專(zhuān)利名稱(chēng)：考慮了平均值的漂移的、測(cè)試電子元件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的一個(gè)目的是用于考慮了平均值的漂移后對(duì)電子元件進(jìn)行測(cè)試的一個(gè)方法。特別地，它可以被用于測(cè)試半導(dǎo)體電子元件的領(lǐng)域，特別地，是例如集成電路的元件?，F(xiàn)有技術(shù)中，有一個(gè)已知的方法來(lái)測(cè)試電子元件，它能夠減少測(cè)試每一個(gè)電子元件所需要的單位測(cè)試時(shí)間。本發(fā)明的價(jià)值在于它提出一個(gè)測(cè)試方法，這個(gè)測(cè)試方法首先減少了單位測(cè)試時(shí)間，第二，可以對(duì)這些測(cè)試作出響應(yīng)來(lái)用于監(jiān)測(cè)漂移，例如，這些漂移可能是一個(gè)可以忍受的、但是可能干擾對(duì)被測(cè)試元件的修改所引起的。
所以，需要被進(jìn)行測(cè)試的一個(gè)元件需要進(jìn)行一系列的單位測(cè)試，來(lái)測(cè)試其每一個(gè)功能。一個(gè)功能的一個(gè)單位測(cè)試一般包括下面的基本步驟-在一個(gè)初始時(shí)刻D0，就這個(gè)測(cè)試來(lái)說(shuō)，被認(rèn)為是一個(gè)輸入端子的元件的端子被施加一個(gè)電壓Ve，在一個(gè)時(shí)間期間內(nèi)，等待在這個(gè)元件的一第二端子上出現(xiàn)一個(gè)響應(yīng)并且等待這個(gè)響應(yīng)穩(wěn)定下來(lái)，這第二端子被認(rèn)為是這個(gè)測(cè)試的輸出端子，在一標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0，在時(shí)間(Dm0-D0)的末尾，測(cè)量這個(gè)響應(yīng)。在一個(gè)示例中，這個(gè)響應(yīng)是這個(gè)輸出端子的一個(gè)電壓值Vs。
然后，確定這個(gè)元件已經(jīng)對(duì)這個(gè)單位測(cè)試給出了一個(gè)可接受的或者不可接受的響應(yīng)，-這個(gè)被測(cè)量的響應(yīng)被與固定的可接受準(zhǔn)則進(jìn)行比較。即，在這個(gè)示例中，電壓Vs的值被與可接受下限與上限進(jìn)行比較。這些容限一般是在制造說(shuō)明中所給出的。
因?yàn)檫@個(gè)電子已經(jīng)具有一個(gè)已知的結(jié)構(gòu)，所以，可以理論上確定這個(gè)時(shí)間間隔，在這個(gè)時(shí)間間隔的末尾，可以觀察到關(guān)于這個(gè)測(cè)試的一個(gè)期待響應(yīng)。這個(gè)理論時(shí)間間隔(Dmth-D0)例如是由這個(gè)電子元件的設(shè)計(jì)者所計(jì)算出來(lái)的。進(jìn)一步，為了避免這個(gè)測(cè)試產(chǎn)生一個(gè)過(guò)度高的失敗率，通過(guò)選擇在測(cè)試期間所使用的規(guī)定測(cè)量時(shí)間Dm0，并且考慮一個(gè)安全的富裕度。實(shí)際上，時(shí)間Dm0一般被選擇為比這個(gè)測(cè)試的理論測(cè)量時(shí)間間隔Dmth大。
然后，規(guī)定的測(cè)量時(shí)間間隔Dm0被用作需要被測(cè)試的所有元件的一個(gè)測(cè)量時(shí)間間隔。這個(gè)選擇可以確保與這個(gè)測(cè)試一致的響應(yīng)，并且大大地增加了一系列測(cè)試所需要的總執(zhí)行時(shí)間。
文檔WO-A-97/457-48描述了用于減少一系列測(cè)試中每一個(gè)單位測(cè)試的持續(xù)時(shí)間的一個(gè)已知測(cè)試方法。為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)目的，這個(gè)測(cè)試方法包括-在一組可接受的元件上執(zhí)行的一第一“學(xué)習(xí)階段”。規(guī)定測(cè)量時(shí)間Dm0被用于對(duì)第一批元件進(jìn)行測(cè)試。只有那些給出了合適響應(yīng)的元件才被包括在這批可接受的元件組中，這個(gè)元件組構(gòu)成了學(xué)習(xí)組。然后，盡可能早地，確定比標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0早的一個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi。在這個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi所執(zhí)行的測(cè)試仍然必須給出對(duì)這個(gè)可接受容限來(lái)說(shuō)可接受的一個(gè)響應(yīng)，-一第二“應(yīng)用階段”，其中這批中所有其它元件已經(jīng)被測(cè)試，測(cè)試使用了前面確定的最早測(cè)試時(shí)刻Dmi。
為了確定最早測(cè)試時(shí)刻Dmi，上面所定義的測(cè)試基本步驟對(duì)這個(gè)學(xué)習(xí)組中的每一個(gè)元件反復(fù)地做，所使用的測(cè)量時(shí)刻在每一個(gè)迭代中被逐步減少，或者是使用二分法來(lái)減少，或者是一步一步地減少。為了在測(cè)試的中間測(cè)量時(shí)刻，Dmi-TEST1，Dmi-TEST2，中選擇測(cè)試時(shí)刻Dmi，通過(guò)一個(gè)準(zhǔn)則來(lái)進(jìn)行下面的比較-在至少一個(gè)被測(cè)試的中間測(cè)量時(shí)刻，例如，Dmi-TEST1而獲得的響應(yīng)的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象，被與，-在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0所獲得的、這個(gè)非常相同的學(xué)習(xí)組的響應(yīng)的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行比較。
一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象包括所有的響應(yīng)，這些響應(yīng)包括根據(jù)這些值，在進(jìn)行測(cè)試時(shí)特別在進(jìn)行計(jì)算時(shí)所獲得的Vs類(lèi)型，均值M和標(biāo)準(zhǔn)偏差S，和其它作為這個(gè)均值M和這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)偏差S的函數(shù)的統(tǒng)計(jì)值。
例如，對(duì)每一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象，稱(chēng)作CP的一個(gè)統(tǒng)計(jì)值被獲得。這個(gè)值與可接受容限的差異和這個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象的標(biāo)準(zhǔn)偏差S之間的比例相等?？山邮苋菹拗g的差異一般由一個(gè)制造商的容限所給出。
另一個(gè)統(tǒng)計(jì)值也可以被定義為描述這個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象的特征。稱(chēng)作CPK的這另一個(gè)值等于在這個(gè)均值和一個(gè)可接受容限之間的一個(gè)差異的絕對(duì)值與這個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象的標(biāo)準(zhǔn)偏差S之間的比例。
為了將這個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象與另一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行比較，就比較它們相應(yīng)的統(tǒng)計(jì)值CP或者CPK。選擇最早的可能測(cè)量時(shí)刻Dmi，以使在這個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi所獲得的一個(gè)統(tǒng)計(jì)值CPi仍然保持在評(píng)價(jià)準(zhǔn)則CPo的一特定比例內(nèi)，其中CPo是描述在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0所獲得的統(tǒng)計(jì)圖象的特征的統(tǒng)計(jì)值。
在一第一示例中，如果對(duì)一個(gè)被測(cè)試中間時(shí)刻Dmi-TEST1觀察到了一個(gè)寬范圍的響應(yīng)而任何值均沒(méi)有優(yōu)勢(shì)，這就意味著被進(jìn)行這個(gè)測(cè)試的電子元件的行為在這個(gè)時(shí)刻不能夠被可靠地再現(xiàn)。根據(jù)本發(fā)明的這個(gè)方法，統(tǒng)計(jì)圖象的標(biāo)準(zhǔn)偏差Si-TEST1比較大，所以其相應(yīng)的值CPi-TEST1就比較低，并且肯定將不再位于CPo的設(shè)置比例準(zhǔn)則內(nèi)。然后，這個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi-TEST1將不再被選擇為最早的可能測(cè)量時(shí)刻Dmi，并且Dmi必須比這個(gè)被測(cè)試時(shí)刻Dmi-TEST大。
確定最早測(cè)量時(shí)刻Dmi的方法可以提供另一個(gè)可接受條件，例如，一個(gè)條件，通過(guò)這個(gè)條件，這個(gè)時(shí)刻必須比一個(gè)理論的最小測(cè)量時(shí)刻Dmmin大。
在文檔WO 97/45748中所提出的這個(gè)解決方法產(chǎn)生了一個(gè)問(wèn)題，因?yàn)檫@個(gè)應(yīng)用階段的預(yù)備學(xué)習(xí)階段是非常地長(zhǎng)。進(jìn)一步，在這個(gè)學(xué)習(xí)階段所確定的最早可能測(cè)量時(shí)刻可能會(huì)對(duì)被測(cè)試的電子元件產(chǎn)生一個(gè)較大的丟棄率，因?yàn)樗赡軙?huì)不公正地促使這些元件被從好質(zhì)量的生產(chǎn)中丟棄掉。實(shí)際上，因?yàn)檫@個(gè)學(xué)習(xí)階段很長(zhǎng)，它就不能夠被頻繁地執(zhí)行，然后，一個(gè)不合適的測(cè)量時(shí)刻可能被用于測(cè)試這批元件中的一部分。
從文檔FR 99 90955中的教導(dǎo)來(lái)看，有一個(gè)已知的、也包括一個(gè)學(xué)習(xí)階段和一個(gè)應(yīng)用階段的方法。
但是，這個(gè)方法提出，通過(guò)進(jìn)行下面的比較來(lái)獲得用于定義最早可能測(cè)量時(shí)刻Dmi的學(xué)習(xí)階段-利用標(biāo)稱(chēng)測(cè)量Dm0而獲得的學(xué)習(xí)組的響應(yīng)之間的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象，和-一個(gè)被累加的統(tǒng)計(jì)圖象，這個(gè)被累加的統(tǒng)計(jì)圖象與在被測(cè)試中間測(cè)量時(shí)刻，例如，Dmi-TEST1，對(duì)相同組所獲得的所有響應(yīng)的圖象相應(yīng)，并且與在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0對(duì)這個(gè)組所獲得的響應(yīng)的相應(yīng)。
為了將統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行相互比較，這個(gè)相應(yīng)的統(tǒng)計(jì)值CPK被以相同的方式進(jìn)行比較。最早的可能測(cè)量時(shí)刻Dmi被選擇，以使統(tǒng)計(jì)值CPKtotal0+i-TEST1保持在評(píng)價(jià)準(zhǔn)則Cpko的一特定比例范圍內(nèi)，其中Cpko是描述在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0所獲得的統(tǒng)計(jì)圖象的特征的統(tǒng)計(jì)值。
另外，這個(gè)方法提出，這個(gè)應(yīng)用階段與學(xué)習(xí)階段無(wú)關(guān)，學(xué)習(xí)階段是對(duì)一個(gè)學(xué)習(xí)組進(jìn)行的，與在應(yīng)用階段需要被測(cè)試的這個(gè)批元件無(wú)關(guān)。這樣，獨(dú)立地實(shí)現(xiàn)了學(xué)習(xí)階段，并且當(dāng)開(kāi)始對(duì)一批元件進(jìn)行一系列測(cè)試時(shí)，就執(zhí)行一個(gè)短的調(diào)節(jié)階段。在這個(gè)調(diào)節(jié)階段，這個(gè)最早測(cè)量時(shí)刻Dmi被確認(rèn)并且可能會(huì)被進(jìn)行調(diào)節(jié)。
這些調(diào)節(jié)階段是有規(guī)律的。例如，進(jìn)行調(diào)節(jié)的特定頻率是與這批被測(cè)試部分元件的給定數(shù)目相關(guān)。它們可以確保這個(gè)測(cè)量時(shí)刻總是被對(duì)測(cè)試的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行了優(yōu)化，被對(duì)在考慮了生產(chǎn)特征自然變化性后被測(cè)試輸出的利益率進(jìn)行了優(yōu)化。
在這個(gè)調(diào)節(jié)階段，考慮一組好質(zhì)量的元件。并且與在學(xué)習(xí)階段中的相同，最早測(cè)量時(shí)刻Dmi被進(jìn)行確認(rèn)，并且可能被進(jìn)行調(diào)節(jié)，通過(guò)下面的比較-在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0獲得的好質(zhì)量元件組的響應(yīng)的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象，與
-一個(gè)累加統(tǒng)計(jì)圖象，這個(gè)累加統(tǒng)計(jì)圖象與在測(cè)量時(shí)刻Dmi對(duì)相同組所獲得的所有響應(yīng)以及在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0，或者在一個(gè)修改的測(cè)量時(shí)刻Dmmodif對(duì)這個(gè)組所獲得的響應(yīng)的圖象相應(yīng)，并且與在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0對(duì)這個(gè)組所獲得的響應(yīng)相應(yīng)。
如果是這樣的情形，它就選擇在一個(gè)修改的測(cè)量時(shí)刻Dmmodif，Dmmodif比測(cè)量時(shí)刻Dmi大或者相等，如果在(a)累加統(tǒng)計(jì)圖象，包括特別是在測(cè)量時(shí)刻Dmi所獲得的響應(yīng)和(b)在一個(gè)標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0對(duì)這個(gè)相同組所獲得的統(tǒng)計(jì)圖象之間的比較相對(duì)于一個(gè)評(píng)價(jià)準(zhǔn)則來(lái)說(shuō)不可接受時(shí)。
這個(gè)方法也產(chǎn)生一個(gè)問(wèn)題。實(shí)際上，即使這個(gè)方法包括一個(gè)調(diào)節(jié)階段來(lái)考慮元件生產(chǎn)的固有可變性，這個(gè)方法允許在生產(chǎn)中出現(xiàn)的漂移，或者根本不注意這個(gè)漂移。根據(jù)這個(gè)測(cè)試方法，響應(yīng)的變化性和其漂移，如果有的話，不被考慮，因?yàn)楸硎具@些數(shù)據(jù)的調(diào)節(jié)圖象被用一個(gè)統(tǒng)計(jì)值CPK進(jìn)行比較?，F(xiàn)在，這個(gè)統(tǒng)計(jì)值CPK通過(guò)引入下限和上限來(lái)進(jìn)行計(jì)算，這些容限被定義為關(guān)于被制造元件的質(zhì)量的可容忍限度的函數(shù)，即這些元件要求的函數(shù)，而不是元件的制造方法的函數(shù)。
所以，這個(gè)方法導(dǎo)致將統(tǒng)計(jì)值CPK確定在1000的范圍內(nèi)，當(dāng)它們是在靠近標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻Dm0而獲得一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象的響應(yīng)的值時(shí)。但是，因?yàn)檫@個(gè)統(tǒng)計(jì)值的評(píng)價(jià)準(zhǔn)則是與3的范圍內(nèi)的可接受準(zhǔn)則進(jìn)行比較，所以確定最早可能測(cè)量時(shí)刻Dmi的模式導(dǎo)致將一個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi選擇為非常靠近最小測(cè)量時(shí)刻Dmmin。所以，使用這個(gè)方法而進(jìn)行的測(cè)試將接受那些已經(jīng)給出非?？拷山邮苋菹拗幸粋€(gè)的響應(yīng)的元件。但是，這可以是這些元件的制造過(guò)程中需要被檢測(cè)的一個(gè)漂移。
即使調(diào)節(jié)階段已經(jīng)糾正了一個(gè)過(guò)度早測(cè)量時(shí)刻Dmi的選擇，然后這個(gè)調(diào)節(jié)階段就變得幾乎與學(xué)習(xí)階段一樣長(zhǎng)，這也是一個(gè)缺點(diǎn)。實(shí)際上，這個(gè)測(cè)試方法要求，在調(diào)節(jié)階段期間，幾乎必須例行地增加這個(gè)測(cè)試時(shí)刻Dmi，因?yàn)樵趯W(xué)習(xí)階段期間所定義的時(shí)刻不適合需要被測(cè)試的輸出。
本發(fā)明的一個(gè)目的是通過(guò)對(duì)元件制造過(guò)程中的漂移標(biāo)記進(jìn)行快速的檢測(cè)，從而來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題。特別地，本發(fā)明有可能能夠?qū)?duì)最早測(cè)量時(shí)刻Dmi的搜尋限制到確定用于控制均值的漂移的一個(gè)測(cè)量時(shí)刻。所以，根據(jù)本發(fā)明的這個(gè)方法所確定的最早可能測(cè)量時(shí)刻Dmi可以確保，測(cè)試可以獲得可靠的響應(yīng)。但是，根據(jù)這個(gè)方法所確定的最早可能測(cè)量時(shí)刻Dmi可能比使用另一個(gè)也尋求減少測(cè)試總的持續(xù)時(shí)間的測(cè)試方法所獲得的測(cè)量時(shí)刻晚。
實(shí)際上，本發(fā)明的一個(gè)目的是用于測(cè)試電子元件的一個(gè)方法，這個(gè)方法通過(guò)用統(tǒng)計(jì)值表示它們來(lái)考慮了元件組的統(tǒng)計(jì)圖象，最重要的是，它沒(méi)有考慮這些可接受的容限。另外，根據(jù)本發(fā)明的這個(gè)方法將這些統(tǒng)計(jì)圖象與另一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行比較，并且考慮了具有至少一個(gè)獨(dú)立的可接受容限的可接受準(zhǔn)則的統(tǒng)計(jì)值。這樣，這個(gè)比較就更嚴(yán)格了，并且能夠容忍較少測(cè)試響應(yīng)的變化。根據(jù)這個(gè)方法所定義的最早測(cè)量時(shí)刻可以確保更高的可靠性，并且減少了需要頻繁地修改這個(gè)時(shí)刻的要求。
本發(fā)明的一個(gè)目的是用于測(cè)試電子元件的一個(gè)方法，其中-一個(gè)元件的一個(gè)端子在一個(gè)初始時(shí)刻被施加一個(gè)電壓，-在這個(gè)元件的一個(gè)端子上所建立的一個(gè)響應(yīng)在一個(gè)測(cè)量時(shí)刻被進(jìn)行測(cè)量，-這個(gè)響應(yīng)被與可接受容限進(jìn)行比較，作為這個(gè)比較的一個(gè)函數(shù)而接受或者拒絕這個(gè)元件，-這個(gè)測(cè)量時(shí)刻是通過(guò)一個(gè)準(zhǔn)則而被定義的，這個(gè)準(zhǔn)則被用于將表示在一個(gè)被測(cè)試中間測(cè)量時(shí)刻所獲得的至少響應(yīng)的一個(gè)中間統(tǒng)計(jì)圖象，與表示在一個(gè)標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻所獲得的響應(yīng)的一個(gè)規(guī)定統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行比較，這些響應(yīng)是從一組好質(zhì)量元件中獲得的，-所選擇的測(cè)量時(shí)刻是被測(cè)試的最早可能中間測(cè)量時(shí)刻，其中-被用于將統(tǒng)計(jì)圖象與另一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行相互比較的準(zhǔn)則包括對(duì)每一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象所獲得的響應(yīng)的一個(gè)幅度進(jìn)行評(píng)價(jià)。
從下面的描述和附圖中，可以對(duì)本發(fā)明更清楚地理解。這些圖僅僅是一個(gè)示例，它們對(duì)本發(fā)明的范圍沒(méi)有任何限制作用。這些圖中，-

圖1顯示了根據(jù)本發(fā)明的這個(gè)方法需要被測(cè)試的一組元件；-圖2顯示了使用根據(jù)本發(fā)明的這個(gè)測(cè)試方法，在不同的測(cè)量時(shí)刻所獲得的這組好質(zhì)量元件的響應(yīng)的分布；-圖3顯示了一個(gè)參數(shù)表；-圖4是表示根據(jù)本發(fā)明的學(xué)習(xí)階段，調(diào)節(jié)階段，和應(yīng)用階段的時(shí)間組織的一個(gè)時(shí)序圖。
圖1顯示了一個(gè)承載電子元件2的晶片1。這個(gè)晶片具有一個(gè)圓形的形狀，或者其它平行六面體或者線形條(linear strip)的形狀。這個(gè)晶片1的電子元件2例如是集成電路芯片。一個(gè)電子元件至少具有需要被測(cè)試的一個(gè)功能3。
為了測(cè)試電子元件2的功能3，使用了一個(gè)測(cè)試裝置。這個(gè)測(cè)試裝置具有將電壓Ve施加到一個(gè)輸入端子4上的一第一組電極，和在輸出端子5上拾取輸出電壓Vs的一第二組電極。這個(gè)測(cè)試裝置的一個(gè)接口管理電子信號(hào)的傳輸和被拾取信號(hào)的測(cè)量。通過(guò)這個(gè)測(cè)試裝置來(lái)配置這個(gè)接口。這個(gè)接口的結(jié)構(gòu)處理被這些測(cè)試裝置所發(fā)送和接收的信號(hào)。
端子4和5是元件2的導(dǎo)電端子。輸出端子5可能與這個(gè)元件上的輸入端子4相同。
對(duì)這個(gè)測(cè)試的一個(gè)響應(yīng)一般包括一個(gè)被測(cè)量電子變量，例如輸出電壓Vs的值。并且從這個(gè)響應(yīng)的角度來(lái)說(shuō)，這個(gè)接口可以被用于確定相對(duì)于所執(zhí)行的測(cè)試，一個(gè)元件是否是好的或者是壞的。這個(gè)接口特別地提供了將這個(gè)響應(yīng)Vs與這些元件的制造商所設(shè)置的可接受容限的比較。
為了進(jìn)行測(cè)試，在一個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dm對(duì)響應(yīng)Vs進(jìn)行測(cè)量，這個(gè)測(cè)量時(shí)刻必須比電壓Ve發(fā)送到輸入端子的一個(gè)初始時(shí)刻D0晚。
為了改善在Dm和D0之間的時(shí)間，例如一般是要減少它，在操作的開(kāi)始先判斷在晶片1上的好質(zhì)量元件P1。為了這個(gè)目的，使用與一個(gè)標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)間Dm0相等的一個(gè)測(cè)量時(shí)間來(lái)對(duì)電子元件2進(jìn)行測(cè)試。優(yōu)選地，這個(gè)測(cè)量時(shí)間Dm0已經(jīng)在考慮了一個(gè)附加的安全富裕度后進(jìn)行了理論計(jì)算。一般來(lái)說(shuō)，這個(gè)測(cè)量時(shí)間與沒(méi)有被優(yōu)化的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法所使用的測(cè)量時(shí)間相應(yīng)。這樣，可接受的元件6和不可接受的元件7在晶片1上被識(shí)別出來(lái)。在一個(gè)優(yōu)選的示例中，好質(zhì)量的元件組P1僅包括一個(gè)可接受元件6。但是，它可以有幾個(gè)例如6個(gè)元件。
然后，這組P1的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象IS被確定。這個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象IS具有在使用相同的測(cè)量時(shí)刻重復(fù)相同的測(cè)試后，從組P1所獲得的一組N個(gè)響應(yīng)。然后，與一給定測(cè)量時(shí)間相應(yīng)的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象IS就被確定了。
圖2顯示了包括了在使用給定測(cè)量時(shí)間Dm0所執(zhí)行的N0個(gè)測(cè)試迭代后所獲得的、組P1的一組響應(yīng)Vs0的規(guī)定統(tǒng)計(jì)圖象IS0。這些響應(yīng)的分布一般是一個(gè)高斯分布。圖象IS0的特征可以是一個(gè)均值M0和/或者一個(gè)幅度R0。
均值M0與對(duì)在相同的規(guī)定測(cè)量時(shí)間Dm0所執(zhí)行的迭代中所觀察到的所有響應(yīng)Vs0的平均值相應(yīng)。
M0＝sum(Vs0)/N0并且幅度R0與在這些相同迭代期間所觀察到的最大響應(yīng)值Vs0-max和所觀察到的最小響應(yīng)值Vs0-min之間的差異相應(yīng)。
R0＝Vs0-max-Vs0-min然后，為了測(cè)試較早的測(cè)試時(shí)刻，在不同的測(cè)試時(shí)刻，對(duì)相同的組P1重復(fù)相同的測(cè)試。例如，在一個(gè)被測(cè)試中間測(cè)試時(shí)刻Dmi-TEST，重復(fù)這個(gè)測(cè)試Ni-TEST次。然后，就獲得一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象ISi-TEST，ISi-TEST的特征可能是一個(gè)平均值Mi-TEST和一個(gè)幅度Ri-TEST。
在這個(gè)情形下，平均值Mi-TEST被定義為在相同的測(cè)量時(shí)刻Dmi-TEST所進(jìn)行的迭代所觀察到的所有響應(yīng)Vsi的平均值。
Mi-TEST＝sum(Vsi)/Ni-TEST并且幅度Ri-TEST與在相同的迭代期間所觀察到的最大響應(yīng)值Vsi-max和所觀察到的最小響應(yīng)值Vsi-min之間的差異響應(yīng)。
Ri-TEST＝Vsi-max-Vsi-min
然后，為了確定被測(cè)試的中間測(cè)量時(shí)刻Dmi-TEST是否可以被接受為在根據(jù)本發(fā)明的方法的應(yīng)用階段所使用的最早測(cè)量時(shí)刻，統(tǒng)計(jì)圖象IS0和ISi-TEST被通過(guò)一個(gè)準(zhǔn)則而進(jìn)行相互比較。
例如，如果平均值Mi-TEST也被包括在一個(gè)可接受間隔內(nèi)，這個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi-TEST就被接受。在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選示例中，如果平均值Mi-TEST滿足下面的條件|Mi-TEST-M0|<D-z*S0*(1/NI-TEST+1/N0)]]>其中在垂直線之間的數(shù)學(xué)項(xiàng)與一個(gè)絕對(duì)值相應(yīng)。
S0是在N0次迭代后所獲得的響應(yīng)Vs0的標(biāo)準(zhǔn)偏差，并且優(yōu)選用下面的公式來(lái)定義S02=1/(N0-1)*Σi=0N0(M0-Vs0i)2]]>另外，D與兩個(gè)平均值Mi-TEST和M0之間的一個(gè)可容忍偏差相應(yīng)。D一般被負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)測(cè)試儀器的工程師所設(shè)置，它是被測(cè)試元件的指標(biāo)的一個(gè)函數(shù)。
參數(shù)z與從統(tǒng)計(jì)表中所選擇出的一個(gè)常數(shù)相應(yīng)，其是所選擇的、關(guān)于被執(zhí)行測(cè)試的風(fēng)險(xiǎn)程度的一個(gè)函數(shù)。風(fēng)險(xiǎn)程度被定義為與稱(chēng)作一個(gè)“錯(cuò)誤告警”風(fēng)險(xiǎn)相應(yīng)的一第一風(fēng)險(xiǎn)α和與被稱(chēng)作為一個(gè)“丟失的信號(hào)”的風(fēng)險(xiǎn)相應(yīng)的一第二風(fēng)險(xiǎn)β。風(fēng)險(xiǎn)α與在測(cè)試結(jié)束時(shí)，盡管一個(gè)元件是好的，但是仍然被拒絕的可能性相應(yīng)。風(fēng)險(xiǎn)β與在測(cè)試結(jié)束時(shí)，盡管一個(gè)元件是壞的，但是仍然被接受的可能性相應(yīng)。參數(shù)z被這樣選擇，以使風(fēng)險(xiǎn)β最小，例如等于0.05。在這個(gè)情形下，參數(shù)z等于1.645。
在平均值的測(cè)試的一第一變化形式中，圖3所顯示的表的參數(shù)被用于確定這個(gè)平均值可接受的這個(gè)間隔的一個(gè)可接受下邊界BMinf和一個(gè)可接受上邊界BMsup。例如，在列10中被提出的參數(shù)A2被用于計(jì)算這些邊界。這個(gè)間隔被定義為規(guī)定平均值M0和規(guī)定幅度R0的函數(shù)。
BMinf＝M0-A2*R0，BMsup＝M0+A2*R0在平均值的測(cè)試的一第二變化形式中，特別是當(dāng)這個(gè)規(guī)定幅度較低時(shí)，這個(gè)間隔可以被進(jìn)行不同的定義。特別地，這個(gè)間隔可以被定義為用于評(píng)價(jià)響應(yīng)Vs的下限Linf和上限Lsup的函數(shù)。然后，可以如下述來(lái)定義下和上可接受邊界BMinf＝M0-A2*f1*(Lsup-Linf)，BMsup＝M0+A2*f1*(Lsup-Linf)其中f1與例如在0和1之間的一個(gè)實(shí)數(shù)值相應(yīng)。
在平均值的測(cè)試的一第三變化形式中，特別是當(dāng)響應(yīng)Vs僅滿足關(guān)于一單個(gè)容限L的一個(gè)條件時(shí)，間隔可以被定義為如下BMinf＝M0-A2*f1*|L-M0|，BMsup＝M0+A2*f1*|L-M0|在上面的公式中被使用的參數(shù)A2被選擇作為用于確定Mi-TEST的迭代次數(shù)NTEST的一個(gè)函數(shù)。實(shí)際上，NTEST的值越大，所確定的平均值就更可靠，并且所以，它就更有可能位于圍繞規(guī)定平均值M0的一個(gè)很窄的間隔內(nèi)。
另外，如果一第二條件滿足了幅度Ri-TEST，就確定接受這個(gè)測(cè)量時(shí)刻Dmi-TEST。在一個(gè)優(yōu)選示例中，如果對(duì)一個(gè)和相同的被測(cè)試中間時(shí)刻，關(guān)于平均值Mi-TEST的測(cè)試來(lái)說(shuō)被接受，相應(yīng)幅度Ri-TEST滿足下面的條件，就選擇Dmi-TEST在Ri-TEST和R0之間的差異的絕對(duì)值比工程師所設(shè)置的一個(gè)閾值低，這個(gè)工程師負(fù)責(zé)根據(jù)被測(cè)試元件的規(guī)定功能來(lái)調(diào)節(jié)這個(gè)儀器。
在關(guān)于幅度的測(cè)試的一個(gè)變化形式中，可以使用圖3中所顯示的表的參數(shù)來(lái)確定這個(gè)可接受間隔的一個(gè)可接受下邊界BRinf和可接受上邊界BRsup。例如，在列8和9中被提出的參數(shù)被用于計(jì)算這些邊界。然后，這個(gè)間隔被定義為規(guī)定幅度R0的函數(shù)。
BRinf＝D3*R0，其中D3是列8的一個(gè)參數(shù)BRsup＝D4*R0，其中D4是列9的一個(gè)參數(shù)。
在這個(gè)關(guān)于幅度的測(cè)試的一個(gè)變化形式中，這個(gè)間隔被定義為一般由測(cè)試設(shè)計(jì)者所確定的下限Linf和Lsup的功能，來(lái)評(píng)價(jià)響應(yīng)Vs。這個(gè)變化形式避免了判斷過(guò)度窄可接受間隔的要求，僅僅因?yàn)楫?dāng)應(yīng)用第一可變形式的這個(gè)方法而實(shí)際的可接受間隔很寬時(shí)，規(guī)定幅度R0非常小。然后可以按照如下的來(lái)定義可接受下邊界和可接受上邊界BRinf＝D3*f1*(Lsup-Linf)，BRsup＝D4*f1*(LSup-Linf)其中f1與一個(gè)在0到1之間的一個(gè)實(shí)數(shù)值相應(yīng)。在這第二個(gè)實(shí)數(shù)變化形式中，這個(gè)可接受間隔可以被定義為實(shí)際可接受間隔的一個(gè)百分比的函數(shù)。
在關(guān)于幅度測(cè)試的一第三變化形式中，這個(gè)間隔可以被定義為容限Linf和Lsup和平均值M0的一個(gè)函數(shù)，特別是當(dāng)這個(gè)響應(yīng)Vs滿足僅關(guān)于一個(gè)容限L的條件時(shí)。然后，可接受下邊界和上邊界可以被定義為如下BRinf＝D3*f1*|L-M0|，BRsup＝D4*f1*|L-M0|其中在兩個(gè)垂直線之間定義的元件與這些元件的一個(gè)絕對(duì)值相應(yīng)。
在上面公式中每一個(gè)中所使用的參數(shù)D3和D4被選擇作為被執(zhí)行來(lái)確定Ri-TEST的迭代次數(shù)NTEST的函數(shù)。實(shí)際上，NTEST越大，幅度評(píng)價(jià)間隔的上邊界BRsup就越靠近規(guī)定幅度R0。同時(shí)，NTEST越大，下邊界BRinf離規(guī)定幅度R0的距離就可能越遠(yuǎn)。實(shí)際上，因?yàn)楸粶y(cè)試的數(shù)據(jù)是在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻以前的一個(gè)測(cè)試數(shù)據(jù)，這樣獲得的響應(yīng)Vs的分布就可能不太精確。
如果在這個(gè)比較后，一個(gè)中間測(cè)量時(shí)刻Dmi-TEST被選擇，一般以相同的方法來(lái)測(cè)試一第二較早的中間測(cè)量時(shí)刻。然后，在應(yīng)用階段期間，選擇最早的可能測(cè)量時(shí)刻。但是，如果這個(gè)中間測(cè)量時(shí)刻在這個(gè)比較后不是有效的，就測(cè)試另一個(gè)中間測(cè)量時(shí)刻。這另一個(gè)中間測(cè)量時(shí)刻必須盡可能地早，甚至在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻以前。一般來(lái)說(shuō)，根據(jù)一步接一步的方法來(lái)測(cè)試中間測(cè)量時(shí)刻，以選擇在測(cè)試一個(gè)有效時(shí)刻以前，已經(jīng)被確認(rèn)的最近的一個(gè)測(cè)量時(shí)刻。
根據(jù)使用這個(gè)測(cè)試方法的一個(gè)特殊模式，在稱(chēng)作學(xué)習(xí)階段的一第一階段11(圖4)確定最早的可能測(cè)量時(shí)刻。然后，在應(yīng)用階段12期間，這個(gè)被確定的測(cè)量時(shí)刻被連續(xù)地應(yīng)用。
在一個(gè)變化形式中，在應(yīng)用階段12期間，可能周期性地提供調(diào)節(jié)階段13來(lái)確認(rèn)在學(xué)習(xí)階段期間被確定的測(cè)量時(shí)刻，并且可能來(lái)確定一個(gè)被調(diào)節(jié)的測(cè)量時(shí)刻Dma。
為了在一個(gè)調(diào)節(jié)階段期間確認(rèn)中間測(cè)量時(shí)刻，考慮一組元件P2。當(dāng)使用標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻D0時(shí)，這些元件是正確的。優(yōu)選地，元件組P2來(lái)自在應(yīng)用階段期間被測(cè)試的一批元件。然后，對(duì)從關(guān)于這個(gè)組P2所進(jìn)行的相同迭代測(cè)試而獲得的統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行比較。
一般來(lái)說(shuō)，僅當(dāng)如果最早的中間測(cè)量時(shí)刻沒(méi)有被確認(rèn)時(shí)，才執(zhí)行確定一個(gè)被調(diào)節(jié)的測(cè)量時(shí)刻Dma的步驟。然后，這個(gè)被調(diào)節(jié)的測(cè)量時(shí)刻Dma比學(xué)習(xí)階段期間所確定的最早測(cè)量時(shí)刻晚。
為了被選擇，一個(gè)被調(diào)節(jié)測(cè)量時(shí)刻Dma必須滿足與上面所提出的、用于確定最早中間測(cè)量時(shí)刻的比較條件相同的條件。使用相同的方法來(lái)評(píng)價(jià)用于進(jìn)行調(diào)節(jié)的、關(guān)于組P2的結(jié)果的平均值和幅度。
在一第一優(yōu)選示例中，在學(xué)習(xí)階段期間，在考慮了使用標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻D0進(jìn)行的相同迭代測(cè)試后面所獲得的10個(gè)值后，確定規(guī)定統(tǒng)計(jì)圖象IS0。優(yōu)選地，這10個(gè)值是對(duì)構(gòu)成組P1的單個(gè)元件進(jìn)行相同的10次迭代測(cè)試而獲得的。在這個(gè)相同的階段期間，在考慮了使用這個(gè)測(cè)量時(shí)刻而進(jìn)行的迭代測(cè)試而獲得的5個(gè)值后，確定了最早可能中間測(cè)量時(shí)刻。優(yōu)選地，這5個(gè)值是對(duì)構(gòu)成組P1的單個(gè)元件進(jìn)行相同的5次迭代測(cè)試而獲得的。
在一第二優(yōu)選示例中，在調(diào)節(jié)階段期間，在考慮了使用標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻D0而獲得的3個(gè)值后，確定組P2的規(guī)定統(tǒng)計(jì)圖象IS0，優(yōu)選地，這3個(gè)值是對(duì)組P2的一個(gè)和相同元件進(jìn)行相同的3次迭代測(cè)試而獲得的。在考慮了從兩個(gè)值中獲得的、關(guān)于每一個(gè)時(shí)刻的統(tǒng)計(jì)圖象后，在學(xué)習(xí)階段期間被確定的最早測(cè)量時(shí)刻被確認(rèn)，或者確定一個(gè)測(cè)量時(shí)刻。優(yōu)選地，這兩個(gè)值是從對(duì)組P2的相同元件進(jìn)行相同的2次迭代測(cè)試而獲得的。
特別地，本發(fā)明的測(cè)試方法被用于優(yōu)化所有測(cè)試的測(cè)試時(shí)間，這些測(cè)試不能夠容忍平均值的漂移。
在另一個(gè)變化形式中，可以對(duì)它進(jìn)行這樣設(shè)計(jì)與規(guī)劃，在考慮了包括響應(yīng)Vs和作為響應(yīng)Vs的函數(shù)而確定的數(shù)據(jù)的一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象后，就可以對(duì)測(cè)試時(shí)間進(jìn)行優(yōu)化。這些數(shù)據(jù)可以考慮值Vs的一個(gè)可容忍的漂移。
權(quán)利要求
1.用于測(cè)試電子元件的一個(gè)方法，其中-一個(gè)元件(2)的一個(gè)端子(4)在一個(gè)初始時(shí)刻被施加一個(gè)電壓(Ve)，-在這個(gè)元件的一個(gè)端子上所建立的一個(gè)響應(yīng)(Vs)在一個(gè)測(cè)量時(shí)刻(Dm)被進(jìn)行測(cè)量，-這個(gè)響應(yīng)被與可接受容限(Linf，Lsup)進(jìn)行比較，作為這個(gè)比較的一個(gè)函數(shù)而接受或者拒絕這個(gè)元件，-這個(gè)測(cè)量時(shí)刻是通過(guò)一個(gè)準(zhǔn)則而被定義的，這個(gè)準(zhǔn)則被用于將表示在一個(gè)被測(cè)試中間測(cè)量時(shí)刻(Dmi-TEST)所獲得的至少響應(yīng)的一個(gè)中間統(tǒng)計(jì)圖象(ISi-TEST)，與表示在一個(gè)標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻(Dm0)所獲得的響應(yīng)的一個(gè)規(guī)定統(tǒng)計(jì)圖象(IS0)進(jìn)行比較，這些響應(yīng)是從一組好質(zhì)量元件(P1)中獲得的，-所選擇的測(cè)量時(shí)刻是被測(cè)試的最早可能中間測(cè)量時(shí)刻，其中-被用于將統(tǒng)計(jì)圖象與另一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行相互比較的準(zhǔn)則包括對(duì)每一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象所獲得的響應(yīng)的一個(gè)幅度(R0，Ri-TEST)進(jìn)行評(píng)價(jià)。
2.如權(quán)利要求1的方法，其中-與一個(gè)被測(cè)量時(shí)刻相應(yīng)的幅度(Ri-TEST)的可接受間隔(BRinf，BRsup)被確定為一個(gè)規(guī)定幅度(R0)的一個(gè)函數(shù)，和/或者被確定為一個(gè)可容忍幅度的一個(gè)函數(shù)。
3.如權(quán)利要求1或者2的方法，其中-被用于將統(tǒng)計(jì)圖象與另一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行相互比較的準(zhǔn)則包括關(guān)于所獲得的每一個(gè)統(tǒng)計(jì)圖象的響應(yīng)的一個(gè)評(píng)價(jià)(M0，Mi-TEST)。
4.如權(quán)利要求3的方法，其中-與被測(cè)試測(cè)量時(shí)刻相應(yīng)的平均值(Mi-TEST)的可接受間隔(BMinf，BMsup)被確定為規(guī)定平均值(M0)的一個(gè)函數(shù)。
5.如權(quán)利要求3到4中一個(gè)的方法，其中-與被測(cè)試測(cè)量時(shí)刻相應(yīng)的平均值的可接受間隔被確定為在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻而獲得的響應(yīng)的規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)偏差(S0)的函數(shù)和被規(guī)定為一個(gè)統(tǒng)計(jì)幾率(α，β)的函數(shù)。
6.如權(quán)利要求3到5中一個(gè)的方法，其中-與被測(cè)試測(cè)量時(shí)刻相應(yīng)的平均值的可接受間隔被確定為規(guī)定幅度的一個(gè)函數(shù)和/或者被確定為容忍幅度的一個(gè)函數(shù)。-可接受間隔被確定為來(lái)自一個(gè)表的參數(shù)的函數(shù)，這些參數(shù)考慮了統(tǒng)計(jì)圖象的值的數(shù)目。
7.如權(quán)利要求1到6中任何一個(gè)的方法，其中，-考慮包括一單個(gè)元件的一組好質(zhì)量的元件。
8.如權(quán)利要求1到7中任何一個(gè)的方法，其中-在一個(gè)應(yīng)用階段(12)以前的一個(gè)學(xué)習(xí)階段(11)期間，確定測(cè)量時(shí)刻。
9.如權(quán)利要求1，8的方法，其中-在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻，對(duì)好質(zhì)量元件組進(jìn)行迭代測(cè)試，例如以獲得10個(gè)值，-在一個(gè)中間測(cè)量時(shí)刻，對(duì)相同的元件組進(jìn)行迭代測(cè)試，例如以獲得5個(gè)值。
10.如權(quán)利要求1到9中任何一個(gè)的方法，其中-在一個(gè)應(yīng)用階段期間，在一個(gè)調(diào)節(jié)階段期間，修改這個(gè)測(cè)量時(shí)刻。-在標(biāo)稱(chēng)測(cè)量時(shí)刻，在應(yīng)用階段，對(duì)一組好質(zhì)量的元件組進(jìn)行迭代測(cè)試，例如以獲得3個(gè)值。-在一個(gè)中間測(cè)量時(shí)刻，對(duì)相同組進(jìn)行迭代測(cè)試，例如以獲得2個(gè)值。
全文摘要
用于測(cè)試電子元件的一個(gè)方法,提出了對(duì)這個(gè)測(cè)試方法的測(cè)試持續(xù)時(shí)間進(jìn)行優(yōu)化,包括參考一個(gè)初始測(cè)試時(shí)刻(Do)來(lái)選擇一個(gè)最早的可能測(cè)量時(shí)刻(Dm)。根據(jù)這個(gè)方法,通過(guò)對(duì)一組元件(P1,P2)進(jìn)行測(cè)試而獲得的統(tǒng)計(jì)圖象(IS)和通過(guò)使用一個(gè)準(zhǔn)則將這些統(tǒng)計(jì)圖象進(jìn)行相互比較,而選擇這個(gè)最早可能的測(cè)量時(shí)刻。這個(gè)準(zhǔn)則考慮了在對(duì)一個(gè)相同測(cè)試的迭代測(cè)試期間,不同測(cè)量時(shí)刻所進(jìn)行的測(cè)試組所給出的響應(yīng)的一個(gè)平均值和幅度。
文檔編號(hào)G01R31/01GK1340719SQ0112434
公開(kāi)日2002年3月20日 申請(qǐng)日期2001年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2000年7月28日
發(fā)明者菲利普·里朱恩 申請(qǐng)人:比拉克諾博芬納泰奧·塔加拉克塞