技術編號：5891913
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及FPD用基板缺陷檢測裝置，尤其涉及檢測FPD用基板表面上有無缺陷的大型檢測裝置。背景技術 隨著電信技術的發(fā)展與多元化信息社會的要求，對電子顯示器的需求逐漸提高，所需求的顯示器趨向多樣化，不斷開發(fā)嶄新的平板顯示器(FlatPanel Display以下簡稱“FPD”)元件。目前，正在開發(fā)或生產(chǎn)中的平板顯示器有液晶顯示器(Liquid Crystal DisplayLCD)、有機場致發(fā)光顯示器(Organic Electroluminescence ...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。