inder)，所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶11的瓶口通過供應(yīng)管道依次與主閥箱、氣體分配箱或氣體分配盤配管相連，最后供應(yīng)到各個生產(chǎn)機臺。其中主閥箱、氣體分配箱或氣體分配盤配管在圖2和圖3中未予以圖示。所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶11的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道，但是由于供應(yīng)管道的頻繁更換，容易造成供應(yīng)管道和瓶口連接處(Pigtail)的位置造成損傷，這將引起氣體泄漏，影響氣體的正常供應(yīng)。另夕卜，所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶I外表面包覆有加熱夾克(未予以圖示)，鋼瓶上設(shè)置有泄壓閥(未予以圖示)，加熱夾克用來加熱鋼瓶時鋼瓶中液態(tài)的氨轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)的氨，泄壓閥用來保證鋼瓶內(nèi)部正常的壓力，防止鋼瓶發(fā)生意外。
[0045]所述盒體12底部開口，且盒體12罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶11上，尤其是要將瓶口的Pigtail置于盒體中，一旦發(fā)生pigtail的泄露，這個相對較為封閉的盒體12可以及時監(jiān)測到。
[0046]所述支架13用于支撐所述盒體12，并引導(dǎo)所述盒體12移動。所述支架13可以包括一對支架，每一個支架13上各放置一個盒體12。每一個支架13包括支撐柱131、固定于所述支撐柱131之間的第一橫梁132、與所述第一橫梁132垂直且能在所述第一橫梁132長度方向上移動的第二橫梁133。所述盒體12放置于所述第二橫梁133上，且盒體12能在所述第二橫梁133長度方向上移動，所述第二橫梁133通過滑軌在第一橫梁132上滑動。所述盒體12也可以通過滑軌在第二橫梁133上滑動，當(dāng)然，第一橫梁132與第二橫梁133之間、盒體12與第二橫梁133之間也可以是其他合適的方式，比如滾動，在此不作限制。通過第一橫梁132、第二橫梁133，所述盒體12可以在前后左右的方向上進行移動，通過盒體12移動，可以方便更換鋼瓶。圖2和圖3中的箭頭表示鋼瓶需要被罩在盒體中。
[0047]所述風(fēng)管14與盒體12相連。作為示例，所述風(fēng)管14至少包括分別與每一個盒體12相連的軟管141、連接在所述軟管141之間的支撐硬管142以及與所述支撐硬管142連通的垂直管道144。進一步地，所述支撐硬管144與一側(cè)的軟管141間可以增加一個三通管143，通過三通管143與垂直管道144連通。更進一步地，在所述垂直管道144的末端還可以設(shè)置一個彎管145，該彎管145直接與閥箱16相連。
[0048]所述偵測器15安裝在所述風(fēng)管14中。優(yōu)選地，所述偵測器15安裝在與所述盒體12直接相連的軟管141的管壁上，用于監(jiān)測鋼瓶連接處以及泄壓閥是否發(fā)生氣體的泄露，并發(fā)出警報。由于盒體12為封閉結(jié)構(gòu)，一旦監(jiān)測到氣體發(fā)生泄露，偵測器15可以在第一時間準(zhǔn)確無誤的偵測到，此時技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)立即移動盒體進行鋼瓶的更換，防止意外發(fā)生。同時，泄漏的氣體通過風(fēng)管14可以排出至室外，保證室內(nèi)人員的安全。
[0049]綜上所述，本實用新型提供一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，所述裝置包括:順3氣供應(yīng)鋼瓶，所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道；底部開口的盒體，所述盒體罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶上；支架，用于支撐所述盒體并引導(dǎo)所示盒體移動；風(fēng)管，與所述盒體相連；偵測器，安裝在所述風(fēng)管中。本實用新型將NH3氣供應(yīng)鋼瓶罩設(shè)在盒體中，當(dāng)瓶口管道(pigtail)連接處或泄壓閥發(fā)生泄漏時，風(fēng)管中的偵測器將準(zhǔn)確無誤的偵測到事故，及時發(fā)出警報，并且操作人員可以通過盒體的移動便捷的更換備用鋼瓶。本實用新型的裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
[0050]所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0051]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【主權(quán)項】
1.一種NH 3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于，所述偵測裝置至少包括: NH3氣供應(yīng)鋼瓶，所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道； 盒體，底部開口且罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶上； 支架，支撐所述盒體并引導(dǎo)所述盒體移動； 風(fēng)管，與所述盒體相連； 偵測器，安裝在所述風(fēng)管中。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述支架包括支撐柱、固定于所述支撐柱之間的第一橫梁、與所述第一橫梁垂直且能在所述第一橫梁長度方向上移動的第二橫梁。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述盒體放置于所述第二橫梁上，且盒體能在所述第二橫梁長度方向上移動，所述第二橫梁通過滑軌在第一橫梁上滑動。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述支架包括一對支架，每一個支架上各放置一個盒體。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述風(fēng)管至少包括:分別與每一個盒體相連的軟管、連接在所述軟管之間的支撐硬管以及與所述支撐硬管連通的垂直管道。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述偵測器安裝在軟管內(nèi)壁上。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述垂直管道通過一彎管與一閥箱相連。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶外表面包覆有加熱夾克。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶上還設(shè)置有泄壓閥。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，其特征在于:所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶的瓶口通過供應(yīng)管道依次與主閥箱、氣體分配箱或氣體分配盤配管相連，最后供應(yīng)到各個生產(chǎn)機臺。
【專利摘要】本實用新型提供一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，所述裝置至少包括：NH3氣供應(yīng)鋼瓶，所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道；底部開口的盒體，所述盒體罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶上；支架，用于支撐所述盒體并引導(dǎo)所示盒體移動；風(fēng)管，與所述盒體相連；偵測器，安裝在所述風(fēng)管中。本實用新型將NH3氣供應(yīng)鋼瓶罩設(shè)在盒體中，當(dāng)瓶口管道(pigtail)連接處或泄壓閥發(fā)生泄漏時，風(fēng)管中的偵測器將準(zhǔn)確無誤的偵測到事故，及時發(fā)出警報，并且操作人員可以通過盒體的移動便捷的更換備用鋼瓶。本實用新型的裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
【IPC分類】F17C13/02
【公開號】CN204693033
【申請?zhí)枴緾N201520334479
【發(fā)明人】丁雙根, 太雙, 刁春華, 周鵬
【申請人】中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年5月22日