專利名稱：流量測定方法和流量計、其中所使用的流量測定部組件和使用了該組件的流量測定單元 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于流體流量檢測技術(shù)，尤其涉及測定流過流通路的流體的流量的方法以及其中使用的流量計。另外，本發(fā)明還尤其涉及用來測定流過流通路的流體的流量的流量測定部組件以及采用了該流量測定部組件的流量測定單元。而且，本發(fā)明還涉及采用流量計檢查配管的液體的泄漏的裝置。本發(fā)明的泄漏檢查裝置適合用于例如從埋設(shè)于地下的石油罐等燃油罐或各種液狀化學(xué)品等的罐體中汲出液體的配管的液體泄漏的檢查。
背景技術(shù)：
過去，作為測定各種流體特別是液體的流量(或者流速)的流量傳感器(或者流速傳感器)，使用各種形式的傳感器，鑒于價格低廉而使用簡便的原因，所謂熱式(特別是旁熱式)的流量傳感器得到了使用。
作為這種旁熱式流量傳感器，使用的是把傳感器芯片配置成與作為流體流通路的配管內(nèi)的液體之間可傳熱的傳感器，該傳感器芯片利用薄膜技術(shù)在基板上通過絕緣層把薄膜發(fā)熱體和薄膜感溫體層壓而成。通過給發(fā)熱體通電，對感溫體加熱，使該感溫體的電氣特性例如電阻值發(fā)生變化。該電阻值的變化(基于感溫體的溫度上升)隨著流過配管內(nèi)的流體的流量(流速)相應(yīng)地變化。這是因為發(fā)熱體的發(fā)熱量中的一部分傳遞到流體中，在該流體中擴散的熱量隨著流體的流量(流速)相應(yīng)地變化，隨之，供應(yīng)給感溫體的熱量發(fā)生變化，從而該感溫體的電阻值發(fā)生變化。該感溫體的電阻值的變化，還因流體的溫度而異，因此，還在測定上述感溫體的電阻值的變化的電路中裝進溫度補償用的感溫元件，以盡量減小因流體的溫度導(dǎo)致的流量的測定值的變化。
關(guān)于這種采用薄膜元件的旁熱式流量傳感器，例如在特開平11-118566號公報上有記載。在該流量傳感器中，為了得到與流體的流量對應(yīng)的電氣輸出，使用了包括電橋電路的電路。
近年來，檢測罐或配管系統(tǒng)的流體的泄漏的重要性增加了。例如，一旦從汽油、柴油以及煤油等燃油的罐中發(fā)生漏油，持續(xù)有大量的油漏出，就會發(fā)生火災(zāi)、環(huán)境污染以及資源損失等問題，所以，最理想的是在發(fā)生的初期階段檢測出漏油的發(fā)生。因此，有時要求檢測例如1毫升/h以下的極微量的漏油。
在這樣的漏油檢測中，可以考慮使用上述那種旁熱式流量傳感器，但是，該流量傳感器存在這樣的問題，即在流量值為例如1毫升/h以下的極微量的區(qū)域，由于相對于流量變化的電路的輸出的變化變小，因而流量測定值的誤差變大(亦即在測定時能夠鑒別的流量差的比例變大，測定靈敏度下降)。
另外，作為流量傳感器，有用配置在配管的特定位置的熱源對流體加熱，在對配管內(nèi)的流體流通而言熱源位置的上游側(cè)和下游側(cè)分別間隔適當(dāng)?shù)木嚯x來配置感溫體，根據(jù)配管內(nèi)的流體流通時產(chǎn)生的上游側(cè)感溫體和下游側(cè)感溫體的檢測溫度差來測定流體流量的二定點溫差檢測式的傳感器。但是，該傳感器用于上述油漏檢測時，存在這樣的問題，即如果流量值達到例如3毫升/h以上時，相對于流量變化的電路的輸出的變化變小，所以在大流量值區(qū)域，誤差變大(亦即在測定時能夠鑒別的流量差的比例變大，靈敏度下降)。
而且，過去汽油加油站等處的燃油罐幾乎都是埋設(shè)于地下，從該地下罐汲出燃油的配管也埋設(shè)于地下。配管因時效老化，很快出現(xiàn)微小的龜裂，從龜裂處發(fā)生漏油的可能性很大。一旦到了這種事態(tài)，就會導(dǎo)致周圍環(huán)境污染，而恢復(fù)原狀要很大的費用。因此，對于這種與地下罐連接的地下埋設(shè)配管，定期進行有無漏油(或者導(dǎo)致漏油的配管的龜裂)的檢查。
過去用于這種配管檢查的方法有在把配管密閉的狀態(tài)下，往該配管內(nèi)加壓注入空氣等氣體或水等液體，檢測經(jīng)過規(guī)定時間后有無壓力減少的方法。另外，還有與之相反地在把配管內(nèi)密閉的狀態(tài)下對該罐內(nèi)減壓，檢測在經(jīng)過規(guī)定時間后有無壓力增加的方法。但是，用這些方法時，在泄漏檢查作業(yè)之前，必需把配管的所有的開口用膩子等進行密封，并必需把配管內(nèi)的油全部抽出來，作業(yè)非常麻煩。而且，在上述密封做得不完全時，用這些方法檢測出來的泄漏不一定是反映了因為配管龜裂等導(dǎo)致的實際的漏油，檢查作業(yè)既費勁，精度還不一定高。
為了迅速處理配管內(nèi)液體的泄漏，能夠在配管的龜裂等小、泄漏少的早期檢測至關(guān)重要，因此，要求做到少量的泄漏檢測。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠在從極微量的流量區(qū)域到比較大的流量區(qū)域的大流量范圍內(nèi)以良好的精度以及靈敏度進行流量測定的流量測定方法以及流量計。
根據(jù)本發(fā)明，為實現(xiàn)上面的目的，提供一種流量測定方法，測定流體流通路內(nèi)的流體的流量，其特征在于就上述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把通過旁熱恒溫控制式流量測定來測定上述流體的流量而得到的流量值作為測定值；對于比上述臨界流量區(qū)域小的低流量區(qū)域，把通過二定點溫差檢測式流量測定而得到的流量值作為測定值；對于上述臨界流量區(qū)域，把通過上述旁熱恒溫控制式流量測定而得到的流量值或者通過上述二定點溫差檢測式流量測定而得到的流量值作為測定值，使用用于上述旁熱恒溫控制式流量測定的測定部作為在上述二定點溫差檢測式流量測定中對上述流體流通路內(nèi)的流體進行加熱的熱源。
在本發(fā)明的一種方式中，上述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。在本發(fā)明的一種方式中，首先通過上述旁熱恒溫控制式流量測定來測定上述流體的流量，得到的流量值屬于上述高流量區(qū)域時，或者屬于上述高流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一時，把該流量值作為測定值，除此之外，接著通過上述二定點溫差檢測式流量測定來測定上述流體的流量，把得到的流量值作為測定值。另外，在本發(fā)明的一種方式中，首先通過上述二定點溫差檢測式流量測定來測定上述流體的流量，得到的流量值屬于上述低流量區(qū)域時，或者屬于上述低流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一時，把該流量值作為測定值，除此之外，接著通過上述旁熱恒溫控制式流量測定來測定上述流體的流量，把得到的流量值作為測定值。
再有，根據(jù)本發(fā)明，為實現(xiàn)上面的目的，提供一種流量計，測定流體流通路內(nèi)的流體的流量，其特征在于具有面對上述流體流通路配置的旁熱恒溫控制式流量測定部以及二定點溫差檢測式流量測定部；和根據(jù)用上述旁熱恒溫控制式流量測定部得到的第一流量對應(yīng)輸出以及用上述二定點溫差檢測式流量測定部得到的第二流量對應(yīng)輸出，得到測定值的運算部，上述旁熱恒溫控制式流量測定部具有發(fā)熱體和與該發(fā)熱體相鄰配置的第一感溫體，上述發(fā)熱體受基于上述第一感溫體的檢測溫度的反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到上述第一流量對應(yīng)輸出；上述二定點溫差檢測式流量測定部具有按照上述流體流通路內(nèi)的流體流通方向分別配置于上述旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的第二感溫體和第三感溫體，根據(jù)上述第二感溫體的檢測溫度和第三感溫體的檢測溫度之差得到上述第二流量對應(yīng)輸出；上述運算部，就上述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出，對于比上述臨界流量區(qū)域小的低流量區(qū)域，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出，對于上述臨界流量區(qū)域，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值或者根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出。
在本發(fā)明的一種方式中，上述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。在本發(fā)明的一種方式中，上述運算部首先在上述第一流量對應(yīng)輸出與上述高流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與上述高流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。另外，在本發(fā)明的一種方式中，上述運算部首先在上述第二流量對應(yīng)輸出與上述低流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與上述低流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
在本發(fā)明的一種方式中，上述發(fā)熱體以及上述第一感溫體均呈可通電的薄膜狀，通過電絕緣性薄膜層壓在一起。在本發(fā)明的一種方式中，上述第一流量對應(yīng)輸出得自包括上述發(fā)熱體、上述第一感溫體以及溫度補償用的感溫體的檢測電路。
另外，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠在從極微量的流量區(qū)域到比較大的流量區(qū)域的大流量范圍內(nèi)以良好的精度以及靈敏度進行流量測定的流量測定中使用的流量測定部組件以及采用了該流量測定部組件的流量測定單元。
根據(jù)本發(fā)明，為實現(xiàn)上面的目的，提供一種流量測定部組件，用來測定流體流通路內(nèi)的流體的流量，其特征在于具有安裝在上述流體流通路上的旁熱恒溫控制式流量測定部以及二定點溫差檢測式流量測定部，該二定點溫差檢測式流量測定部由按照上述流體流通路內(nèi)的流體流通方向，分別配置在上述旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的上游側(cè)感溫部以及下游側(cè)感溫部構(gòu)成，上述旁熱恒溫控制式流量測定部具有發(fā)熱體和與該發(fā)熱體相鄰配置的第一感溫體，上述上游側(cè)感溫部具有第二感溫體，上述下游側(cè)感溫部具有第三感溫體，上述旁熱恒溫控制式流量測定部連接著用來與上述發(fā)熱體以及上述第一感溫體進行電連接的第一配線部，上述上游側(cè)感溫部連接著用來與上述第二感溫體進行電連接的第二配線部，上述下游側(cè)感溫部連接著與用來上述第三感溫體進行電連接的第三配線部。
在本發(fā)明的一種方式中，上述第一配線部、第二配線部以及第三配線部均用柔性配線基板形成。在本發(fā)明的一種方式中，上述旁熱恒溫控制式流量測定部、上述上游側(cè)感溫部、上述下游側(cè)感溫部以及安裝著這些部分的上述流體流通路的部分裝在盒子里面。在本發(fā)明的一種方式中，上述盒子上設(shè)有分別構(gòu)成上述第一配線部、第二配線部以及第三配線部的第一端子、第二端子以及第三端子。
在本發(fā)明的一種方式中，上述盒子里面裝著具有溫度補償用感溫體的感溫部，該感溫部連接著延伸到上述盒子外面的熱傳導(dǎo)構(gòu)件，上述盒子上設(shè)有構(gòu)成用來與上述溫度補償用感溫體進行電連接的第四配線部的第四端子。在本發(fā)明的一種方式中，上述發(fā)熱體以及上述第一感溫體均呈可通電的薄膜狀，通過電絕緣性薄膜層壓在一起。
另外，根據(jù)本發(fā)明，為實現(xiàn)上面的目的，提供一種流量測定單元，其特征在于具有以上這種流量測定部組件、用來安裝該流量測定部組件的單元基板和安裝在該單元基板上的流量測定電路元件。
在本發(fā)明的一種方式中，上述流量測定電路元件包括模擬電路元件而構(gòu)成，該模擬電路元件根據(jù)上述第一感溫體的檢測溫度對上述發(fā)熱體進行反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到第一流量對應(yīng)輸出，根據(jù)上述第二感溫體的檢測溫度和上述第三感溫體的檢測溫度之差得到第二流量對應(yīng)輸出。
在本發(fā)明的一種方式中，上述流量測定電路元件還包括數(shù)字電路元件而構(gòu)成，該數(shù)字電路元件具有根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出以及上述第二流量對應(yīng)輸出而得到流量測定值的運算部，該運算部，就上述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于比上述臨界流量區(qū)域小的低高流量區(qū)域，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于上述臨界流量區(qū)域，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值或者根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出。
在本發(fā)明的一種方式中，上述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。在本發(fā)明的一種方式中，上述運算部首先在上述第一流量對應(yīng)輸出與上述高流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與上述高流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此之外，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，或者，首先在上述第二流量對應(yīng)輸出與上述低流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與上述低流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此之外，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
另外，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠簡單而且準(zhǔn)確檢測微量泄漏的配管的泄漏檢查裝置。另外，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠在配管內(nèi)保留該配管內(nèi)輸送的液體的狀態(tài)下直接檢查泄漏的泄漏檢查裝置。
根據(jù)本發(fā)明，為實現(xiàn)上面的目的，提供一種檢查從被測定配管的液體的泄漏的裝置，其特征在于具有具備用于與上述被測定配管連通的連接端并具備液體排出端的內(nèi)部配管系統(tǒng)；與該內(nèi)部配管系統(tǒng)連接的臨時儲存加壓液體用罐；在上述內(nèi)部配管系統(tǒng)中，在從上述臨時儲存加壓液體用罐到上述連接端的路線上順次配置的泵以及流量計，上述內(nèi)部配管系統(tǒng)可形成由上述泵從上述被測定配管通過上述連接端且不通過上述流量計向上述臨時儲存加壓液體用罐輸送液體的第一路線；由上述泵從上述臨時儲存加壓液體用罐通過上述連接端以及上述流量計向上述被測定配管壓送液體的第二路線；和由上述泵從上述臨時儲存加壓液體用罐向上述液體排出端輸送液體的第三路線，根據(jù)在上述連接端與上述被測定配管連通的狀態(tài)下，通過上述泵的液體壓送使得從上述第二路線的上述泵到上述連接端的部分的液壓上升時的由上述流量計檢測的液體流量，來檢查從上述被測定配管的液體的泄漏。
在本發(fā)明的一種方式中，上述內(nèi)部配管系統(tǒng)還可形成當(dāng)在上述第二路線中從上述泵到上述連接端的部分的液壓超過設(shè)定值的時候，把液體從上述泵與上述流量計之間的部分回送到上述臨時儲存加壓液體用罐的第四路線。在本發(fā)明的一種方式中，上述內(nèi)部配管系統(tǒng)還可形成釋放在上述第二路線中從上述流量計到上述連接端的部分的至少一部分液壓的第五路線。
另外，在本發(fā)明的一種方式中，上述流量計具有面對構(gòu)成上述內(nèi)部配管系統(tǒng)的流體流通路而配置的旁熱恒溫控制式流量測定部以及二定點溫差檢測式流量測定部；和根據(jù)用上述旁熱恒溫控制式流量測定部得到的第一流量對應(yīng)輸出以及用上述二定點溫差檢測式流量測定部得到的第二流量對應(yīng)輸出，來得到測定值的運算部，上述旁熱恒溫控制式流量測定部具有發(fā)熱體和與該發(fā)熱體相鄰配置的第一感溫體，上述發(fā)熱體受基于上述第一感溫體的檢測溫度的反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到上述第一流量對應(yīng)輸出；上述二定點溫差檢測式流量測定部具有按照上述流體流通路內(nèi)的流體流通方向分別配置于上述旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的第二感溫體和第三感溫體，根據(jù)上述第二感溫體的檢測溫度和第三感溫體的檢測溫度之差得到上述第二流量對應(yīng)輸出；上述運算部，就上述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于比上述臨界流量區(qū)域小的低流量區(qū)域，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于上述臨界流量區(qū)域，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值或者根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出。
在本發(fā)明的一種方式中，上述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。在本發(fā)明的一種方式中，上述運算部首先在上述第一流量對應(yīng)輸出與上述高流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與上述高流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。另外，在本發(fā)明的一種方式中，上述運算部首先在上述第二流量對應(yīng)輸出與上述低流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與上述低流量區(qū)域以及上述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)上述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)上述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
在本發(fā)明的一種方式中，上述發(fā)熱體以及上述第一感溫體均呈可通電的薄膜狀，通過電絕緣性薄膜層壓在一起。在本發(fā)明的一種方式中，上述第一流量對應(yīng)輸出得自包括上述發(fā)熱體、上述第一感溫體以及溫度補償用的感溫體的檢測電路。


圖1是用來說明在實施本發(fā)明所涉及的流量測定方法中使用的本發(fā)明所涉及的流量計的一種實施方式的示意剖視圖；圖2是表示圖1的流量計的構(gòu)造的局部透視圖；圖3是圖2的局部剖視圖；圖4是圖2的局部剖視圖；圖5是表示圖1的流量計的流量測定系統(tǒng)的框圖；圖6是表示圖1的流量計的用于流量檢測的電路構(gòu)成的圖；圖7是表示用于Vh的換算的標(biāo)準(zhǔn)曲線的一例的圖；圖8是表示用于Vout的換算的標(biāo)準(zhǔn)曲線的一例的圖；圖9是表示利用本發(fā)明所涉及的流量測定方法以及流量計的液體泄漏監(jiān)視系統(tǒng)的一種實施方式的示意圖；圖10是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件的實施方式的部分省略分解透視圖；圖11A是圖10的流量測定部組件的俯視圖；圖11B是圖10的流量測定部組件的主視圖；圖12A是圖10的流量測定部組件的橫向剖視圖；圖12B是圖10的流量測定部組件的縱向剖視圖；圖13A是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件的實施方式的俯視圖；圖13B是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件的實施方式的主視圖；圖14A是圖13A以及圖13B的流量測定部組件的橫向剖視圖；圖14B是圖13A以及圖13B的流量測定部組件的縱向剖視圖；圖15是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元的實施方式的透視圖；圖16A是圖15的流量測定單元的俯視圖；圖16B是圖15的流量測定單元的主視圖；
圖16C是圖15的流量測定單元的側(cè)視圖；圖17是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元的實施方式的透視圖；圖18A是圖17的流量測定單元的俯視圖；圖18B是圖17的流量測定單元的主視圖；圖18C是圖17的流量測定單元的側(cè)視圖；圖19是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元的實施方式的透視圖；圖20A是圖19的流量測定單元的俯視圖；圖20B是圖19的流量測定單元的主視圖；圖20C是圖19的流量測定單元的側(cè)視圖；圖21是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件裝入流量計的實施方式的剖視圖；圖22是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元裝入流量計的實施方式的剖視圖；圖23是表示本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置的一種實施方式的圖；圖24是用來說明圖23的裝置的動作的圖；圖25是用來說明圖23的裝置的動作的圖；圖26是用來說明圖23的裝置的動作的圖；圖27是用來說明圖23的裝置的動作的圖；圖28是表示本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置的一種實施方式的圖；圖29是用來說明圖28的裝置的動作的圖；圖30是用來說明圖28的裝置的動作的圖；圖31是用來說明圖28的裝置的動作的圖；圖32是用來說明圖28的裝置的動作的圖；圖33是表示本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置的一種實施方式的圖；圖34是用來說明圖33的裝置的動作的圖；
圖35是用來說明圖33的裝置的動作的圖；圖36是用來說明圖33的裝置的動作的圖；圖37是用來說明圖33的裝置的動作的圖；圖38是表示本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置的一種實施方式的圖；圖39是用來說明圖38的裝置的動作的圖；圖40是用來說明圖38的裝置的動作的圖；圖41是用來說明圖38的裝置的動作的圖；圖42是用來說明圖38的裝置的動作的圖；圖43是用來說明本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置中使用的流量計的一種實施方式的示意剖視圖；圖44是表示利用本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置的液體泄漏監(jiān)視系統(tǒng)的一種實施方式的示意圖。
具體實施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實施的方式。所有附圖中對應(yīng)的部分、構(gòu)件或裝置標(biāo)注同樣的標(biāo)號。
圖1是用來說明在實施本發(fā)明所涉及的流量測定方法中使用的本發(fā)明所涉及的流量計的一種實施方式的示意剖視圖，圖2是表示其構(gòu)造的局部透視圖，圖3和圖4是其局部剖視圖，圖5是表示本實施方式的流量測定系統(tǒng)的框圖，圖6是表示用于其流量檢測的電路構(gòu)成的圖。本實施方式利用在罐內(nèi)液體從罐體的泄漏檢測中。
如圖1所示，筒狀的測定管12的下部插入罐內(nèi)液體(例如汽油、柴油或煤油及其它可燃性液體)2中。該測定管12，其上端部在大氣中開口，下端部在罐內(nèi)液體2中開口。在測定管12內(nèi)，在其下端部稍微靠上的位置，設(shè)有沿上下方向延伸的測定細(xì)管14，罐內(nèi)液體2在該測定細(xì)管14內(nèi)流通。在本實施方式中，該測定細(xì)管14被用作液體流通路，當(dāng)發(fā)生罐內(nèi)液體2的泄漏時，在沒有向罐內(nèi)補充液體或從罐中汲出液體的條件下，如圖所示，罐內(nèi)液體2的液面就會低于測定管12內(nèi)的液面，因此，液體在測定細(xì)管14內(nèi)向下流通。把測定細(xì)管14的截面積相對于測定管12的截面積設(shè)定得充分地小(例如1/50以下、1/100以下、甚至1/300以下)，即使在微小的液體泄漏的時候，也能夠使測定細(xì)管14內(nèi)產(chǎn)生可測定流量的液體流通。
如圖1所示，面對測定細(xì)管14配置著旁熱恒溫控制式流量測定部16以及二定點溫差檢測式流量測定部18。二定點溫差檢測式流量測定部18具有分別配置于旁熱恒溫控制式流量測定部16的上側(cè)和下側(cè)的感溫部18a、18b。另外，配置著用來檢測測定管12內(nèi)的液體的溫度的感溫部20。
如圖2以及圖3所示，測定細(xì)管14延伸貫穿旁熱恒溫控制式流量測定部16。旁熱恒溫控制式流量測定部16具有與測定細(xì)管14的外面接觸配置的傳熱構(gòu)件161、與該傳熱構(gòu)件161接合的薄膜感溫體(第一感溫體)162和在該薄膜感溫體162上通過電絕緣性薄膜164層壓在一起的薄膜發(fā)熱體163。薄膜感溫體162和薄膜發(fā)熱體163分別形成所需要的圖形，在用來給它們通電的電極上連接著配線162’、163’。傳熱構(gòu)件161由例如厚0.2mm、寬2mm左右的金屬或合金構(gòu)成。
另外，這些薄膜感溫體162、電絕緣性薄膜164以及薄膜發(fā)熱體163也可以是把在配置于該薄膜發(fā)熱體163的一側(cè)的支持基板上堆積形成的薄膜和該支持基板一起，與在薄膜感溫體162的一側(cè)接合，并使其與傳熱構(gòu)件161對置而成的結(jié)構(gòu)。作為上面這種支持基板，可以使用例如由硅或鋁等構(gòu)成的厚0.4mm左右、2mm左右見方的矩形狀的基板。
配線162’、163’與柔性配線基板等配線基板24上形成的配線(未圖示)連接。傳熱構(gòu)件161、薄膜感溫體162、電絕緣性薄膜164、薄膜發(fā)熱體163以及配線162’、163’與配線基板24的一部分以及測定細(xì)管14的一部分一起用由合成樹脂構(gòu)成的密封構(gòu)件22密封。
如圖2以及圖4所示，測定細(xì)管14延伸貫穿二定點溫差檢測式流量測定部的一邊的感溫部18a。感溫部18a具有與測定細(xì)管14的外面接觸配置的傳熱構(gòu)件181和與該傳熱構(gòu)件181接合的薄膜感溫體(第二感溫體)182。薄膜感溫體182形成所需要的圖形，在用來給它通電的電極上連接著配線182’。傳熱構(gòu)件181和傳熱構(gòu)件161一樣，由例如厚0.2mm、寬2mm左右的金屬或合金構(gòu)成。另外，薄膜感溫體182也可以是象上述那樣把在支持基板上形成的薄膜與該支持基板一起，與薄膜感溫體182的一側(cè)接合，并使其與傳熱構(gòu)件181對置而成的結(jié)構(gòu)。
配線182’與配線基板24上形成的配線(未圖示)連接。傳熱構(gòu)件181、薄膜感溫體182以及配線182’與配線基板20的一部分以及測定細(xì)管14的一部分一起用由合成樹脂構(gòu)成的密封構(gòu)件23密封。
二定點溫差檢測式流量測定部的另一邊的感溫部18b也具有和上述感溫部18a同樣的構(gòu)成，與配線基板24的一部分以及測定細(xì)管14的一部分一起用由合成樹脂構(gòu)成的密封構(gòu)件密封。不過，相當(dāng)于感溫部18a中起第二感溫體作用的薄膜感溫體的部分，在感溫部18b中起第三感溫體的作用。
包括旁熱恒溫控制式流量測定部16的薄膜感溫體162、薄膜發(fā)熱體163及其配線162’、163’和上述感溫部20，構(gòu)成圖5的第一檢測電路30。另外，包括二定點溫差檢測式流量測定部的感溫部18a的薄膜感溫體(第二感溫體)182以及感溫部18b的薄膜感溫體(第三感溫體)，構(gòu)成圖5的第二檢測電路32。從第一檢測電路30輸出對應(yīng)旁熱恒溫控制式流量測定的流量值的輸出(下面稱“流量值輸出”或“流量對應(yīng)輸出”)Vh，從第二檢測電路32輸出對應(yīng)二定點溫差檢測式流量測定的流量值的輸出(下面單稱“流量值輸出”)Vout。這些流量值輸入到圖5中示出的運算部34。
如圖6所示，在用來得到流量值輸出Vh的第一檢測電路30中，來自未圖示的電源電路的直流電壓輸入Vin供給電橋電路40。電橋電路40包含包括薄膜感溫體162的感溫部Rf、包括溫度補償用的薄膜感溫體的感溫部20(Rc)、電阻器△R、R1以及可變電阻器R2而形成。電橋電路40的a、b點的電位Va、Vb輸入到差動放大電路42。另外，差動放大電路42優(yōu)選的是包括調(diào)節(jié)下面說明的反饋控制的響應(yīng)特性的可變電阻或積分電路等的電路。
另外，輸入Vin通過控制供給包括薄膜發(fā)熱體163的發(fā)熱部Rh的電流的晶體管44，供給薄膜發(fā)熱體163。對晶體管44的控制輸入端子(柵極)輸入差動放大電路42的輸出。亦即，在旁熱恒溫控制式流量測定部16中，根據(jù)薄膜發(fā)熱體163的發(fā)熱，通過傳熱構(gòu)件161，受液體吸熱的影響，薄膜感溫體162進行感溫。然后，作為該感溫的結(jié)果，得到圖6所示電橋電路40的a、b點的電位Va、Vb之差。
(Va-Vb)的值在感溫體162的溫度隨流體的流量而變化時變化。通過預(yù)先適當(dāng)設(shè)定電橋電路40的電阻器△R、R1以及可變電阻器R2的電阻值，能夠在作為標(biāo)準(zhǔn)的所希望的流體流量的情況下使(Va-Vb)的值為零。在該標(biāo)準(zhǔn)流量下，差動放大電路42的輸出恒定(對應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)流量的值)，晶體管44的電阻值也恒定。此時，施加在薄膜發(fā)熱體163上的分壓也恒定，此時的電壓輸出Vh為表示上述標(biāo)準(zhǔn)流量的輸出。
流體流量增減時，差動放大電路42的輸出就隨(Va-Vb)的值而改變極性(隨感溫體162的電阻-溫度特性的正負(fù)而異)和大小，與此相應(yīng)，差動放大電路42的輸出發(fā)生變化。
當(dāng)流體流量增加時，感溫體162的溫度下降，所以從差動放大電路42對晶體管44的柵極進行使晶體管44的電阻值減小的控制輸入，使薄膜發(fā)熱體163的發(fā)熱量增加(即使功率增加)。
反之，當(dāng)流體流量減小時，感溫體162的溫度上升，所以從差動放大電路42對晶體管44的柵極進行使晶體管44的電阻值增加的控制輸入，使薄膜發(fā)熱體163的發(fā)熱量減小(即使功率減小)。
象上面這樣，不管流體流量如何變化，薄膜發(fā)熱體162的發(fā)熱總會受到反饋控制，使感溫體162檢測的溫度成為目標(biāo)值。而此時施加在薄膜發(fā)熱體162上的電壓與流體流量相對應(yīng)，因此把它作為流量值輸出Vh取出。
象上面這樣，進行旁熱恒溫控制式流量測定。本發(fā)明中所說的旁熱恒溫控制式流量測定，是指把發(fā)熱體和第一感溫體相鄰配置，使發(fā)熱體受基于第一感溫體的檢測溫度(實際上是與溫度檢測對應(yīng)而被檢測的電特性)的反饋控制，從該反饋控制的狀態(tài)得到第一流量對應(yīng)輸出。
另外，如圖6所示，在用來得到流量值輸出Vout的第二檢測電路32中，直流電壓輸入Vin供給電橋電路46。電橋電路46包含包括薄膜感溫體182的感溫部18a(T1)、包括薄膜感溫體的感溫部18b(T2)、電阻器R3以及可變電阻器R4而形成。電橋電路46的c、d點的電位Vc、Vd輸入到差動放大電路48。通過預(yù)先適當(dāng)設(shè)定電橋電路46的電阻器R3以及可變電阻器R4的電阻值，能夠從差動放大電路48得到相當(dāng)于感溫部18a的檢測溫度與感溫部18b的檢測溫度之差的電壓輸出。
綜上所述，在旁熱恒溫控制式流量測定部16中，薄膜發(fā)熱體163發(fā)熱，其熱量的一部分通過傳熱構(gòu)件161傳遞給液體，被用來作為液體加熱的熱源。進行控制，使薄膜感溫體(第一感溫體)162的溫度達到規(guī)定值，該溫度能夠?qū)?yīng)液體而設(shè)定得比使該液體起火的溫度低，因此也能夠適用于可燃性流體的流量測定。
在沒有液體流通時，感溫部18a的檢測溫度與感溫部18b的檢測溫度相同，而一旦發(fā)生液體流通時，熱源引起的液體加熱的影響，下游側(cè)比上游側(cè)強，所以感溫部18a的檢測溫度與感溫部18b的檢測溫度就變得不一樣。相當(dāng)于感溫部18a的檢測溫度與感溫部18b的檢測溫度之差的電壓輸出與流體流量相對應(yīng)，因此把它作為流量值輸出Vout。
象上面這樣，進行二定點溫差檢測式流量測定。本發(fā)明中所說的二定點溫差檢測式流量測定是指根據(jù)由分別配置于旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的第二感溫體和第三感溫體檢測的溫度差(實際上是與檢測溫度差對應(yīng)而被檢測的電特性的差)得到第二流量對應(yīng)輸出。
下面，說明上述運算部34的動作。
運算部34根據(jù)Vh以及Vout，利用分別內(nèi)置的標(biāo)準(zhǔn)曲線進行向?qū)?yīng)的流量值的換算。圖7表示用于Vh換算的標(biāo)準(zhǔn)曲線的一個實例，圖8表示用于Vout換算的標(biāo)準(zhǔn)曲線的一個實例。如這些圖所示，把流量值為F1以上、F2以下的區(qū)域預(yù)先設(shè)定為臨界流量區(qū)域。設(shè)定該臨界流量區(qū)域的上限以及下限的流量值F1、F2，例如可以是1毫升/h(mL/h)～2毫升/h(mL/h)的范圍內(nèi)的值。流量值不到F1的區(qū)域作為低流量區(qū)域，流量值超過F2的區(qū)域作為高流量區(qū)域。如圖7所示，在用于Vh換算的標(biāo)準(zhǔn)曲線上，與流量值F1對應(yīng)的輸出作為Vh1，與流量值F2對應(yīng)的輸出作為Vh2。另外，如圖8所示，在用于Vout換算的標(biāo)準(zhǔn)曲線上，與流量值F1對應(yīng)的輸出作為Vout1，與流量值F2對應(yīng)的輸出作為Vout2。
在運算部34中，對于高流量區(qū)域，把基于第一流量對應(yīng)輸出Vh得到的流量值作為測定值輸出，對于低流量區(qū)域，把基于第二流量對應(yīng)輸出Vout得到的流量值作為測定值輸出，對于臨界流量區(qū)域，把基于第一流量對應(yīng)輸出Vh得到的流量值或者基于第二流量對應(yīng)輸出Vout得到的流量值作為測定值輸出。
具體地說，首先通過旁熱恒溫控制式流量測定來測定流體的流量(即得到基于第一流量對應(yīng)輸出Vh而得到的流量值)，得到的流量值屬于高流量區(qū)域時(即輸出Vh超過Vh2時)，把該流量值作為測定值輸出，除此之外，通過二定點溫差檢測式流量測定來測定流體的流量(即得到基于第二流量對應(yīng)輸出Vout而得到的流量值)，把得到的流量值作為測定值。或者，也可以當(dāng)基于第一流量對應(yīng)輸出Vh而得到的流量值屬于高流量區(qū)域和臨界流量區(qū)域之一時(即輸出Vh在Vh1以上時)，把該流量值作為測定值輸出，除此之外，把基于第二流量對應(yīng)輸出Vout而得到的流量值作為測定值。
作為另外的方法，首先通過二定點溫差檢測式流量測定來測定流體的流量(即得到基于第二流量對應(yīng)輸出Vout而得到的流量值)，得到的流量值屬于低流量區(qū)域時(即輸出Vout不到Vout1時)，把該流量值作為測定值輸出，除此之外，通過旁熱恒溫控制式流量測定來測定流體的流量(即得到基于第一流量對應(yīng)輸出Vh而得到的流量值)，把得到的流量值作為測定值。或者，也可以當(dāng)基于第二流量對應(yīng)輸出Vout而得到的流量值屬于低流量區(qū)域和臨界流量區(qū)域之一時(即輸出Vout在Vout2以下時)，把該流量值作為測定值輸出，除此之外，把基于第一流量對應(yīng)輸出Vh而得到的流量值作為測定值。
在本發(fā)明中，臨界流量區(qū)域也可以是僅由一個特定流量值構(gòu)成的。該特定流量值相當(dāng)于上述F1和F2一致的情況，上面的說明直接適用。
根據(jù)從運算部34輸出的流量(瞬間流量)測定值，進行與適當(dāng)時間有關(guān)的累計，就能夠算出累計流量。得到的瞬間流量以及累計流量的值能夠適當(dāng)顯示，能夠存儲在適當(dāng)存儲器中，并能夠通過適當(dāng)?shù)耐ㄐ啪€路向所需要的外部裝置傳輸。
象上面這樣，進行流量測定，根據(jù)作為該流量測定的結(jié)果而從運算部34輸出的流量測定值，進行泄漏檢測，當(dāng)該流量測定值超過測定誤差時，就認(rèn)為有罐內(nèi)液體的泄漏。該泄漏檢測優(yōu)選的是，例如在夜間等不向罐內(nèi)補充液體或從罐中汲出液體的條件下進行。圖9表示利用上面這種罐內(nèi)液體的泄漏檢測，并包括配管系統(tǒng)的泄漏檢測的液體泄漏監(jiān)視系統(tǒng)的一種實施方式。
圖9中示出了上述測定管12從地下罐的計量口向罐內(nèi)液體2、向下插入的狀態(tài)。另外，在測定管12的上部形成了與外界空氣的連通孔(未圖示)。在測定管12的上部，配置著包括上述第一檢測電路30、第二檢測電路32以及運算部34的罐體泄漏檢測裝置。另外，罐上連接著從該罐汲出的液體可以流通的埋設(shè)配管，附帶著檢測該配管的液體的泄漏的配管泄漏檢測裝置。在該配管泄漏檢測裝置中，能夠利用上述的本發(fā)明所涉及的流量測定方法以及流量計。
上述罐體泄漏檢測裝置以及配管泄漏檢測裝置與對每個相應(yīng)罐體設(shè)置的個別監(jiān)控裝置通過有線或無線的內(nèi)部通信手段而連接，可進行信號授受。從個別監(jiān)控裝置對罐體泄漏檢測裝置以及配管泄漏檢測裝置分別定期地(例如1天1次)詢問檢測結(jié)果(泄漏的有無及其程度[流量]等)。從泄漏檢測裝置獲取的泄漏數(shù)據(jù)，存儲在個別監(jiān)控裝置的存儲器中。該存儲器中存儲的數(shù)據(jù)由表示罐體泄漏檢測結(jié)果的部分以及表示配管泄漏檢測結(jié)果的部分構(gòu)成。
上述個別監(jiān)控裝置與對多個罐體設(shè)置的集中監(jiān)控裝置之間通過電話線路、互聯(lián)網(wǎng)或?qū)Ｓ镁€路的通信手段可進行信號授受。集中監(jiān)控裝置對各個個別監(jiān)控裝置分別隨時詢問存儲在個別監(jiān)控裝置的存儲器中的上述檢測結(jié)果。從個別監(jiān)控裝置獲取的泄漏數(shù)據(jù)，存儲在集中監(jiān)控裝置的存儲器中，通過適當(dāng)顯示以及打印等而輸出。該存儲器中存儲的數(shù)據(jù)由各個別監(jiān)控裝置(或者由個別監(jiān)控裝置監(jiān)控的地下罐)的識別番號的部分和表示與此對應(yīng)的罐體泄漏檢測結(jié)果的部分以及表示配管泄漏檢測結(jié)果的部分構(gòu)成。
個別監(jiān)控裝置例如配置在汽油加油站辦公室、設(shè)施管理辦公室或者保安室等與罐體相同或者鄰近的地點。另外，也可以總括對于多個罐體的上面這種個別監(jiān)控裝置的功能而做成一個復(fù)合監(jiān)控裝置。另外，個別監(jiān)控裝置或復(fù)合監(jiān)控裝置中存儲的泄漏數(shù)據(jù)能夠從該監(jiān)控裝置直接讀出、顯示。相比之下，集中監(jiān)控裝置可以配置在集中管理中心或公共檢查機關(guān)等與各罐體的位置無關(guān)的位置。
在參照上面的圖1～圖9說明的流量計中，可以使用本發(fā)明所涉及的流量測定部組件以及流量測定單元。此時，感溫部18a為上游側(cè)感溫部，感溫部18b為下游側(cè)感溫部。另外，包括第一檢測電路30以及第二檢測電路32，構(gòu)成模擬電路。該模擬電路的流量值輸出Vh、Vout輸入到圖5中示出的運算部34。包括該運算部34，構(gòu)成數(shù)字電路。
圖10是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件的又另外的實施方式的部分省略透視圖，圖11A和圖11B分別是其俯視圖和主視圖，圖12A和圖12B分別是其橫向剖視圖和縱向剖視圖。
在本實施方式中，旁熱恒溫控制式流量測定部16、上游側(cè)感溫部18a、下游側(cè)感溫部18b以及安裝它們的流體流通路14的部分裝在盒子100內(nèi)。該盒子100上設(shè)有向外伸出而構(gòu)成第一配線部的第一端子116，該第一配線部與旁熱恒溫控制式流量測定部16的薄膜發(fā)熱體163以及薄膜感溫體162電連接。另外，盒子100上設(shè)有向外伸出而構(gòu)成第二配線部的第二端子118a，該第二配線部與上游側(cè)感溫部18a的薄膜感溫體182電連接，同樣地，設(shè)有向外伸出而構(gòu)成與下游側(cè)感溫部18b的薄膜感溫體電連接的第三配線部的第三端子118b。
并且，盒子100里面裝著具有溫度補償用感溫體的感溫部20，該感溫部20連接著向盒子100外面伸出的傳熱構(gòu)件201。在上述圖1的實施方式中，因為感溫部20檢測液體的溫度作為環(huán)境溫度，使用的是傳熱構(gòu)件伸到液體中的結(jié)構(gòu)，而在本實施方式中，感溫部20檢測盒子100的周圍的氣溫作為環(huán)境溫度。在盒子100上面，設(shè)有向外伸出而構(gòu)成與溫度補償用感溫體電連接的第四配線部的第四端子120。
在本實施方式中，如圖12A所示，第一端子～第四端子分別用連接線與旁熱恒溫控制式流量測定部16、上游側(cè)感溫部18a、下游側(cè)感溫部18b以及感溫部20的規(guī)定的薄膜發(fā)熱體或薄膜感溫體連接在一起。
圖13A以及圖13B分別是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件的又另外的實施方式的俯視圖以及主視圖，圖14A以及圖14B分別是其橫向剖視圖以及縱向剖視圖。本實施方式?jīng)]有感溫部20、傳熱構(gòu)件201以及第四端子120，這一點與上述圖10～圖12B的實施方式不同。另外，在本實施方式中，具有用來在單元基板上實裝后述流量測定單元的預(yù)備端子130?？梢岳迷擃A(yù)備端子130中的某幾個來配線。
圖15是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元的一種實施方式的透視圖，圖16A、圖16B以及圖16C分別是其俯視圖、主視圖以及側(cè)視圖。本實施方式是把上述圖10～圖12B的流量測定部組件200安裝在該單元基板220上，使第一～第四端子平行于形成了所需電路的單元基板220，并在該單元基板220上安裝了構(gòu)成流量測定電路元件的模擬電路元件222。這樣，形成上述圖5以及圖6示出的第一檢測電路30以及第二檢測電路32。流量測定電路元件還可以包括構(gòu)成上述圖5示出的運算部34的數(shù)字電路元件。
圖17是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元的又另外的實施方式的透視圖；圖18A、圖18B以及圖18C分別是其俯視圖、主視圖以及側(cè)視圖。本實施方式是把流量測定部組件200安裝在該單元基板220上，使第一～第四端子垂直于單元基板220，這一點與上述圖15～16C的流量測定單元不同。
圖19是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元的又另外的實施方式的透視圖，圖20A、圖20B以及圖20C分別是其俯視圖、主視圖以及側(cè)視圖。本實施方式使用上述圖13A～圖14B的實施方式的結(jié)構(gòu)作為流量測定部組件200，這一點與上述圖15～18C的流量測定單元不同。
圖21是表示本發(fā)明所涉及的流量測定部組件裝入流量計的一種實施方式的剖視圖。在本實施方式中，使用除了配線基板24的形狀之外，與圖2的實施方式相同的流量測定部組件。流體流通路14的上下兩端附設(shè)了開口端部構(gòu)件15a、15b。另外，配線基板24與配線基板25連接，該配線基板25的配線與配線存放部25’內(nèi)的配線連接。配線存放部25’內(nèi)的配線與圖5以及圖6示出的檢測電路30、32連接。
圖22是表示本發(fā)明所涉及的流量測定單元裝入流量計的又另外的實施方式的剖視圖。在本實施方式中，使用圖19～圖20C的實施方式的流量測定單元。單元基板220的配線與配線存放部25’內(nèi)的配線連接。配線存放部25’內(nèi)的配線與圖5示出的運算部34連接。
圖23是表示本發(fā)明所涉及的配管泄漏檢查裝置的一種實施方式的圖。在圖23中，用于液體(例如汽油、柴油或煤油及其它可燃性液體)的地下埋設(shè)的罐1上連接著用來汲出該罐內(nèi)的液體的配管4。該配管上有單向閥6以及封閉閥8，液體汲出時，封閉閥打開，液體借助配置在其上側(cè)(就液體汲出方向而言的下游側(cè))的未圖示的活塞式抽水泵通過單向閥6向上方輸送。
上述配管4的從單向閥6到封閉閥8的部分為檢查區(qū)間7，該部分相當(dāng)于本發(fā)明中所說的被測定配管。該被測定配管7埋設(shè)于地下，其中間設(shè)有分支部，該分支部上形成用來與泄漏檢查裝置連接的連接端5。
另外，本實施方式的泄漏檢查裝置50具有如圖所示的內(nèi)部配管系統(tǒng)。該內(nèi)部配管系統(tǒng)具備用來連通被測定配管7的連接端52，并具備液體排出端54。另外，檢查裝置50具有與內(nèi)部配管系統(tǒng)連接的臨時儲存加壓液體用罐56和在內(nèi)部配管系統(tǒng)中從臨時儲存加壓液體用罐56到連接端52的路線上順次配置的泵58以及流量計60。泵58在本實施方式中為可逆向送液的齒輪泵。內(nèi)部配管系統(tǒng)具有三通電磁閥、流量計保護用的單向閥、壓力傳感器以及四個電磁閥(其中三個常關(guān)[NC]、另外一個常開[ON])作為其余構(gòu)成要素。
下面參照圖24～圖27說明內(nèi)部配管系統(tǒng)的功能和本實施方式的泄漏檢查裝置的動作。在檢查之前，把檢查裝置側(cè)的連接端52與被測定配管側(cè)的連接端5連接，使該連接端52與被測定配管7連通。而且，這種連接狀態(tài)也可以常時保持。另外，在檢查裝置的液體排出端54與地下罐1之間配設(shè)了管道。
圖24表示給液動作。如圖示那樣設(shè)定四個電磁閥的開關(guān)狀態(tài)(OPEN/CLOSE)，通過使泵58作動(逆向送液動作)，從被測定配管7通過連接端5、52并不通過流量計60以及三通電磁閥而向臨時儲存加壓液體用罐56輸送液體，把用于泄漏檢查的液體儲存在該臨時儲存加壓液體用罐56內(nèi)。該液體輸送路線為第一路線。
圖25表示泄漏檢查時的加壓動作。如圖示那樣設(shè)定四個電磁閥的開關(guān)狀態(tài)，使泵58作動(順向送液動作)，從臨時儲存加壓液體用罐56通過三通電磁閥、流量計60以及連接端52、5向被測定配管7壓送液體。該液體輸送路線為第二路線。在該第二路線中，當(dāng)壓力傳感器檢測出從泵58到連接端52的部分的液壓超過了設(shè)定值(例如20kPa)時，位于泵58與流量計60之間的三通電磁閥就打開到NC側(cè)，形成向臨時儲存加壓液體用罐56回送液體的路線(第四路線)。這種三通電磁閥的動作由從壓力傳感器輸入超過設(shè)定壓力值的信號的流量計60內(nèi)的CPU的指令來控制。
在該檢查中，泵58的液體壓送開始后，經(jīng)過一段時間，超過設(shè)定壓力值的信號就從壓力傳感器輸入到流量計，之后，由流量計進行流量測定，此時測定的流量超過測定誤差時，即可判定為有泄漏。
圖26表示檢查結(jié)束時的壓力釋放動作。停止泵58的動作，如圖示那樣設(shè)定四個電磁閥的開關(guān)狀態(tài)，從而釋放第二路線中從流量計60到連接端52的部分中至少一部分(流量計保護用的單向閥的下游側(cè))的液壓，把液體的一部分回送到臨時儲存加壓液體用罐56。該液體輸送路線為第五路線。
圖27表示檢查結(jié)束后的排液動作。如圖示那樣設(shè)定四個電磁閥的開關(guān)狀態(tài)，使泵58作動(順向送液動作)，從而從臨時儲存加壓液體用罐56通過三通電磁閥以及流量計60，并通過另外的并行路線，向液體排出端54輸送液體，把液體回送到地下埋設(shè)罐1。該液體輸送路線為第三路線。
圖28是表示本發(fā)明所涉及的配管的泄漏檢查裝置的又另外的實施方式的圖。本實施方式與圖23～圖27的實施方式不同的是使用調(diào)壓用的單向閥代替三通電磁閥，使用三通電磁閥代替一個電磁閥。
下面參照圖29～圖32說明本實施方式的泄漏檢查裝置的動作與內(nèi)部配管系統(tǒng)的功能。不過，在此主要說明與圖23～圖27的實施方式的不同點。
圖29表示給液動作。該動作與就圖24說明的動作相同。
圖30表示泄漏檢查時的加壓動作。該動作與就圖25說明的動作實質(zhì)上相同，但在第二路線中從泵58到連接端52的部分的液壓超過調(diào)壓用單向閥的設(shè)定值(例如20kPa)時，該調(diào)壓用單向閥打開，形成把液體回送到臨時儲存加壓液體用罐56的路線(第四路線)。
圖31表示檢查結(jié)束時的壓力釋放動作。該動作與就圖26說明的動作相同。
圖32表示檢查結(jié)束后的排液動作。該動作與就圖27說明的動作相同。
圖33是表示本發(fā)明所涉及的配管的泄漏檢查裝置的又另外的實施方式的圖。在本實施方式中，使用不能逆向送液的電磁泵作為泵58’，在內(nèi)部配管系統(tǒng)中使用了兩個電磁閥和三個三通電磁閥。
下面參照圖34～圖37說明本實施方式的泄漏檢查裝置的動作與內(nèi)部配管系統(tǒng)的功能。不過，在此主要說明與圖23～圖27的實施方式的不同點。
圖34表示給液動作。第一路線通過三個三通電磁閥形成。
圖35表示泄漏檢查時的加壓動作。第二路線通過兩個三通電磁閥形成，第四路線通過一個三通電磁閥形成。
圖36表示檢查結(jié)束時的壓力釋放動作。第五路線通過一個三通電磁閥形成。
圖37表示檢查結(jié)束后的排液動作。第三路線不通過流量計60，而通過三個三通電磁閥形成。
圖38是表示本發(fā)明所涉及的配管的泄漏檢查裝置的又另外的實施方式的圖。本實施方式與圖33～圖37的實施方式不同的是增加了調(diào)壓用的單向閥。
下面參照圖39～圖42說明本實施方式的泄漏檢查裝置的動作與內(nèi)部配管系統(tǒng)的功能。不過，在此主要說明與圖33～圖37的實施方式的不同點。
圖39表示給液動作。該動作與就圖34說明的動作相同。
圖40表示泄漏檢查時的加壓動作。第二路線與圖35的相同，但第四路線通過調(diào)壓用的單向閥形成。
圖41表示檢查結(jié)束時的壓力釋放動作。該動作與就圖36說明的動作相同。
圖42表示檢查結(jié)束后的排液動作。該動作與就圖37說明的動作相同。
根據(jù)上述這種本發(fā)明實施方式的泄漏檢查裝置，因為檢查裝置自己取入在被測定配管內(nèi)輸送的液體，把它作為加壓液體使用，進行加壓檢查，所以不需要在檢查前從被測定配管中抽出液體，將其保管在其它場所，檢查后再恢復(fù)的操作，或者導(dǎo)入檢查用的氣體或液體的操作，檢查作業(yè)明顯減輕。另外，可以常時地把檢查裝置連接在被測定配管的連接端上，因此，持續(xù)檢查很容易，能夠早期發(fā)現(xiàn)泄漏。
作為流量計60，沒有特別限制，不過優(yōu)選的是能夠微量測定的流量計。作為能夠準(zhǔn)確測定從微小流量到較大流量的流量計，以與參照上述圖1～圖9說明的流量計相同的流量計為例。
圖43是用來說明流量計60的一種實施方式的示意剖視圖。該流量計60在結(jié)構(gòu)上與上述圖1的流量計相同，直接適用與圖1～圖8的有關(guān)說明。
如圖43所示，在筒狀的測定管12內(nèi)設(shè)有測定細(xì)管14，液體(流體)在該測定細(xì)管14內(nèi)流通。在本實施方式中，該測定細(xì)管14用作構(gòu)成內(nèi)部配管系統(tǒng)的流體流通路，當(dāng)從上述被測定配管7發(fā)生液體泄漏時，在泄漏檢查時實現(xiàn)了規(guī)定的加壓狀態(tài)之后，液體就按箭頭的方向在測定細(xì)管14內(nèi)流通。
與就圖1～圖8說明的一樣進行流量測定，根據(jù)作為該流量測定的結(jié)果而從運算部34輸出的流量測定值，在該流量測定值超過測定誤差時，就作為存在被測定配管內(nèi)液體的泄漏的泄漏檢測。該泄漏檢測優(yōu)選的是，例如在夜間等不向罐內(nèi)補充液體或從罐中汲出液體的條件下進行。圖44表示利用上述這種配管的泄漏檢測，并包括地下罐的泄漏檢測的液體泄漏監(jiān)視系統(tǒng)的一種實施方式。
圖44示出了罐體泄漏檢測裝置(罐體泄漏檢查裝置)112從地下罐的計量口到罐內(nèi)液體2，向下插入的狀態(tài)。在該罐體泄漏檢測裝置中，能夠利用上述的流量計。另外，附設(shè)了檢測從上述被測定配管7的液體的泄漏的配管泄漏檢測裝置(配管泄漏檢查裝置)50。
上述罐體泄漏檢測裝置以及配管泄漏檢測裝置通過有線或無線的內(nèi)部通信手段與對每個相應(yīng)罐體設(shè)置的個別監(jiān)控裝置連接，可進行信號授受。該連接如圖23所示，通過設(shè)置在配管泄漏檢測裝置等上面的I/O接口而形成。從個別監(jiān)控裝置對罐體泄漏檢測裝置以及配管泄漏檢測裝置分別定期地(例如1天1次)詢問檢測(檢查)的結(jié)果(泄漏的有無及其程度[流量]等)。從泄漏檢測裝置獲取的泄漏數(shù)據(jù)，存儲在個別監(jiān)控裝置的存儲器中。該存儲器中存儲的數(shù)據(jù)由表示罐體泄漏檢測結(jié)果的部分以及表示配管泄漏檢測結(jié)果的部分構(gòu)成。關(guān)于圖44的裝置，適用就上述圖9說明的事項。
工業(yè)實用性綜上所述，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種能夠在從極微量的流量區(qū)域到比較大的流量區(qū)域的大流量范圍內(nèi)以良好的精度和靈敏度進行流量測定的流量測定方法以及流量計。另外，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種即使流體為燃料油等可燃性液體時，也能夠充分降低起火引發(fā)火災(zāi)的危險性的流量測定方法以及流量計。因此，利用本發(fā)明的流量測定方法以及流量計，對微量的流體泄漏也能夠簡單、準(zhǔn)確而安全地檢測。
另外，綜上所述，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種適用于流量計的流量測定部組件以及流量測定單元，能夠在從極微量的流量區(qū)域到比較大的流量區(qū)域的大流量范圍內(nèi)以良好的精度和靈敏度進行流量測定，并且即使流體為燃料油等可燃性液體時，也能夠充分降低起火引發(fā)火災(zāi)的危險性，并且對微量的流體泄漏也能夠簡單、準(zhǔn)確而安全地檢測。
另外，綜上所述，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種對微量的泄漏也能夠簡單而且準(zhǔn)確地檢測的配管泄漏檢查裝置。另外，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種能夠在配管內(nèi)保留該配管內(nèi)輸送的液體的狀態(tài)下，再利用它作為加壓液體，簡單并有效地進行泄漏檢查的泄漏檢查裝置。
權(quán)利要求
1.一種流量測定方法，測定流體流通路內(nèi)的流體的流量，其特征在于就所述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把通過旁熱恒溫控制式流量測定來測定所述流體的流量而得到的流量值作為測定值；對于比所述臨界流量區(qū)域小的低流量區(qū)域，把通過二定點溫差檢測式流量測定而得到的流量值作為測定值；對于所述臨界流量區(qū)域，把通過所述旁熱恒溫控制式流量測定而得到的流量值或者通過所述二定點溫差檢測式流量測定而得到的流量值作為測定值，使用用于所述旁熱恒溫控制式流量測定的測定部作為在所述二定點溫差檢測式流量測定中對所述流體流通路內(nèi)的流體進行加熱的熱源。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量測定方法，其特征在于所述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量測定方法，其特征在于首先通過所述旁熱恒溫控制式流量測定來測定所述流體的流量，得到的流量值屬于所述高流量區(qū)域時，或者屬于所述高流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一時，把該流量值作為測定值，除此之外，接著通過所述二定點溫差檢測式流量測定來測定所述流體的流量，把得到的流量值作為測定值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量測定方法，其特征在于首先通過所述二定點溫差檢測式流量測定來測定所述流體的流量，得到的流量值屬于所述低流量區(qū)域時，或者屬于所述低流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一時，把該流量值作為測定值，除此之外，接著通過所述旁熱恒溫控制式流量測定來測定所述流體的流量，把得到的流量值作為測定值。
5.一種流量計，測定流體流通路內(nèi)的流體的流量，其特征在于具有面對所述流體流通路配置的旁熱恒溫控制式流量測定部以及二定點溫差檢測式流量測定部；和根據(jù)用所述旁熱恒溫控制式流量測定部得到的第一流量對應(yīng)輸出以及用所述二定點溫差檢測式流量測定部得到的第二流量對應(yīng)輸出，得到測定值的運算部，所述旁熱恒溫控制式流量測定部具有發(fā)熱體和與該發(fā)熱體相鄰配置的第一感溫體，所述發(fā)熱體受基于所述第一感溫體的檢測溫度的反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到所述第一流量對應(yīng)輸出；所述二定點溫差檢測式流量測定部具有按照所述流體流通路內(nèi)的流體流通方向分別配置于所述旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的第二感溫體和第三感溫體，根據(jù)所述第二感溫體的檢測溫度和第三感溫體的檢測溫度之差得到所述第二流量對應(yīng)輸出；所述運算部，就所述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出，對于比所述臨界流量區(qū)域小的低流量區(qū)域，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出，對于所述臨界流量區(qū)域，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值或者根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量計，其特征在于所述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量計，其特征在于所述運算部首先在所述第一流量對應(yīng)輸出與所述高流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與所述高流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量計，其特征在于所述運算部首先在所述第二流量對應(yīng)輸出與所述低流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與所述低流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量計，其特征在于所述發(fā)熱體以及所述第一感溫體均呈可通電的薄膜狀，通過電絕緣性薄膜層壓在一起。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量計，其特征在于所述第一流量對應(yīng)輸出得自包括所述發(fā)熱體、所述第一感溫體以及溫度補償用的感溫體的檢測電路。
11.一種流量測定部組件，用來測定流體流通路內(nèi)的流體的流量，其特征在于具有安裝在所述流體流通路上的旁熱恒溫控制式流量測定部以及二定點溫差檢測式流量測定部，該二定點溫差檢測式流量測定部由按照所述流體流通路內(nèi)的流體流通方向，分別配置在所述旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的上游側(cè)感溫部以及下游側(cè)感溫部構(gòu)成，所述旁熱恒溫控制式流量測定部具有發(fā)熱體和與該發(fā)熱體相鄰配置的第一感溫體，所述上游側(cè)感溫部具有第二感溫體，所述下游側(cè)感溫部具有第三感溫體，所述旁熱恒溫控制式流量測定部連接著用來與所述發(fā)熱體以及所述第一感溫體進行電連接的第一配線部，所述上游側(cè)感溫部連接著用來與所述第二感溫體進行電連接的第二配線部，所述下游側(cè)感溫部連接著與用來所述第三感溫體進行電連接的第三配線部。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的流量測定部組件，其特征在于所述第一配線部、第二配線部以及第三配線部均用柔性配線基板形成。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的流量測定部組件，其特征在于所述旁熱恒溫控制式流量測定部、所述上游側(cè)感溫部、所述下游側(cè)感溫部以及安裝這些部分的所述流體流通路的部分裝在盒子里面。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的流量測定部組件，其特征在于所述盒子上設(shè)有分別構(gòu)成所述第一配線部、第二配線部以及第三配線部的第一端子、第二端子以及第三端子。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的流量測定部組件，其特征在于所述盒子里面裝著具有溫度補償用感溫體的感溫體，該感溫部連接著延伸到所述盒子外面的熱傳導(dǎo)構(gòu)件，所述盒子上設(shè)有構(gòu)成用來與所述溫度補償用感溫體進行電連接的第四配線部的第四端子。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的流量測定部組件，其特征在于所述發(fā)熱體以及所述第一感溫體均呈可通電的薄膜狀，通過電絕緣性薄膜層壓在一起。
17.一種流量測定單元，其特征在于具有權(quán)利要求1的流量測定部組件；用來安裝該流量測定部組件的單元基板；和安裝在該單元基板上的流量測定電路元件。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的流量測定單元，其特征在于所述流量測定電路元件包括模擬電路元件而構(gòu)成。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的流量測定單元，其特征在于所述模擬電路元件根據(jù)所述第一感溫體的檢測溫度對所述發(fā)熱體進行反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到第一流量對應(yīng)輸出，根據(jù)所述第二感溫體的檢測溫度和所述第三感溫體的檢測溫度之差得到第二流量對應(yīng)輸出。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的流量測定單元，其特征在于所述流量測定電路元件還包括數(shù)字電路元件而構(gòu)成。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的流量測定單元，其特征在于所述數(shù)字電路元件具有根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出以及所述第二流量對應(yīng)輸出而得到流量測定值的運算部，該運算部，就所述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于比所述臨界流量區(qū)域小的低高流量區(qū)域，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于所述臨界流量區(qū)域，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值或者根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的流量測定單元，其特征在于所述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的流量測定單元，其特征在于所述運算部首先在所述第一流量對應(yīng)輸出與所述高流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與所述高流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出得到的流量值作為測定值，除此之外，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的流量測定單元，其特征在于所述運算部首先在所述第二流量對應(yīng)輸出與所述低流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與所述低流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域其中之一對應(yīng)時，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此之外，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
25.一種配管泄漏檢查裝置，檢查從被測定配管的液體的泄漏，其特征在于具有具備用于與所述被測定配管連通的連接端并具備液體排出端的內(nèi)部配管系統(tǒng)；與該內(nèi)部配管系統(tǒng)連接的臨時儲存加壓液體用罐；在所述內(nèi)部配管系統(tǒng)中，在從所述臨時儲存加壓液體用罐到所述連接端的路線上順次配置的泵以及流量計，所述內(nèi)部配管系統(tǒng)可形成由所述泵從所述被測定配管通過所述連接端且不通過所述流量計向所述臨時儲存加壓液體用罐輸送液體的第一路線；由所述泵從所述臨時儲存加壓液體用罐通過所述連接端以及所述流量計向所述被測定配管壓送液體的第二路線；和由所述泵從所述臨時儲存加壓液體用罐向所述液體排出端輸送液體的第三路線，根據(jù)在所述連接端與所述被測定配管連通的狀態(tài)下，通過所述泵的液體壓送使得從所述第二路線的所述泵到所述連接端的部分的液壓上升時的由所述流量計檢測的液體流量，來檢查從所述被測定配管的液體的泄漏。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述內(nèi)部配管系統(tǒng)還可形成當(dāng)在所述第二路線中從所述泵到所述連接端的部分的液壓超過設(shè)定值的時候，從所述泵與所述流量計之間的部分向所述臨時儲存加壓液體用罐回送液體的第四路線。
27.根據(jù)權(quán)利要求25所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述內(nèi)部配管系統(tǒng)還可形成釋放在所述第二路線中從所述流量計到所述連接端的部分的至少一部分液壓的第五路線。
28.根據(jù)權(quán)利要求25所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述流量計具有面對構(gòu)成所述內(nèi)部配管系統(tǒng)的流體流通路而配置的旁熱恒溫控制式流量測定部以及二定點溫差檢測式流量測定部；和根據(jù)用所述旁熱恒溫控制式流量測定部得到的第一流量對應(yīng)輸出以及用所述二定點溫差檢測式流量測定部得到的第二流量對應(yīng)輸出，來得到測定值的運算部，所述旁熱恒溫控制式流量測定部具有發(fā)熱體和與該發(fā)熱體相鄰配置的第一感溫體，所述發(fā)熱體受基于所述第一感溫體的檢測溫度的反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到所述第一流量對應(yīng)輸出；所述二定點溫差檢測式流量測定部具有按照所述流體流通路內(nèi)的流體流通方向分別配置于所述旁熱恒溫控制式流量測定部的上游側(cè)和下游側(cè)的第二感溫體和第三感溫體，根據(jù)所述第二感溫體的檢測溫度和第三感溫體的檢測溫度之差得到所述第二流量對應(yīng)輸出；所述運算部，就所述流量的值，對于比預(yù)先規(guī)定的臨界流量區(qū)域大的高流量區(qū)域，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于比所述臨界流量區(qū)域小的低流量區(qū)域，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出；對于所述臨界流量區(qū)域，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值或者根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值輸出。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述臨界流量區(qū)域僅由一個特定流量值構(gòu)成。
30.根據(jù)權(quán)利要求28所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述運算部首先在所述第一流量對應(yīng)輸出與所述高流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與所述高流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
31.根據(jù)權(quán)利要求28所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述運算部首先在所述第二流量對應(yīng)輸出與所述低流量區(qū)域?qū)?yīng)時，或者與所述低流量區(qū)域以及所述臨界流量區(qū)域之一對應(yīng)時，把根據(jù)所述第二流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值，除此以外，把根據(jù)所述第一流量對應(yīng)輸出而得到的流量值作為測定值。
32.根據(jù)權(quán)利要求28所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述發(fā)熱體以及所述第一感溫體均呈可通電的薄膜狀，通過電絕緣性薄膜層壓在一起。
33.根據(jù)權(quán)利要求28所述的配管泄漏檢查裝置，其特征在于所述第一流量對應(yīng)輸出得自包括所述發(fā)熱體、所述第一感溫體以及溫度補償用的感溫體的檢測電路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種測定流體流通路內(nèi)的流體的流量的方法以及流量計。根據(jù)旁熱恒溫控制式流量測定部(16)的輸出Vh以及二定點溫差檢測式流量測定部(18a、18b)的輸出Vout，由運算部得到測定值。在流量測定部(16)，發(fā)熱體(163)受基于感溫體(162)的檢測溫度的反饋控制，根據(jù)該反饋控制的狀態(tài)得到輸出Vh。在流量測定部(18a、18b)，根據(jù)按流體流通方向配置在流量測定部(16)的上游側(cè)的感溫體(182)和配置在下游側(cè)的感溫體的檢測溫差，得到輸出Vout。運算部對于預(yù)先規(guī)定的臨界流量以上的流量區(qū)域，把基于輸出Vh得到的流量值作為測定值輸出，對于不到臨界流量的流量區(qū)域，把基于輸出Vout得到的流量值作為測定值輸出。這樣，在從極微量的流量區(qū)域到比較大的流量區(qū)域的大流量范圍內(nèi)，以良好的精度和靈敏度進行流量測定。
文檔編號G01F1/699GK1643344SQ03806529
公開日2005年7月20日 申請日期2003年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月20日
發(fā)明者小池淳, 川西利明, 中村利美, 高畑孝行, 山岸喜代志 申請人:三井金屬礦業(yè)株式會社