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氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測(cè)裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9040841

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在半導(dǎo)體行業(yè)中,見(jiàn)13氣體系統(tǒng)的應(yīng)用是非常廣泛的,它被用于整個(gè)工廠各個(gè)重要的制程區(qū)域,同時(shí)氣體的工藝要求非常高,如果工藝的問(wèn)題導(dǎo)致制成的中斷,將是對(duì)全廠造成重大影響。中芯國(guó)際上海廠由于受到產(chǎn)能的需求,見(jiàn)13氣體的需求從建廠初期的每天1Lbs擴(kuò)充到50Lbs,系統(tǒng)的需求將有了 NH3BSGS的系統(tǒng)的擴(kuò)充,如何達(dá)到安全穩(wěn)定將是我們追求的目標(biāo)?,F(xiàn)有的順3氣供應(yīng)系統(tǒng)如圖1所示,該系統(tǒng)是將NH3鋼瓶11,例如Y鋼瓶(Y-Cylinder),供應(yīng)到主閥箱(VDB),再...
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