專(zhuān)利名稱(chēng)：位置測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及按照權(quán)利要求1確定絕對(duì)位置的一種位置測(cè)量裝置以及按照權(quán)利要求9絕對(duì)位置測(cè)量的一種方法。
在很多領(lǐng)域，使用絕對(duì)位置測(cè)量裝置日益增多，在這種情況由一個(gè)代碼軌跡(Kodespur)用在測(cè)量方向一個(gè)接一個(gè)排列的碼元推導(dǎo)出絕對(duì)位置信息。碼元是以偽隨機(jī)的分布規(guī)定的，致使一定數(shù)量相繼的碼元各形成一個(gè)位模式。在掃描裝置相對(duì)于代碼軌跡移動(dòng)一個(gè)單一碼元時(shí)，就已經(jīng)形成一個(gè)新的位模式，且在整個(gè)要確定的絕對(duì)測(cè)量范圍內(nèi)有一序列不同的位模式供使用。
一個(gè)這類(lèi)的有序代碼被稱(chēng)作為鏈碼或偽隨機(jī)碼。
出版物“Absolute position measurement using opticaldetection of coded patterns”，作者J.T.M.Stevenson und J.R.Jordan發(fā)表在Journal of Physics E/Scientific Instruments21(1988)，No.12中，在1140至1145頁(yè)提出，每個(gè)碼元由具有互補(bǔ)光學(xué)特性的兩個(gè)分區(qū)的一個(gè)規(guī)定序列組成。
在出版物中指出了GB 2 126 444A。在那里，在一個(gè)這類(lèi)Manchester(曼徹斯特)編碼時(shí)為了產(chǎn)生二進(jìn)制信息，推薦將代碼范圍的模擬掃描信號(hào)與一個(gè)規(guī)定的觸發(fā)閾比較并與此有關(guān)產(chǎn)生一個(gè)二進(jìn)制信息0或1。
這個(gè)與一個(gè)固定規(guī)定的觸發(fā)閾的比較有缺點(diǎn)，即在模擬掃描信號(hào)中的起伏能導(dǎo)致錯(cuò)誤地產(chǎn)生二進(jìn)制信息。
因此本發(fā)明的任務(wù)在于，創(chuàng)造一種具有高可靠性或高操作安全性的絕對(duì)位置測(cè)量裝置，用這種裝置就有可能盡可能無(wú)錯(cuò)誤地產(chǎn)生絕對(duì)位置。
該任務(wù)通過(guò)權(quán)利要求1的特征來(lái)解決。
此外，本發(fā)明的任務(wù)還在于，給出確定一個(gè)絕對(duì)位置的一種方法，用該方法使一個(gè)盡可能無(wú)錯(cuò)誤產(chǎn)生二進(jìn)制信息和從而絕對(duì)位置成為可能。
該任務(wù)通過(guò)權(quán)利要求9的特征來(lái)解決。
本發(fā)明的擴(kuò)展方案由從屬權(quán)利要求給出。
本發(fā)明用附圖詳細(xì)闡述，示出的有

圖1一種位置測(cè)量裝置的示意圖；圖2誤差檢驗(yàn)的原理；圖3按照?qǐng)D2用于誤差檢驗(yàn)的信號(hào)圖4用一個(gè)增量軌跡產(chǎn)生控制信號(hào)的一種位置測(cè)量裝置；圖5a增量軌跡的模擬掃描信號(hào)；圖5b按照?qǐng)D5a來(lái)自模擬掃描信號(hào)的控制信號(hào)；圖6a位置測(cè)量裝置的第一掃描位置；圖6b位置測(cè)量裝置的第二掃描位置；圖6c位置測(cè)量裝置的第三掃描位置和圖6d位置測(cè)量裝置的第四掃描位置。
在圖1中，示意示出的是一個(gè)按照本發(fā)明設(shè)計(jì)的位置測(cè)量裝置。該位置測(cè)量裝置按照光學(xué)掃描原理工作，在這個(gè)原理中以透光法掃描代碼C。一個(gè)掃描裝置AE用于掃描代碼C，它布置在沿測(cè)量方向X可相對(duì)于代碼C移動(dòng)。
代碼C由在測(cè)量方向X一個(gè)接一個(gè)排列的相同長(zhǎng)度的碼元C1，C2，C3的序列組成。每個(gè)碼元C1，C2，C3又由兩個(gè)相同長(zhǎng)度的、在測(cè)量方向X并列直接連接排列的分區(qū)A和B組成，它們是互補(bǔ)的。這里互補(bǔ)意味著，它們具有相反特性，即在光學(xué)掃描原理時(shí)是透明的和不透明的或在反射光掃描時(shí)是反射的或不反射的。
有序的代碼C由有一個(gè)光源L的掃描裝置AE掃描，光源的光經(jīng)過(guò)一個(gè)準(zhǔn)直儀透鏡K照射多個(gè)彼此相繼的碼元C1，C2，C3。代碼C與位置有關(guān)地將光進(jìn)行調(diào)制，致使在代碼C的后面形成一個(gè)與位置有關(guān)的光分布，并由掃描裝置AE的一個(gè)探測(cè)裝置D來(lái)收集。
探測(cè)裝置D是一個(gè)行傳感器，具有一個(gè)在測(cè)量方向X排列的探測(cè)器元件D1至D11的序列。在每個(gè)相對(duì)位置單義地至少分配一個(gè)探測(cè)器元件D1至D11給碼元C1，C2，C3的每個(gè)分區(qū)A，B，使在探測(cè)裝置D的每個(gè)相對(duì)位置面對(duì)代碼C從每個(gè)分區(qū)A，B得到一個(gè)掃描信號(hào)S1A至S3A。將這些掃描信號(hào)S1A至S3A輸送給一個(gè)分析處理單元AW，它將一個(gè)碼元C1，C2，C3的兩個(gè)分區(qū)C1A，C1B；C2A，C2B；C2A，C2B；C3A，C3B的兩個(gè)掃描信號(hào)S1A，S1B；S2A，S2B；S3A，S3B各相互進(jìn)行比較，通過(guò)這種比較為每個(gè)碼元C1，C2，C3產(chǎn)生一個(gè)數(shù)字?jǐn)?shù)值或一個(gè)位B1，B2，B3。多個(gè)數(shù)字?jǐn)?shù)值B1，B2，B3的序列得出一個(gè)定義絕對(duì)位置的代碼字CW。在探測(cè)裝置D相對(duì)于代碼C移動(dòng)一個(gè)碼元C1，C2，C3的寬度或長(zhǎng)度時(shí)，產(chǎn)生一個(gè)新的代碼字CW，并經(jīng)過(guò)絕對(duì)要測(cè)量的測(cè)量范圍形成一些不同的代碼字CW。
圖1示出代碼C相對(duì)于掃描裝置AE的一個(gè)瞬時(shí)位置。探測(cè)器元件D1至D11是以代碼C的一個(gè)分區(qū)C1A至C3B的半個(gè)寬度的距離彼此相繼排列的。借此，確保在每個(gè)位置單義地給一個(gè)分區(qū)C1A至C3B至少分配一個(gè)探測(cè)器元件D1至D11，且不掃描兩個(gè)分區(qū)C1A至C3B之間的接頭。在示出的位置中，探測(cè)器元件D1掃描分區(qū)C1A，探測(cè)器元件D3掃描分區(qū)C1B。探測(cè)器元件D1，D3收集光分布，并與光強(qiáng)度有關(guān)產(chǎn)生一個(gè)與光強(qiáng)度成正比的模擬掃描信號(hào)S1A，S1B。因?yàn)閮蓚€(gè)分區(qū)C1A和C1B形成互補(bǔ)，掃描信號(hào)S1A和S1B的強(qiáng)度也就是相互反轉(zhuǎn)的，也就是信號(hào)電平就相互遠(yuǎn)離。
該信號(hào)距離被充分地用來(lái)產(chǎn)生二進(jìn)制信息B1，此時(shí)要檢驗(yàn)碼元C1的兩個(gè)掃描信號(hào)S1A，S1B哪個(gè)較大。該檢驗(yàn)?zāi)芡ㄟ^(guò)求商或求差進(jìn)行。在實(shí)施例中，利用求差，為此按照?qǐng)D1用一個(gè)觸發(fā)組件T1作為比較裝置。如果S1A小于S1B，則觸發(fā)組件T1產(chǎn)生B1＝0，如果S1A大于S1B，則產(chǎn)生B1＝1。以同樣方式，通過(guò)掃描碼元C2，C3和用觸發(fā)組件T2，T3的比較各碼元C2，C3分區(qū)C2A，C2B；C3A，C3B的模擬掃描信號(hào)S2A，S2B；S3A，S3B，得到二進(jìn)制信息B2和B3。
給互補(bǔ)形成的分區(qū)A，B的第一序列分配第一數(shù)字?jǐn)?shù)值，給互補(bǔ)形成的分區(qū)A，B的第二序列分配第二數(shù)字?jǐn)?shù)值。在例中，將值0分配給序列不透明-透明(opak→transparent)和將值1分配給序列透明-不透明(transparent→opak)。
因?yàn)槊總€(gè)碼元C1，C2，C3的兩個(gè)分區(qū)A和B是互補(bǔ)的，所以?huà)呙栊盘?hào)S的信噪比很大。光源L光強(qiáng)度的改變，以同等程度影響兩個(gè)分區(qū)A和B的掃描信號(hào)S。
基于一個(gè)碼元C1，C2，C3各兩個(gè)分區(qū)A，B的互補(bǔ)布置，必須在位置測(cè)量裝置正確運(yùn)行方式時(shí)，通過(guò)掃描這些分區(qū)A，B各產(chǎn)生模擬掃描信號(hào)S，它們的差超過(guò)一個(gè)預(yù)先規(guī)定的值。通過(guò)觀(guān)察該差值，就可能有個(gè)良好的誤差檢驗(yàn)。該誤差檢驗(yàn)的基礎(chǔ)是，能這樣去考慮即在誤差值低于一個(gè)預(yù)先規(guī)定的數(shù)值時(shí)，二進(jìn)制信息B1，B2，B3不可靠，因此要為這個(gè)二進(jìn)制信息B1，B2，B3，產(chǎn)生一個(gè)誤差信號(hào)F1。
產(chǎn)生誤差信號(hào)F1的原理，示于圖2中。將碼元C1的模擬掃描信號(hào)S1A和S1B輸送給一個(gè)誤差檢驗(yàn)裝置P。誤差檢驗(yàn)裝置P通過(guò)求差(S1A-S1B)比較S1A和S1B并檢驗(yàn)，是否差值超過(guò)或沒(méi)超過(guò)一個(gè)預(yù)先規(guī)定的比較值V。如果差值(S1A-S1B)沒(méi)超過(guò)預(yù)先規(guī)定的比較值V，則輸出一個(gè)誤差信號(hào)F1。在圖3中示出了這些信號(hào)關(guān)系。
每個(gè)碼元C1，C2，C3的兩個(gè)分區(qū)A，B在測(cè)量方向X相繼直接并排的排列有個(gè)優(yōu)點(diǎn)，即能將探測(cè)元件D1至D11以一個(gè)微小的距離并排地排列在測(cè)量方向X，因而位置測(cè)量裝置對(duì)探測(cè)裝置D面對(duì)代碼C的偏轉(zhuǎn)，即對(duì)Moire’起伏是不敏感的。此外對(duì)污染的干擾的靈敏度小，因?yàn)槟苓@樣去考慮，即一個(gè)碼元C1，C2，C3的兩個(gè)分區(qū)A，B受的是相同的影響。
在圖1中探測(cè)元件D1和D2的例子上很容易看出，在代碼C向左移動(dòng)一個(gè)分區(qū)A，B的長(zhǎng)度時(shí)，探測(cè)元件D1掃描分區(qū)C1B和探測(cè)元件D3掃描分區(qū)C2A，即兩個(gè)碼元C1，C2的分區(qū)。觸發(fā)組件T1就不能提供分配給一個(gè)碼元C1，C2，C3的二進(jìn)制信息B1，B2，B3。后面要闡述措施，用這些措施確保為了產(chǎn)生代碼字應(yīng)用正確的探測(cè)元件D1至D11，即探測(cè)元件D1至D11各掃描一個(gè)單一碼元C1，C2，C3的分區(qū)。
為此，用圖4至6說(shuō)明一個(gè)優(yōu)選的措施。與代碼C平行，按照?qǐng)D4用相當(dāng)于一個(gè)碼元C1，C2，C3長(zhǎng)度的周期長(zhǎng)度的一個(gè)周期性刻度排列一個(gè)增量軌跡(Inkrementalspur)R。將增量軌跡R以已知的方式，由在測(cè)量方向X至少兩個(gè)相互錯(cuò)位1/4刻度周期的探測(cè)元件DR1、DR2，為產(chǎn)生兩個(gè)相互相位差為90°的模擬掃描信號(hào)SR1，SR2去掃描。將這些模擬掃描信號(hào)SR1，SR2以熟悉的方式內(nèi)插，并將內(nèi)插的位置值與代碼字組合，因此通過(guò)高分辨的增量測(cè)量使粗略的絕對(duì)位置測(cè)量精細(xì)化了。
通過(guò)增量測(cè)量，將每個(gè)碼元C1，C2，C3的長(zhǎng)度內(nèi)插。通過(guò)內(nèi)插值有可能以簡(jiǎn)單方式對(duì)一個(gè)碼元C1，C2，C3的右和左分區(qū)進(jìn)行區(qū)分。為了區(qū)分分區(qū)A和B，一個(gè)4次內(nèi)插，即一個(gè)單次觸發(fā)模擬掃描信號(hào)SR1，SR2就足夠。以這樣的方式從數(shù)字信號(hào)E1，E2得到的位組合，單義地規(guī)定了分區(qū)A，B的順序，它用作為確定探測(cè)元件D1至D11的控制信號(hào)，由探測(cè)元件可產(chǎn)生一個(gè)正確的代碼字CW。于是數(shù)字信號(hào)E1，E2規(guī)定，哪些掃描信號(hào)S要相互比較，并且從哪些掃描信號(hào)S能得到代碼字CW的數(shù)字?jǐn)?shù)值B1，B2，B3。
為了進(jìn)一步闡述該方法，在圖6a至6d中示出了代碼C對(duì)探測(cè)單元D的四個(gè)不同位置P1，P2，P3，P4。探測(cè)元件D1至D11在測(cè)量方向X以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)A，B半個(gè)長(zhǎng)度的距離排列，且每?jī)蓚€(gè)以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)A，B長(zhǎng)度的相互距離排列的探測(cè)元件D1至D11是以差值連接。
在圖6a中示出了位置P1，此時(shí)從增量軌跡R得到信息E1＝0和E2＝0。碼元C1的位B1通過(guò)探測(cè)元件D4和D6的求差，即形成(D4-D6)。在按照?qǐng)D6b的位置P2處，E1＝0和E2＝1，使得通過(guò)一個(gè)控制裝置M選出探測(cè)元件D3和D5。在按照?qǐng)D6c的位置P3處，E1＝1和E2＝1，使得由控制裝置M為了求差選出探測(cè)元件D2和D4。在按照?qǐng)D6d的位置P4處，E1＝1和E2＝0，使得選出探測(cè)元件D1和D3。
為了形成代碼字CW的其它位，以相同的方式確定出正確的探測(cè)元件。如果，例如為了形成位B1選出探測(cè)元件D1和D3，則如圖1所示，探測(cè)元件D5和D7用于形成位B2以及探測(cè)元件D9和D11用于形成位B3。圖1中只示出了在這個(gè)瞬時(shí)位置應(yīng)用的觸發(fā)組件T1，T2，T3。
確定正確探測(cè)元件D1至D11或正確模擬掃描信號(hào)S的另一個(gè)可能性在于，將所有以一個(gè)分區(qū)A，B長(zhǎng)度為距離相互相距的探測(cè)元件D1至D11相互進(jìn)行比較。在一個(gè)碼元C1，C2，C3的距離中，有探測(cè)器對(duì)D1，D3和D5，D7-在圖6d中示出的瞬時(shí)位置P4的例子上-，按照愿望它們各掃描一個(gè)碼元C1，C2分區(qū)A，B的差。其它探測(cè)器對(duì)D3，D5掃描兩個(gè)彼此相繼碼元C1，C2的彼此相繼分區(qū)B，A，從而用圖2中闡述的誤差檢驗(yàn)裝置P產(chǎn)生一個(gè)誤差信號(hào)F1。為了確定正確的探測(cè)元件D1至D11，尋找出現(xiàn)最少誤差信號(hào)F的探測(cè)器組D1，D3；D5，D7。為了實(shí)施該第二種可能的措施，具體要求下面的排列或下列的方法步驟-探測(cè)元件D1至D11在測(cè)量方向X以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)A，B的半個(gè)長(zhǎng)度距離排列；-探測(cè)元件D1至D11用相互距離相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)A，B長(zhǎng)度形成第一組(在圖6a至6d中偶數(shù)編號(hào)的探測(cè)元件D2，D4，D6，D8，D10)；
-探測(cè)元件D1至D11用相互距離相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)A，B長(zhǎng)度形成第二組(在圖6a至6d中奇數(shù)編號(hào)的探測(cè)元件D1，D3，D5，D7，D9)；-第一組的探測(cè)元件D2，D4，D6，D8，D10跟第二組的探測(cè)元件D1，D3，D5，D7，D9相比錯(cuò)位一個(gè)分區(qū)A，B的半個(gè)長(zhǎng)度；-一個(gè)組的直接彼此相繼的探測(cè)元件各以差值連接；-為了形成代碼字CW，由兩個(gè)組在一個(gè)掃描區(qū)中對(duì)應(yīng)于一個(gè)碼元C1，C2，C3的長(zhǎng)度應(yīng)用探測(cè)元件對(duì)的比較結(jié)果，其序列產(chǎn)生的誤差F最少，按照?qǐng)D6d也就是序列(D1-D3)＝B1，(D5-D7)＝B2等等。
每一個(gè)碼元C1，C2，C3的兩個(gè)分區(qū)A，B能是可光學(xué)掃描形成的，此時(shí)一個(gè)分區(qū)A對(duì)于掃描光是透明或反射形成的，另一個(gè)分區(qū)B是不透明的或不反射形成的。但是本發(fā)明并不局限于光學(xué)掃描原理。
絕對(duì)位置測(cè)量裝置，能用于線(xiàn)性或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的測(cè)量，此時(shí)代碼C是在活動(dòng)物體之一上，探測(cè)裝置AE放在另外要測(cè)量的物體上。代碼C此時(shí)能直接放在要測(cè)量的物體上或放在一個(gè)刻度尺上，它然后又與要測(cè)量的物體耦連。
在這種情況，要測(cè)量的物體能是一個(gè)機(jī)床或一個(gè)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)床的工作臺(tái)和滑軌或一個(gè)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)子和定子。
權(quán)利要求
1.位置測(cè)量裝置具有-一個(gè)由一序列在測(cè)量方向X相繼排列的碼元(C1，C2，C3)組成的一個(gè)代碼(C)，每個(gè)碼元(C1，C2，C3)各由兩個(gè)互補(bǔ)的和在測(cè)量方向X彼此相繼排列的分區(qū)(A，B)組成，；-一個(gè)掃描裝置(AE)具有多個(gè)探測(cè)元件(D1至D11)，為了掃描多個(gè)碼元(C1，C2，C3)和為了在被掃描碼元(C1，C2 C3)的每個(gè)分區(qū)(A，B)之內(nèi)形成至少一個(gè)掃描信號(hào)(S)；-一個(gè)分析處理單元(AW)具有一個(gè)比較裝置(T1，T2，T3)，它每次使一個(gè)碼元(C1，C2，C3)分區(qū)(A，B)的掃描信號(hào)(S)互相比較并與比較結(jié)果有關(guān)為碼元(C1，C2，C3)形成一個(gè)二進(jìn)制信息(B1，B2，B3)。
2.如權(quán)利要求1的位置測(cè)量裝置，其中比較裝置(T1，T2，T3)是用于形成一個(gè)碼元(C1，C2，C3)兩個(gè)分區(qū)(A，B)的模擬掃描信號(hào)(S)之差的一種裝置。
3.如權(quán)利要求1或2的位置測(cè)量裝置，其中由彼此相繼的分區(qū)(A，B)的掃描信號(hào)(S)是各輸送給一個(gè)比較裝置(T1，T2，T3)，分析處理單元(AW)有一個(gè)控制裝置(M)，它是為了確保將二進(jìn)制信息(B1，B2，B3)各由一個(gè)碼元(C1，C2，C3)的兩個(gè)分區(qū)(A，B)形成而設(shè)計(jì)的。
4.如權(quán)利要求3的位置測(cè)量裝置，其中至少一個(gè)軌跡(R)平行于代碼(C)排列，它的信息(E1，E2)是輸送給控制裝置(M)的，并在這種情況基于該信息(E1，E2)為了形成二進(jìn)制信息(B1，B2，B3)選出一個(gè)碼元(C1，C2，C3)的彼此相繼的分區(qū)(A，B)的掃描信號(hào)(S)。
5.如權(quán)利要求4的位置測(cè)量裝置，其中信息軌跡(R)是一個(gè)周期性的增量刻度。
6.如上述權(quán)利要求之一的位置測(cè)量裝置，其中分析處理單元(AW)有一個(gè)誤差檢驗(yàn)裝置(P)，它是為了使一個(gè)碼元(C1，C2，C3)分區(qū)(A，B)的掃描信號(hào)(S)之差與一個(gè)標(biāo)定差進(jìn)行比較和在低于標(biāo)定差時(shí)輸出一個(gè)誤差信號(hào)(F1)而設(shè)計(jì)的。
7.如上述權(quán)利要求之一的位置測(cè)量裝置，其中一個(gè)碼元(C1，C2，C3)的兩個(gè)分區(qū)(A，B)具有互補(bǔ)光學(xué)特性。
8.如上述權(quán)利要求之一的位置測(cè)量裝置，其中探測(cè)元件(D1至D11)在測(cè)量方向X以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)(A，B)半個(gè)長(zhǎng)度的距離排列，且各兩個(gè)以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)(A，B)長(zhǎng)度的相互距離排列的探測(cè)元件(D1至D11)以差值連接。
9.具有下列方法步驟用于絕對(duì)位置測(cè)量的方法，-掃描由一序列在測(cè)量方向X相繼排列的碼元(C1，C2，C3)組成的一個(gè)代碼(C)，碼元各由兩個(gè)互補(bǔ)的和在測(cè)量方向X彼此相繼排列的分區(qū)(A，B)組成；-在被掃描碼元(C1，C2，C3)的每個(gè)分區(qū)(A，B)之內(nèi)產(chǎn)生至少一個(gè)掃描信號(hào)(S)；-將碼元(C1，C2，C3)的分區(qū)(A，B)掃描信號(hào)(S)相互進(jìn)行比較和-由比較形成一個(gè)二進(jìn)制信息(B1，B2，B3)。
10.如權(quán)利要求9的方法，其中比較是分區(qū)(A，B)模擬掃描信號(hào)(S)的求差。
11.如權(quán)利要求9或10之一的方法，用方法步驟-比較各直接彼此相繼的分區(qū)(A，B)的掃描信號(hào)(S)并選擇各通過(guò)掃描一個(gè)代碼字(C1，C2，C3)分區(qū)(A，B)形成的掃描信號(hào)(S)。
12.如權(quán)利要求11的方法，其中選擇是通過(guò)一個(gè)控制信號(hào)(E1，E2)進(jìn)行，該信號(hào)是通過(guò)掃描至少一個(gè)信息軌跡(R)得到的。
13.如上述權(quán)利要求9至12之一的方法，其中形成一個(gè)碼元(C1，C2，C3)的分區(qū)(A，B)掃描信號(hào)(S)之差，將該差值與一個(gè)標(biāo)定差值比較并在低于標(biāo)定差值時(shí)形成一個(gè)誤差信號(hào)(F1)。
14.如上述權(quán)利要求9至11之一的方法，其中探測(cè)元件(D1至D11)在測(cè)量方向X以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)(A，B)半個(gè)長(zhǎng)度的距離排列，且各由兩個(gè)以相當(dāng)于一個(gè)分區(qū)(A，B)長(zhǎng)度的相互距離排列的探測(cè)元件(D1至D11)以差值連接。
15.如權(quán)利要求14的方法，其中將差值各與一個(gè)標(biāo)定差值比較并在低于標(biāo)定差值時(shí)形成一個(gè)誤差信號(hào)(F1)，將通過(guò)求差值得到的探測(cè)元件對(duì)的二進(jìn)制信息(B1，B2，B3)，為了形成代碼字CW在一個(gè)掃描區(qū)中根據(jù)一個(gè)碼元(C1，C2，C3)的長(zhǎng)度選出，其序列產(chǎn)生誤差(F)最少。
全文摘要
用本發(fā)明給出一種位置測(cè)量裝置，在這種情況，一個(gè)有序偽隨機(jī)代碼(C)的每個(gè)碼元(C1，C2，C3)由兩個(gè)在測(cè)量方向X上彼此相繼的分區(qū)(A，B)組成，該兩個(gè)分區(qū)有互補(bǔ)特性。一個(gè)碼元(C1，C2，C3)的二進(jìn)制信息(B1，B2，B3)是通過(guò)比較兩個(gè)分區(qū)(A，B)的掃描信號(hào)(S)得到的。通過(guò)這種比較也可檢驗(yàn)位置測(cè)量裝置正確的運(yùn)行方式。
文檔編號(hào)G01D5/36GK1615428SQ02827291
公開(kāi)日2005年5月11日 申請(qǐng)日期2002年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月17日
發(fā)明者E·施特拉澤爾, R·米特曼 申請(qǐng)人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司