考圖4說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法。
首先，在將玻璃基板投入平面顯示器制造工序的各工序后，使之移動(dòng)(S400)。接著，在玻璃基板通過(guò)其下方設(shè)置的傳感器(例如，邊緣傳感器)時(shí)，檢測(cè)這些傳感器發(fā)出的信號(hào)(S410)。
之后，通過(guò)控制器讀出檢測(cè)出的信號(hào)，確定玻璃基板完全通過(guò)各傳感器所需的各時(shí)間，或是從檢測(cè)出的信號(hào)中對(duì)各脈沖計(jì)數(shù)(S420)。將上述各時(shí)間或各計(jì)算的脈沖的個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較(S430)。根據(jù)比較的結(jié)果，當(dāng)從各傳感器讀出的各時(shí)間或脈沖的個(gè)數(shù)小于預(yù)定的基準(zhǔn)值時(shí)，判定玻璃基板有破損；若兩者相同時(shí)，判定玻璃基板沒(méi)有破損(S440)。最后，控制器也可以通過(guò)外部裝置輸入輸出接口與主控制器電連接。此時(shí)，主控制器在通過(guò)控制器判定玻璃基板破損時(shí)，控制報(bào)警裝置發(fā)生報(bào)警信號(hào)，并通過(guò)控制移送玻璃基板的移送裝置，停止玻璃基板的移動(dòng)。
圖5顯示了根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)裝置應(yīng)用于平面顯示裝置的流水線生產(chǎn)系統(tǒng)的實(shí)施方式的平面圖。參考圖5，第1玻璃基板10a處于第1工序模塊PM1中，進(jìn)行處理工序。經(jīng)過(guò)該第1工序模塊PM1處理結(jié)束的第2玻璃基板10b被移送，處于準(zhǔn)備向第2工序模塊PM2投入的待機(jī)狀態(tài)。然后，使第3玻璃基板10c處于第2工序模塊PM2中，進(jìn)行第2處理工序。此時(shí)，通過(guò)位于移送通路下方的所述邊緣傳感器20a、20b以及基準(zhǔn)傳感器20c和控制器(圖5中未示出)，判定在第1工序模塊PM1處理完、向第2工序模塊PM2移送中的第2玻璃基板10b有無(wú)破損。當(dāng)檢測(cè)出玻璃基板的破損時(shí)，通過(guò)與控制器電連接的主控制器的控制，停止移送裝置，并使警報(bào)裝置報(bào)警，阻止第2玻璃基板10b投入到第2工序模塊PM2中。
而且，在第1工序模塊PM1的處理結(jié)束并處于移送中的第2玻璃基板10b通過(guò)位于移送通路下方的邊緣傳感器20a、20b以及基準(zhǔn)傳感器20c時(shí)，關(guān)于這些傳感器檢測(cè)出的信號(hào)波形，正常的玻璃基板的情況示于圖2，破損的玻璃基板的情況示于圖3。
另外，根據(jù)圖4所示的流程，通過(guò)由控制器讀出這樣的信號(hào)波形，來(lái)進(jìn)行判定玻璃基板有無(wú)破損。在圖5的實(shí)施方式中，展示了第1工序模塊PM1和第2工序模塊PM2，然而熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，根據(jù)本發(fā)明的破損檢測(cè)裝置并不僅局限于這樣的兩個(gè)工序模塊的場(chǎng)合，也適用于增加的多個(gè)工序模塊之間，傳感器的位置也可根據(jù)玻璃基板在各模塊的處理前后的移送過(guò)程進(jìn)行變形。
圖6顯示了根據(jù)本發(fā)明的檢測(cè)裝置適用于平面顯示裝置的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)的實(shí)施方式的平面圖。參考圖6，第1玻璃基板10a、第2玻璃基板10b、第3玻璃基板10c分別處于第1工序模塊PM1、第2工序模塊PM2以及第3工序模塊PM3中，進(jìn)行相應(yīng)的處理工序。在這些工序模塊中的處理結(jié)束之后被移送到輸送室50的第4玻璃基板10d處于將要投入負(fù)載固定器(load lock)LL的待機(jī)狀態(tài)。然后，將在工序模塊中處理結(jié)束而從輸送室50移送的第5玻璃基板10e堆放于負(fù)載固定器LL的下部，在負(fù)載固定器LL的上部，放置為了投入各工序模塊而置于輸送室50中的待機(jī)狀態(tài)的玻璃基板(圖中未示出)。
在第1工序模塊PM1中的處理結(jié)束的第1玻璃基板10a在向輸送室50移送過(guò)程中，通過(guò)位于輸送室50的入口附近的下部的所述邊緣傳感器20a、20b和控制器(圖6中未示出)判定玻璃基板有無(wú)破損。然后，在各工序模塊中的處理結(jié)束之后，移送到輸送室50的第4玻璃基板10d在向負(fù)載固定器LL的下部移送的同時(shí)，通過(guò)位于負(fù)載固定器LL入口附近的下部的所述邊緣傳感器20a、20b以及基準(zhǔn)傳感器20c和控制器(圖6中未示出)，來(lái)判定玻璃基板有無(wú)破損。如果檢測(cè)出第1玻璃基板10a或是第4玻璃基板10d有破損，通過(guò)與控制器電連接的主控制器，阻止從輸送室50向增加的后續(xù)工序模塊或向負(fù)載固定器LL的移送。通過(guò)報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警，能夠提前阻止玻璃基板向增加的后續(xù)工序模塊或負(fù)載固定器投入。
另外，圖中未示出，從第1工序模塊PM1到輸送室50的入口附近的下部，在所述邊緣傳感器20a、20b以外，也可設(shè)置基準(zhǔn)傳感器20c，從第2工序模塊PM2到輸送室50的入口附近，和從第3工序模塊PM3到輸送室50的入口附近，也可設(shè)置邊緣傳感器20a、20b和基準(zhǔn)傳感器20c。
在第1工序模塊PM1中處理結(jié)束的第1玻璃基板10a通過(guò)位于輸送室50的入口附近的下方的邊緣傳感器20a、20b時(shí)，圖2的(a)和(b)顯示了玻璃基板正常情況下這些傳感器的信號(hào)波形，圖3的(a)和(b)顯示了玻璃基板破損情況下這些傳感器的信號(hào)波形。另外，在各工序模塊的處理結(jié)束之后，移送到輸送室50的第4玻璃基板10d通過(guò)位于負(fù)載固定器LL的入口附近的下方的邊緣傳感器20a、20b和基準(zhǔn)傳感器20c時(shí)，圖2顯示了玻璃基板正常情況下這些傳感器的信號(hào)波形，圖3顯示了玻璃基板破損情況下這些傳感器的信號(hào)波形。
根據(jù)圖4所示的流程，通過(guò)控制器讀出這樣的信號(hào)波形，判定玻璃基板有無(wú)破損。熟悉本領(lǐng)域的人員應(yīng)該理解，根據(jù)本發(fā)明的破損檢測(cè)裝置不僅局限于適用于這樣的支持三個(gè)工序模塊的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)，也可適用于支持增加多個(gè)工序模塊的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)，傳感器的位置也可根據(jù)在各工序模塊的處理前后的移送過(guò)程進(jìn)行相應(yīng)的改變。
圖7顯示了集群式生產(chǎn)系統(tǒng)中檢測(cè)玻璃基板邊緣部分的破損的光傳感器的配置的現(xiàn)有技術(shù)的方式。在這樣的現(xiàn)有技術(shù)的方式中，在玻璃基板投入各工序模塊之前，玻璃基板的各邊緣有無(wú)破損是根據(jù)設(shè)置于承載玻璃基板的支撐臺(tái)的下部的光傳感器a～n來(lái)檢測(cè)的。然而，在這樣的現(xiàn)有技術(shù)的檢測(cè)方式下，為了檢測(cè)出玻璃基板的邊緣部分的破損，必須將玻璃基板停止于輸送室內(nèi)，在支持六個(gè)工序模塊PM1～PM6的集群式生產(chǎn)系統(tǒng)的情況下，為了進(jìn)行檢測(cè)，具有總共需要14個(gè)(即a～n)光傳感器的問(wèn)題。
上面根據(jù)

了本發(fā)明，然而應(yīng)該理解，本發(fā)明不僅局限于所披露的實(shí)施方式，熟悉本領(lǐng)域的人員可在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行修改和變更。
權(quán)利要求
1.玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，包括至少兩個(gè)傳感器，設(shè)置于玻璃基板要移動(dòng)的位置的下部或上部，在玻璃基板通過(guò)時(shí)，用于識(shí)別玻璃基板而發(fā)出信號(hào)；控制器，與所述至少兩個(gè)傳感器電連接，接收所述至少兩個(gè)傳感器的各自的信號(hào)，在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，從所述至少兩個(gè)傳感器分別讀出接收的信號(hào)，確定玻璃基板完全通過(guò)各傳感器所需的時(shí)間，或者是在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，對(duì)從所述至少兩個(gè)傳感器接收的信號(hào)各自的脈沖個(gè)數(shù)分別進(jìn)行計(jì)數(shù)，將這樣分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而判斷玻璃基板有無(wú)破損。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制器將所述分別確定的時(shí)間或計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，當(dāng)該時(shí)間或脈沖個(gè)數(shù)比預(yù)定的基準(zhǔn)值小的時(shí)候，則判定玻璃基板有破損，當(dāng)兩者相同時(shí)，則判定玻璃基板無(wú)破損。
3.如權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，所述至少兩個(gè)傳感器具有邊緣傳感器，左右對(duì)稱(chēng)地設(shè)置于玻璃基板的左右邊緣部分要移動(dòng)的位置的下部或上部，在玻璃基板通過(guò)時(shí)，識(shí)別玻璃基板，產(chǎn)生信號(hào)。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，所述至少兩個(gè)傳感器還具有位于所述邊緣傳感器之間的基準(zhǔn)傳感器，所述基準(zhǔn)傳感器產(chǎn)生與各邊緣傳感器產(chǎn)生的信號(hào)對(duì)應(yīng)的同步信號(hào)。
5.如權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，所述至少兩個(gè)傳感器是透過(guò)型傳感器。
6.如權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括與所述控制器電連接的主控制器。
7.如權(quán)利要求6所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)裝置，其特征在于，所述主控制器在根據(jù)所述控制器判定玻璃基板的破損時(shí)，控制報(bào)警裝置發(fā)出報(bào)警信號(hào)，并控制移送玻璃基板的移送裝置，從而停止玻璃基板的移動(dòng)。
8.玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法，其特征在于包括以下步驟使用設(shè)置于玻璃基板要移動(dòng)的位置的下部或上部的至少兩個(gè)傳感器，在玻璃基板通過(guò)時(shí)，識(shí)別玻璃基板而產(chǎn)生信號(hào)；通過(guò)與所述至少兩個(gè)傳感器電連接、并從所述至少兩個(gè)傳感器分別接收信號(hào)的控制器，在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，讀出從所述至少兩個(gè)傳感器分別接收的信號(hào)，從而確定玻璃基板完全通過(guò)各傳感器的時(shí)間，或是在玻璃基板通過(guò)所述至少兩個(gè)傳感器的上部或下部時(shí)，對(duì)從所述至少兩個(gè)傳感器分別接收的信號(hào)的脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)；和通過(guò)所述控制器將所述分別確定的時(shí)間或計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，判定玻璃基板有無(wú)破損。
9.如權(quán)利要求8所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法，其特征在于，在所述判定玻璃基板有無(wú)破損的步驟中，將所述分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，如果該時(shí)間或脈沖個(gè)數(shù)小于預(yù)定的基準(zhǔn)值，則判定玻璃基板有破損，如果該時(shí)間或脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值相同，則判定玻璃基板沒(méi)有破損。
10.如權(quán)利要求8或9所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法，其特征在于，在所述至少兩個(gè)傳感器中，通過(guò)設(shè)置于玻璃基板的左右邊緣部分要移動(dòng)的位置的下部或上部的左右一對(duì)傳感器，在玻璃基板通過(guò)時(shí)，識(shí)別玻璃基板，從而產(chǎn)生信號(hào)。
11.如權(quán)利要求10所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法，其特征在于，在所述至少兩個(gè)傳感器中，通過(guò)位于所述左右一對(duì)的傳感器之間的傳感器，產(chǎn)生與所述左右一對(duì)的各傳感器所發(fā)生的信號(hào)對(duì)應(yīng)的同步信號(hào)。
12.如權(quán)利要求8或9所述的玻璃基板邊緣部分的破損檢測(cè)方法，其特征在于，還包括以下步驟，在通過(guò)所述控制器判定玻璃基板的破損的情況下，與所述控制器電氣連接的主控制器控制報(bào)警裝置產(chǎn)生報(bào)警信號(hào)，并控制移送玻璃基板的移送裝置停止玻璃基板的移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種使用最少限度的光傳感器來(lái)檢測(cè)平面顯示裝置生產(chǎn)線上移動(dòng)的玻璃基板的邊緣部分破損情況的破損檢測(cè)裝置和方法。該裝置包括設(shè)置于玻璃基板要移動(dòng)的位置的下部或上部的至少兩個(gè)傳感器，識(shí)別通過(guò)的玻璃基板而發(fā)出信號(hào)；與上述至少兩個(gè)傳感器電連接并分別接收各自信號(hào)的控制器，根據(jù)接收的信號(hào)，確定玻璃基板完全通過(guò)各傳感器所需的時(shí)間，或者是對(duì)傳感器分別接收的信號(hào)的脈沖計(jì)數(shù)，將這樣分別確定的時(shí)間或分別計(jì)數(shù)的脈沖個(gè)數(shù)與預(yù)定的基準(zhǔn)值相比較，來(lái)判斷玻璃基板有無(wú)破損。根據(jù)本發(fā)明，在玻璃基板在各工藝間移動(dòng)時(shí)，不需要額外的測(cè)定時(shí)間，能夠僅用2～3個(gè)傳感器檢測(cè)出玻璃基板所有的邊緣有無(wú)破損。
文檔編號(hào)G01N21/958GK1619299SQ20041007408
公開(kāi)日2005年5月25日 申請(qǐng)日期2004年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月21日
發(fā)明者吉泳南, 許洪碩 申請(qǐng)人:布魯克斯自動(dòng)化機(jī)械亞洲株式會(huì)社