本技術(shù)屬于特殊氣體供給，涉及一種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在晶圓的生產(chǎn)過程中，特殊氣體(例如氮?dú)狻錃?、氬氣?起著重要的作用。這些特殊氣體在晶圓生產(chǎn)過程中具有以下作用：

2、1.清潔和保護(hù)：特殊氣體可以用于清潔晶圓表面和保護(hù)晶圓不受污染。例如，氮?dú)饪梢杂糜谌コA表面的微塵和雜質(zhì)，保持晶圓的潔凈度。氫氣可以用于還原表面氧化層，減少氧化反應(yīng)。

3、2.氣氛控制：特殊氣體可以用于控制晶圓生產(chǎn)過程中的氣氛環(huán)境。例如，氮?dú)饪梢杂糜趧?chuàng)建惰性氣氛，防止晶圓表面的氧化。氫氣可以用于控制氫氣氣氛中的氫濃度，用于降低氧化反應(yīng)速率。

4、3.熱管理：特殊氣體可以用于熱管理，調(diào)節(jié)晶圓的溫度。例如，氬氣可以用于快速冷卻晶圓，防止過熱和熱應(yīng)力；氫氣可以用于熱處理過程中的退火，提高晶圓的品質(zhì)和性能。

5、4.傳輸和載體：特殊氣體還可以作為傳輸介質(zhì)或載體，在晶圓生產(chǎn)過程中輸送材料或執(zhí)行特定的化學(xué)反應(yīng)。例如，氣相外延(cvd)過程中，特殊氣體如二氧化硅和氨可以用于沉積薄膜；氫氣可以用作載氫劑。

6、但是在生產(chǎn)過程中，如何監(jiān)控特殊氣體的供氣以確保生產(chǎn)者的安全成了亟需解決的難題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，通過對多項數(shù)據(jù)的監(jiān)控提高供氣監(jiān)控的安全性。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了以下技術(shù)方案：

3、一種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，包括：

4、氣柜，所述氣柜內(nèi)設(shè)有多個存儲特殊氣體的氣瓶，所述氣瓶之間并聯(lián)；

5、純化裝置，所述純化裝置連接氣柜內(nèi)的氣瓶；

6、調(diào)壓裝置，所述純化裝置通過調(diào)壓裝置連接外界設(shè)備；

7、氣體傳感器，所述氣體傳感器分布于工作車間；

8、氣體監(jiān)控箱，所述氣體監(jiān)控箱分別連接氣柜、純化裝置、調(diào)壓裝置和氣體傳感器用于進(jìn)行供氣管理反饋和監(jiān)控。

9、進(jìn)一步的，所述氣柜的氣瓶通過換向閥連接左管路和右管路，所述左管路和右管路上分別設(shè)有總閥、壓力表和排氣閥，所述壓力表與氣體監(jiān)控箱連接。

10、進(jìn)一步的，所述純化裝置內(nèi)設(shè)有露點(diǎn)儀和純化單元，所述露點(diǎn)儀位于純化單元與氣柜之間，所述露點(diǎn)儀與氣體監(jiān)控箱連接。

11、進(jìn)一步的，所述氣柜包括氫氣氣柜、氬氣氣柜和氮?dú)鈿夤瘛?/p>

12、進(jìn)一步的，所述氫氣氣柜內(nèi)設(shè)有氫氣濃度傳感器。

13、進(jìn)一步的，所述氣體傳感器包括氫氣傳感器、氬氣傳感器和氮?dú)鈧鞲衅鳌?/p>

14、應(yīng)用本實用新型的技術(shù)方案，通過氣體傳感器分布在工作車間，監(jiān)測特殊氣體的濃度和壓力等參數(shù)。這些傳感器可以實時檢測氣體供給狀態(tài)，確保供氣的穩(wěn)定性和可靠性。特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)可以設(shè)置閾值，一旦監(jiān)測到特殊氣體的異常情況，如濃度超過安全范圍或壓力異常，系統(tǒng)會發(fā)出預(yù)警或報警信號。這可以提醒操作人員及時采取措施，避免潛在的安全風(fēng)險。純化裝置中的露點(diǎn)儀和純化單元可以對特殊氣體進(jìn)行凈化和處理。露點(diǎn)儀用于檢測氣體中的水汽含量，確保氣體的干燥度。純化單元則可以去除氣體中的雜質(zhì)和污染物，提高氣體的純凈度。特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)可以記錄和存儲供氣過程中的數(shù)據(jù)，如濃度、壓力、溫度等。這些數(shù)據(jù)可以用于后續(xù)的分析和優(yōu)化，幫助提高供氣過程的效率和穩(wěn)定性。

15、實用新型的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本實用新型而了解。本實用新型的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過在所寫的說明書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。

1.一種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述氣柜的氣瓶通過換向閥連接左管路和右管路，所述左管路和右管路上分別設(shè)有總閥、壓力表和排氣閥，所述壓力表與氣體監(jiān)控箱連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述純化裝置內(nèi)設(shè)有露點(diǎn)儀和純化單元，所述露點(diǎn)儀位于純化單元與氣柜之間，所述露點(diǎn)儀與氣體監(jiān)控箱連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述氣柜包括氫氣氣柜、氬氣氣柜和氮?dú)鈿夤瘛?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述氫氣氣柜內(nèi)設(shè)有氫氣濃度傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體傳感器包括氫氣傳感器、氬氣傳感器和氮?dú)鈧鞲衅鳌?/p>
技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于特殊氣體供給技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種特殊氣體供給監(jiān)控系統(tǒng)，包括：氣柜，所述氣柜內(nèi)設(shè)有多個存儲特殊氣體的氣瓶，所述氣瓶之間并聯(lián)；純化裝置，所述純化裝置連接氣柜內(nèi)的氣瓶；調(diào)壓裝置，所述純化裝置通過調(diào)壓裝置連接外界設(shè)備；氣體傳感器，所述氣體傳感器分布于工作車間；氣體監(jiān)控箱，所述氣體監(jiān)控箱分別連接氣柜、純化裝置、調(diào)壓裝置和氣體傳感器用于進(jìn)行供氣管理反饋和監(jiān)控。

技術(shù)研發(fā)人員：吳喜成,王裕鑫,羅尚武,孫權(quán),李加龍,郭國立,祁建京
受保護(hù)的技術(shù)使用者：富芯晶圓制造（深圳）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240108
技術(shù)公布日：2024/12/19