專利名稱：Fpd用基板缺陷檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及FPD用基板缺陷檢測裝置，尤其涉及檢測FPD用基板表面上有無缺陷的大型檢測裝置。
背景技術(shù)：
隨著電信技術(shù)的發(fā)展與多元化信息社會(huì)的要求，對電子顯示器的需求逐漸提高，所需求的顯示器趨向多樣化，不斷開發(fā)嶄新的平板顯示器(FlatPanel Display以下簡稱“FPD”)元件。目前，正在開發(fā)或生產(chǎn)中的平板顯示器有液晶顯示器(Liquid Crystal DisplayLCD)、有機(jī)場致發(fā)光顯示器(Organic Electroluminescence DisplayOELD)、等離子體顯示板(Plasma Display PanelPDP)以及發(fā)光二極管(Light Emitting DisplayLED)等。
要想維持上述FPD穩(wěn)定的品質(zhì)，不僅要注重材料與工程的開發(fā)，還要做到所使用的玻璃及塑料等基板上沒有缺陷。FPD用基板缺陷檢測裝置分為在基板表面上照射光線，并根據(jù)光線的光學(xué)變化檢測基板表面上的缺陷的大型(Macro)檢測裝置和擴(kuò)大檢測由大型檢測裝置檢測的缺陷部位的微型(Micro)檢測裝置。
圖1是關(guān)于現(xiàn)有FPD用大型檢測裝置說明的概略圖。
圖1中的現(xiàn)有FPD用大型檢測裝置由光源10和為確保光源10發(fā)射出來的光線光路而設(shè)置的鏡子21、22、聚焦通過鏡子21、22擴(kuò)散的光線的菲涅耳透鏡(Fresnel Lens)30以及分散或聚焦透過菲涅耳透鏡30的光線的液晶板40組成。光源10發(fā)射出來的光線透過鏡子21、22、菲涅耳透鏡30、液晶板40照射至被檢體FPD用基板上后再反射光線。由檢測員判斷有無瑕疵或斑點(diǎn)等缺陷。
圖2a是關(guān)于光線透過圖1所示現(xiàn)有FPD用大型檢測裝置中的菲涅耳透鏡過程的概略圖，圖2b是利用圖1中的FPD用大型檢測裝置照射光線時(shí)的FPD用基板的亮度概略圖。
如圖2a中的(1)及(2)所示，為了使透過菲涅耳透鏡30的光線充分?jǐn)U散至被檢體基板面積上，光源10與菲涅耳透鏡30之間的距離應(yīng)長一些。這就是圖1中使用鏡子確保光線光路的原因所在。
如圖2a中的(2)所示，光線聚焦到一定程度時(shí)，F(xiàn)PD用基板的光線照度與檢測員位置上的亮度達(dá)到最佳狀態(tài)?？紤]到這一點(diǎn)，菲涅耳透鏡30應(yīng)該比基板大。
為了利用菲涅耳透鏡彌補(bǔ)不充分的亮度，應(yīng)注意光源與菲涅耳透鏡之間的光路以及菲涅耳透鏡的大小。若擴(kuò)大光源與菲涅耳透鏡之間的光路以及菲涅耳透鏡的大小時(shí)，相關(guān)裝置也會(huì)變大，其制作費(fèi)用會(huì)有所增加?，F(xiàn)有檢測裝置中的FPD比較大，因此不符合目前的趨勢。為克服這一點(diǎn)，通過移動(dòng)光源、鏡子、菲涅耳透鏡等使光線的照射位置起變化，但其弊端是增加控制部的構(gòu)筑費(fèi)用，以及檢測時(shí)間過于長。
此外，與圖2b所示的FPD用基板亮度相比較，圖1所示的現(xiàn)有檢測裝置只能使用單一的光源，因此中間部位相對較亮，邊緣部位相對較暗。因此，由于基板的亮度不均勻，無法判斷是否有缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供即能簡單檢測大型基板，又能減少體積、降低制作費(fèi)用以及縮短基板的檢測時(shí)間的FPD用基板缺陷檢測裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的一個(gè)方面是，F(xiàn)PD用基板缺陷檢測裝置由光源、聚焦透鏡、多角鏡組成，其特征如下聚焦透鏡一般設(shè)置在上述光源放射出來的光線光路上，用于聚焦光線；多角鏡按可旋轉(zhuǎn)式設(shè)置，用于入射透過上述聚焦透鏡的光線，再向被檢體FPD用基板位置分散、反射光線。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的另一方面是，F(xiàn)PD用基板缺陷檢測裝置由光源、導(dǎo)光板、光線傳達(dá)裝置組成，其特征如下導(dǎo)光板用于入射上述光源放射的光線，向被檢體FPD用基板位置分散；而光線傳達(dá)裝置用于把上述光源放射的光線傳送至上述導(dǎo)光板上。
如上所述，采用本發(fā)明中的FPD用基板缺陷檢測裝置，即可輕松檢測大型基板。
另外，與現(xiàn)有技術(shù)所不同的是，光路無需太長，可縮小檢測裝置的大小，無需調(diào)整光線的照射位置，不僅能降低控制部的構(gòu)筑費(fèi)用等，還能降低裝置的制作費(fèi)用。
無需改變光線的照射位置，從而縮短檢測時(shí)間的同時(shí)提高生產(chǎn)性。


圖1至圖2b是關(guān)于現(xiàn)有FPD用大型檢測裝置的概略圖；圖3a至圖4是關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例中FPD用基板缺陷檢測裝置的概略圖；<附圖主要部分的符號說明>
10光源 110聚焦透鏡120多角鏡130菲涅耳透鏡210導(dǎo)光板220光纖束221光導(dǎo)纖維具體實(shí)施方式
下述是關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例的說明，如附圖所示。
圖3a及3b是關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例1中的FPD用基板缺陷檢測裝置的概略圖，圖4是關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例2中的FPD用基板缺陷檢測裝置的概略圖。
實(shí)施例1如圖3a所示，本實(shí)施例中的FPD用基板缺陷檢測裝置由光源10、聚焦透鏡(Focusing Lens)110、多角鏡(Polygon Mirror)120組成。
光源10采用光鹵素?zé)艋蚪饘冫u化物燈等。
聚焦透鏡110設(shè)置在光源10放射的光線光路上，隨著光源10放射的光線入射至聚焦透鏡110后，聚焦成一條薄薄的平行光透過聚焦透鏡110。
多角鏡120可旋轉(zhuǎn)，設(shè)置在透過聚焦透鏡110聚焦的光線光路上。隨著透過聚焦透鏡110聚焦的光線入射到多角鏡120后，通過多角鏡分散、反射成面光源形態(tài)，再照射至FPD用基板表面上。
多角鏡120是由相同大小的鏡子構(gòu)成多面體的光學(xué)儀器。隨著多角鏡的旋轉(zhuǎn)，入射到多角鏡內(nèi)的如同激光般的點(diǎn)光源擴(kuò)散、反射成線光源，而線光源將會(huì)擴(kuò)散、反射成面光源。如圖3a所示，多角鏡的每一個(gè)鏡面都會(huì)形成一個(gè)面光源。因此，隨著多角鏡每旋轉(zhuǎn)一次就會(huì)形成相當(dāng)于鏡面數(shù)量的面光源。人類的眼睛每秒被照射24次以上，就會(huì)把光線視做連續(xù)光。假設(shè)多角鏡120為八面體，每秒旋轉(zhuǎn)3次以上，人們就會(huì)認(rèn)為FPD用基板上始終照射著面光源。
光源10放射的光線透過聚焦透鏡110和多角鏡120，按面光源的形態(tài)照射到被檢體FPD用基板上后被反射出去，檢測員可根據(jù)此判斷有無瑕疵或斑點(diǎn)等缺陷。
隨著利用多角鏡120照射出來的面光源檢測FPD用基板上有無缺陷，僅通過調(diào)節(jié)多角鏡的鏡面數(shù)及旋轉(zhuǎn)速度就能擴(kuò)大光線的照射面積。因此，即使是大型基板也能容易檢測，與現(xiàn)有技術(shù)所不同的是，光路無需太長，可減少檢測裝置的大小。另外，無需調(diào)節(jié)光線的照射位置，從而降低控制部的構(gòu)筑費(fèi)用，縮短檢測時(shí)間。
如圖3b所示，在通過多角鏡120分散、反射出來的光線光路上設(shè)置菲涅耳透鏡130，從而使照射至基板上的面光源均勻得集中于一點(diǎn)上，并通過多角鏡120分散、反射出來的光線透過菲涅耳透鏡130照射到基板表面上。
此外，根據(jù)需要在多角鏡120的正面或背面設(shè)置濾色鏡(未圖示)，使入射至多角鏡內(nèi)的光線或者把多角鏡反射出去的光線轉(zhuǎn)換成單色光。
實(shí)施例2如圖4所示，本實(shí)施例中的FPD用基板缺陷檢測裝置由光源10、導(dǎo)光板210以及由光纖束220構(gòu)成的光線傳達(dá)裝置組成。
光纖束220設(shè)置為使光源10放射的光線均勻地傳到導(dǎo)光板210上。即，把每個(gè)光導(dǎo)纖維221的一端按一定間距在導(dǎo)光板210內(nèi)部排列成”井”字形，而另一端要與上述光源10相對。
光源10放射的光線通過光導(dǎo)纖維221入射、擴(kuò)散至導(dǎo)光板210上，從而照射到FPD用基板上，檢測員可根據(jù)此判斷有無瑕疵或斑點(diǎn)等缺陷。
光導(dǎo)纖維221各自排列，使通過光導(dǎo)纖維221傳達(dá)的光線均勻地照射在導(dǎo)光板210整體上，從而獲得檢測基板缺陷所需的照明度。本發(fā)明中的檢測裝置與現(xiàn)有技術(shù)相比，既簡單又經(jīng)濟(jì)。
另外，為提高發(fā)光效率，可在光源10與光纖束220另一端之間另設(shè)一個(gè)聚焦裝置(未圖示)。
本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，可根據(jù)本發(fā)明技術(shù)史上相關(guān)領(lǐng)域中的普通知識進(jìn)行多種改動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種FPD用基板缺陷檢測裝置，其特征在于由光源和設(shè)置在上述光源放射的光線光路上起聚焦光線作用的聚焦透鏡、以及按可旋轉(zhuǎn)式設(shè)置，入射透過聚焦透鏡(110)的光線并向被檢體FPD用基板位置分散、反射光線的多角鏡(120)組成。
2.如權(quán)利要求1所述的FPD用基板缺陷檢測裝置，其特征在于在被上述多角鏡反射出來的光線光路上多設(shè)一個(gè)菲涅耳透鏡，使上述多角鏡擴(kuò)散、反射的光線均勻地集中于一點(diǎn)上并照射至FPD用基板表面。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的FPD用基板缺陷檢測裝置，其特征在于在上述多角鏡的正面或背面設(shè)置濾色鏡，使入射至上述多角鏡內(nèi)的光線或者上述多角鏡反射的光線轉(zhuǎn)換成單色光。
4.一種FPD用基板缺陷檢測裝置，其特征在于由光源、入射上述光源放射的光線并向被檢體FPD用基板方向擴(kuò)散光線的導(dǎo)光板和向上述導(dǎo)光板傳達(dá)上述光源放射出來的光線的光線傳達(dá)裝置組成。
5.如權(quán)利要求4所述的FPD用基板缺陷檢測裝置，其特征在于設(shè)置一個(gè)光纖束把上述光導(dǎo)纖維(221)的一端按一定間距在導(dǎo)光板(210)內(nèi)部排成“井”字形，而另一端與上述光源(10)相對。
全文摘要
本發(fā)明涉及FPD用基板的缺陷檢測裝置，其特征是包括光源、聚焦光源發(fā)射的光線的聚焦透鏡和擴(kuò)散、反射透過聚焦透鏡入射進(jìn)來的光線的多角鏡；或者包括光源、擴(kuò)散光源放射的光線的導(dǎo)光板以及把光源放射出來的光線傳達(dá)給導(dǎo)光板的光線傳達(dá)裝置。本發(fā)明不僅能輕松檢測大型基板，由于光路短縮小了檢測裝置的大小，以及因無法改變光線的檢測位置，可減少控制部的構(gòu)筑費(fèi)用等，從而降低裝置的制作費(fèi)用，縮短檢測時(shí)間的同時(shí)提高生產(chǎn)性。
文檔編號G01R31/00GK1624459SQ0315694
公開日2005年6月8日 申請日期2003年9月15日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月17日
發(fā)明者洪志重, 裴健友 申請人:愛德牌工程有限公司