專利名稱：面板的斜視角光學檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種面板的光學檢測(optical inSpection)裝置，尤其是指一種以斜視角(tilted view angle)及線掃描方式掃描面板的斜視角光學檢測裝置。
背景技術(shù)：
在一般的面板掃描檢測方法中有區(qū)域掃描(area scan)及線掃描(linescan)兩種。其中，使用區(qū)域掃描的方法是將整個面板區(qū)分為一個區(qū)域或多個區(qū)域而加以掃描，但以此方式掃描具有以下的缺點(1)面光源很難在大區(qū)域范圍內(nèi)非常均勻；(2)面光源不均勻性的平面場校正(flat field correction)資料量很大，導致執(zhí)行影像數(shù)字訊號處理(image DSP)時較慢且較難；(3)計算影像補償?shù)难菟惴?algorithm)較難等缺點。
另一方面，線掃描則可改善區(qū)域掃描的缺點，例如(1)線光源(linearlighting)較大區(qū)域面光源容易均勻；(2)線性光源不均勻性平面場校正資料量較小，執(zhí)行影像數(shù)字訊號處理時較快；(3)計算影像補償?shù)难菟惴ㄝ^簡單等優(yōu)點。但公知的線掃描方法是只對面板執(zhí)行平面的兩軸向的掃描，即沿著面板平面執(zhí)行x-軸或y-軸方向的垂直視角線掃描，請參照圖1，其繪示公知的線掃描方法對面板執(zhí)行一軸(水平)方向掃描的示意圖。如圖1所示，攝像裝置80對該待測面板90的掃描方式是以弓字型(zigzag)對面板執(zhí)行一軸(水平)方向掃描，其中攝像裝置80的視線(line of sight)與該待測面板90的平面互相垂直。但是在平面面板顯示器(Flat Panel Display，F(xiàn)PD)上，有些顯示缺陷是與視角(view angle)相關(guān)的，亦即，公知的線掃描方法其攝像裝置80與待測面板90之間是垂直的視角，只執(zhí)行垂直視角的x-軸方向掃描或y-軸方向掃描可能無法檢測出一些與視角相關(guān)的特征或缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述公知區(qū)域掃描及線掃描光學檢測方法的缺點，本發(fā)明的目的是提供一種面板的斜視角光學檢測裝置，其通過由攝像裝置與面板之間呈現(xiàn)一斜視角并以線掃描方式掃描面板，以檢測出面板上與視角相關(guān)的特征或缺陷。
為實現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明提供的一種面板的斜視角(tited view angle)光學檢測裝置(optical inspection system)，其通過由斜視角線掃描(line scan)以檢測一面板，包括一框架；至少一攝像裝置，是置于該框架上；一反射鏡，亦置于該框架上且位于該攝像裝置的下方處；一面板載具，其是置于該攝像裝置及該反射鏡的下方，用以承載后述的待測面板；以便通過由調(diào)整該反射鏡鏡面與該攝像裝置視線的夾角角度θ，使該攝像裝置的視線經(jīng)反射后至待測面板的斜視角為可控制，并且該光學檢測裝置可以執(zhí)行一斜視角線掃描。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該框架是可沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角；以便在該待測面板除完成一軸(x-軸)方向的斜視角掃描外，通過由該框架連同其上攝像裝置及反射鏡水平旋轉(zhuǎn)90°角，亦可以完成另一軸(y-軸)方向的斜視角線掃描。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該攝像裝置是一CMOS線掃描相機(CMOS line scan camera)或CCD(Charge Coupled Device)線掃描相機等。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該框架的下方進一步具有一線光源裝置(linear lighting device)以提供線掃描時所需的線光源。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該線光源裝置是位于該待測面板的下方，以便提供線掃描時所需的背光(back lit)線光源。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該攝像裝置、該反射鏡及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具是固定不動。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該攝像裝置、該反射鏡及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是固定不動，而該面板載具是沿一軸方向移動。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中進一步包括可調(diào)整該反射鏡鏡面(與該攝像裝置視線的夾角)角度θ的裝置，以及調(diào)整該攝像裝置的工作距離(Working distance)或距焦(focusing)的裝置。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該反射鏡可以為一平面反射鏡(platemirror)或一菱鏡(prism)。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種面板的斜視角光學檢測裝置，其通過由斜視角線掃描以檢測一面板，其包括一框架；至少一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(rotation mechanism)，是可固定于該框架上；至少一攝像裝置，是置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，并可于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中旋轉(zhuǎn)；一面板載具，其是置于該攝像裝置的下方，用以承載后述的待測面板；以便通過由該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)該攝像裝置以調(diào)整該攝像裝置與一待測面板間的斜視角角度，并且該光學檢測裝置可以執(zhí)行一斜視角線掃描。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該框架是可沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角；以便在該待測面板除完成一軸(x-軸)方向的斜視角掃描外，通過由該框架連同其上攝像裝置水平旋轉(zhuǎn)90°角，亦可以完成另一軸(y-軸)方向的斜視角線掃描。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該攝像裝置是一CMOS線掃描相機或CCD線掃描相機等。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該框架的下方進一步具有一線光源裝置，以提供線掃描時所需的線光源。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該線光源裝置是位于該待測面板的下方，以便提供線掃描時所需的背光線光源。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該攝像裝置及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具是固定不動。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該攝像裝置及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是固定不動，而該面板載具是沿一軸方向移動。
所述的斜視角光學檢測裝置，其中該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是設計成使得該攝像裝置的圓弧形(Circular)旋轉(zhuǎn)軌跡(rotation trajectory)的圓心落于該待測面板上，亦即該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是設計成使得該攝像裝置至該待測面板間的斜視角的工作距離或距焦保持恒定。
上述面板的斜視角光學檢測方法，其包括下列步驟提供一框架，該框架上具有至少一攝像裝置及一長條型反射鏡；提供一面板載具(carrer orconveyer)，其是置于該攝像裝置及該反射鏡的下方，用以承載后述的待測面板；將一待測面板置于該面板載具上，與其上的長條型反射鏡保持一個小間距；調(diào)整該反射鏡鏡面與該攝像裝置視線(與待測面板約略垂直成90°角)的夾角角度θ，使該攝像裝置的視線經(jīng)反射后至待測面板的視角約略為90°-2θ；以及開始執(zhí)行斜視角線掃描(tited view angle linescan)，其中該攝像裝置與該反射鏡是沿同一軸方向作同步運動；并于該待測面板完成一軸(例如x-軸)方向掃描后，接著該框架連同其上攝像裝置及反射鏡沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角后接著執(zhí)行另一軸(例如y-軸)方向的斜視角線掃描。


圖1為一示意圖，其繪示公知的線掃描方法對面板執(zhí)行x-軸方向掃描的示意圖；圖2a是一示意圖，其繪示根據(jù)本發(fā)明的一面板的斜視角光學檢測裝置的立體示意圖；圖2b是一示意圖，其繪示根據(jù)本發(fā)明的一面板的斜視角光學檢測裝置的另一立體示意圖；圖3是一示意圖，其繪示本發(fā)明的檢測裝置的反射鏡的入射角與反射角及攝像裝置的斜視視角的局部放大示意圖；圖4是一示意圖，其繪示根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的檢測裝置的攝像裝置的示意圖；圖5a是一示意圖，其繪示根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的檢測裝置的攝像裝置的示意圖；圖5b是一示意圖，其繪示根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的檢測裝置的攝像裝置的另一示意圖；圖6是一示意圖，其繪示根據(jù)本發(fā)明另一較佳實施例的檢測裝置的攝像裝置的示意圖。
具體實施例方式
請參照圖2a，其繪示根據(jù)本發(fā)明的一面板的斜視角光學檢測裝置的立體示意圖。如圖所示，本發(fā)明的面板的斜視角光學檢測裝置下是通過由斜視角線掃描以檢測一面板的特征或缺陷，其包括一框架(圖未標示)；至少一攝像裝置20；一長條型反射鏡30；一線光源裝置(linear lightingdevice)60；以及一面板載具40所組合而成。
其中，該框架用以支撐該攝像裝置20及該反射鏡30；該攝像裝置20，是置于該框架上，其數(shù)量可為一至數(shù)個且較佳是一個或一排CMOS線掃描相機或一個或一排CCD線掃描相機，且該攝像裝置20的垂直視線與該反射鏡30鏡面間呈現(xiàn)一角度θ；該線光源裝置60是提供該待測面板的照明，其中該線光源裝置60的軸向是與該反射鏡30的軸向平行；該反射鏡30，亦置于該框架上且位于該攝像裝置20的下方處，使該攝像裝置20的垂直視線(與待測面板約略垂直成90°角)經(jīng)由該反射鏡30反射后至待測面板50的視角約略成為90°-2θ；以及該面板載具40，其是置于該反射鏡30的下方一個小間距處，用以承載該待測面板50。以便通過由調(diào)整該反射鏡30的角度θ，使該攝像裝置20至該待測面板的斜視角角度約略為90°-2θ，并開始沿著該待測面板50的一軸方向執(zhí)行斜視角線掃描，并于該待測面板50完成其中一軸(例如x-軸)方向掃描后，將該框架、該攝像裝置20、該線光源裝置60及該反射鏡30沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角(或?qū)⒃撁姘遢d具40水平旋轉(zhuǎn)90°角)，接著執(zhí)行另一軸(例如y-軸)方向的斜視角線掃描。如此，即可檢測出該待測面板50與斜視角角度相關(guān)的特征或缺陷。
此外，請參照圖2b，其繪示根據(jù)本發(fā)明的一面板的斜視角光學檢測裝置的另一立體示意圖。如圖2b所示，若待測面板50本身為半透明，則可于該框架(圖未標示)及該待測面板50的下方處放置一線光源裝置60以提供線掃描時所需的背光(back-lit)線光源，其中該線光源裝置60的軸向是與該反射鏡30的軸向平行，且其中該線光源裝置60與該反射鏡的水平相對位置是與該反射鏡30的角度θ相關(guān)。
請參照圖3，其繪示本發(fā)明的檢測裝置的反射鏡的入射角與反射角的局部放大示意圖。如圖所示，可清楚看出本發(fā)明的攝像裝置20的約略垂直視線(vertical line of sight)與該反射鏡30的鏡面具有一角度θ，且經(jīng)由該反射鏡30的反射，使該攝像裝置20的斜視角視線與該待測面板50間呈現(xiàn)約略為90°-2θ角。并通過由此約略為90°-2θ的斜視角角度對待測面板50執(zhí)行斜視角的線掃描。
請參照圖4，其繪示根據(jù)本發(fā)明一較佳實施例的光學檢測裝置的攝像裝置與反射鏡的動作示意圖。如圖所示，本發(fā)明的攝像裝置20是置于框架上，并可通過由調(diào)整該攝像裝置20的斜視角視線(亦即通過由調(diào)整該攝像裝置與該反射鏡30間的夾角角度θ)以得到不同的斜視角掃描效果。針對待測面板50，可進一步沿著x-軸與y-軸做不同θ角度的多種斜視角掃描。此外，于任一固定角度θ，進一步可通過由調(diào)整該攝像裝置20的z-軸高度，以便保持恒定的工作距離(working distance)，亦即不論θ角度為何，該攝像裝置20至該待測面板50的斜視角視線的工作距離可通過由調(diào)整該攝像裝置20的z-軸高度來保持恒定，以便得到相同倍率及清晰的線掃描效果。
請參照圖5a，其繪示根據(jù)本發(fā)明的一面板的斜視角光學檢測裝置的另一側(cè)視示意圖。如圖5a所示，當該反射鏡30的鏡面角度θ為零度角時，該攝像裝置20的約略垂直視線與該背光線光源裝置60的中線約略對齊。
請參照圖5b，其繪示當反射鏡30旋轉(zhuǎn)θ角后，該背光線光源裝置60需平移至一新的位置，以便使該攝像裝置20的斜視角視線與該背光線光源裝置60的中線約略保持對齊。如圖5b所示，可進一步通過由調(diào)整該攝像裝置20的z-軸高度，以便保持恒定的工作距離、相同倍率及清晰的線掃描效果。
此外，于第一實施例(如圖2a中所示)及第二實施例(如圖2b，5a及5b中所示)中，在線掃描時，該攝像裝置20、該反射鏡30及該線光源裝置60是沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具40是固定不動。或者，在線掃描時，該攝像裝置20、該反射鏡30及該線光源裝置60是固定不動，而該面板載具40是沿一軸方向運動。
此外，于第一實施例(如圖2a中所示)及第二實施例(如圖2b，5a及5b中所示)中，該反射鏡30可以為一平面反射鏡(plate mirror)或一菱鏡(prism)。
請參照圖6，其繪示根據(jù)本發(fā)明又一較佳實施例的光學檢測裝置的攝像裝置的示意圖。如圖所示，本發(fā)明的光學檢測裝置下包括一框架(圖未標示)；一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(rotation mechanism，圖未標示)，其中該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軌跡(rotation trajectory)于圖6中因此標號70表示，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是可固定于該框架上；一攝像裝置20，是置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，并可通過由該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)其斜視角；以及一面板載具40，其是置于該攝像裝置20的下方，用以承載一待測面板50。以便通過由旋轉(zhuǎn)該攝像裝置20以調(diào)整該攝像裝置20與該待測面板50間的斜視角角度，并開始執(zhí)行斜視角線掃描，并于該待測面板完成x-軸方向掃描后，接著執(zhí)行y-軸方向的斜視角線掃描。此外，于本實施例中，因為位于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)被設計成于其旋轉(zhuǎn)軌跡70中的任一位置該攝像裝置20與該待測面板50間的斜視角工作距離皆保持相同，因此該攝像裝置20的距焦(focusing)只需于起始時調(diào)整一次即可。且于本實施例中，該攝像裝置20并不須利用任何反射鏡即可調(diào)整出適當?shù)男币暯墙嵌取?br> 此外，如圖6中所示的實施例，在線掃描時，該攝像裝置20及該線光源裝置60是可沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具40是固定不動?；蛘撸诰€掃描時，該攝像裝置20及該線光源裝置60是固定不動，而該面板載具40是可沿一軸方向作運動。
此外，本發(fā)明亦提供一種面板的斜視角光學檢測方法，其通過由斜視角線掃描以檢測一面板的特征或缺陷，其包括下列步驟提供一框架，該框架上具有至少一攝像裝置20、一線光源裝置60及一反射鏡30(步驟1)；提供一面板載具40，其是置于該攝像裝置20下方及該反射鏡30的下方近處，用以承載該待測面板50(步驟2)將一待測面板50置于該面板載具40上(步驟3)；沿著反射鏡30的長軸軸向調(diào)整該反射鏡30的角度θ，使該攝像裝置20與該待測面板50的斜視角角度約略為90°-2θ(步驟4)；以及開始沿一軸(x-軸)方向執(zhí)行斜視角線掃描，并于該待測面板完成x-軸方向掃描后，該框架連同其上攝像裝置及反射鏡沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角，接著執(zhí)行y-軸方向的斜視角線掃描(步驟5)。
其中，于該步驟下中，該攝像裝置是一個或一排CMOS線掃描相機或一個或一排CCD線掃描相機。于該步驟5中，開始執(zhí)行斜視角線掃描時，若該待測面板50本身為半透明，則亦可于該框架下方提供一線光源裝置60，以提供斜視角線掃描時所需的背光線光源。且在線掃描時，該攝像裝置20、該反射鏡30及該線光源裝置60是可沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具40是固定不動。或者在線掃描時，該攝像裝置20、該反射鏡30及該線光源裝置60是固定不動，而該面板載具40是可沿一軸方向作運動。
請再參照圖5a及5b，如圖5a所示，當本發(fā)明的反射鏡30的鏡面與待測面板50成90°角時，該攝像裝置20的垂直視線是約略對準線光源裝置60的中心線。如圖5b所示，當調(diào)整本發(fā)明的反射鏡30的反射角度θ時，因該反射鏡30與該線光源裝置60是可連動調(diào)整，因此，調(diào)整反射鏡30的反射角度時，該線光源裝置60也會跟著水平移動(例如往左移)，以使該攝像裝置20的斜視角視線保持約略對準該線光源裝置60的中心線，以維持線光源的一致性(Consistency)，接著才開始執(zhí)行斜視角線掃描，并于該待測面板50完成沿一軸(x-軸)方向掃描后，該框架連同其上攝像裝置20及反射鏡30及該線光源裝置60沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角，接著執(zhí)行另一軸(y-軸)方向的斜視角線掃描。
此外于圖5a中，當本發(fā)明的反射鏡30的鏡面與待測面板50成90°角時，可對該攝像裝置20及線光源裝置60執(zhí)行一次系統(tǒng)平面場校正(flatfield Correction for the system)。之后再將線光源裝置60水平旋轉(zhuǎn)90°角，并通過由移動該線光源裝置再對該攝像裝置20的各像素對該攝像裝置20的各像素(pixels)執(zhí)行一次相同點照度(spot lminosity)的像素平面場校正(flat field correction for the pixels)。根據(jù)此兩次的平面場校正資料，充分完成該攝像裝置20對于該線光源裝置60的平面場校正。
若使用如圖6中所示意的旋轉(zhuǎn)方法與一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(圖未標示)的旋轉(zhuǎn)軌跡70，則本發(fā)明的面板的斜視角光學檢測方法可以包括下列步驟提供一框架(圖未標示)，該框架上具有一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)(圖未標示)，且該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中具有一攝像裝置20，且該攝像裝置20可于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中沿著其旋轉(zhuǎn)軌跡70旋轉(zhuǎn)其斜視視角(步驟1)；提供一面板載具40，其是置于該攝像裝置20的下方，用以承載后述的待測面板50(步驟2)；將一待測面板50置于該面板載具40上；旋轉(zhuǎn)該攝像裝置20以調(diào)整該攝像裝置20與該待測面板50間的斜視角角度(步驟3)；以及開始執(zhí)行斜視角線掃描，并于該待測面板50完成沿一軸(x-軸)方向掃描后，該框架連同其上攝像裝置及反射鏡及該線光源裝置沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角，接著執(zhí)行另一軸(y-軸)方向的斜視角線掃描(步驟4)。
其中，于該步驟1中，該攝像裝置是一個或一排CMOS線掃描相機或一個或一排CCD線掃描相機。于該步驟3中，于旋轉(zhuǎn)該攝像裝置20時，其工作距離或距焦是保持固定不變，或進一步包括調(diào)整該攝像裝置的工作距離或距焦的步驟。于該步驟4中，開始執(zhí)行斜視角線掃描時，若該待測面板50本身為半透明，則可于該框架下方提供一背光線光源裝置60，以提供斜視角線掃描時所需的背光線光源，且該攝像裝置20及該線光源裝置60是可沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具40是固定不動。或者，該攝像裝置20及該線光源裝置60是固定不動，而該面板載具40是可沿一軸方向作運動。
本發(fā)明所揭示者，乃較佳實施例，舉凡局部的變更或修飾而源于本發(fā)明的技術(shù)思想而為熟習該項技藝的人所易于推知，俱不脫本發(fā)明的專利權(quán)范疇。
權(quán)利要求
1.一種面板的斜視角光學檢測裝置，其通過由斜視角線掃描以檢測一面板，其特征在于，包括一框架；至少一攝像裝置，是置于該框架上；一反射鏡，亦置于該框架上且位于該攝像裝置的下方處；一面板載具，其是置于該攝像裝置及該反射鏡的下方，用以承載后述的待測面板；以便通過由調(diào)整該反射鏡鏡面與該攝像裝置視線的夾角角度θ，使該攝像裝置的視線經(jīng)反射后至待測面板的斜視角為可控制，并且該光學檢測裝置可以執(zhí)行一斜視角線掃描。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該框架是可沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角；以便在該待測面板除完成一軸方向的斜視角掃描外，通過由該框架連同其上攝像裝置及反射鏡水平旋轉(zhuǎn)90°角，亦可以完成另一軸方向的斜視角線掃描。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該攝像裝置是一CMOS線掃描相機或CCD線掃描相機等。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該框架的下方進一步具有一線光源裝置以提供線掃描時所需的線光源。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該線光源裝置是位于該待測面板的下方，以便提供線掃描時所需的背光(back lit)線光源。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該攝像裝置、該反射鏡及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具是固定不動。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該攝像裝置、該反射鏡及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是固定不動，而該面板載具是沿一軸方向移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中進一步包括可調(diào)整該反射鏡鏡面角度θ的裝置，以及調(diào)整該攝像裝置的工作距離或距焦的裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該反射鏡可以為一平面反射鏡或一菱鏡。
10.一種面板的斜視角光學檢測裝置，其通過由斜視角線掃描以檢測一面板，其特征在于，其包括一框架；至少一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，是可固定于該框架上；至少一攝像裝置，是置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中，并可于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)中旋轉(zhuǎn)；一面板載具，其是置于該攝像裝置的下方，用以承載后述的待測面板；以便通過由該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)該攝像裝置以調(diào)整該攝像裝置與一待測面板間的斜視角角度，并且該光學檢測裝置可以執(zhí)行一斜視角線掃描。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該框架是可沿著該待測面板的平面水平旋轉(zhuǎn)90°角；以便在該待測面板除完成一軸方向的斜視角掃描外，通過由該框架連同其上攝像裝置水平旋轉(zhuǎn)90°角，亦可以完成另一軸方向的斜視角線掃描。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該攝像裝置是一CMOS線掃描相機或CCD線掃描相機等。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該框架的下方進一步具有一線光源裝置，以提供線掃描時所需的線光源。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該線光源裝置是位于該待測面板的下方，以便提供線掃描時所需的背光線光源。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該攝像裝置及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是沿同一軸方向作同步運動，而該面板載具是固定不動。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該攝像裝置及該線光源裝置于執(zhí)行斜視角線掃描時是固定不動，而該面板載具是沿一軸方向移動。
17.根據(jù)權(quán)利要求10所述的斜視角光學檢測裝置，其特征在于，其中該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是設計成使得該攝像裝置的圓弧形旋轉(zhuǎn)軌跡的圓心落于該待測面板上，亦即該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)是設計成使得該攝像裝置至該待測面板間的斜視角的工作距離或距焦保持恒定。
全文摘要
一種面板的斜視角光學檢測裝置，其通過由斜視角線掃描以檢測一面板，包括一框架；至少一攝像裝置，是置于該框架上；一反射鏡，亦置于該框架上且位于該攝像裝置的下方處；一面板載具，其是置于該攝像裝置及該反射鏡的下方，用以承載后述的待測面板；以便通過由調(diào)整該反射鏡鏡面與該攝像裝置視線的夾角角度θ，使該攝像裝置的視線經(jīng)反射后至待測面板的斜視角為可控制，并且該光學檢測裝置可以執(zhí)行一斜視角線掃描，以檢測出面板上與視角相關(guān)的特征或缺陷。
文檔編號G01B11/26GK1601224SQ0315980
公開日2005年3月30日 申請日期2003年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月25日
發(fā)明者錢愛錡 申請人:晶彩科技股份有限公司