專利名稱：檢查部件及基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢查電路連接線的檢查部件等。
對(duì)電路連接線供給并檢測(cè)檢查信號(hào)的方法，大致可分為兩類與電路連接線相接觸而供給、檢測(cè)檢查信號(hào)的接觸式、以及不接觸電路連接線而檢測(cè)檢查信號(hào)的非接觸式。
接觸式的檢查方法是眾所周知的，由具有導(dǎo)電性的探頭器件構(gòu)成的探針(Probe)與電路連接線接觸，通過(guò)該探針進(jìn)行檢查信號(hào)的供給、檢測(cè)等。
另一方面，非接觸式的檢查方法，大致分為兩種一種為通過(guò)電路連接線和感應(yīng)電極之間的電容耦合，對(duì)供給至電路連接線的檢查信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)；另一種則是對(duì)供給至電路連接線的檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)。
參照?qǐng)D8說(shuō)明前者按照電容耦合進(jìn)行檢查的原理。圖8(a)是表示電容耦合的檢查原理。
由信號(hào)源102向作為檢查對(duì)象的電路連接線100的一個(gè)端部供給檢查信號(hào)。而在電路連接線100的另一端部配置有未接觸于電路連接線100的電極101。因?yàn)樾盘?hào)源102產(chǎn)生交流信號(hào)作為檢查信號(hào)，所以將交流信號(hào)供給至作為檢查對(duì)象的電路連接線100。而且，采用隨時(shí)間變化的信號(hào)(例如電壓變化的頻率為在1kHz～10MHz之間)作為檢查信號(hào)，另外也可采用脈沖狀信號(hào)代替交流信號(hào)。
在此，電極101和電路連接線100的另一個(gè)端部，處于電性的電容耦合狀態(tài)，構(gòu)成電容。從而，圖8(a)的等效電路就成為圖8(b)。因此，例如電路連接線100沒(méi)有發(fā)生斷線的話，由信號(hào)源102供給至電路連接線100的檢查信號(hào)的相應(yīng)信號(hào)就會(huì)出現(xiàn)在電極101，可以檢測(cè)到檢查信號(hào)，但是若電路連接線100斷線的話，電極101上就幾乎沒(méi)有信號(hào)出現(xiàn)，由此，可判定電路連接線100是否有斷線。
而且，上述電極101，雖然是專門用來(lái)檢測(cè)檢查信號(hào)的，只要把信號(hào)源102連接在電極101上，即可按照同樣的原理，將檢查信號(hào)供給至電路連接線100。即，電極101可以用于檢查信號(hào)的檢測(cè)，也可用于供給檢查信號(hào)。
該檢查方式優(yōu)點(diǎn)為因?yàn)椴⑽唇佑|電路連接線，所以不會(huì)對(duì)電路連接線造成損傷，并且，也能夠適應(yīng)細(xì)微的電路連接線。
下面，參照?qǐng)D9和

圖10說(shuō)明檢測(cè)電磁場(chǎng)的檢查原理。圖9和圖10，是表示該檢查原理的圖。
通常在將作為檢查對(duì)象的電路連接線端部連接于稱為短路棒等的短路連接線的情況下，采用檢測(cè)電磁場(chǎng)的檢查方式。在圖9中，作為檢查對(duì)象的電路連接線112的端部連接于短路連接線111。
在此，如圖9所示，若在相鄰連接的2個(gè)電路連接線112之間賦予電位差，就會(huì)產(chǎn)生電流113，流經(jīng)這些電路連接線112和短路連接線111。于是，被這些電路連接線112和短路連接線111圍成大致コ字型的區(qū)域內(nèi)，因電流113而產(chǎn)生電磁場(chǎng)114。
而且，使用線圈、霍爾器件等所構(gòu)成的磁性感應(yīng)器檢測(cè)該電磁場(chǎng)114，由此檢查賦予電位差的兩電路連接線112的缺陷。具體地說(shuō)，例如，如圖10所示，電路連接線112之間，若發(fā)生因線115而短路之類的缺陷，圖9的電流113就會(huì)分流到線115，造成電流113a和113b流動(dòng)，因此產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于此的電磁場(chǎng)114a和114b。
此時(shí)，電路連接線發(fā)生缺陷的圖10的電磁場(chǎng)114a或者電磁場(chǎng)114b、和正常的圖9的電磁場(chǎng)114相比較，因?yàn)榍罢叩碾娏?13a或者電流113b比較小，所以其電磁場(chǎng)也比較弱。因此，只要對(duì)作為檢查對(duì)象的兩個(gè)電路連接線112和短路連接線111所大致包圍的區(qū)域內(nèi)的電磁場(chǎng)強(qiáng)度、分布等進(jìn)行檢測(cè)，由此可檢測(cè)出電路連接線是否發(fā)生缺陷。
這樣，電路連接線的檢查方法，已經(jīng)有各種提案，按照所檢查電路連接線的不同而使用不同的檢查方法。
另一方面，在實(shí)施這些電路連接線的檢查方法時(shí)，與所檢查的電路連接線相對(duì)應(yīng)，使用被稱為’夾具’的檢查部件，其配置有探針、電極等，在合并數(shù)種檢查方法的情況下，使用含有需要的探針、電極等混合存在的檢查部件。圖7(a)是現(xiàn)有技術(shù)的檢查部件200的示意圖，檢查部件200具有接觸檢查用的探針、和非接觸檢查中的利用電容耦合的檢查用的電極。
檢查部件200具備有基礎(chǔ)基盤201；堆棧在基礎(chǔ)基盤201上的加強(qiáng)板202；突出于加強(qiáng)板202表面的多個(gè)探針部203；設(shè)置在加強(qiáng)板202表面的電極部204。作為檢查對(duì)象的電路基板被放置在基盤202上，檢查部件200的定位插銷205插入電路基板206上的孔穴內(nèi)，由此，可使檢查部件200配置在電路基板上。
圖7(b)是表示探針部203外圍構(gòu)造的檢查部件200的剖面圖。探針部203具備有探針主體203a；容納探針主體203a后端部分的套管203b；以及將探針主體203a向其軸方向彈性地推動(dòng)的彈簧203c。
套管203b被安裝在基礎(chǔ)基盤201上，探針主體203a處于通過(guò)彈簧203c懸吊于所謂套管203b中的狀態(tài)，可沿著其軸方向移動(dòng)。因此，若將檢查部件200朝向電路基板的方向按壓并配置，探針主體203a被彈簧203c推動(dòng)，其頂端就確實(shí)能接觸于電路連接線上。
在此，加強(qiáng)板202是由酚醛塑料等板材所構(gòu)成，具有引導(dǎo)探針主體203a朝向軸方向移動(dòng)的孔穴202a。如上所述，因?yàn)樘结樦黧w203a為朝向彈簧203c所推動(dòng)的方向移動(dòng)，所以該孔穴202a是抑制其軸心偏移的孔穴，具有僅比探針主體203a的直徑稍微大一點(diǎn)點(diǎn)的直徑。
其次，圖7(c)是表示電極部204外圍構(gòu)造的檢查部件200的剖面圖。特別表示了接近探針部203而配置的電極部204的外圍構(gòu)造。
電極部204是由銅薄膜構(gòu)成的電極204a、以及表面上形成有電極204a的基板204b所組成，粘合或者用螺絲釘固定在加強(qiáng)板202上的挖陷部分中。
但是，在現(xiàn)有的檢查部件200中，因?yàn)椴捎脤㈦姌O部204安裝于加強(qiáng)板202的構(gòu)造，所以探針部203和電極部204之間的定位，必須要進(jìn)行得非常精確，這是相當(dāng)棘手的問(wèn)題。
并且，如圖7(c)所示，在探針主體203a和電極部204很接近、或者探針主體203a貫穿電極部204的情況下，因?yàn)樘结樦黧w203a外圍附近的加強(qiáng)板202被挖，所以加強(qiáng)板202的孔穴202a厚度變薄，除了造成無(wú)法充分抑制探針主體203a的軸心偏移的情況外，更由于加工技術(shù)的限制，需要確保在電極204a與探針主體之間保持一定的距離，加工的時(shí)候，無(wú)法將電極204a配置得太靠近探針主體203a。
本發(fā)明提供一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針；以及印刷形成有非接觸于所述電路連接線、并檢測(cè)供給于該電路連接線的所述檢查信號(hào)的電極的基板；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
并且，本發(fā)明提供一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給或檢測(cè)檢查信號(hào)的探針；以及印刷形成有非接觸于所述電路連接線、并供給或檢測(cè)檢查信號(hào)的電極的基板；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
并且，本發(fā)明提供一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針；以及印刷形成有用來(lái)檢測(cè)由供給于所述電路連接線的所述檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的線圈狀的導(dǎo)體圖案的基板；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
本發(fā)明提供一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針；印刷形成有非接觸于所述電路連接線、并檢測(cè)供給于該電路連接線的所述檢查信號(hào)的電極的基板；以及設(shè)置于所述基板、并用來(lái)檢測(cè)由供給于所述電路連接線的所述檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的磁性感應(yīng)器；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
本發(fā)明提供一種基板的制造方法，該基板構(gòu)成電路連接線檢查用的檢查部件，其特征在于包括在基材上印刷形成非接觸于所述電路連接線、并用來(lái)供給或者檢測(cè)檢查信號(hào)的電極的電極形成步驟；在所述基材上形成可讓所述探針貫穿插入、以便接觸于所述電路連接線來(lái)進(jìn)行檢查信號(hào)的供給或者檢測(cè)的孔穴、該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴形成步驟。
本發(fā)明提供一種基板的制造方法，該基板構(gòu)成電路連接線檢查用的檢查部件，其特征在于包括在基材上印刷形成對(duì)由供給于所述電路連接線的檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的線圈狀的導(dǎo)體圖案的導(dǎo)體圖案形成步驟；在所述基材上形成可讓所述探針貫穿插入、以便接觸于所述電路連接線來(lái)進(jìn)行檢查信號(hào)的供給的孔穴、該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴形成步驟。
本發(fā)明提供一種基板的制造方法，該基板構(gòu)成電路連接線檢查用的檢查部件，其特征在于包括在基材上印刷形成非接觸于所述電路連接線、并用來(lái)供給或者檢測(cè)檢查信號(hào)的電極的電極形成步驟；在所述基材上形成可讓所述探針貫穿插入、以便接觸于所述電路連接線來(lái)進(jìn)行檢查信號(hào)的供給的孔穴、該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴形成步驟；在基材上形成用于安裝對(duì)供給于所述電路連接線的檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器的孔穴的步驟。
圖2(a)～(c)分別是表示防止探針主體14a和電極13之間發(fā)生電氣短路的構(gòu)造圖。
圖3是表示在基板12上設(shè)置與電極13連接的貫穿孔17的狀態(tài)的檢查部件A的構(gòu)造剖面圖。
圖4(a)、(b)是表示具有防止干擾的構(gòu)造的檢查部件A的剖面構(gòu)造圖。
圖5是表示將電極13構(gòu)成為線圈狀的導(dǎo)體圖案13’的示例的圖。
圖6(a)～(c)是表示由具有孔穴12a的基板12和電極13所構(gòu)成的印刷基板的制造順序圖。
圖7(a)是現(xiàn)有技術(shù)的檢查部件200的示意圖，圖7(b)是表示探針部203外圍構(gòu)造的檢查部件200的剖面圖，圖7(c)是表示電極部204外圍構(gòu)造的檢查部件200的剖面圖。
圖8(a)是表示電容耦合的檢查原理的圖，圖8(b)是圖8(a)的等效電路。
圖9是表示檢測(cè)電磁場(chǎng)的檢查原理的圖。
圖10是表示檢測(cè)電磁場(chǎng)的檢查原理的圖。
圖11是表示設(shè)置磁性感應(yīng)器19的檢查部件A的剖面構(gòu)造圖。
檢查部件A具備有用于接觸檢查的探針部14、用于非接觸檢查的電極13、基礎(chǔ)基盤11和基板12。
探針部14的結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)的探針部的結(jié)構(gòu)相同，具備有探針主體14a、容納探針主體14a后端部分的套管14b、以及對(duì)探針主體14a朝向其軸方向推動(dòng)的彈簧14c。探針主體14a的頂端被配置為可從基板12的表面(配置有電極13的面)突出來(lái)。
由于將套管14b安裝在基礎(chǔ)基盤11上，所以探針主體14a通過(guò)彈簧14c以及套管14b的而被支撐于基礎(chǔ)基盤11。此外，只要能將探針部14朝向其軸方向推動(dòng)，可用橡膠等其它具有彈性的部件來(lái)代替彈簧14c。
探針主體14a可朝向被彈簧14c推動(dòng)的軸方向移動(dòng)，與現(xiàn)有技術(shù)的檢查部件200相同，其頂端可確實(shí)接觸于電路連接線。
只要探針主體14a連接上檢查信號(hào)的信號(hào)源，就可發(fā)揮向作為檢查對(duì)象的電路連接線供給檢查信號(hào)的功能，而且，只要連接上檢查信號(hào)的測(cè)量器等，即可發(fā)揮對(duì)供給至電路連接線的檢查信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的功能。即，探針主體14a可以使用于檢查信號(hào)的供給、檢測(cè)兩方面。
基板12具有貫穿插上探針主體14a、并引導(dǎo)該探針在軸方向移動(dòng)的孔穴12a。該孔穴12a是用來(lái)抑制探針主體14a移動(dòng)時(shí)的軸心偏移并支持探針14a的孔穴，相當(dāng)于上述現(xiàn)有技術(shù)的檢查部件200的孔穴202a。為抑制探針主體14a的軸心偏移，優(yōu)選基板12的厚度為例如4mm以上。
作為基板12的材料來(lái)說(shuō)，例如可舉出塑料、樹(shù)脂、陶瓷、玻璃、硅等，只要能在其表面印刷形成導(dǎo)電性材料的就可以。
電極13是由銅等導(dǎo)電性材料所形成，印刷形成在基板12表面上。即，在本實(shí)施例中，是由基板12和電極13構(gòu)成印刷基板。
這樣，對(duì)于具有抑制探針主體14a軸心偏移的孔穴12a的基板12，通過(guò)印刷形成電極13而解決現(xiàn)有的問(wèn)題。
即，因?yàn)殡姌O13直接形成于基板12上，所以可以提高探針主體14a和電極13之間定位的精確度。而且，因?yàn)椴恍柰谙莼?2就可以設(shè)置電極13，所以孔穴12a部分的基板12的厚度不會(huì)變薄，可充分抑制探針主體14a的軸心偏移，同時(shí)，可以將探針主體14a和電極13配置得極為接近。
此外，只要電極13連接上檢查信號(hào)的信號(hào)來(lái)源，就可通過(guò)電容耦合發(fā)揮將檢查信號(hào)供給于作為檢查對(duì)象的電路連接線的功能，而且，只要連接上檢查信號(hào)的測(cè)量器等，就可通過(guò)電容耦合發(fā)揮對(duì)供給于電路連接線的檢查信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)的功能。即，電極13可以以非接觸于電路連接線的方式用于檢查信號(hào)的供給、以及檢測(cè)兩方面。
下面，說(shuō)明檢查部件A的各種形態(tài)。
如圖5所示，如果電極13在基板12的表面上印刷形成為線圈狀的圖案(13’)，就可作為上述檢測(cè)電磁場(chǎng)的檢查手法中的磁性感應(yīng)器而發(fā)揮功能。
并且，如圖11所示，可以在基板12的表面(電極13一側(cè)的面)開(kāi)一個(gè)孔穴12a’，將磁性感應(yīng)器19配置并安裝于其中。由于圖11的檢查部件具有探針部14、電極13、磁性感應(yīng)器19，所以可以使用一個(gè)部件分別進(jìn)行接觸式檢查、利用電容耦合的非接觸檢查、以及檢測(cè)電磁場(chǎng)的非接觸檢查。而且可以使用線圈或者霍爾器件等來(lái)作為磁性感應(yīng)器19。另外，在圖11中，孔穴12a’是形成為挖陷的洞穴，但是當(dāng)然也可以形成為貫穿基板12的孔穴。
其次，在探針主體14a和電極13配置在極為接近的情況下，或者探針主體14a貫穿電極13的情況下，可能因?yàn)殡p方接觸而造成電氣短路，在這種情況下，如圖2(a)所示，在電極13當(dāng)中，只要把靠近探針主體14a的部分13a稍微削掉一點(diǎn)即可。而且，也可以如圖2(b)所示，在孔穴12a的內(nèi)周圍表面設(shè)置絕緣性物質(zhì)15。此外，也可如圖2(c)所示，在探針主體14a一側(cè)周圍表面覆蓋絕緣性物質(zhì)16。
其次，為了將電極13連接于檢查信號(hào)的信號(hào)來(lái)源、檢測(cè)檢查信號(hào)的測(cè)量器等檢查裝置(未圖示)上，也可以在基板12上開(kāi)設(shè)連接于電極13的貫穿孔。圖3是表示在基板12上設(shè)有連接于電極13的貫穿孔17的形態(tài)的檢查部件A的構(gòu)造剖面圖。
貫穿孔17貫穿基板12，在基板12的其中一面上連接于電極13，在另外一面上則接觸于設(shè)在基礎(chǔ)基盤11上的電極11’。通過(guò)連接在電極11’上的導(dǎo)線18，而可使電極13與檢查裝置進(jìn)行電氣連接。
其次，基板12也能作成多層基板。圖4(a)的基板12為多層構(gòu)造，在中間的層上設(shè)置有導(dǎo)體層12b。如圖中的虛線所示，將導(dǎo)體層12b與GND連接，由此可在檢測(cè)供給至作為檢查對(duì)象的電路連接線的檢查信號(hào)時(shí)，達(dá)到防止干擾的效果。另外，為了防止干擾，也可如圖4(b)所示，將一部分的電極13和虛線所示的GND連接。以連接于GND的電極13為界線，其它電極13彼此之間進(jìn)行電氣分離。
其次，說(shuō)明由具有孔穴12a的基板12和電極13所形成的印刷基板的制造方法?？墒褂矛F(xiàn)有技術(shù)的制造方法來(lái)制造該印刷基板。在此，說(shuō)明以蝕刻法進(jìn)行制造的情況。圖6是表示該印刷基板的制造順序的圖。
印刷基板是由在板狀的基材21上均勻形成有銅等導(dǎo)電體22的原板20所制造(圖6(a))。作為原板20來(lái)說(shuō)，可采用例如以銅作為導(dǎo)電體22的銅箔層壓板(CCLcopper clad laminate)?；?1最終會(huì)成為上述的檢查部件A的基板12。
其次，在導(dǎo)電體22中，只留下所需要的部分，通過(guò)蝕刻將其它導(dǎo)電體22除去(圖6(b))。所留下的導(dǎo)電體22形成上述電極13，電極13是通過(guò)印刷形成的。通過(guò)進(jìn)行蝕刻，對(duì)應(yīng)于作為檢查對(duì)象的電路連接線而形成電極13。
其次，在蝕刻后的原板20上打穿孔穴23(圖6(c))。該孔穴23即成為上述孔穴12a，是讓探針主體14a貫穿插入、并抑制其軸心偏移的孔穴。因此，孔穴23是與作為檢查對(duì)象的電路連接線的配置相對(duì)應(yīng)而穿孔。在形成電極13的原板20上直接打穿孔穴23，由此，可使電極13和孔穴12a的定位精確度得以提升。另外，孔穴12a的直徑優(yōu)選為比插入的探針主體14a的直徑大100微米的直徑。
通過(guò)上述方法完成印刷基板。然后，將基礎(chǔ)基盤11和探針部14等安裝在該印刷基板上，由此可以完成圖1所示的檢查部件A。
并且，以圖5所示的線圈狀的導(dǎo)體圖案13’代替電極13，也同樣能以蝕刻等形成在基材21上，這是不用說(shuō)的。
而且，在采用圖11所示的構(gòu)造時(shí)，基板12的孔穴12a’的穿孔時(shí)機(jī)，在上述打穿孔穴23時(shí)或者在其前后都可。而圖6所示的印刷基板的制造程序中，是在對(duì)導(dǎo)電體22進(jìn)行蝕刻后才穿孔，當(dāng)然，在圖6(a)的原板20上打穿孔穴23之后，再對(duì)導(dǎo)電體22進(jìn)行蝕刻也是可行的。
另外，圖6所示的印刷基板的制造程序，采用蝕刻來(lái)形成電極13，不過(guò)也可用其它的方法。例如，以蒸鍍法等在沒(méi)有形成導(dǎo)電體的基板上印刷形成所需要的導(dǎo)電體(電極)的添加法，也是可以采用的。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性如以上說(shuō)明，根據(jù)本發(fā)明，能抑制探針的軸心偏移，并可以高精度地將探針和其它構(gòu)成組件加以定位，而且能使這些組件配置距離更接近。
權(quán)利要求
1.一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針；以及印刷形成有非接觸于所述電路連接線、并檢測(cè)供給于該電路連接線的所述檢查信號(hào)的電極的基板；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的檢查部件，其特征在于所述基板具有連接于所述電極的貫穿孔。
3.如權(quán)利要求1所述的檢查部件，其特征在于所述基板是多層基板，并具有連接于GND的導(dǎo)體層。
4.如權(quán)利要求1所述的檢查部件，其特征在于在所述基板上印刷形成連接于GND的導(dǎo)體圖案。
5.如權(quán)利要求1所述的檢查部件，其特征在于還包括支持所述基板和所述探針的基礎(chǔ)器件，所述基礎(chǔ)器件通過(guò)將所述探針朝向其軸方向推動(dòng)的彈性器件來(lái)支持所述探針。
6.一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給或檢測(cè)檢查信號(hào)的探針；以及印刷形成有非接觸于所述電路連接線、并供給或檢測(cè)檢查信號(hào)的電極的基板；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
7.一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針；以及印刷形成有用來(lái)檢測(cè)由供給于所述電路連接線的所述檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的線圈狀的導(dǎo)體圖案的基板；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
8.一種檢查部件，用于檢查電路連接線，其特征在于包括接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針；印刷形成有非接觸于所述電路連接線、并檢測(cè)供給于該電路連接線的所述檢查信號(hào)的電極的基板；以及設(shè)置于所述基板、并用來(lái)檢測(cè)由供給于所述電路連接線的所述檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的磁性感應(yīng)器；所述基板具有使所述探針貫穿插入的孔穴，該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向的移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求8所述的檢查部件，其特征在于將所述磁性感應(yīng)器配置在設(shè)于所述基板上的孔穴內(nèi)。
10.一種基板的制造方法，該基板構(gòu)成電路連接線檢查用的檢查部件，其特征在于包括在基材上印刷形成非接觸于所述電路連接線、并用來(lái)供給或者檢測(cè)檢查信號(hào)的電極的電極形成步驟；在所述基材上形成可讓所述探針貫穿插入、以便接觸于所述電路連接線并供給或者檢測(cè)檢查信號(hào)的孔穴、該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴形成步驟。
11.如權(quán)利要求10所述的基板的制造方法，其特征在于在所述電極形成步驟之前進(jìn)行所述孔穴形成步驟。
12.如權(quán)利要求10所述的基板的制造方法，其特征在于在所述電極形成步驟中，從所述基材上同樣形成的導(dǎo)體中除去不需要的部分，由此形成所述電極。
13.一種基板的制造方法，該基板構(gòu)成電路連接線檢查用的檢查部件，其特征在于包括在基材上印刷形成對(duì)由供給于所述電路連接線的檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的線圈狀的導(dǎo)體圖案的導(dǎo)體圖案形成步驟；在所述基材上形成可讓所述探針貫穿插入、以便接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的孔穴、該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴形成步驟。
14.一種基板的制造方法，該基板構(gòu)成電路連接線檢查用的檢查部件，其特征在于包括在基材上印刷形成非接觸于所述電路連接線、并用來(lái)供給或者檢測(cè)檢查信號(hào)的電極的電極形成步驟；在所述基材上形成可讓所述探針貫穿插入、以便接觸于所述電路連接線并供給檢查信號(hào)的孔穴、該孔穴引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴形成步驟；在基材上形成用于安裝對(duì)供給于所述電路連接線的檢查信號(hào)所產(chǎn)生的電磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)的磁傳感器的孔穴的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種檢查部件,能抑制探針的軸心偏移,并且能提高探針和其它構(gòu)成組件之間定位的精確度,而且能將上述組件的位置配置得更接近。包括:接觸于電路連接線并供給檢查信號(hào)的探針(14a);印刷形成有非接觸于電路連接線、并檢測(cè)供給于該電路連接線的檢查信號(hào)的電極(13)的基板(12);其中,基板(12)具有使所述探針貫穿插入的孔穴,即引導(dǎo)所述探針在軸方向移動(dòng)的孔穴(12a)。可用更少的非接觸感應(yīng)器來(lái)檢查中途分支的電路連接線。
文檔編號(hào)G01R1/067GK1388900SQ01802704
公開(kāi)日2003年1月1日 申請(qǐng)日期2001年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月25日
發(fā)明者岡野幸兒, 石岡圣悟 申請(qǐng)人:Oht株式會(huì)社