氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，見13氣體系統(tǒng)的應(yīng)用是非常廣泛的，它被用于整個工廠各個重要的制程區(qū)域，同時氣體的工藝要求非常高，如果工藝的問題導(dǎo)致制成的中斷，將是對全廠造成重大影響。中芯國際上海廠由于受到產(chǎn)能的需求，見13氣體的需求從建廠初期的每天1Lbs擴(kuò)充到50Lbs，系統(tǒng)的需求將有了 NH3BSGS的系統(tǒng)的擴(kuò)充，如何達(dá)到安全穩(wěn)定將是我們追求的目標(biāo)。
[0003]現(xiàn)有的順3氣供應(yīng)系統(tǒng)如圖1所示，該系統(tǒng)是將NH3鋼瓶11，例如Y鋼瓶(Y-Cylinder)，供應(yīng)到主閥箱(VDB)，再從主閥箱的stick連接點(diǎn)傳輸?shù)綒怏w分配箱(VMB)或氣體分配盤(VMP)，再通過氣體管路(HOOK UP)配管到各個機(jī)臺。如果Y鋼瓶用完或者出現(xiàn)故障，可以改用氣瓶柜(Gas Cabinet, G/C)中備用的NH3鋼瓶來供應(yīng)。
[0004]但是現(xiàn)有的順3氣供應(yīng)系統(tǒng)有如下問題:(I)日常更換鋼瓶頻繁，與鋼瓶口連接的管道(Pigtail)易于被NH3氣腐蝕而發(fā)生泄漏；(2) NH3氣為液態(tài)氣體，需要使用加熱夾克將液態(tài)NH3轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)NH 3，如果加熱夾克發(fā)生故障，將會導(dǎo)致NH3氣從泄壓閥處泄漏。為了能及時監(jiān)測到NH3氣是否發(fā)生泄漏，目前會在Pigtail處設(shè)置一偵測器，但是由于Pigtail處為敞開的空間，對于真實(shí)監(jiān)測有一定的影響。
[0005]因此，提供一種新的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置實(shí)屬必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中無法真實(shí)準(zhǔn)確地監(jiān)測到冊13氣鋼發(fā)生漏泄的問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，所述偵測裝置至少包括:
[0008]NH3氣供應(yīng)鋼瓶，所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道；
[0009]盒體，底部開口且罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶上；
[0010]支架，支撐所述盒體并引導(dǎo)所述盒體移動；
[0011]風(fēng)管，與所述盒體相連；
[0012]偵測器，安裝在所述風(fēng)管中。
[0013]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述支架包括支撐柱、固定于所述支撐柱之間的第一橫梁、與所述第一橫梁垂直且能在所述第一橫梁長度方向上移動的第二橫梁。
[0014]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述盒體放置于所述第二橫梁上，且盒體能在所述第二橫梁長度方向上移動，所述第二橫梁通過滑軌在第一橫梁上滑動。
[0015]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述支架包括一對支架，每一個支架上各放置一個盒體。
[0016]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述風(fēng)管至少包括:分別與每一個盒體相連的軟管、連接在所述軟管之間的支撐硬管以及與所述支撐硬管連通的垂直管道。
[0017]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述偵測器安裝在軟管內(nèi)壁上。
[0018]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述垂直管道通過一彎管與一閥箱相連。
[0019]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶外表面包覆有加熱夾克。
[0020]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶上還設(shè)置有泄壓閥。
[0021]作為本實(shí)用新型NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述NH 3氣供應(yīng)鋼瓶的瓶口依次通過主閥箱、氣體分配箱或氣體分配盤配管到各個生產(chǎn)機(jī)臺。
[0022]如上所述，本實(shí)用新型的NH3氣供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，所述偵測裝置包括:順3氣供應(yīng)鋼瓶，所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶的鋼瓶口連接有供應(yīng)管道；底部開口的盒體，所述盒體罩設(shè)在所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶上；支架，用于支撐所述盒體并引導(dǎo)所示盒體移動；風(fēng)管，與所述盒體相連；偵測器，安裝在所述風(fēng)管中。本實(shí)用新型將NH3氣供應(yīng)鋼瓶罩設(shè)在盒體中，當(dāng)瓶口管道(pigtail)連接處或泄壓閥發(fā)生泄漏時，風(fēng)管中的偵測器將準(zhǔn)確無誤的偵測到事故，及時發(fā)出警報，并且操作人員可以通過盒體的移動便捷的更換備用鋼瓶。本實(shí)用新型的裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
【附圖說明】
[0023]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中NH3供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖2為本實(shí)用新型的冊13供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置中盒體與支架的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖3為本實(shí)用新型的冊13供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置的盒體與風(fēng)管的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]元件標(biāo)號說明
[0027]11順3供應(yīng)鋼瓶
[0028]12盒體
[0029]13支架
[0030]131支撐柱
[0031]132第一橫梁
[0032]133第二橫梁
[0033]14風(fēng)管
[0034]141軟管
[0035]142支撐硬管
[0036]143三通管
[0037]144垂直管道
[0038]145彎管
[0039]15偵測器
[0040]16閥箱
【具體實(shí)施方式】
[0041]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0042]請參閱圖2至圖3。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容所能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0043]如圖2?圖3所示，本實(shí)用新型提供一種NH3供應(yīng)系統(tǒng)的偵測裝置，所述偵測裝置至少包括:NH3氣供應(yīng)鋼瓶11、盒體12、支架13、風(fēng)管14、偵測器15。
[0044]所述NH3氣供應(yīng)鋼瓶11可以是Y鋼瓶(Y-Cyl