專(zhuān)利名稱(chēng)：基片檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基片的檢查裝置，特別涉及用肉眼檢查液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)或類(lèi)似部件的基片的缺陷的裝置。
背景技術(shù)：
眾所周知，在用于檢查液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、或類(lèi)似部件的基片的裝置中，有一種裝置能夠把宏觀觀察轉(zhuǎn)變?yōu)槲⒂^觀察。在宏觀觀察中，照明光線被直接投射到玻璃基片的表面上，并觀察缺陷部位，例如裂紋或斑點(diǎn)。在微觀觀察中，把宏觀觀察中檢查出的缺陷放大并且進(jìn)行更精確的觀察。
在用于檢驗(yàn)基片的現(xiàn)有技術(shù)的裝置中，日本公開(kāi)專(zhuān)利No.H5-322783中披露了一種裝置，其中基片被放置在一個(gè)可以在X-Y方向移動(dòng)的X-Y平臺(tái)上，而該X-Y平臺(tái)可以?xún)删S地移動(dòng)到一個(gè)具有宏觀觀察功能的宏觀觀察系統(tǒng)和一個(gè)具有微觀觀察功能的微觀觀察系統(tǒng)中，該裝置不適合用于檢查目前尺寸趨向于不斷增大的平面顯示器。
為了解決檢查基片的裝置的問(wèn)題，韓國(guó)實(shí)用新型公開(kāi)號(hào)第20-0238929(2001年10月8日)中披露了一種裝置，其中，基片被放置在一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)的平臺(tái)上，如果上述裝置處在宏觀觀察平臺(tái)被旋轉(zhuǎn)而使其傾斜的狀態(tài)下，可通過(guò)使用來(lái)自光源的投向基片的照明光線來(lái)進(jìn)行宏觀觀察檢驗(yàn)。在一個(gè)可旋轉(zhuǎn)平臺(tái)被設(shè)定為水平的狀態(tài)下，當(dāng)在水平方向移動(dòng)在可旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上具有自備照明的微觀觀察系統(tǒng)時(shí)，可以進(jìn)行微觀觀察檢驗(yàn)。
然而，前面所述的用于檢驗(yàn)基片的現(xiàn)有技術(shù)的裝置存在一個(gè)問(wèn)題，那就是由于照明光線是從基片的下方或上方距基片很遠(yuǎn)的位置投射到將要檢查的基片(待檢基片)的整個(gè)表面上，造成總的照明不充分，使對(duì)存在的缺陷的檢驗(yàn)工作很困難。
更進(jìn)一步，由于照明不足，現(xiàn)有技術(shù)的用于檢驗(yàn)基片的裝置不能對(duì)液晶顯示器中兩層基片之間充入液晶的狀態(tài)進(jìn)行檢查，需要把液晶檢查和基片表面缺陷的檢查分開(kāi)進(jìn)行，這樣要耗費(fèi)更多的檢查時(shí)間和費(fèi)用。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種用于基片檢驗(yàn)的裝置，該裝置有效地解決了由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺陷而產(chǎn)生的一個(gè)或多個(gè)問(wèn)題。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種用于基片檢驗(yàn)的裝置，該裝置能夠更精確地在宏觀和微觀觀察中確認(rèn)缺陷。
本發(fā)明的其它特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中說(shuō)明，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員通過(guò)閱讀下列內(nèi)容或通過(guò)實(shí)施本發(fā)明，可以理解或認(rèn)識(shí)到本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)可以通過(guò)說(shuō)明書(shū)及附圖中所詳細(xì)闡明的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。
為了達(dá)到這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)并依照本發(fā)明的目的，正如下面實(shí)施例所體現(xiàn)的和充分說(shuō)明的，用于檢驗(yàn)平面基片存在的缺陷的裝置包括在本體上部的一個(gè)基礎(chǔ)部件；一個(gè)安裝在基礎(chǔ)部件上用于可分離地放置待檢查的基片的檢查平臺(tái)，該檢查平臺(tái)的一端可環(huán)繞一轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)；一個(gè)用于把所述檢查平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到需要的角度的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置；一個(gè)背光裝置，用于把光從所述檢查平臺(tái)的背面投射到檢查平臺(tái)上的待檢基片上。這樣通過(guò)在安放基片的檢查平臺(tái)的后部安裝背光裝置可使缺陷確認(rèn)更精確。
對(duì)微觀觀察檢查，有一個(gè)微觀觀察裝置，包括一臺(tái)通過(guò)移動(dòng)裝置可以沿著基礎(chǔ)部件的上部水平方向前后移動(dòng)的顯微鏡，這樣當(dāng)微觀觀察裝置沿著水平方向放置的檢查平臺(tái)上的基片的頂部移動(dòng)時(shí)，微觀觀察裝置可以進(jìn)行微觀觀察。
背光裝置可以在基礎(chǔ)部件上面沿上/下方向運(yùn)動(dòng)，并可分開(kāi)的安裝在檢查平臺(tái)的后部。為此，該裝置進(jìn)一步包括用于把所述背光裝置安裝到所述檢查平臺(tái)的后部或從檢查平臺(tái)的后部拆分的(固定)分離裝置。
通過(guò)把所述背光裝置安裝到所述檢查平臺(tái)或從檢查平臺(tái)拆分的分離裝置，在宏觀檢查中，該背光裝置被安裝到檢查平臺(tái)上，以確保提供大量的光。在微觀檢查中，該背光裝置與檢查平臺(tái)分離，以保證提供一個(gè)用于在檢查平臺(tái)和背光裝置之間移動(dòng)發(fā)射照明光源的空間。
可以理解，本發(fā)明的上述說(shuō)明和以下的詳細(xì)說(shuō)明都是說(shuō)明性的和解釋性的，其目的在于對(duì)本發(fā)明要求保護(hù)的范圍提供進(jìn)一步的解釋。


本發(fā)明通過(guò)附圖來(lái)進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明，這些附圖結(jié)合在本申請(qǐng)中并構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，與說(shuō)明書(shū)一起對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，闡明本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思。在附圖中
圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的用于基片檢驗(yàn)的裝置的主視圖。
圖2是圖1中用于基片檢驗(yàn)的裝置的平臺(tái)的平面圖。
圖3是圖2中的平臺(tái)的仰視圖。
圖4是圖3中的平臺(tái)的側(cè)視圖。
圖5是一個(gè)平面圖，示意性地說(shuō)明了一個(gè)用于把背光裝置固定到圖2中的平臺(tái)的結(jié)構(gòu)。
圖6是一個(gè)剖面圖，說(shuō)明用于固定圖5中的背光裝置的一個(gè)接合部件。
圖7是一個(gè)用于調(diào)整在圖2中平臺(tái)上的基片的調(diào)整系統(tǒng)(alignment unit)的平面圖。
圖8是說(shuō)明本發(fā)明的基片檢驗(yàn)裝置在宏觀觀察的操作狀態(tài)的一個(gè)主視圖。
圖9是說(shuō)明本發(fā)明的基片檢驗(yàn)裝置在微觀觀察的操作狀態(tài)的一個(gè)主視圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的用于基片檢驗(yàn)的裝置的主視圖。
參照?qǐng)D1，在基片檢驗(yàn)裝置的本體1的上部，具有多個(gè)懸浮結(jié)構(gòu)3，每一個(gè)懸浮結(jié)構(gòu)都構(gòu)成一個(gè)以空氣填充的彈性結(jié)構(gòu)，用于吸收從外部傳來(lái)的振動(dòng)，在懸浮結(jié)構(gòu)3上有一個(gè)基礎(chǔ)部件2，并且在基礎(chǔ)部件2上安裝有一個(gè)圍繞旋轉(zhuǎn)軸41轉(zhuǎn)動(dòng)的用于可分離地放置一個(gè)待檢基片的檢查平臺(tái)4。
在檢查平臺(tái)4和基礎(chǔ)部件2之間安裝有一個(gè)背光裝置5，該背光裝置可以在上/下方向移動(dòng)，以便把光從檢查平臺(tái)4的后部照射到檢查平臺(tái)4。為了使背光裝置5沿上/下方向移動(dòng)，有一套提升系統(tǒng)，包括一個(gè)在基礎(chǔ)部件2上用于安放背光裝置5的基座構(gòu)件6；多個(gè)連接桿7，每一根連接桿的頂端都穿過(guò)基礎(chǔ)部件2與基座構(gòu)件6連接；一塊操縱板8，該操縱板在基礎(chǔ)部件2的下面的位置與連接桿7的下端連接；和一個(gè)位于基礎(chǔ)部件2下面的氣動(dòng)的提升氣缸9，用于上/下移動(dòng)該操縱板8。
背光裝置5包括一組在方形框架51中的用于發(fā)光的燈(圖中沒(méi)有顯示)。
有一對(duì)平行安裝在基礎(chǔ)部件2上的LM導(dǎo)桿(或稱(chēng)為導(dǎo)軌)15，每一根LM導(dǎo)桿15上都安裝有一個(gè)移動(dòng)塊14，移動(dòng)塊上安裝有一個(gè)微觀觀察裝置10，移動(dòng)塊的相對(duì)的端部滑動(dòng)的安裝在LM導(dǎo)桿15上，用來(lái)和LM導(dǎo)桿15一起(或沿著導(dǎo)桿)水平方向前后移動(dòng)。
微觀觀察裝置10包括一臺(tái)安裝在移動(dòng)塊14上的顯微鏡11，用于和移動(dòng)塊14一起左右方向水平移動(dòng)；和在移動(dòng)塊14的下部的長(zhǎng)桿形發(fā)射照明光源12，用于在移動(dòng)塊14和LM導(dǎo)桿15一起(或沿著導(dǎo)桿)并在檢查平臺(tái)4和背光裝置5之間移動(dòng)時(shí)把發(fā)射光投射到檢查平臺(tái)4上的基片G上。
同時(shí)，盡管圖中沒(méi)有顯示，對(duì)于用來(lái)使移動(dòng)塊14沿LM導(dǎo)桿15移動(dòng)的裝置，可以使用一條滾珠絲杠和一臺(tái)伺服電機(jī)，或適當(dāng)?shù)厥褂霉尿?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如線性電機(jī)或類(lèi)似的裝置。如果使用滾珠絲杠和伺服電機(jī)，滾珠絲杠和LM導(dǎo)桿15平行安裝。一個(gè)螺母部件與移動(dòng)塊14接合，當(dāng)滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，該螺母部件可以沿著螺母部件移動(dòng)。如果使用線性電機(jī)，則線性電機(jī)的定子和LM導(dǎo)桿15平行安裝，而線性電機(jī)的動(dòng)子固定到移動(dòng)塊14上，這樣使動(dòng)子沿著定子移動(dòng)。除此之外，鏈齒輪、或滑輪和皮帶的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也可以使用。
為把檢查平臺(tái)4旋轉(zhuǎn)到一個(gè)需要的角度，連接桿16以鉸鏈方式(鉸接)連接到檢查平臺(tái)4的相對(duì)的邊上，以便使連接桿16自由轉(zhuǎn)動(dòng)。在基礎(chǔ)部件2的下面，操縱桿17與電機(jī)18可移動(dòng)的安裝在一起，每一根操縱桿都有一端鉸接到連接桿16的下端，其目的在于，當(dāng)與操縱桿17的端部連接的連接桿16隨著由電機(jī)18驅(qū)動(dòng)的操縱桿17的轉(zhuǎn)動(dòng)而折疊或打開(kāi)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)檢查平臺(tái)4。
同時(shí)，圖2-7說(shuō)明了檢查平臺(tái)4的結(jié)構(gòu)。
參照?qǐng)D2-7，有多個(gè)基片的吸附襯墊43沿著方形框架式的平臺(tái)本體42前部(正面)的開(kāi)口的外部按固定間隔排列，用以真空吸附和固定基片G。為了支撐安放在開(kāi)口上的基片G，透明的支撐桿48橫跨開(kāi)口并按固定間隔安裝。在每個(gè)支撐桿48上都有垂直的陶瓷支撐銷(xiāo)481，用于支撐上面的基片G，以防止放置在檢查平臺(tái)4上的基片G下垂(變形)并使基片G的平直度保持在要求的水平。
在平臺(tái)本體42前部的對(duì)邊上還有多個(gè)定位裝置44，用于使基片G定位在平臺(tái)本體42的目標(biāo)位置上。每個(gè)定位裝置包括一個(gè)氣缸441，一根和氣缸441一起橫向移動(dòng)的桿442，和多個(gè)L或I形的定位件(銷(xiāo))443。每個(gè)定位件的中心部分轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到平臺(tái)本體42上，并且同時(shí)一個(gè)(側(cè))邊轉(zhuǎn)動(dòng)的連接到桿442上，以便夾持基片G的外邊緣。
對(duì)于定位銷(xiāo)443，‘L’形定位銷(xiāo)夾持(固定)基片G的相對(duì)的邊，‘I’形定位銷(xiāo)夾持基片G的角。
在平臺(tái)本體42的后部(背面)有多個(gè)按固定間隔排列的背光裝置的吸附襯墊47，用于通過(guò)真空吸附來(lái)固定背光裝置5。
此外，為了防止在通過(guò)吸附襯墊47的真空發(fā)生故障的情況下背光裝置5從檢查平臺(tái)4上脫落和破裂，檢查平臺(tái)4有輔助的固定裝置。在背光裝置5被固定在背光裝置吸附襯墊47的狀態(tài)下，輔助的固定裝置通過(guò)機(jī)械方式雙重固定該背光裝置5。該輔助的固定裝置包括在平臺(tái)本體42的每一個(gè)角上的一個(gè)通孔45，從背光裝置5的每一個(gè)角穿過(guò)通孔45凸出到平臺(tái)本體42之上的‘T’形連接器52，在平臺(tái)本體42的每個(gè)角上的‘U’形連接件461，該連接件通過(guò)隨氣缸462的運(yùn)動(dòng)而前后運(yùn)動(dòng)的LM導(dǎo)桿463與氣缸462相連接，為的是和‘T’形連接器52的頸部接合。
下面對(duì)基片檢驗(yàn)裝置的操作進(jìn)行說(shuō)明。
在檢驗(yàn)的開(kāi)始階段，檢查平臺(tái)4處在水平位置。在宏觀觀察檢查中，用機(jī)器手(沒(méi)有顯示)把基片G放置到檢查平臺(tái)4的前部，并且當(dāng)氣缸441投入操作時(shí)，定位件443同時(shí)旋轉(zhuǎn)。這樣定位件443就和基片G的外邊緣相接觸并使基片G定位。然后基片吸附襯墊43投入使用，將基片G固定在檢查平臺(tái)4上。
然后，基礎(chǔ)部件2底下的提升氣動(dòng)氣缸9投入運(yùn)行，使操縱板8向上移動(dòng)，與操縱板連接的連接桿7及基座構(gòu)件6也一起向上移動(dòng)，這樣使背光裝置5也上移直到背光裝置5和檢查平臺(tái)4的背面緊密地接觸。在這種情況下，背光裝置5上的連接器52穿過(guò)檢查平臺(tái)4上的通孔45凸出到檢查平臺(tái)4的前部(正面)之上。
然后，通過(guò)背光裝置吸附襯墊47把背光裝置5固定在檢查平臺(tái)4的后部(下面)。與此同時(shí)，氣缸462投入運(yùn)行，‘U’形連接件461插入‘T’形連接器的頸部，這樣背光裝置就被牢固地固定住了。
然后，參照?qǐng)D8，電機(jī)18投入運(yùn)行，使操縱桿17向上轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣連接桿16就使檢查平臺(tái)4圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸41旋轉(zhuǎn)，直到檢查平臺(tái)4傾斜到一定的角度。
在檢查平臺(tái)4旋轉(zhuǎn)并以一定角度傾斜的狀態(tài)下，當(dāng)足夠量的光線被從檢查平臺(tái)的后邊(背面)，由背光裝置5投射到基片G以便檢驗(yàn)該基片時(shí)，用裸眼(肉眼)對(duì)檢查平臺(tái)4上的基片G進(jìn)行任何缺陷的檢查比現(xiàn)有技術(shù)的裝置和方法更容易。
如果由于在宏觀觀察檢查中發(fā)現(xiàn)了缺陷需要進(jìn)行微觀觀察檢查，就反方向旋轉(zhuǎn)電機(jī)18，使操縱桿17向下轉(zhuǎn)動(dòng)，隨著連接桿16的運(yùn)動(dòng)，使檢查平臺(tái)4圍繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸41向下轉(zhuǎn)動(dòng)直到檢查平臺(tái)4達(dá)到水平的位置。當(dāng)釋放固定背光裝置5的背光裝置吸附襯墊47的真空時(shí)，并使‘U’形連接片461向后運(yùn)動(dòng)脫離‘T’形連接器52時(shí)，背光裝置5就被完全分開(kāi)了。
然后，通過(guò)提升氣動(dòng)氣缸9使操縱板8向下運(yùn)動(dòng)，以便向下移動(dòng)連接桿7和基座構(gòu)件6，這樣背光裝置5向下移動(dòng)到初始階段的基礎(chǔ)部件2的頂表面以下。
然后，參照?qǐng)D9，移動(dòng)塊14沿著LM導(dǎo)桿移動(dòng)，直到微觀觀察裝置10中的顯微鏡11移動(dòng)到基片G上的缺陷位置，在此通過(guò)顯微鏡11對(duì)缺陷進(jìn)行準(zhǔn)確地檢查。在這種情況下，當(dāng)移動(dòng)塊14移動(dòng)時(shí)，微觀觀察單元10的發(fā)射照明光源12在檢查平臺(tái)4和背光裝置5之間移動(dòng)，并使發(fā)射照明光線從基片中的缺陷下面投射到缺陷處。
正如前面已經(jīng)說(shuō)明的，由于本發(fā)明的基片檢查裝置在放置待檢基片的檢查平臺(tái)的后部有一個(gè)可分離的背光裝置，能夠在檢查平臺(tái)傾斜時(shí)進(jìn)行宏觀觀察，在背光裝置附著到檢查平臺(tái)后部的狀態(tài)下向檢查平臺(tái)提供足夠的光，使缺陷確認(rèn)變得容易和準(zhǔn)確，并且也能進(jìn)行液晶(即填充有液晶的基片)檢查。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于檢查基片存在的缺陷的裝置，包括一個(gè)位于本體上部的基礎(chǔ)部件；一個(gè)安裝在所述基礎(chǔ)部件上的用于可分離地放置待檢基片的檢查平臺(tái)，所述檢查平臺(tái)有一端能夠圍繞一旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)；一個(gè)用于把所述檢查平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到需要的角度的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置；一個(gè)背光裝置，用于把光從所述檢查平臺(tái)的背面投射到檢查平臺(tái)上的待檢基片上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述背光裝置被固定地安裝在所述檢查平臺(tái)的后部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述背光裝置被固定地安裝在所述基礎(chǔ)部件的頂表面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述背光裝置可以在所述基礎(chǔ)部件上面沿上/下方向移動(dòng)，并且可以可分離地安裝到所述檢查平臺(tái)的后部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，進(jìn)一步包含用于把所述背光裝置安裝到所述檢查平臺(tái)的后部或從檢查平臺(tái)的后部拆分的分離裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述分離裝置是多個(gè)在檢查平臺(tái)后部的吸附襯墊，用于通過(guò)真空固定所述背光裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的裝置，其中所述檢查平臺(tái)包括一個(gè)方形框架式的平臺(tái)本體，在中央部位有一個(gè)小于待檢基片的開(kāi)口；多個(gè)用于使平臺(tái)本體上的基片定位的定位裝置；和一個(gè)用于使基片可分離地固定在所述平臺(tái)本體上的固定裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中所述固定裝置包括多個(gè)沿所述開(kāi)口的外部以固定間隔排列在所述平臺(tái)本體前部上的吸附襯墊，用以通過(guò)真空固定基片的外邊緣。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，進(jìn)一步包括輔助的固定裝置，用于在所述背光裝置被所述分離裝置固定在所述檢查平臺(tái)的后部的情況下，相對(duì)于所述檢查平臺(tái)，可分離地固定所述背光裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述輔助的固定裝置包括多個(gè)在檢查平臺(tái)上的通孔；多個(gè)連接器，每一個(gè)都從背光裝置的前部凸出，這樣當(dāng)背光裝置被固定在檢查平臺(tái)上時(shí)，所述連接器穿過(guò)所述通孔凸出檢查平臺(tái)的前表面；多個(gè)連接機(jī)構(gòu)，每一個(gè)都可移動(dòng)的安裝在所述檢查平臺(tái)的前部，以便與所述連接器接合。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中所述連接器包括具有一個(gè)垂直于所述檢查平臺(tái)的垂直部分和一個(gè)位于所述垂直部分頂部的水平部分的T型連接器，并且所述連接機(jī)構(gòu)包括一個(gè)用于嵌入連接器垂直部分的U型連接件，一個(gè)用于固定所述連接件的一側(cè)的導(dǎo)向部件，和一個(gè)使連接件沿導(dǎo)向部件前后移動(dòng)的汽缸。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，進(jìn)一步包括用于支撐基片的多個(gè)安裝在平臺(tái)本體的開(kāi)口上的支撐部件。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中所述支撐部件包括橫跨所述開(kāi)口安裝的透明支撐桿；和多個(gè)支撐銷(xiāo)，所述支撐銷(xiāo)垂直地沿所述支撐桿以固定間隔安裝，用于在上面放置基片。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其中所述支撐銷(xiāo)是由陶瓷制成的。
15.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的裝置，其中所述背光裝置包括一個(gè)帶有中心開(kāi)口的方形結(jié)構(gòu)；和一組沿著所述結(jié)構(gòu)排列的燈。
16.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，進(jìn)一步包括一個(gè)提升裝置，用于使所述背光裝置上/下運(yùn)動(dòng)而接近或離開(kāi)所述檢查平臺(tái)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其中所述提升裝置包括一個(gè)用于放置所述背光裝置的基座構(gòu)件；和一個(gè)安裝在所述基礎(chǔ)部件上用來(lái)使基座部件上下移動(dòng)的操作部件。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其中所述操作部件包括多個(gè)連接桿，所述連接桿穿過(guò)所述基礎(chǔ)部件并且所述連接桿的頂部固定在所述基座部件上；一個(gè)在基礎(chǔ)部件下面與所述連接桿的下端固定的操縱板；和一個(gè)位于所述基礎(chǔ)部件下面使所述操縱板上下移動(dòng)的汽缸。
19.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的裝置，進(jìn)一步包括一個(gè)可以沿著所述基礎(chǔ)部件的頂部在水平方向運(yùn)動(dòng)的微觀觀察裝置，用于在沿著水平位置放置的檢查平臺(tái)上的基片的頂部移動(dòng)時(shí)能夠?qū)λ龌M(jìn)行觀察；和一個(gè)用于使所述微觀觀察裝置沿所述基礎(chǔ)部件在水平方向前后移動(dòng)的移動(dòng)裝置。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中所述移動(dòng)裝置包括沿著所述基礎(chǔ)部件的對(duì)邊在水平方向相互平行安裝的導(dǎo)軌；用于使微觀觀察裝置水平方向前后運(yùn)動(dòng)的移動(dòng)塊，每個(gè)移動(dòng)塊都具有分別與所述導(dǎo)軌接合的相對(duì)的端部，以便沿著導(dǎo)軌移動(dòng)；和一個(gè)用于使所述移動(dòng)塊移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)裝置包括一個(gè)與導(dǎo)軌平行安裝的滾珠絲杠；一個(gè)可以沿著滾珠絲杠移動(dòng)的螺母部件，所述螺母部件與所述移動(dòng)塊的一側(cè)相連接；和一個(gè)用于旋轉(zhuǎn)所述滾珠絲杠的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的裝置，其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置是一個(gè)線性電機(jī)，包括一個(gè)與導(dǎo)軌平行安裝的定子和一個(gè)動(dòng)子，所述動(dòng)子沿著與所述移動(dòng)塊固定連接的定子移動(dòng)。
23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的裝置，其中，所述微觀觀察裝置包括一個(gè)可移動(dòng)地安裝在所述移動(dòng)塊上用于觀察所述檢查平臺(tái)上的基片的顯微鏡；一個(gè)安裝在所述移動(dòng)塊下部可以在所述檢查平臺(tái)與背光裝置之間移動(dòng)的發(fā)射照明光源，用于把光線從所述檢查平臺(tái)下面向上投射。
24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括至少一個(gè)連接桿，每個(gè)連接桿都有一端分別鉸接到所述檢查平臺(tái)相對(duì)的邊上；至少一個(gè)操縱桿，所述操縱桿的一端鉸接到連接桿的另一端，而所述操縱桿的另一端連接到電機(jī)上，以便被所述電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)而帶動(dòng)所述連接桿運(yùn)動(dòng)。
25.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，進(jìn)一步包括一個(gè)在所述本體與基礎(chǔ)部件之間的振動(dòng)吸收部件，用于吸收外部的振動(dòng)。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的裝置，其中所述振動(dòng)吸收部件是一個(gè)以空氣填充的彈性材料的空氣懸浮結(jié)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于檢查平面基片存在的缺陷的裝置，包括一個(gè)位于本體上部的基礎(chǔ)部件；一個(gè)安裝在基礎(chǔ)部件上的用于可分離地放置待檢基片的檢查平臺(tái)，該檢查平臺(tái)的一端能夠圍繞一旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)；一個(gè)用于把檢查平臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到需要的角度的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置；一個(gè)用于把光從檢查平臺(tái)的后面投射到檢查平臺(tái)上的待檢基片上的背光裝置，從而可以通過(guò)在放置基片的檢查平臺(tái)的后面可分開(kāi)地安裝一背光裝置，以便把光投射到待檢基片的整個(gè)表面上，進(jìn)行宏觀或微觀觀察，從而進(jìn)行更精確的缺陷確認(rèn)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK1548946SQ03153238
公開(kāi)日2004年11月24日 申請(qǐng)日期2003年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月6日
發(fā)明者沈在信, 金珠煥, 李東仁 申請(qǐng)人:De & T株式會(huì)社