技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種特氣分配箱及其零件更換方法，包括氮?dú)馓幚砉苈罚玫獨(dú)馓幚砉苈分懈咚倭鲃?dòng)的氮?dú)猱a(chǎn)生虹吸負(fù)壓，抽取待更換零件所在管路內(nèi)部的特氣，氮?dú)庵鞴苈吩傧虼鼡Q零件所在管路內(nèi)部灌入氮?dú)?，抽取與灌入重復(fù)多次，直至此管路中特氣濃度趨近于零時(shí)，再更換待更換零件；用氮?dú)馓幚砉苈诽娲F(xiàn)有技術(shù)中的外接抽氣泵和尾氣處理系統(tǒng)，有效避免受現(xiàn)場空間和環(huán)境的影響及廠務(wù)安排的制約，且零件更換操作簡單安全，成功率高。

技術(shù)研發(fā)人員：周成志
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢新芯集成電路制造有限公司
文檔號(hào)碼：201611162195
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.15
技術(shù)公布日：2017.05.31