專利名稱：利用離子遷移譜測(cè)定法測(cè)量氦中雜質(zhì)濃度的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用離子遷移譜測(cè)定法測(cè)量氦中雜質(zhì)濃度的方法。
氦在集成電路工業(yè)中被廣泛用作反應(yīng)介質(zhì)或輸送氣體。正如已知的，在生產(chǎn)這些元件時(shí)所應(yīng)用的所有反應(yīng)物的純度是非常重要的；事實(shí)上，可能存在于反應(yīng)物中或反應(yīng)環(huán)境中的污染物可能被引入固體元件中，因而改變其電性能并產(chǎn)生生產(chǎn)廢品。在生產(chǎn)中應(yīng)用的氣體的純度的規(guī)格可能隨生產(chǎn)廠商而變化，并且取決于所采用的具體方法。通常，當(dāng)氣體的雜質(zhì)含量低于10ppb(十億分之一份)時(shí)，則認(rèn)為該氣體用于生產(chǎn)是可以接受的；所述雜質(zhì)含量?jī)?yōu)選低于1ppb。因此能夠精確且可重復(fù)地測(cè)量氣體中極低濃度的雜質(zhì)是很重要的。
可用于此目的的技術(shù)是離子遷移譜測(cè)定法，在本領(lǐng)域中縮寫為IMS；相同的縮寫也用于實(shí)施該技術(shù)的儀器，在這種情況下表示“離子遷移譜測(cè)定儀”。對(duì)該技術(shù)的興趣源于其極高的靈敏度，及所述儀器的有限的尺寸和費(fèi)用；在適當(dāng)條件下操作，該儀器有可能檢測(cè)到氣體介質(zhì)中以微微克(pg，即10-12克)數(shù)量級(jí)的量或以萬(wàn)億分之一份(ppt，相當(dāng)于每1012樣品的氣體分子中一個(gè)被分析物質(zhì)的分子)量級(jí)的濃度存在的氣體或蒸汽物質(zhì)。IMS儀器以及應(yīng)用這些儀器的分析方法在以美國(guó)PCP Inc公司名義的USA 5,457,316和US 5,955,886中有述。
IMS儀器主要由反應(yīng)區(qū)、分離區(qū)和帶電粒子收集器組成。
在反應(yīng)區(qū)通常利用63Ni發(fā)出的β-射線使輸送氣體中的樣品發(fā)生電離，所述樣品含有所要分析的氣體或蒸汽。電離主要發(fā)生在輸送氣體上，形成所謂的“反應(yīng)物離子”，然后這些反應(yīng)物離子所帶的電荷作為其電子或質(zhì)子親和性或其電離電勢(shì)的函數(shù)分配在所存在的物質(zhì)上。
所述反應(yīng)區(qū)利用一個(gè)格柵與分離區(qū)分開，所述格柵當(dāng)保持在適當(dāng)?shù)碾妱?shì)時(shí)，阻止在反應(yīng)區(qū)產(chǎn)生的離子進(jìn)入分離區(qū)。當(dāng)格柵的電勢(shì)被取消時(shí)，可以允許離子進(jìn)入分離區(qū)，此時(shí)為分析的“時(shí)間零點(diǎn)”。
所述分離區(qū)包括一系列電極，這些電極產(chǎn)生電場(chǎng)，從而將離子從反應(yīng)區(qū)帶到收集器。該區(qū)域保持在大氣壓下，在該區(qū)域中存在與離子運(yùn)動(dòng)方向相反的氣流。相對(duì)于其雜質(zhì)含量需要確定的氣體來(lái)說(shuō)，通常這種逆流氣體(在本領(lǐng)域中定義為“漂移氣體(drift gas)”)是極純的氣體。離子的運(yùn)動(dòng)速度取決于電場(chǎng)和氣體介質(zhì)中相同離子的截面積，從而不同的離子花費(fèi)不同的時(shí)間通過(guò)分離區(qū)并到達(dá)粒子收集器。從時(shí)間零點(diǎn)至到達(dá)粒子收集器的時(shí)刻所經(jīng)過(guò)的時(shí)間稱為“飛行時(shí)間”。所述收集器與信號(hào)處理系統(tǒng)相連，所述信號(hào)處理系統(tǒng)在最終圖線中作為時(shí)間函數(shù)轉(zhuǎn)化所檢測(cè)到的電流值，在最終圖線中作為飛行時(shí)間的函數(shù)給出對(duì)應(yīng)各種離子的峰；已知測(cè)試條件，通過(guò)確定該時(shí)間就有可能確定分析目標(biāo)物質(zhì)的存在，而應(yīng)用適當(dāng)算法計(jì)算峰面積可能計(jì)算相應(yīng)物質(zhì)的濃度。
盡管其概念很簡(jiǎn)單，但該技術(shù)的應(yīng)用在解釋分析結(jié)果時(shí)遇到相當(dāng)大的困難。首先這是由于凈電荷在存在的各種物質(zhì)中的分布是平衡結(jié)果，而這種平衡取決于各種因素，其結(jié)果是由于其它雜質(zhì)的存在，對(duì)應(yīng)于一種雜質(zhì)的峰在強(qiáng)度上可能被改變，或甚至消失?？梢詤⒖加蒀RC Press于1994年出版的G.A.Eiceman和Z.Karpas的書《離子遷移譜測(cè)定法》(“Ion Mobility Spectrometry”)，用來(lái)描述電荷輸送原理(相當(dāng)復(fù)雜)，而該原理是該技術(shù)的基礎(chǔ)。另外，對(duì)于相同化學(xué)組成的氣體，其結(jié)果取決于分析參數(shù)，例如在分離區(qū)所應(yīng)用的電場(chǎng)、需要分析的氣體的流量以及漂移氣體的流量。
作為這些現(xiàn)象的結(jié)果，由IMS分析形成的圖線的形狀強(qiáng)烈依賴于分析條件。用于解釋分析結(jié)果的算法是以全部圖線的重疊以及所存在的所有峰的面積的相對(duì)測(cè)量為基礎(chǔ)的。當(dāng)所存在的每種離子物質(zhì)都在圖線中得到單獨(dú)的峰時(shí)，則得到最好的結(jié)果。當(dāng)有些峰重疊時(shí)，雖然有很大困難，但仍可能進(jìn)行分析；在這些情況下必須求助于在不同種物質(zhì)間重新分配峰面積的假設(shè)，這無(wú)論無(wú)何都有在分析中引入誤差的危險(xiǎn)。最后，當(dāng)對(duì)應(yīng)于不同物質(zhì)的峰之間存在著大量重疊時(shí)，IMS分析(以及定性的)是不可能的。
因?yàn)楝F(xiàn)象的復(fù)雜性在起作用，沒(méi)有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)方法來(lái)應(yīng)用IMS技術(shù)，并且每種分析必須單獨(dú)研究，從而定義可以得到所有峰良好分離的操作條件，而所有峰對(duì)應(yīng)于分析時(shí)在氣體中可能存在的不同物質(zhì)。
本發(fā)明的目的是提供一種利用離子遷移譜測(cè)定法測(cè)量氦中雜質(zhì)濃度的方法。
該目的按照本發(fā)明利用一種方法來(lái)實(shí)現(xiàn)，所述方法包括按如下條件之一進(jìn)行分析-應(yīng)用其雜質(zhì)含量需要確定的氦和純氬形成的氦-氬混合物作為樣品氣體，所述混合物含有0.1-50％氬，并且在離子遷移譜測(cè)定儀的分離區(qū)中使用純氦作為逆流氣體；或者-應(yīng)用其雜質(zhì)含量需要確定的氦或其與純氬的混合物作為樣品氣體，所述混合物含有0.1-50％氬，并且在離子遷移譜測(cè)定儀的分離區(qū)中使用純氦作為逆流氣體；或者-應(yīng)用其雜質(zhì)含量需要確定的氦和純氬的混合物作為樣品氣體，并且用不含雜質(zhì)的氦-氬混合物作為逆流氣體，其中所述混合物的氬濃度為10-80％。
在下文中將參照附圖描述本發(fā)明，其中-

圖1示意性給出了一種可能用于形成適合于本發(fā)明分析的氦-氬混合物的系統(tǒng)；-圖2-6給出了按本發(fā)明進(jìn)行的IMS分析的結(jié)果，以及未按本發(fā)明條件進(jìn)行的分析的結(jié)果。
進(jìn)行IMS分析的標(biāo)準(zhǔn)方法需要應(yīng)用與樣品中的主要?dú)怏w相同的氣體(明顯為純氣體)作為漂移氣體，其中樣品的雜質(zhì)含量需要確定。
相反，發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在分析氦中的雜質(zhì)時(shí)，僅按照上述一種條件操作就可以得到其中對(duì)應(yīng)于各種雜質(zhì)的峰明顯分離的圖線，從而可以如前面討論的進(jìn)行可靠的定量分析。
很明顯，在本發(fā)明的所有分析條件下，所應(yīng)用的不純氣體只是其雜質(zhì)含量需要確定的氦，而所有其它氣體(樣品氣體或漂移氣體的氬)必須是純的，從而不引入雜質(zhì)，而雜質(zhì)會(huì)改變分析結(jié)果。
按本發(fā)明操作的第一種可能性包括應(yīng)用純氦作為漂移氣體，并且應(yīng)用氬和其雜質(zhì)含量需要確定的氦的混合物作為樣品氣體，所述混合物含有0.1-50％氬。
在此條件下，以樣品混合物的少量組分存在的氬的作用主要是改進(jìn)電離過(guò)程，從而形成和檢測(cè)對(duì)應(yīng)于雜質(zhì)的峰。
當(dāng)按照該第一種條件進(jìn)行操作時(shí)，樣品氣體和漂移氣體之間的流量比并不固定，且可以為任意值，只要不達(dá)到過(guò)量稀釋樣品氣體的極端情況即可，樣品氣體過(guò)量稀釋會(huì)降低分析方法的靈敏度。
按照本發(fā)明的第二種操作條件，其雜質(zhì)含量需要確定的氦或其與氬的混合物被用作樣品氣體，而純氬被用作漂移氣體。在這種情況下，可能的樣品混合物也含有0.1-50％氬。
按該第二種方式進(jìn)行操作，優(yōu)選的是漂移氣體的流量(在下文亦表示為Fd)要比樣品氣體的流量(在下文亦表示為Fc)高至少10倍；甚至更優(yōu)選地，F(xiàn)d/Fc的比在約15-20之間。在Fd/Fc比值低于10操作時(shí)，將會(huì)得到很差的雜質(zhì)峰的分離，而當(dāng)在所述比值太高時(shí)操作時(shí)，例如高于20時(shí)，將會(huì)發(fā)生樣品的過(guò)量稀釋，從而損害了分析的靈敏度。
最后，按照本發(fā)明的最后一種操作條件，樣品氣體和漂移氣體為氬濃度在10-80％之間的兩種氦-氬混合物當(dāng)在更低值操作時(shí)，對(duì)應(yīng)于各種物質(zhì)的峰的分離不足以滿足定量分析的目的，而在更高值操作時(shí)，樣品氣體中氦的量被過(guò)分降低，從而分析結(jié)果靈敏度很差。在該范圍內(nèi)，混合物的氬濃度為30-40％時(shí)得到最好的結(jié)果。
在這種情況下，樣品氣體與漂移氣體的流量比與結(jié)果無(wú)關(guān)，通常保持為約1∶2的值。
在這種操作條件下應(yīng)用的氦/氬混合物可以應(yīng)用任何混合系統(tǒng)混合純氬與所要分析的氦(對(duì)于樣品氣體)或純氦(對(duì)于漂移氣體)來(lái)制備；例如，可以采用基于應(yīng)用質(zhì)量流量計(jì)的標(biāo)定系統(tǒng)，或采用包括已經(jīng)標(biāo)定和已知?dú)怏w電導(dǎo)率的收縮元件(narrowings)的系統(tǒng)，如在意大利專利申請(qǐng)M12000A-002708中以申請(qǐng)人名義描述的系統(tǒng)。用作漂移氣體的混合物也可以在市場(chǎng)上由出售純氣體的公司找到。樣品混合物和用作漂移氣體的混合物不需要具有相同的氬濃度；但這可能是一種優(yōu)選條件，因?yàn)閷?duì)于混合氣流來(lái)說(shuō)其需要對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行更少的數(shù)值控制。
樣品氣體和漂移氣體由相同混合物開始形成也是可能的。對(duì)于實(shí)施這種實(shí)施方案來(lái)說(shuō)可以采用圖1所示的系統(tǒng)。在所述系統(tǒng)10中，來(lái)自管線11的含有雜質(zhì)的氦流與來(lái)自管線12的純氬流混合；所希望的混合比(例如He∶Ar＝50∶50)應(yīng)用通常由C表示的流量控制元件得到。混合物在管線13中形成，而管線13隨后被分為兩個(gè)二級(jí)管線13’和13”。管線13’的混合物部分(含有最初存在于氦中的雜質(zhì))不經(jīng)過(guò)進(jìn)一步處理就被送入IMS儀器15的反應(yīng)區(qū)14中。而管線13”的混合物部分被送入純化系統(tǒng)16中，在其中脫除混合物中存在的所有雜質(zhì)，并隨后送入儀器15的分離區(qū)17，形成分析的漂移氣體。
所述純化系統(tǒng)可以由一個(gè)或多個(gè)串聯(lián)的純化器構(gòu)成。所述純化器可以為一種通?；阡喕蜮伒奈鼩鈩┖辖?，所述吸氣劑合金保持在約250-500℃的溫度下；采用吸氣劑合金的純化器為許多專利公開的主題，其中如US-A-4,942,019、US-A-5,080,875、US-A-5,182,089、US-A-5,238,469、US-A-5,492,682、US-A-5,556,603、US-A-5,558,844、US-A-5,968,468和US-A-6,086,685、以及EP-B-470,936、EP-B-484,301和EP-B-493,347。另外可以應(yīng)用在環(huán)境溫度下工作的純化器，例如基于鎳的純化器，所述鎳通常分散于多孔載體如沸石或氧化鋁上，其能夠吸收很寬范圍的氣體，具體為水、氧、一氧化碳、二氧化碳和氫?；阪嚨募兓鲀?yōu)選與催化材料組合應(yīng)用，所述催化材料用于將物質(zhì)中某些氣體轉(zhuǎn)化為可能更容易被吸收的物質(zhì)；例如，可以應(yīng)用溫度保持在約200-400℃之間的鈀氧化物床層，所述床層能夠?qū)⒓淄檗D(zhuǎn)化為二氧化碳和水，然后二氧化碳和水被載帶的金屬鎳吸收。然后可以針對(duì)某些氣體應(yīng)用專門的純化器，例如在專利US-A-5,716,588中描述的從氨中脫除氧化物的純化器，或在專利申請(qǐng)EP-A-960,647中描述的水的選擇性純化器；這些專門的純化器通常與能夠脫除前面描述的幾種氣體的純化器組合使用。最后，到現(xiàn)在為止所描述的純化器可以與包含其它材料的純化器組合使用，其中所述其它材料能夠在室溫下物理吸收氣體，例如分子篩，其能夠脫除部分水或某些烴，因而延長(zhǎng)主要純化器的壽命。
本發(fā)明通過(guò)下述實(shí)施例進(jìn)一步描述。
測(cè)試結(jié)果以圖線的形式給出，其中的峰作為以毫秒(ms)為單位的相應(yīng)離子的飛行時(shí)間的函數(shù)存在；所述峰面積對(duì)應(yīng)于不同離子的濃度。這些離子通常為復(fù)合物，其可能包括電離氣體的一個(gè)或多個(gè)分子，并且可能與輸送氣體的多個(gè)中性分子相聯(lián)為了簡(jiǎn)化起見，在圖中主要的峰用形成它們的物質(zhì)的分子通式標(biāo)識(shí)，而不用實(shí)際對(duì)應(yīng)的復(fù)合離子的通式標(biāo)識(shí)。峰的強(qiáng)度以伏特(V)給出；利用電子儀器使通過(guò)檢測(cè)器直接測(cè)量到的電流(單位時(shí)間內(nèi)碰撞收集器的離子數(shù))轉(zhuǎn)化為電壓。樣品的電離利用63Ni的放射源進(jìn)行。所利用的儀器的分離區(qū)長(zhǎng)8cm；在所有測(cè)試中所應(yīng)用的電場(chǎng)均等于128V/cm。
實(shí)施例1本實(shí)施例代表本發(fā)明的第一種分析條件。
針對(duì)含有5％氬的氦-氬混合物進(jìn)行IMS分析，并利用基于應(yīng)用質(zhì)量流量計(jì)的標(biāo)定系統(tǒng)向其中加入4ppb二氧化碳(CO2)。所述測(cè)試應(yīng)用純氦作為漂移氣體在80℃下進(jìn)行；樣品氣體和漂移氣體之間的流量比等于1。測(cè)試結(jié)果在圖2的圖線中以曲線a給出(圖中最細(xì)的線)。作為比較，在圖中還給出了在相同條件下應(yīng)用未加入CO2的氬-氦混合物作為樣品氣體進(jìn)行分析的結(jié)果(曲線b，最粗的線)。
實(shí)施例2本實(shí)施例代表本發(fā)明的第二種分析條件。
針對(duì)含有CO2、一氧化碳(CO)、氧(O2)和甲烷(CH4)作為故意加入的雜質(zhì)的氦進(jìn)行IMS分析，并將約2ppb氫(H2)和2ppb水(H2O)作為系統(tǒng)的“背景”雜質(zhì)，該背景雜質(zhì)是很難排除的。所述測(cè)試應(yīng)用純氬作為漂移氣體在80℃下進(jìn)行；樣品氣體的流量等于0.25l/min，漂移氣體的流量等于4l/min，從而Fd/Fc比為16。測(cè)試結(jié)果在圖3的圖線中以曲線c給出(圖中最粗的線)。
實(shí)施例3重復(fù)實(shí)施例2的測(cè)試，但漂移氣體的流量為2l/min，F(xiàn)d/Fc比為8。測(cè)試結(jié)果在圖3中以曲線d給出(圖中最細(xì)的線)。
實(shí)施例4本實(shí)施例代表本發(fā)明的第二種分析條件。
應(yīng)用含有5％氬并含有故意加入的CO、CO2、O2和CH4雜質(zhì)以及H2和H2O作為“背景”雜質(zhì)的氦-氬混合物作為樣品氣體進(jìn)行IMS分析。所述測(cè)試應(yīng)用純氬作為漂移氣體在80℃下進(jìn)行；樣品氣體的流量等于0.25l/min，漂移氣體的流量等于4l/min，從而Fd/Fc比為16。測(cè)試結(jié)果在圖4的圖線中給出。
實(shí)施例5本實(shí)施例代表本發(fā)明的第三種分析條件。
應(yīng)用包含鎳基純化器的圖1所示的氣體管線系統(tǒng)，形成含有32％氬的兩股氦-氬混合物。將來(lái)自于含有純化器的管線的混合物用作漂移氣體，而將另一個(gè)含有故意加入的雜質(zhì)CH4且以最初存在于氦中的H2O和H2作為“背景”雜質(zhì)的混合物作為樣品氣體。Fd/Fc比為1。測(cè)試結(jié)果在圖5的圖線中給出。
實(shí)施例6(比較)應(yīng)用含有約2ppb H2O和5ppb H2雜質(zhì)的氦作為樣品氣體并以純氦作為漂移氣體進(jìn)行IMS測(cè)試，其中H2O代表很難排除的系統(tǒng)基線，而H2是故意加入的。所述測(cè)試在Fd/Fc比為1時(shí)在80℃下進(jìn)行。測(cè)試結(jié)果在圖6的圖線中以曲線e給出(細(xì)線)。然后不加入氫重復(fù)測(cè)試(圖6中較粗的線f)。
從這些測(cè)試結(jié)果可以看出，通過(guò)在本發(fā)明的各種條件下操作，可能得到圖線中不同雜質(zhì)的峰明顯分開的IMS分析結(jié)果圖；因而這些圖線適于進(jìn)行面積估算，并因而進(jìn)行定量分析。
具體地，可以注意到按本發(fā)明第一種條件進(jìn)行操作(實(shí)施1和圖2)時(shí)，在存在雜質(zhì)CO2時(shí)，出現(xiàn)很好定義且易于辨認(rèn)的峰。
按本發(fā)明第二種條件進(jìn)行操作(實(shí)施例2-4，圖3和4)時(shí)，可能得到多種雜質(zhì)峰的分離；具體地，當(dāng)僅用氦作為樣品氣體時(shí)，漂移氣體與樣品氣體之間的流量比較高時(shí)可以得到最好的結(jié)果(比較圖3的曲線c和d)。
最后，按本發(fā)明第三種條件(氦-氬混合物作為樣品氣體和漂移氣體)操作時(shí)，從峰的分離的角度來(lái)說(shuō)，得到了好的結(jié)果，其中這些峰可以歸因于所存在的不同雜質(zhì)。
相反，當(dāng)不按本發(fā)明條件(樣品氣體由氦和雜質(zhì)形成，而用純氦作為漂移氣體)時(shí)，在雜質(zhì)為氫的情況下，所得到的譜圖很難解釋，并由多個(gè)很難歸類的峰組成，從而實(shí)際上無(wú)法進(jìn)行歸于各類物質(zhì)的面積計(jì)算以及隨后的定量分析。
權(quán)利要求
1.一種利用離子遷移譜測(cè)定法測(cè)量氦中雜質(zhì)濃度的方法，其中所述方法包括按如下條件之一進(jìn)行分析-應(yīng)用其雜質(zhì)含量需要確定的氦和純氬形成的氦-氬混合物作為樣品氣體，所述混合物含有0.1-50％氬，并且在離子遷移譜測(cè)定儀的分離區(qū)中使用純氦作為逆流氣體；或者-應(yīng)用其雜質(zhì)含量需要確定的氦或其與純氬的混合物作為樣品氣體，所述混合物含有0.1-50％氬，并且在離子遷移譜測(cè)定儀的分離區(qū)中使用純氦作為逆流氣體；或者-應(yīng)用其雜質(zhì)含量需要確定的氦和純氬的混合物作為樣品氣體，并且用不含雜質(zhì)的氦-氬混合物作為逆流氣體，其中所述混合物的氬濃度范圍為10-80％。
2.權(quán)利要求1的方法，其中當(dāng)氦或其混合物作為樣品氣體且純氬作為逆流氣體時(shí)，逆流氣體流量與樣品氣體流量之間的比等于或大于10。
3.權(quán)利要求2的方法，其中所述比在15-20之間。
4.權(quán)利要求1的方法，其中當(dāng)使用兩種氦-氬混合物作為樣品氣體和逆流氣體時(shí)，所述混合物的氬濃度在30-40％之間。
5.權(quán)利要求1的方法，其中當(dāng)使用兩種氦-氬混合物作為樣品氣體和逆流氣體時(shí)，所述混合物具有相同的氬濃度。
6.權(quán)利要求5的方法，其中所述混合物應(yīng)用系統(tǒng)(10)得到，在所述系統(tǒng)(10)中，來(lái)自管線(11)的含有雜質(zhì)的氦流與來(lái)自管線(12)的純氬流在管線(13)中混合，利用流量控制元件(C)檢查混合比；隨后將如此得到的混合物分為兩部分，這兩部分被輸送到兩個(gè)二級(jí)(13’、13”)中；將第一個(gè)所述二級(jí)管線(13’)中的氣體部分不經(jīng)過(guò)進(jìn)一步處理輸送到IMS儀器(15)的反應(yīng)區(qū)(14)中；并且將第二個(gè)所述二級(jí)管線(13”)中的氣體部分輸送到純化系統(tǒng)(16)中，以脫除存在于這部分混合物中的所有雜質(zhì)，并且隨后作為逆流氣體輸送到IMS儀器(15)的分離區(qū)(17)中。
7.權(quán)利要求6的方法，其中所述純化系統(tǒng)(16)包括一個(gè)純化器，所述純化器含有基于鋯或鈦的吸氣劑合金。
8.權(quán)利要求6的方法，其中所述純化系統(tǒng)(16)包括一個(gè)基于鎳的純化器。
9.權(quán)利要求8的方法，其中所述純化系統(tǒng)(16)進(jìn)一步包括一個(gè)鈀氧化物的催化床層。
全文摘要
描述了一種利用離子遷移譜測(cè)定法定量分析氦中雜質(zhì)濃度的方法，其中所述方法包括應(yīng)用純化后的氬與所要分析的氦一起形成樣品，或者在儀器的分離區(qū)中使用純氬作為逆流氣體，或者最終將氦－純化后的氬的混合物同時(shí)作為樣品氣體和逆流氣體。
文檔編號(hào)G01N27/64GK1484763SQ02803512
公開日2004年3月24日 申請(qǐng)日期2002年1月8日 優(yōu)先權(quán)日2001年1月8日
發(fā)明者L·普斯特拉, M·蘇斯, A·博努斯, R·斯蒂麥克, L 普斯特拉, 俾罌 申請(qǐng)人:工程吸氣公司